JP2007049021A - ウェハ表面検査装置及びウェハ表面検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査テーブル6に載置したウェハ5の表面にレーザ投光部3からのレーザ光11が入射するレーザ照射位置10に、気体吹き付けユニット1から冷却気体9を吹き付けることによりウェハ5表面に存在する異物の温度上昇を防ぎ、異物の分解を抑制することによって、清浄度や異物の座標再現性などの点で性能低下がないウェハ表面検査装置が実現できる。
【選択図】図1
Description
(1)レーザ波長:532 [nm]
(2)レーザスポット径:50[μm]×10[μm]の楕円形状
(3)スピンドル回転数:1500[rpm]
(4)ステージ送りピッチ:20[μm]
(5)異物検出感度:40[nm]
(6)気体(空気)吹き付けノズルの内径:2.5[mm]
(7)評価ウェハ:φ300[mm]ベアウェハ
(8)空気吹き付け角度(仰角):23°
(1)イニシャル状態のウェハの測定を行う。
(2)ウェハ表面に破壊されやすい異物(例:有機物)を積極的に付着させる。
(3)レーザ照射部に空気吹き付けを行った状態で測定を行う。
(4)レーザ照射部に空気吹き付けを行わない状態で測定を行う。
(5)(3)でスパイラル状の汚染が発生せず、(4)でスパイラル状の汚染が発生した場合は、空気吹き付け効果があると判断し、○とする。
(6)(3)でスパイラル状の汚染が発生した場合は、空気吹き付け効果がないと判断し、×とする。
(7)(3)と(4)両方ともスパイラル状の汚染が発生しない場合は異物の付着が不十分であったと判断し、再度異物を付着し、(3)と(4)の測定を行う。
(8)(2)〜(7)の評価を、空気吹き付け流量 [l/min]とレーザ出力 [mW]をパラメータとして行う。
2 検出系
3 レーザ投光部
4 ミラー
5 半導体ウェハ
6 検査テーブル
7 スピンドル
8 走査ステージ
9 気体
10 レーザ照射位置
11 レーザ光
12 バルブ
13 パージメータ(流量計)
14 1次フィルタ
15 2次フィルタ
16 スピードコントローラ
17 流入された気体
18 吹き付け気体
19 コンプレッサ
20 レーザ光源
21 制御演算部
Claims (3)
- 半導体ウェハを保持するテーブルと、
前記テーブルに保持された半導体ウェハの表面の微小領域にレーザ光を照射する光照射手段と、
前記レーザ光照射によって半導体ウェハから散乱された光を検出する光検出手段と、
前記テーブルを回転させるとともに前記光照射手段に対して直線的に移動させるテーブル駆動手段と、
前記光照射手段による半導体ウェハ上のレーザ光照射領域に気体を吹き付ける気体吹き付け手段と、
を備えたことを特徴とするウェハ表面検査装置。 - 請求項1に記載のウェハ表面検査装置において、前記光照射手段と前記気体吹き付け手段を制御する制御部を有し、前記制御部は少なくとも前記光照射手段から光が照射されている間は前記気体吹き付け手段から気体が吹き付けられるように前記光照射手段と前記気体吹き付け手段を制御することを特徴とするウェハ表面検査装置。
- 回転している半導体ウェハ表面の微小領域にレーザ光を照射し、前記微小領域からの散乱光を検出することによって半導体ウェハ表面を検査する方法において、
少なくとも半導体ウェハ表面にレーザ光を照射している間は、当該半導体ウェハ表面のレーザ光照射領域に気体を吹き付けることを特徴とするウェハ表面検査方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017029857A1 (ja) * | 2015-08-17 | 2017-02-23 | 株式会社Screenホールディングス | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
KR101877197B1 (ko) * | 2012-07-24 | 2018-07-10 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 검사 장치 |
WO2019102876A1 (ja) * | 2017-11-24 | 2019-05-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | 異物除去方法、及び光検出装置の製造方法 |
KR102678718B1 (ko) | 2017-11-24 | 2024-06-27 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 이물 제거 방법, 및 광 검출 장치의 제조 방법 |
Families Citing this family (4)
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---|---|---|---|---|
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US20140055773A1 (en) * | 2012-08-21 | 2014-02-27 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Method and device for inspecting glass substrate of liquid crystal display |
US11754510B2 (en) * | 2021-10-14 | 2023-09-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Inspection system of semiconductor wafer and method of driving the same |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55102233A (en) | 1979-01-30 | 1980-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Removing method of dust |
JPH0772716B2 (ja) | 1985-07-04 | 1995-08-02 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 異物検査装置 |
JPH0387638A (ja) | 1989-08-31 | 1991-04-12 | Toshiba Corp | ハードディスクの検査装置 |
US5866904A (en) * | 1990-10-12 | 1999-02-02 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope and method for dimension measuring by using the same |
US6466521B1 (en) * | 1994-02-25 | 2002-10-15 | Citizen Watch Co., Ltd. | Sensor function-equipped portable device |
TW284907B (en) * | 1995-06-07 | 1996-09-01 | Cauldron Lp | Removal of material by polarized irradiation and back side application for radiation |
US5877843A (en) * | 1995-09-12 | 1999-03-02 | Nikon Corporation | Exposure apparatus |
US6249132B1 (en) * | 1997-02-12 | 2001-06-19 | Tokyo Electron Limited | Inspection methods and apparatuses |
JPH10335399A (ja) * | 1997-06-03 | 1998-12-18 | Advantest Corp | 試料処理装置および方法 |
AU1175799A (en) * | 1997-11-21 | 1999-06-15 | Nikon Corporation | Projection aligner and projection exposure method |
US5865901A (en) * | 1997-12-29 | 1999-02-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Wafer surface cleaning apparatus and method |
US6167412A (en) * | 1998-07-14 | 2000-12-26 | Agilent Technologies, Inc. | Handheld medical calculator and medical reference device |
US6356653B2 (en) * | 1998-07-16 | 2002-03-12 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for combined particle location and removal |
JP2000111469A (ja) | 1998-10-01 | 2000-04-21 | Nikon Corp | 微粒子付着力測定装置 |
US6844458B2 (en) * | 1998-11-20 | 2005-01-18 | Ip Holdings, L.L.C. | Vegetable oil refining |
IL127720A0 (en) * | 1998-12-24 | 1999-10-28 | Oramir Semiconductor Ltd | Local particle cleaning |
JP3939101B2 (ja) * | 2000-12-04 | 2007-07-04 | 株式会社荏原製作所 | 基板搬送方法および基板搬送容器 |
US20030029479A1 (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-13 | Dainippon Screen Mfg. Co, Ltd. | Substrate cleaning apparatus and method |
US20030045098A1 (en) * | 2001-08-31 | 2003-03-06 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for processing a wafer |
JP3914842B2 (ja) * | 2001-10-23 | 2007-05-16 | 有限会社ユーエムエス | 有機被膜の除去方法および除去装置 |
US6799584B2 (en) * | 2001-11-09 | 2004-10-05 | Applied Materials, Inc. | Condensation-based enhancement of particle removal by suction |
US7391036B2 (en) * | 2002-04-17 | 2008-06-24 | Ebara Corporation | Sample surface inspection apparatus and method |
US6898540B2 (en) * | 2002-11-12 | 2005-05-24 | General Electric Company | System and method for displaying real-time turbine corrected output and heat rate |
JP2005083800A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
JP4194495B2 (ja) * | 2004-01-07 | 2008-12-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布・現像装置 |
JP4192118B2 (ja) * | 2004-05-31 | 2008-12-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査装置並びに欠陥検査システム |
DE102004029012B4 (de) * | 2004-06-16 | 2006-11-09 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Verfahren zur Inspektion eines Wafers |
JP4413831B2 (ja) * | 2005-08-11 | 2010-02-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ウェハ表面検査装置及びウェハ表面検査方法 |
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101877197B1 (ko) * | 2012-07-24 | 2018-07-10 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 검사 장치 |
WO2017029857A1 (ja) * | 2015-08-17 | 2017-02-23 | 株式会社Screenホールディングス | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
WO2019102876A1 (ja) * | 2017-11-24 | 2019-05-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | 異物除去方法、及び光検出装置の製造方法 |
JP2019095670A (ja) * | 2017-11-24 | 2019-06-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 異物除去方法、及び光検出装置の製造方法 |
US11294170B2 (en) | 2017-11-24 | 2022-04-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Method for removing foreign matter and method for manufacturing optical detection device |
KR102678718B1 (ko) | 2017-11-24 | 2024-06-27 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 이물 제거 방법, 및 광 검출 장치의 제조 방법 |
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