JP2007048279A - ディスプレイにデジタイザ入力装置を統合するプロセス - Google Patents

ディスプレイにデジタイザ入力装置を統合するプロセス Download PDF

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Abstract

【課題】 フラットパネルディスプレイにデジタイザセンサアレイを統合する改善されたプロセスを提供する。
【解決手段】 ディスプレイモジュールに対応するユーザー入力のためのデジタイザを形成するプロセスであって、第1基板と、前記第1基板から距離を隔てた第2基板を含む表示素子を有し、且つ、前記表示素子が支持されるその間に空間を規定するディスプレイモジュールを提供するステップ、および前記第1基板と前記第2基板によって定義された空間で、且つ、前記表示素子と、前記第1基板と前記第2基板の1つの間にデジタイザを提供するステップを含むプロセス。
【選択図】 図3

Description

本発明は、フラットパネルディスプレイに関し、特に、フラットパネルディスプレイに用いる二次元位置検出のデジタイザ入力装置に関し、更に特に、フラットパネルディスプレイにデジタイザ入力装置を統合するプロセスに関するものである。
例えばLCDとOLEDなどのフラットパネルディスプレイは、画像の表示に普遍的に用いられてきている。LCDの1つのタイプは、二次元の位置を検出するユーザー入力装置(すなわち、デジタイザ)が提供され、例えば、ユーザーが表示画像と互いに連動(例えば、アイコンの選択)する、手書き文字認識、製図、カーソル制御などのユーザー入力をさせることができる。このタイプのLCDは、しばしば“タッチパネル”LCDと称される。デジタイザの操作は、例えば、抵抗センサ、静電センサ、赤外線センサ、音波センサと、感圧センサ、電磁センサなどのセンサ構造に基づくことができる。
電磁タッチパネルの基本の操作原理は、磁気誘導である。磁気誘導入力のための3つの構成要素があり、2次元センサアレイ、電磁ペンと、センサアレイと電磁ペンを動作可能に接続されたコントローラを含む。電磁ペンは、信号の送受信機として機能し、センサアレイは、信号の受信機として機能し、コントローラは、ペンがもたらす磁束の変化によって引き起こされたセンサアレイの磁気誘導を受けて、電流の変化を検出することでセンサアレイ上のペンの二次元座標を判定する。よって、ペンがセンサアレイ上で動かされた時、表示面に対応するペンの二次元座標(すなわち、X−Y座標)は、コントローラによって判定されることができる。電磁デジタイザは、その他のタイプのセンサ構造に比べ、ペンの比較的正確な位置検出を提供する。
上述の電磁デジタイザは、表示モジュールと分離したデジタイザモジュールを組み立てることによって容易にフラットパネルディスプレイに実装されることができる。図1は、重なって組み立てられたフラットパネルディスプレイモジュール502(例えば、LCDモジュール)と、分かれた電磁デジタイザボード504を有する従来のフラットパネルディスプレイ500の概略図である。例えば、デジタイザボード504は、ディスプレイモジュール502の1つの平面に付着される。コントローラ508は、デジタイザボード504と相補型電磁ペン506に動作可能に接続される。デジタイザボード504は、従来のプリント回路技術によって製造されたセンサアレイを含む。プリント回路技術は、半導体回路の製造技術に比べ、比較的大きな物理サイズと低解像度を有する。センサアレイは、およそ数マイクロメータの線幅を含む半導体製造技術に比べ、およそ数百マイクロメータの線幅の金属導線を含む。必要な感度を達成するために、センサアレイの物理サイズが大きくなる傾向がある。また、従来の電磁デジタイザボード504は、ディスプレイモジュール502に付着される分離式の部品であり、全体のフラットパネルディスプレイ500の厚さと重さを増加させる。
特許文献1(出願は通常、本発明の出願人に譲渡される)は、フラットパネルディスプレイにデジタイザ入力装置を統合し、フラットパネルディスプレイの全体的な厚さと重さを減少することを開示している。ここに同時出願された(代理人整理番号1131/215)同時係属の特許文献2は、フラットパネルディスプレイ装置に統合されることができる小型化されたデジタイザセンサアレイを開示している。
よって、フラットパネルディスプレイにデジタイザのセンサアレイを統合する改善されたプロセスを提供することが望ましい。
米国特許第20060146033Al号 米国特許第11/490、834
本発明は、フラットパネルディスプレイにデジタイザセンサアレイを統合する改善されたプロセスを提供する。
本発明の一形態において、センサアレイは、単層、または多層として形成され、従来技術のディスプレイモジュールの外側に付着されるのとは反対に、半導体製造プロセスを用いてディスプレイモジュールの異なる層の中に統合される。センサアレイは、ディスプレイモジュールの画素制御スイッチ(例えば、薄膜トランジスタ)がある表示素子(例えば、液晶層、またはOLED層)側に、または画素制御スイッチがない表示素子のもう一つ側に形成されることがでる。例えば、センサアレイは、(a)画素制御スイッチ(例えば、データラインと平坦層の間に形成される)の平坦層(または接続孔形成層)を形成する前、(b)画素制御スイッチ(例えば、ITOパターニングの後に形成される)の平坦層を形成した後、(c)画素制御スイッチ(例えば、基板の上に電極を形成する前、または後に基板の上に形成される)を形成する前、及び/または(d)例えばLCDモジュールの場合の表示素子上のカラーフィルター層の上側、または下側、または例えばOLEDディスプレイモジュールの場合の封止層の上側、または下側に形成されることができる。
本発明のディスプレイにデジタイザ入力装置を統合するプロセスによれば、センサアレイがディスプレイ装置のディスプレイモジュール(例えば、LCD装置のLCDモジュール、またはOLED装置のOLEDモジュール)の中に統合するための特に適した新しいセンサーセグメント構造を含むことができる。
本発明についての目的、特徴、長所が一層明確に理解されるよう、以下に実施形態を例示し、図面を参照にしながら、詳細に説明する。
限定でなく例示の目的のために、本発明は、ディスプレイモジュールとして機能するLCDモジュールとOLEDモジュールをそれぞれ有し、且つ、制御されて画像を表示できる表示素子として機能するLCD素子とOLED素子にそれぞれ依存するフラットパネルLCDとOLEDディスプレイ装置について説明される。また、本発明は電磁デジタイザについて説明される。下記の実施例より明らかなように、本発明は、その他のタイプのデジタイザを形成するのに適し、その他のタイプ、フラットパネルまたは別のディスプレイ装置に組み込まれることができ、例えば、陰極線管(CRT)素子、OLED素子、電界放出ディスプレイ(FED)素子、プラズマ発光素子、蛍光発光素子、化学発光素子(chemiluminescent light emitting elements)と、その他のタイプの発光素子などのその他のタイプの表示素子を含むディスプレイモジュールを有する。ここで挙げるフラットパネルディスプレイは、剛性、半剛性と、可撓性の基板および/またはパネルを有するディスプレイを含む。
図2は、本発明の1つの実施例に基づいた、LCDモジュール12と、LCDモジュール12に光学的に接続されたバックライトモジュール14を含むフラットパネル型ディスプレイ装置を表している。LCDモジュール12は、2つの基板20と22の間に配置され、制御されて透過光を調整および/またはフィルターし、画素化した画像素子に基づいて合成像を表示することができる液晶層16を含む。構造を簡素化し、本発明の概念を明白にするために、追加の部品は、図2より省略される。例えば、典型的なLCDモジュール12内の層は、電極層、画素制御スイッチ(例えば、薄膜トランジスタアレイ)、遮光層、液晶配向層、カラーフィルター層と、LCDモジュール12内の反射層(これらの層のいくつかは図3に表される)などの層がある。例えば、拡散層、増光層と、保護層のその他の層は、簡素化のために省かれており、当技術分野で周知であるため、ここでは述べない。バックライトモジュール14は、モジュールの側辺、または平面側に位置された光源(未表示)を含む。LCDモジュール10の操作では、バックライトモジュール14からの光は、液晶層16によって調整、制御および/またはフィルターされ、画像データに基づいて画像を表示する。コントローラ26は、LCDモジュール10の操作を制御する(すなわち、電極とドライバ(未表示)によって液晶層16を効果的に制御する)。コントローラ26は、ディスプレイ装置10の一部、および/またはディスプレイ装置10が動作可能に付着されたコンピュータ装置の一部であることができる。
本発明の1つの実施例に基づいて本発明の新しいセンサーセグメントの構造を有する電磁デジタイザ18は、液晶層16と基板20の間に配置され、コントローラ26に動作可能に接続される。また、デジタイザ18は、LCDモジュール12内のその他の位置に配置されることができ、例えば、液晶層16と基板22の間、またはLCDモジュール12の基板20と22の間のその他の中間層の位置に配置されることができる(図3を参照)。本発明のデジタイザ18は、デジタイザパネルがディスプレイモジュールの外側(例えば、図1に示すLCDモジュールの基板の外側)の分離した部品として提供される従来のディスプレイ装置に相対して、ディスプレイ装置10のLCDモジュール層の中に統合される。よって、ディスプレイ装置10の全体的なサイズが減少される。
電磁デジタイザ18の操作を行うために、スタイラス24(例えば、ペンの形状)が提供される。スタイラス24は、ワイヤ無し、またはワイヤありでコントローラ26に動作可能に接続される。スタイラス24は、1つまたは1つ以上のボタンスイッチを含むことができ、ユーザーに押された時、特定のモードまたは機能(例えば、手書き認識モード、ポイントとクリックモードなど)を選ぶように用いられることができる。スタイラスは、磁性素子を含み、永久磁石、または伝導磁石であることができる。スタイラスが基板20を横切った時、その相対位置座標は、電磁デジタイザ内のセンサーセグメントによって検出された磁束の変化に基づいて、コントローラ26によって判定されることができる。電磁デジタイザの基本操作の原理は、当技術分野で周知であるため、ここでは述べない。
コントローラ26は、デジタイザとスタイラスを含むディスプレイモジュール12の操作を制御し、同期させる。画像は、ディスプレイモジュール12で表示されるように制御され、表示された画像と相互に作用するスタイラスを用いるユーザー入力を必要とする可能性がある(例えば、ディスプレイモジュールの上を軽くたたくことで選択をする、スタイラスをディスプレイモジュールの上で動かすことで絵を描く、または手書き入力をする)。
参照は、米国特許出願番号11/490、835(代理人整理番号1131/216)に同時に出願がなされ、例えば、LCDモジュールなどのディスプレイモジュール内の統合と、その制御に特に適するセンサーセグメントの異なる構造とデジタイザ18のセンサアレイを更に開示するために、一般的に、本発明の出願人に譲渡される。また、参照はまた、米国特許第20060146033Al号(出願は通常、本発明の出願人に譲渡される)に出願がなされ、フラットパネルディスプレイにデジタイザ入力装置を統合することを開示している。これらの出願は、ここに全て記載のように、参照することにより全て構成されている。
本発明の一形態において、センサアレイは、単層、または多層として形成され、従来技術のディスプレイモジュールの外側に付着されるのとは反対に、半導体製造プロセスを用いてディスプレイモジュールの異なる層の中に統合される。センサアレイは、ディスプレイモジュールの画素制御スイッチ(例えば、薄膜トランジスタ)がある表示素子(例えば、液晶層、またはOLED層)の側に、または画素制御スイッチがない表示素子のもう一つ側に形成されることができる。例えば、センサアレイは、(a)画素制御スイッチ(例えば、データラインと平坦層の間に形成される)の平坦層(または接続孔形成層)を形成する前、(b)画素制御スイッチ(例えば、ITOパターニングの後に形成される)の平坦層を形成した後、(c)画素制御スイッチ(例えば、基板の上に電極を形成する前、または後に基板の上に形成される)を形成する前、及び/または(d)例えばLCDモジュールの場合の表示素子上のカラーフィルター層の上側、または下側、または例えばOLEDディスプレイモジュールの場合の封止層の上側、または下側に形成されることができる。
図3は、LCDモジュール12の断面概略図であり、LCDモジュール12内のデジタイザ18のいくつかの可能な位置を表している(簡単でよりよい参照のために、このような可能な選択的な位置が図3に共に表されているが、それらは、LCDモジュール12内の全ての位置で同時に存在するという意味ではない。デジタイザは、18a、18b、18c、18dと、18eに選択的に位置されることができる)。図3に示される実施例では、LCDモジュール12は、ガラスからなることができる基板20と22を含む。基板20と22の間に配置されるのは、液晶層16、電極28と29に近い電極28と29(液晶層16に電圧バイアスを提供するのに用いられ、透過光を調整および/またはフィルターし、画素化した画像素子に基づいて重ね合わせ像を表示する)、上基板20の下側のカラーフィルター30と、液晶層16と下基板22の間のTFTアレイ32と、下基板22である。平坦化層34(または接触孔形成層)は、TFTアレイ32と液晶層16の間に提供され、接触孔36のビアが平坦化層34を通過して形成され、且つ、これによって電極29とTFTアレイ32の間に電気的接続が形成される。TFTアレイ32の詳細は、本発明の理解に必要でなく、従来のフラットパネルディスプレイモジュールに見られる、どの従来のTFTアレイの構造も本発明に用いられることができることから省略される。TFTアレイ32は、TFT(チャネルと、対応するゲート、ソースと、ドレインをそれぞれ有する)のアレイと補助の蓄積コンデンサを含み、各TFTは、直交のデータラインとスキャンラインのアレイの節点に規定される。TFTのゲートは、データラインに動作可能に接続され、ソース/ドレインは、スキャンラインに動作可能に接続される。この観点から考えると、LCDモジュール12の出力面は、上基板20である。
デジタイザ18のセンサアレイの詳細は、簡単にするために図3より省かれる。デジタイザ18は、1対のセンサアレイ(例えば、アレイのセンサーセグメントを有するXアレイとYアレイが互いに直交している)を含むが、センサアレイは、まとめてデジタイザ18と表される。図3では、デジタイザ18の5つの可能な位置は、LCDモジュール12内に表示される。3つの位置18a、18bと、18cは、液晶層16の1つ側、TFTアレイ32が存在する側に存在する。その他の2つの位置18dと18eは、カラーフィルター30に隣接する。
TFTアレイ32は、アモルファスシリコン(a−Si)型、または低温ポリシリコン(LTPS)型のTFTを含むことができる。2つのタイプのTFTを形成するプロセスは、一定の共通のステップを含むが、LTPS TFTは、LTPS TFT特有の追加のステップを必要とする。図4は、LTPS TFTを形成するプロセスを表している流れ図であり、図6は、a−Si TFTを形成するプロセスを表している流れ図である。これらのプロセスのステップの詳細は、例えば、マスキング、露光、ドーピング、堆積、エッチングなどの従来の半導体プロセスで周知のパターニングとフォトリソグラフィーのステップを含み、望みのパターンと導電特性(デジタイザセンサアレイを含む)を有する構造を形成することができることから省かれる。
図4に示すように、TFTアレイ32がLTPS TFTのアレイの場合、その形成プロセスは、通常、ドープされたpoly−Siのチャネル領域、ゲートと、ソース領域と、ドレイン領域(例えば、N+及び/またはP+領域)を形成するステップ含む。データラインは、パターン化されて誘電体層38の接触孔によってTFTのゲートに接続される。前述の構造は、透明電極層(図3の29;ITO層)のパターン化をする前に平坦化層(図3の34)で覆われる。ここで言及されていない、LCDモジュール12を完成するのに必要な追加の中間のステップがあるが、本発明を理解するために必要ではないため、省かれる。
図5Aを参照すると、デジタイザ18aを形成するには、デジタイザ18a内のセンサアレイは、データラインと平坦化層34の形成のステップの間にパターン化される。例えば、図に示すように、デジタイザ18aは、データライン上の誘電体層38の上に形成される。続いて、その他の必要なステップを行い、LCDモジュール12を完成する。図5Bを参照下さい。デジタイザ18bを形成するには、デジタイザ18b内のセンサアレイは、透明電極29と液晶層16の形成のステップの間にパターン化される。誘電体層(未表示)は、デジタイザ18bを形成する前に透明電極29の上に提供され、続いて、液晶層16とその他のLCDモジュール12の構造の形成をすることができる。また、図5Cを参照下さい。デジタイザ18cは、TFTアレイを形成する前に、下基板2の上に形成される。デジタイザ18cのセンサアレイは、バッファ層を含む、または含まない基板の上にパターン化されることができる。続いて、LTPS TFTアレイと、その他のLCDモジュール12を形成するステップを行う。
注意するのは、本発明の精神及び範囲を逸脱しない限りにおいては、類似の製造ステップがアクティブマトリクスLCD(AMLCD)に用いられることができ、例えばPMOS TFTアレイの画素制御スイッチを含む。LCDモジュール12は、透過、半透過、微反射と、反射型LCDモジュールに対応する、表示されていない構造と、表示されていない必要なステップを含むことができる。
図6に示すように、TFTアレイ32がa−Si TFTのアレイの場合、透明電極層(図3の29;ITO層)のパターン化をする前に、その形成プロセスは、通常、ゲートの形成、a−Siのチャネル領域のパターン化、データラインのパターン化と、誘電体層38(平坦化層を含むことができる)の接触孔の形成のステップを含む。ここで言及されていない、LCDモジュール12を完成するのに必要な追加の中間のステップがあるが、本発明を理解するために必要ではないため、省かれる。
a−Si TFTアレイを含むLCDディスプレイモジュールのデジタイザの形成は、LCDモジュールに基づいたLTPSTFTアレイの従来の実施例に類似する。図7Aを参照下さい。デジタイザをデジタイザ18cに類似の位置に形成するには、a−Si TFTアレイを形成する前に、デジタイザのセンサアレイが下基板22の上に形成される。デジタイザ18cのセンサアレイは、バッファ層を含む、または含まない下基板22の上にパターン化されることができる。続いて、a−Si TFTアレイを形成するステップを行う。また、図7Bを参照下さい。デジタイザをデジタイザ18aに類似の位置に形成するには、デジタイザ内のセンサアレイがデータラインと接触孔の形成のステップの間にパターン化される。図7Cを参照下さい。デジタイザをデジタイザ18bに類似の位置に形成するには、デジタイザ内のセンサアレイが透明ITO電極29と液晶層16の形成のステップの間にパターン化される。誘電体層(未表示)は、デジタイザ18bを形成する前に透明電極29の上に提供されることができる。
図8Aと8Bを参照すると、パッシブマトリクスLCD(PMLCD、未表示)では、デジタイザを統合するいくつかの可能な配列がある。図8Aを参照下さい。上述の5Cと7Aのプロセスと同様に、デジタイザ18cのセンサアレイは、LC層の電極を形成する前に、バッファ層を含む、または含まない下基板22の上に形成されることができる。図8Bを参照下さい。デジタイザのセンサアレイは、透明電極(例えば、パターン化したITO)を形成した後、形成されることができる。図8Bに示すように、透明電極の形成の後、誘電体層が堆積され、続いてデジタイザのセンサアレイを形成する。図8Aと8Bに示すステップをそれぞれ完成した後、例えば、液晶層、上電極、カラーフィルター30と、上基板20の形成などの従来のステップが用いられ、PMLCDディスプレイが完成する。仮にデジタイザを上基板20の近くの液晶層のサイドに配置したい場合、上基板20は、図8Aと8Bに示すようなデジタイザのセンサアレイと透明電極を形成する順序に対して、類似のプロセスを含むことができる。よって、図8Aと8Bに示すプロセスは、デジタイザが必要とされる所に応じて上基板と下基板の両方の形成に用いられることができる。
本発明のもう1つの実施例に基づいて、デジタイザがカラーフィルター30の中に統合されることができる。図9は、図3に示すカラーフィルター30を形成するプロセスの流れ図を表している。図9に示すように、このようなカラーフィルター30を形成するプロセスは、通常、基板のクリーニング、フォトレジストのスピンコーティング、プレベーク(pre−baking)、フォトレジストの露光と現像、現像されたフォトレジストのポストベーク、バッファまたは誘電体層の保護膜の形成、液晶層16の上共通電極28を形成するITOスパッタリングのステップを含む。上述のステップは、カラーフィルター層30(例えば、赤色、緑色と、青色)で必要とされる全ての色の形成を含む。TFTアレイ32、液晶層16と、ディスプレイモジュールのその他の構成部品(本発明のデジタイザを除く)を形成するその他のステップは、周知の技術であるため、ここでは述べられない。ここで言及されていない、LCDモジュール12を完成するのに必要な追加の中間のステップがあるが、本発明を理解するために必要ではないため、省かれる。
図10Aを参照すると、図3のデジタイザ18dを形成するには、デジタイザ18dの中のセンサアレイは、保護膜とITO電極28のスパッタリングの形成のステップの間にパターン化される。また、図10Bを参照下さい。電極28は、デジタイザとカラーフィルター30(図3には未表示)の間に形成されることができる。この場合、デジタイザを上基板28の下側に形成するために、デジタイザ内のセンサアレイは、透明電極28を上基板20の上に形成した後に形成される。また、図10Cを参照下さい。デジタイザ18eは、カラーフィルター32を形成する前に、バッファ層を含む、または含まない上基板20の上に形成される。カラーフィルター30、上電極28と、デジタイザ18で形成された上基板20は、TFTアレイ32(LTPS TFTまたはa−Si TFTであることができる)を支える下基板22に組み立てられ、液晶層を提供して図3に示す液晶モジュール構造を完成する。続いて、その他の必要なステップを行い、LCDモジュール12を完成する。
注意するのは、本発明の精神及び範囲を逸脱しない限りにおいては、カラーフィルターの中に統合されたデジタイザの前述の実施例をPMLCDに用いることができる。
図11は、OLEDモジュール112(OLEDを表示素子とする)の断面概略図であり、この実施例では、アクティブマトリクスOLED(AMOLED)モジュールであり、OLEDモジュール112内のデジタイザ18のいくつかの可能な位置を表している(簡単でよりよい参照のために、このような可能な選択的な位置が図11に共に表されているが、それらは、OLEDモジュール112内の全ての位置で同時に存在するという意味ではない。デジタイザは、18f、18gと、18hに選択的に位置されることができる)。図11に示される実施例では、OLEDモジュール112は、ガラスからなることができる基板120と122を含む。基板120と122の間に配置されるのは、OLED層116(通常、電子輸送層117、発光層118と、ホール輸送層119を含む複数の副層を含む)、OLED層116の電極128(陰極)と129(陽極)(電位を提供し、OLED層116を駆動して発光するために用いられる)、上基板20の下側の封止層130(例えば、全構造のガラス製のカバー)と、液晶層16と下基板122の間のTFTアレイ32である。平坦化層134は、TFTアレイ132と液晶層116の間に提供され、接触孔136のビアが平坦化層34を通過して形成され、且つ、これによって電極129とTFTアレイ132の間に電気的接続が形成される。
この実施例のデジタイザ18は、前述の実施例に類似している。図11では、デジタイザ18の3つの可能な位置がOLEDモジュール112の中に表されている。2つの位置18fと18gは、TFTアレイ132が存在する側のOLED層116の1つ側に存在する。もう1つの位置18hは、封緘層130に隣接する。
TFTアレイ132は、LCDモジュール12に関連して挙げられたTFTアレイ32に類似のLTPS TFT及び/またはa−Si TFTを含むことができる。デジタイザ18fと18gを形成するプロセスは、図5Aと5Cに関連した上述のデジタイザ18aと18cのプロセスに類似することができる。
図12に示すように、AMOLEDモジュール(デジタイザを含まない)を形成するプロセスは、通常、基板122をクリーニングするステップ、OLEDの陽極129を形成するステップ、絶縁層(ホール輸送層)を形成するステップ、OLED層116の有機層を形成するステップ、陰極128を形成するステップ、封止層130を形成するステップを含む。ここで言及されていない、OLEDモジュール112を完成するのに必要な追加のステップがあるが、本発明を理解するために必要ではないため、省かれる。
図13を参照すると、デジタイザ18hを形成するには、デジタイザ18h内のセンサアレイは、陰極128と封止層130を形成するステップの間にパターン化される。誘電体層は、陰極128とデジタイザ18hの間に配置される。続いて、その他の必要なステップを行い、OLEDモジュール112を完成する。
図14に示すように、パッシブマトリクスOLED(PMOLED)モジュール(図11に示されてなく、デジタイザを含まない)を形成するプロセスは、通常、基板122をクリーニングするステップ、OLEDの陽極を形成するステップ、絶縁層(ホール輸送層)を形成するステップ、陰極セパレータを形成するステップ、OLED層の有機層を形成するステップ、陰極を形成するステップ、封止層130を形成するステップを含む。ここで言及されていない、OLEDモジュール112を完成するのに必要な追加のステップがあるが、本発明を理解するために必要ではないため、省かれる。
図15を参照すると、デジタイザを形成するには、デジタイザ内のセンサアレイは、上述の図13に関連したプロセスに類似した陰極と封止層の形成のステップの間にパターン化される。続いて、その他の必要なステップを行い、OLEDモジュール112を完成する。
図16は、電子装置100の実施例を表しており、画像を表示するディスプレイシステム102と、ディスプレイシステム102に画像を提供し、画像データに基づいて画像を表示するようにディスプレイシステム102に指示する入力/出力(I/O)コントローラ103を含む。ディスプレイシステム102は、本発明に基づいたディスプレイ装置10(例えば、LCD装置、またはOLEDディスプレイ装置)と、画像データとユーザー入力データ(デジタイザ18からの)をI/Oコントローラ103と交換するインターフェースコントローラ106を含む。ディスプレイ装置は、統合された本発明の電子デジタイザ18とコントローラ26(例えば、ドライバ)を有するディスプレイモジュール(例えば、LCDモジュール12、またはOLEDモジュール112)を含む。電子装置100は、ラップトップ型コンピュータ、携帯電話、デジタルカメラ、PDA、デスクトップ型コンピュータ、TV、カーディスプレイ、または、ポータブルDVDプレーヤーを含むことができる。
以上、本発明の好適な実施例を例示したが、これは本発明を限定するものではなく、本発明の精神及び範囲を逸脱しない限りにおいては、当業者であれば行い得る少々の変更や修飾を付加することは可能である。従って、本発明が保護を請求する範囲は、特許請求の範囲を基準とする。
従来のフラットパネルディスプレイの概略図である。 本発明の1つの実施例に基づいた本発明の電磁デジタイザを内蔵したディスプレイモジュールを含むディスプレイ装置の概略図である。 本発明の1つの実施例に基づいたLCDモジュールの断面概略図である。 本発明のもう1つの実施例に基づいたLCDモジュールの基板上のLTPS TFTアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたLTPS TFTアレイの形成に関連したデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたLTPS TFTアレイの形成に関連したデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたLTPS TFTアレイの形成に関連したデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたLCDモジュールの基板上のa−Si TFTアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたa−Si TFTアレイの形成に関連したデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたa−Si TFTアレイの形成に関連したデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたa−Si TFTアレイの形成に関連したデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたLCDモジュールの基板に近い、ほぼ前、または後電極のデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたLCDモジュールの基板に近い、ほぼ前、または後電極のデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたLCDモジュールの基板上のカラーフィルターの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたカラーディスプレイの形成に関連したデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたOLEDモジュールの断面概略図である。 本発明の1つの実施例に基づいたOLEDモジュールの基板上のAMOLEDアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたOLEDアレイの形成に関連したデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたOLEDモジュールの基板上のPMOLEDアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたPMOLEDアレイの形成に関連したデジタイザセンサアレイの形成を表す流れ図である。 本発明の1つの実施例に基づいたディスプレイ装置を組み込んだ電子装置の略図である。
符号の説明
500 フラットパネルディスプレイ
502 ディスプレイモジュール
504 デジタイザボード
506 電磁ペン
508 コントローラ
10 ディスプレイ装置
12 LCDモジュール
14 バックライトモジュール
16 液晶層
18 電磁デジタイザ
20 基板
22 基板
120 基板
122 基板
24 スタイラス
26 コントローラ
28 共通電極
29 透明電極
30 カラーフィルター
32 TFTアレイ
34 平坦化層
36 接触孔
38 誘電体層
112 OLEDモジュール
116 OLED構造
117 電子輸送層
118 発光層
119 ホール輸送層
128 陰極
129 陽極
130 封止層
100 電子装置
102 ディスプレイシステム
103 I/Oコントローラ
106 インターフェースコントローラ

Claims (20)

  1. ディスプレイモジュールに対応するユーザー入力のためのデジタイザを形成するプロセスであって、
    第1基板と、前記第1基板から距離を隔てた第2基板を含む表示素子を有し、且つ、その間に前記表示素子が支持される空間を規定するディスプレイモジュールを提供するステップ、および
    前記第1基板と前記第2基板によって規定された空間で、且つ、前記表示素子と、前記第1基板と前記第2基板の1つの間にデジタイザを提供するステップを含むプロセス。
  2. 前記デジタイザは、電磁デジタイザを含む請求項1に記載のプロセス。
  3. 前記デジタイザは、半導体プロセスを用いて形成されたセンサアレイを含む請求項1に記載のプロセス。
  4. 前記半導体プロセスは、フォトリソグラフィープロセスを含む請求項3に記載のプロセス。
  5. 前記第1基板に画素制御スイッチのアレイを形成するステップを更に含み、前記デジタイザは、前記画素制御スイッチのアレイと、(a)前記画素素子と(b)前記第1基板の1つの間に形成される請求項1に記載のプロセス。
  6. 前記画素制御スイッチのアレイと前記表示素子の間に平坦化層を配置するステップを更に含み、前記デジタイザは、前記平坦化層と、(a)前記画素素子と(b)前記画素制御スイッチのアレイの少なくとも1つの間に形成される請求項5に記載のプロセス。
  7. 前記画素制御スイッチのアレイは、薄膜トランジスタのアレイを含む請求項5に記載のプロセス。
  8. 前記TFTは、LTPS TFT型とa−Si TFT型の少なくとも1つを含む請求項7に記載のプロセス。
  9. 前記第1基板に画素制御スイッチのアレイを形成するステップを更に含み、前記デジタイザは、前記表示素子と前記第2基板の間に形成される請求項1に記載のプロセス。
  10. 前記第2基板と前記表示素子の間にカラーフィルター層を形成するステップを更に含み、前記デジタイザは、前記カラーフィルター層と、(a)前記画素素子と(b)前記第2基板の少なくとも1つの間に形成される請求項9に記載のプロセス。
  11. 前記表示素子は、液晶ディスプレイ素子を含む請求項10に記載のプロセス。
  12. 前記第2基板と前記表示素子の間に封止層を形成するステップを更に含み、前記デジタイザは、前記封緘層と、(a)前記画素素子と(b)前記第2基板の少なくとも1つの間に形成される請求項9に記載のプロセス。
  13. 前記表示素子は、OLED表示素子を含む請求項12に記載のプロセス。
  14. 請求項1に記載のプロセスに基づいて形成されたデジタイザを含むディスプレイモジュールを提供するステップ、および
    前記デジタイザを含む前記ディスプレイモジュールに動作可能に接続され、前記表示素子と前記デジタイザの操作を同期するコントローラを提供するステップを含むディスプレイ装置を形成するプロセス。
  15. 請求項14に記載のプロセスに基づいて形成されたディスプレイ装置を提供するステップ、および
    前記ディスプレイ装置に接続され、電子装置のコントローラによって前記デジタイザからの画像データとユーザー入力データを変換するインターフェースコントローラを提供するステップを含む表示システムを形成するプロセス。
  16. 請求項15に記載のプロセスに基づいて形成されたディスプレイシステムを提供するステップ、および
    前記ディスプレイシステムのインターフェースコントローラに動作可能に接続され、前記電磁デジタイザからの画像データとユーザー入力データを変換するコントローラを提供するステップを含む電子装置を形成するプロセス。
  17. 表示素子を有するディスプレイモジュールにデジタイザを統合するプロセスであって、
    第1基板を提供するステップ、
    前記第1基板から距離を隔てた第2基板を配置し、且つ、前記表示素子が支持されるその間に空間を規定するステップ、および
    前記第1基板と前記第2基板によって定義された空間で、且つ、前記表示素子と、前記第1基板と前記第2基板の1つの間にデジタイザを提供するステップを含むプロセス。
  18. 第1基板、
    前記第1基板から距離を隔てて位置された第2基板を含む表示素子を有し、且つ、その間に前記表示素子が支持される空間を規定するディスプレイモジュールを提供するステップ、および
    前記第1基板と前記第2基板によって規定された空間で、且つ、前記表示素子と、前記第1基板と前記第2基板の1つの間にデジタイザを提供するステップを含む電子装置にユーザー入力を提供する方法。
  19. 前記デジタイザは、電磁デジタイザを含む請求項18に記載の方法。
  20. 前記デジタイザの操作は、ディスプレイモジュールによって表示された画像に同期され、ユーザーが表示された画像に応じて、デジタイザを用いて入力することができる請求項19に記載の方法。

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