JP2007048854A - ウェーハレベルバーンイン方法およびウェーハレベルバーンイン装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 温度調整用プレート106を少なくとも2つのエリアに分割し、そのエリアに対応して温度的負荷を印加するためのヒータ408とその制御系を分割して設定温度にそれぞれ独立に制御を行い、冷却源はヒータ408の制御用に各エリアに設置された温度センサ409の測定値を比較し、制御出力計算用の測定値を逐次切り替えることにより制御を行うことで、電気的負荷印加時の発熱によるウェーハ温度の面内温度のばらつきを低減することが可能となる。これにより、プローブの消耗、焼けを防止し、信頼性の高いウェーハレベルバーンイン方法およびウェーハレベルバーンイン装置を提供することができる。
【選択図】 図1
Description
図9は従来のウェーハレベルバーンイン装置の概略図、図10はウェーハレベルバーンインにおけるデバイスの良品分布図、図11は従来のウェーハレベルバーンインにおけるデバイス温度変化図である。
この温度の面内均一性の低下により、ウェーハの一部で温度が高くなってしまった場合、ウェーハに電気的負荷を印加するためのプローブの消耗が激しくなる、あるいは焼けるといった重大な損害を招く恐れがある。また、一部で温度が低くなってしまった場合、温度的負荷によるスクリーニングが不十分になり、市場に不良が流出してしまう恐れがある。
請求項3記載のウェーハレベルバーンイン装置は、請求項1記載のウェーハレベルバーンイン装置において、前記冷却源が送風機で、前記冷却温度調整器が送風流量を制御する送風流量制御用温度調整器であることを特徴とする。
請求項9記載のウェーハレベルバーンイン装置は、請求項1または請求項2または請求項3または請求項4または請求項5または請求項6または請求項7または請求項8のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン装置において、前記設定温度を前記エリア毎に個々に設定することを特徴とする。
請求項13記載のウェーハレベルバーンイン方法は、請求項10または請求項11または請求項12のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン方法において、前記選択した冷却制御に用いる温度は、前記各エリアの測定温度のうちの最高温度とすることを特徴とする。
請求項17記載のウェーハレベルバーンイン方法は、請求項16に記載のウェーハレベルバーンイン方法において、前記設定温度を前記エリア毎に個々に設定することを特徴とする。
冷却温度の選択と、冷却制御タイミングをいずれの方法で行うかは、温度変化への迅速な応答が必要な場合には連続的に、冷却源の冷却温度調整器出力への応答が遅い場合や、冷却源の過敏な応答を避ける場合には一定時間間隔にというように、ウェーハレベルバーンインを行う半導体ウェーハの発熱や、ウェーハレベルバーンイン装置の構成により選択することもできる。
(実施の形態1)
実施の形態1におけるウェーハレベルバーンイン方法およびウェーハレベルバーンイン装置について、図1,図2、図3,図4を用いて説明する。
実施の形態2におけるウェーハレベルバーンイン方法およびウェーハレベルバーンイン装置について、図1、図2、図3、図5を用いて説明する。
本発明の実施の形態2では、図1、図2および図3に示す実施の形態1と同様の装置構成を用いている。
(実施の形態3)
実施の形態3におけるウェーハレベルバーンイン方法およびウェーハレベルバーンイン装置について、図1、図2、図3、図6を用いて説明する。
本発明の実施の形態3では、図1、図2および図3に示す実施の形態1と同様の装置構成を用いている。
(実施の形態4)
実施の形態4におけるウェーハレベルバーンイン方法およびウェーハレベルバーンイン装置について、図2、図7,図8を用いて説明する。
102 ウェーハ保持用トレイ
103 プローブ
104 基板
105 テスター
106 温度調整用プレート
107 冷媒流路
108 ヒータ
109 温度センサ
110 温度調整器
201 良品デバイスが集中した近傍の良品デバイス
202 不良品デバイスが集中した近傍の良品デバイス
408 ヒータ
409 温度センサ
410 温度調整器
411 切り替え制御器
412 冷媒流量制御用温度調整器
408a ヒータ
408b ヒータ
408c ヒータ
408d ヒータ
408e ヒータ
409a 温度センサ
409b 温度センサ
409c 温度センサ
409d 温度センサ
409e 温度センサ
410a 温度調整器
410b 温度調整器
410c 温度調整器
410d 温度調整器
410e 温度調整器
913 温度偏差算出装置
Claims (22)
- 複数のエリアにエリア分けされた半導体ウェーハ上の全てのデバイスに対して一括して電気的負荷及び温度的負荷を印加して不良品のスクリーニングを行うウェーハレベルバーンイン装置であって、
前記エリア毎の温度を測定する複数の温度センサと、
前記各エリアを加熱する複数のヒータと、
前記各エリアの温度があらかじめ定めた設定温度になるように前記温度センサで測定した温度に対応して前記ヒータの加熱を制御する複数の温度調整器と、
前記半導体ウェーハ全体を冷却する冷却源と、
前記冷却源の制御に用いる前記温度センサで測定した温度を選択する切り替え制御器と、
前記切り替え制御器で選択した温度に対応して前記冷却源の制御を行う冷却温度調整器と、
前記デバイスの検査を行うテスターと
を有し、複数の前記温度センサの測定温度から1つを選んで冷却制御に用いて前記半導体ウェーハ全体を冷却すると共に、前記エリア毎に加熱制御を行うことにより、前記半導体ウェーハを前記設定温度に制御してウェーハレベルのバーンインを行うことを特徴とするウェーハレベルバーンイン装置。 - 前記冷却源が冷媒を流す冷媒流路で、前記冷却温度調整器が冷媒流量を制御する冷媒流量制御用温度調整器であることを特徴とする請求項1記載のウェーハレベルバーンイン装置。
- 前記冷却源が送風機で、前記冷却温度調整器が送風流量を制御する送風流量制御用温度調整器であることを特徴とする請求項1記載のウェーハレベルバーンイン装置。
- 前記切り替え制御器が冷却制御に用いる温度を時間的に連続して選択することを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン装置。
- 前記切り替え制御器が冷却制御に用いる温度を一定の時間間隔で選択することを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン装置。
- 前記切り替え制御器が冷却制御に用いる温度を電気的負荷の強さが切り替わるタイミングで選択することを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン装置。
- 前記冷却温度調整器による前記冷却源の制御を時間的に連続して行うことを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3または請求項4または請求項5または請求項6のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン装置。
- 前記冷却温度調整器による前記冷却源の制御を一定の時間間隔で行うことを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3または請求項4または請求項5または請求項6のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン装置。
- 前記設定温度を前記エリア毎に個々に設定することを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3または請求項4または請求項5または請求項6または請求項7または請求項8のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン装置。
- 複数のエリアにエリア分けされた半導体ウェーハ上の全てのデバイスに対して一括して電気的負荷及び温度的負荷を印加して不良品のスクリーニングを行うウェーハレベルバーンイン方法であって、
前記半導体ウェーハをあらかじめ定められた設定温度に温度制御を行うに際し、
前記電気的負荷及び温度的負荷を印加する工程と、
前記エリア毎に温度を測定する工程と、
複数の前記温度センサの測定温度から1つを選択して冷却源の冷却制御を行って前記半導体ウェーハ全体を冷却する工程と、
前記エリア毎に測定した各温度に対応してエリア毎に加熱制御を行って前記各エリアを加熱する工程と
を有し、前記半導体ウェーハを設定温度に制御することを特徴とするウェーハレベルバーンイン方法。 - 前記冷却源が冷媒を流す冷媒流路で、冷媒流量を制御することで前記半導体ウェーハ全体を冷却することを特徴とする請求項10記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記冷却源が送風機で、送風流量を制御することで前記半導体ウェーハ全体を冷却することを特徴とする請求項10記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記選択した冷却制御に用いる温度は、前記各エリアの測定温度のうちの最高温度とすることを特徴とする請求項10または請求項11または請求項12のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記選択した冷却制御に用いる温度は、前記各エリアの測定温度のうちの中央値が1つであればその温度を選択し、中央値が2つであればその2つの温度のうち高い方の温度を選択することを特徴とする請求項10または請求項11または請求項12のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記選択した冷却制御に用いる温度は、前記各エリアの測定温度の平均値に最も近い値を選択することを特徴とする請求項10または請求項11または請求項12のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記選択した冷却制御に用いる温度は、前記各エリアの設定温度から測定温度を引いた温度偏差の最大値を選択し、前記冷却源の出力は前記温度偏差の値が0或いは0近傍になるように制御を行うことを特徴とする請求項10または請求項11または請求項12のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記設定温度を前記エリア毎に個々に設定することを特徴とする請求項16に記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記冷却制御に用いる温度を時間的に連続して選択することを特徴とする請求項10または請求項11または請求項12または請求項13または請求項14または請求項15または請求項16または請求項17のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記冷却制御に用いる温度を一定時間間隔で選択することを特徴とする請求項10または請求項11または請求項12または請求項13または請求項14または請求項15または請求項16または請求項17のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記冷却制御に用いる温度を電気的負荷の強さが切り替わるタイミングで選択することを特徴とする請求項10または請求項11または請求項12または請求項13または請求項14または請求項15または請求項16または請求項17のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記冷却源の制御を時間的に連続して行うことを特徴とする請求項10または請求項11または請求項12または請求項13または請求項14または請求項15または請求項16または請求項17または請求項18または請求項19または請求項20のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン方法。
- 前記冷却源の制御を時間的に一定の時間間隔で行うことを特徴とする請求項10または請求項11または請求項12または請求項13または請求項14または請求項15または請求項16または請求項17または請求項18または請求項19または請求項20のいずれかに記載のウェーハレベルバーンイン方法。
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