JP2007047109A - 故障解析システム、故障解析情報処理装置及び故障解析方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 故障解析装置が処理可能なテストデータのフォーマットに依存しない、且つ故障解析に使用する情報ファイル数を抑制可能な故障解析システム、故障解析情報処理装置及び故障解析方法を提供する。
【解決手段】 故障解析対象のＬＳＩの試験に適用する試験用テストデータに含まれる情報を種類毎に分類して中間データを作成するパーサ部２１１と、試験用テストデータを用いたＬＳＩの試験から得られるフェイル情報を中間データに追加するフェイル情報追加部２１２と、フェイル情報が追加された中間データに基づき、故障解析用テストデータを作成するテストデータ作成部２１３と、フェイル情報が追加された中間データに基づき、故障解析用フェイル情報を作成するフェイル情報作成部２１４とを備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体集積回路の故障解析技術に係り、特にテストデータ及びフェイル情報を用いた故障解析システム、故障解析情報処理装置及び故障解析方法に関する。

テストパターン自動生成装置（ＡＴＰＧ）及び故障解析装置は、それぞれ故障シミュレータを使用して、半導体集積回路（ＬＳＩ）の試験に適用するテストデータの生成及びＬＳＩの故障解析を行う。故障解析装置はテストデータを使用して故障解析を行うが、ＡＴＰＧ及び故障解析装置が処理するテストデータのフォーマットが互いに異なる場合は、ＡＴＰＧが生成するテストデータを故障解析装置に入力できない。例えば、ＡＴＰＧと故障解析装置が有する故障シミュレータの使用するアルゴリズムが同一でない場合は、ＡＴＰＧが生成するテストデータのフォーマットと故障解析装置が処理可能なテストデータのフォーマットが異なる。そのため、先行技術の故障解析システムでは、処理するテストデータのフォーマットが互いに同一のＡＴＰＧ及び故障解析装置を使用する必要がある。

又、先行技術では、故障解析装置に入力される故障解析用の情報として、ＡＴＰＧが生成したテストデータ毎に、テストデータ、テストデータを使用した試験により取得される故障箇所解析対象のＬＳＩのフェイル情報、及びテストデータを変換して得られるテストパターンアドレス情報等がある。そのため、故障解析を行うために、上記の情報をそれぞれ含む複数の情報ファイルが必要である（例えば、特許文献１参照。）。

一般に、ＡＴＰＧが生成するテストデータは長大なパターンである。そのため、テスタの有するメモリのサイズ等を考慮して、テストデータを例えば数百個のパターンに分割する必要がある。分割されたパターンそれぞれについて故障解析用の情報が必要である。

その結果、故障解析に使用する情報ファイル数が増大し、ファイル管理及びデータ転送等の運用が困難になるという問題があった。
特開２００５−４３１１７号公報

本発明は、故障解析装置が処理可能なテストデータのフォーマットに依存しない、且つ故障解析に使用する情報ファイル数を抑制可能な故障解析システム、故障解析情報処理装置及び故障解析方法を提供する。

本願発明の一態様によれば、（イ）故障解析対象の半導体集積回路の試験に適用する試験用テストデータを作成するテストパターン自動生成装置と、（ロ）試験用テストデータに含まれる情報を種類毎に分類して中間データを作成するパーサ部、試験用テストデータを用いた半導体集積回路の試験から得られるフェイル情報を中間データに追加するフェイル情報追加部、フェイル情報が追加された中間データに基づき故障解析用テストデータを作成するテストデータ作成部、及びフェイル情報が追加された中間データに基づき故障解析用フェイル情報を作成するフェイル情報作成部を含む故障解析情報処理装置と、（ハ）故障解析用テストデータ及び故障解析用フェイル情報を用いて半導体集積回路の故障箇所を解析する故障解析装置とを備える故障解析システムが提供される。

本願発明の他の態様によれば、（イ）故障解析対象の半導体集積回路の試験に適用する試験用テストデータに含まれる情報を種類毎に分類して中間データを作成するパーサ部と、（ロ）試験用テストデータを用いた半導体集積回路の試験から得られるフェイル情報を中間データに追加するフェイル情報追加部と、（ハ）フェイル情報が追加された中間データに基づき、故障解析用テストデータを作成するテストデータ作成部と、（ニ）フェイル情報が追加された中間データに基づき、故障解析用フェイル情報を作成するフェイル情報作成部とを備える故障解析情報処理装置が提供される。

本願発明の更に他の態様によれば、テストパターン自動生成装置、故障解析情報処理装置及び故障解析装置を備える故障解析システムを用いる故障解析方法であって、（イ）テストパターン自動生成装置が、故障解析対象の半導体集積回路の試験に適用する試験用テストデータを作成するステップと、（ロ）故障解析情報処理装置が備えるパーサ部が、試験用テストデータに含まれる情報を種類毎に分類して中間データを作成するステップと、（ハ）故障解析情報処理装置が備えるフェイル情報追加部が、試験用テストデータを用いた半導体集積回路の試験から得られるフェイル情報を中間データに追加するステップと、（ニ）フェイル情報が追加された中間データに基づき、故障解析情報処理装置が備えるテストデータ作成部及びフェイル情報作成部が、故障解析用テストデータ及び故障解析用フェイル情報をそれぞれ作成するステップと、（ホ）故障解析装置が、故障解析用テストデータ及び故障解析用フェイル情報を用いて半導体集積回路の故障箇所を解析するステップとを含む故障解析方法が提供される。

本発明によれば、故障解析装置が処理可能なテストデータのフォーマットに依存しない、且つ故障解析に使用する情報ファイル数を抑制可能な故障解析システム、故障解析情報処理装置及び故障解析方法を提供できる。

次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。又、以下に示す実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は、構成部品の構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。

本発明の実施の形態に係る故障解析システム１は、図１に示すように、故障解析対象のＬＳＩの試験に適用する試験用テストデータを作成するＡＴＰＧ１０と、試験用テストデータ及びＬＳＩのフェイル情報に基づき、故障解析用テストデータ及び故障解析用フェイル情報を作成する故障解析情報処理装置２０と、故障解析用テストデータ及び故障解析用フェイル情報を用いてＬＳＩの故障箇所を解析する故障解析装置３０とを備える。

故障解析情報処理装置２０は、故障解析対象のＬＳＩの試験に適用する試験用テストデータに含まれる情報を種類毎に分類して中間データを作成するパーサ部２１１と、試験用テストデータを用いたＬＳＩの試験から得られるフェイル情報を中間データに追加するフェイル情報追加部２１２と、フェイル情報が追加された中間データに基づき、故障解析用テストデータを作成するテストデータ作成部２１３と、フェイル情報が追加された中間データに基づき、故障解析用フェイル情報を作成するフェイル情報作成部２１４とを備える。パーサ部２１１、フェイル情報追加部２１２、テストデータ作成部２１３及びフェイル情報作成部２１４は中央演算処理装置（ＣＰＵ）２１に含まれる。

「中間データ」は、試験用テストデータに含まれるＬＳＩの試験に使用される情報を、情報の種類毎に分類して作成される。したがって、中間データと試験用テストデータは、それぞれが含む情報が等価である。又、試験用テストデータが複数のパターンに分割される場合は、分割された複数のパターン毎に中間データは作成される。

図２に中間データの例を示す。基本情報１０１は、試験用テストデータのヘッダ情報、変数情報、スペック情報、その他の試験用テストデータに共通の情報（ユーザキーワード、タイトル等）等を含む。ピン情報１０２は、信号情報（ピン名称・属性等）、ピングループ情報、及びピン名称置換テーブル等の情報を含む。タイミング情報１０３は、タイミンググループ情報（波形テーブル、テスト周期等）、タイミング定義情報（波形定義、タイミング値等）、及び波形テーブル名称置換テーブル等の情報を含む。スキャン情報１０４は、スキャンチェーン情報、スキャン端子情報等の情報を含む。実行フロー情報１０５は、パターン実行シーケンス情報、パターン実行情報、テスト種類定義情報、及びパターン名称置換テーブル等の情報を含む。パターン情報１０６は、パターン並び情報、プロシージャ定義情報、プロシージャ名称置換テーブル、コメント情報、パターンデータ、タイミングコール、プロシージャコール、ループ、及びＤＣ測定アドレス情報等の情報を含む。ＤＣ情報１０７は、ＤＣレベル、ＤＣ電源シーケンス等の情報を含む。フェイル情報１０８は、フェイル情報追加部２１２によって中間データに追加され、フェイルパターンアドレス、フェイルピン名、測定値等の情報を含む。

又、パーサ部２１１により分類された情報毎に対応情報等が付加されて、中間データが作成される。対応情報は、試験用テストデータのフォーマットに対応した、信号、タイミング、パターン、スキャン、マクロ、プロシージャ等のブロック構成及び順序方法と、そのブロックを構成するテストベクトル、テスト条件等の各ステートメント記述の構成及び順序方法等である。例えば、タイミング情報１０３に含まれるタイミング情報に記述される情報が、ピン情報１０２に含まれる信号情報に記述されるいずれのピンに適用するかという情報が、対応情報としてタイミング情報１０３に付加される。

中間データに含まれる一部の情報のみを読み出す方が、中間データ全体よりも読み出す情報量が少ないため、中間データを格納する記憶装置のアクセスに要する時間が短い。そのため、中間データに含まれる一部の情報のみを読み出し、故障解析に要する時間を削減する場合がある。例えば、中間データに含まれる複数の情報を複数の情報ファイルにそれぞれ格納し、複数の情報ファイルを含む１つのデータベースとして中間データを管理することによって、中間データに含まれる一部の情報のみをデータベースから読み出すことができる。対応情報を使用することにより、中間データに含まれる一部の情報のみを読み出して故障解析に使用できる。その結果、故障解析に要する時間を削減することができる。中間データを含むデータベースを１つの情報ファイルとして扱うことにより、ファイル管理及びデータ転送等の運用は容易である。

故障解析情報処理装置２０は、記憶装置２２、フォーマットデータベース２３、入力装置２４及び出力装置２５を更に備える。

記憶装置２２は、テストデータ領域２２１、中間データ領域２２２、フェイルログ領域２２３、フェイル情報領域２２４、故障解析用テストデータ領域２２５、及び故障解析用フェイル情報領域２２６を備える。

テストデータ領域２２１は、ＡＴＰＧ１０が作成する試験用テストデータを含む情報ファイルＴＤを格納する。中間データ領域２２２は中間データを格納する。フェイルログ領域２２３は、故障解析対象のＬＳＩの試験結果であるフェイルログを含む情報ファイルＦＬを格納する。フェイル情報領域２２４は、中間データに追加されるフェイル情報を含む情報ファイルＦＩを格納する。故障解析用テストデータ領域２２５は、テストデータ作成部２１３が作成する故障解析用テストデータを含む情報ファイルＡＴＤを格納する。故障解析用フェイル情報領域２２６は、フェイル情報作成部２１４が作成する故障解析用フェイル情報を含む情報ファイルＡＦＤを格納する。

フォーマットデータベース２３は、各種試験用テストデータそれぞれのフォーマットに対応した、信号、タイミング、パターン、スキャン、マクロ、プロシージャ等のブロック構成及びブロックの順序情報と、そのブロックを構成するテストベクトル、テスト条件等の各ステートメント記述の構成及び順序情報との対応情報を格納する。試験用テストデータのフォーマットはＡＴＰＧ１０が有する解析シミュレータの仕様等に依存するため、様々なフォーマットの試験用テストデータが存在する。フォーマットデータベース２３は、各種フォーマットについて上記の情報を格納する。

入力装置２４はキーボード、マウス、ライトペン又はフレキシブルディスク装置等で構成される。入力装置２４より操作者は、故障解析用テストデータのフォーマット等を指定できる。又、入力装置２４より故障解析処理の実行や中止等の指示の入力も可能である。出力装置２５としては、作成された故障解析用テストデータや故障解析用フェイル情報を表示するディスプレイやプリンタ、或いはコンピュータ読み取り可能な記録媒体に保存する記録装置等が使用可能である。ここで、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、例えばコンピュータの外部メモリ装置、半導体メモリ、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク等の電子データを記録することができるような媒体などを意味する。具体的には、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯディスク等が「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」に含まれる。

図１に示した故障解析システム１によって、ＬＳＩの故障解析を行う方法の例を、図３に示すフローチャートを用いて説明する。

（イ）図３のステップＳ１１において、図１に示すＡＴＰＧ１０が故障解析対象のＬＳＩの試験用テストデータを作成する。試験用テストデータは、ＬＳＩの接続情報や特性情報等に基づき作成される。図４に、試験用テストデータの例を示す。図４に示した試験用テストデータのフォーマットは、米国電子通信技術者協会（ＩＥＥＥ）で標準化されたスタンダード・テスト・インタフェース言語（ＳＴＩＬ）である。図４は、試験用テストデータのフォーマットの例を示すために試験用テストデータの一部を示しており、詳細なタイミング記述、パターン記述等は省略されている。以下では、試験用テストデータのフォーマットがＳＴＩＬの場合を例示的に説明する。試験用テストデータを含む情報ファイルＴＤが、ＡＴＰＧ１０からテスタ２及び故障解析情報処理装置２０に転送される。

（ロ）ステップＳ１２において、テスタ２が試験用テストデータとテストプログラムを使用して故障解析対象のＬＳＩの試験を行う。ＬＳＩが不良品である場合には、フェイル情報を含むフェイルログがテスタ２により作成される。フェイルログを含む情報ファイルＦＬがテスタ２から故障解析情報処理装置２０に転送される。通常、フェイルログのフォーマットはテスタ２に依存し、テスタ２の種類毎にフェイルログのフォーマットは異なる。

（ハ）ステップＳ１３１において、故障解析情報処理装置２０に転送された情報ファイルＴＤに含まれる試験用テストデータが、入力装置２４を介してテストデータ領域２２１に格納される。

（ニ）ステップＳ１３２において、パーサ部２１１がテストデータ領域２２１から試験用テストデータを読み出す。パーサ部２１１は、試験用テストデータを解析し、ＳＴＩＬ記述違反をチェックする。パーサ部２１１がＳＴＩＬ記述違反を検出した場合は、例えば出力装置２５に警告メッセージを表示する。そして、入力装置２４を介して、操作者は試験用テストデータを修正できる。ＳＴＩＬ記述違反が無い場合、パーサ部２１１は、試験用テストデータに含まれる情報の種類を分類し、中間データを作成する。試験用テストデータがＳＴＩＬフォーマットの場合、中間データはＳＴＩＬフォーマットである。作成された中間データは、中間データ領域２２２に格納される。

（ホ）ステップＳ１３３において、故障解析情報処理装置２０に転送された情報ファイルＦＬに含まれるフェイルログが、入力装置２４を介してフェイルログ領域２２３に格納される。

（ヘ）ステップＳ１３４において、フェイル情報追加部２１２がフェイルログ領域２２３からフェイルログを読み出す。フェイル情報追加部２１２に含まれるフォーマット変換部２１２１が、フェイルログをＳＴＩＬフォーマットのフェイル情報に変換し、フェイル情報を含む情報ファイルＦＩを作成する。フォーマット変換部２１２１は、フェイルログのフォーマットを中間データと同一のフォーマットに変換する機能を有する。情報ファイルＦＩはフェイル情報領域２２４に格納される。図５にフェイル情報の例を示す。図５において、”ａａａ”は測定日時、”ｂｂｂ”はテスタ名、”ｃｃｃ”はＬＳＩ名、”ｄｄｄ”はオペレータ名、”ｅｅｅ”はコメント、”ｆｆｆ”はファンクションテスト或いはＩＤＤｑテスト等のテスト種別、”Ｓａｍｐｌｅ”はサンプル番号（ボード番号）、”ｇｇｇ”は実行パターン名、”ＤＵＴＮｏ”は複数のＬＳＩを同時に試験した場合の各ＬＳＩの番号、”ＰＣＮＴ”はフェイルパターンアドレス（パターンをべた展開したアドレス）、”ＰＩＮＮＡＭＥ”はフェイルピン名、”ＥＸＰ”は期待値、”ＲＥＳＵＬＴ”は測定値である。

（ト）ステップＳ１３５において、フェイル情報追加部２１２が情報ファイルＦＩをフェイル情報領域２２４から読み出す。フェイル情報追加部２１２は、情報ファイルＦＩに含まれるフェイル情報を、中間データ記憶領域２２２から読み出した中間データに追加する。フェイル情報が追加された中間データは、中間データ領域２２２に格納される。

（チ）ステップＳ１３６において、テストデータ作成部２１３が中間データ領域２２２からフェイル情報が追加された中間データを読み出す。テストデータ作成部２１３は、中間データに基づき、故障解析用テストデータを作成する。具体的には、テストデータ作成部２１３は、フォーマットデータベース２３に格納された試験用テストデータの各種フォーマットの情報を参照し、中間データに含まれる試験用テストデータのフォーマットを故障解析装置３０が処理可能なフォーマットに変換して故障解析用テストデータを作成する。作成された故障解析用テストデータを含む情報ファイルＡＴＤは、故障解析用テストデータ領域２２５に格納される。図６に、故障解析用テストデータの例を示す。図６に示した故障解析用テストデータのフォーマットはＳＴＩＬである。図６は、故障解析用テストデータのフォーマットの例を示すために故障解析用テストデータの一部を示しており、詳細なタイミング記述、パターン記述等は省略されている。

（リ）ステップＳ１３７において、フェイル情報作成部２１４が中間データ領域２２２からフェイル情報が追加された中間データを読み出す。フェイル情報作成部２１４は、中間データに基づき、故障解析用フェイル情報を作成する。故障解析用フェイル情報は、故障解析装置３０が処理可能なフォーマットである。作成された故障解析用フェイル情報を含む情報ファイルＡＦＤは、故障解析用フェイル情報領域２２６に格納される。図７に、故障解析用フェイル情報の例を示す。図６において、”ＴＥＳＴ１”はＬＳＩ名、”ＳＣＡＮＯＵＴ＿１”はフェイルが測定されたスキャンアウト端子名、”ｐｐｐ”はフェイルアドレス（ＡＴＰＧパターン番号）、”ｑｑｑ”はフェイルした回路素子の位置（何回のスキャンクロック入力でスキャンアウトされたかで示される）、”ｒｒｒ”はテスタ２による測定値である。

（ヌ）ステップＳ１４において、故障解析用テストデータを含む情報ファイルＡＴＤ及び故障解析用フェイル情報を含む情報ファイルＡＦＤが出力装置２５を介して故障解析装置３０に転送される。故障解析装置３０は、故障解析用テストデータ及び故障解析用フェイル情報を用いて故障解析対象のＬＳＩの故障箇所を解析し、故障候補ノードを抽出する。

（ル）ステップＳ１５において、故障候補ノードが故障解析装置３０から故障診断装置３に転送される。故障診断装置３は、ＬＳＩのレイアウト情報等に基づき、故障候補ノードのチップ上の位置を特定する。目視チェック、或いは電子ビームテスタ（ＥＢテスタ）による電気的チェック等により、故障候補ノードから故障箇所を確定することができる。

上記では、ステップＳ１３３〜Ｓ１３４においてフェイルログの入力及びフェイルログのフォーマットを変換する例を説明した。しかし、フェイルログのフォーマットが中間データのフォーマットと同一の場合は、フェイルログのフォーマットは変換する必要がない。そのため、テスタ２から転送される情報ファイルＦＬをフェイル情報領域２２４に格納できる。その結果、情報ファイルＦＩが作成されないため、故障解析システム１で使用する情報ファイル数を削減することができる。

又、上記の説明では、ステップＳ１３６において、試験用テストデータのフォーマットを故障解析装置３０が処理可能なフォーマットに変換して故障解析用テストデータを作成した。しかし、ＡＴＰＧ１０が生成する試験用テストデータのフォーマットが故障解析装置３０が処理可能なフォーマットである場合には、試験用テストデータのフォーマットを変換せずに、試験用テストデータを故障解析用テストデータとして使用できる。

先行技術では、故障解析に使用する情報を作成する場合、フェイル情報を含まない中間データから、ＬＳＩの状態を設定するために入力されるプライマリパターンのアドレス、及びスキャンパターンの先頭アドレスを含むパターンアドレス情報を作成し、パターンアドレス情報とフェイル情報とから故障解析に必要な情報を作成する。既に説明したように、ＡＴＰＧ１０が生成する試験用テストデータは一般に長大なパターンとなるため、試験用テストデータを何百パターンにも分割する必要がある。そのため、パターンアドレス情報等も分割したパターン数分必要となる。その結果、故障解析に必要な情報を作成するために使用する情報ファイル数が増大するという問題がある。

上記に説明したように、本発明の実施の形態に係る故障解析システム１では、中間データにフェイル情報を追加する。そのため、中間データのみに基づき故障解析に必要な故障解析用テストデータ及び故障解析用フェイル情報を作成することができる。その結果、図１に示した故障解析システム１では先行技術に比べて情報ファイル数が少なく、ファイル管理及びデータ転送等の運用が容易である。

又、本発明の実施の形態に係る故障解析システム１では、故障解析情報処理装置２０が、故障解析装置３０が処理可能なフォーマットの故障解析用テストデータを作成する。そのため、ＡＴＰＧ１０が生成する試験用テストデータのフォーマットが故障解析装置３０が処理可能なフォーマットと異なっている場合であっても、故障解析装置３０は故障解析を行える。その結果、例えば、故障解析用パターン生成の性能が優れたＡＴＰＧ１０、及び故障解析の性能が優れた故障解析装置３０を、故障解析装置３０が処理可能な故障解析用テストデータのフォーマットに依存せずに選択し、故障解析に使用することができる。

図３に示した一連の故障解析情報処理操作は、図３と等価なアルゴリズムのプログラムにより、図１に示した故障解析システム１を制御して実行できる。このプログラムは、図１に示した記憶装置２２に記憶させればよい。又、このプログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に保存し、この記録媒体を図１に示した記憶装置２２に読み込ませることにより、本発明の一連の故障解析情報処理操作を実行することができる。

（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。

既に述べた実施の形態の説明においては、情報ファイルＦＩがフェイル情報領域２２４に格納された後、中間データに追加される例を示した。しかし、テスタ２から中間データに追加可能なフェイル情報が転送可能な場合には、テスタ２から転送されるフェイル情報を直接中間データに追加してもよい。その結果、情報ファイルＦＬ及び情報ファイルＦＩが必要なくなり、故障解析システム１で使用する情報ファイル数を更に削減することができる。

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。

本発明の実施の形態に係る故障解析システムの構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る中間データの例である。 本発明の実施の形態に係る故障解析方法を説明するためのフローチャートである。 本発明の実施の形態に係る故障解析システムによって生成される試験用テストデータの例である。 本発明の実施の形態に係る故障解析システムによって生成されるフェイル情報の例である。 本発明の実施の形態に係る故障解析システムによって生成される故障解析用テストデータの例である。 本発明の実施の形態に係る故障解析システムによって生成される故障解析用フェイル情報の例である。

符号の説明

１…故障解析システム
２…テスタ
３…故障診断装置
１０…ＡＴＰＧ
２０…故障解析情報処理装置
２１１…パーサ部
２１２…フェイル情報追加部
２１３…テストデータ作成部
２１４…フェイル情報作成部
２１２１…フォーマット変換部
２２１…テストデータ領域
２２２…中間データ領域
２２３…フェイルログ領域
２２４…フェイル情報領域
２２５…故障解析用テストデータ領域
２２６…故障解析用フェイル情報領域
２３…フォーマットデータベース
３０…故障解析装置

Claims (5)

1. 故障解析対象の半導体集積回路の試験に適用する試験用テストデータを作成するテストパターン自動生成装置と、
   前記試験用テストデータに含まれる情報を種類毎に分類して中間データを作成するパーサ部、前記試験用テストデータを用いた前記半導体集積回路の試験から得られるフェイル情報を前記中間データに追加するフェイル情報追加部、前記フェイル情報が追加された中間データに基づき故障解析用テストデータを作成するテストデータ作成部、及び前記フェイル情報が追加された中間データに基づき故障解析用フェイル情報を作成するフェイル情報作成部を含む故障解析情報処理装置と、
   前記故障解析用テストデータ及び前記故障解析用フェイル情報を用いて前記半導体集積回路の故障箇所を解析する故障解析装置
   とを備えることを特徴とする故障解析システム。
2. 前記テストデータ作成部は、前記試験用テストデータのフォーマットを前記故障解析装置が処理可能なフォーマットに変換して前記故障解析用テストデータを作成することを特徴とする請求項１に記載の故障解析システム。
3. 故障解析対象の半導体集積回路の試験に適用する試験用テストデータに含まれる情報を種類毎に分類して中間データを作成するパーサ部と、
   前記試験用テストデータを用いた前記半導体集積回路の試験から得られるフェイル情報を前記中間データに追加するフェイル情報追加部と、
   前記フェイル情報が追加された中間データに基づき、故障解析用テストデータを作成するテストデータ作成部と、
   前記フェイル情報が追加された中間データに基づき、故障解析用フェイル情報を作成するフェイル情報作成部
   とを備えることを特徴とする故障解析情報処理装置。
4. 前記フェイル情報追加部が、前記半導体集積回路の試験結果であるフェイルログのフォーマットを前記中間データと同一フォーマットに変換するフォーマット変換部を備えることを特徴とする請求項３に記載の故障解析情報処理装置。
5. テストパターン自動生成装置、故障解析情報処理装置及び故障解析装置を備える故障解析システムを用いる故障解析方法であって、
   前記テストパターン自動生成装置が、故障解析対象の半導体集積回路の試験に適用する試験用テストデータを作成するステップと、
   前記故障解析情報処理装置が備えるパーサ部が、前記試験用テストデータに含まれる情報を種類毎に分類して中間データを作成するステップと、
   前記故障解析情報処理装置が備えるフェイル情報追加部が、前記試験用テストデータを用いた前記半導体集積回路の試験から得られるフェイル情報を前記中間データに追加するステップと、
   前記フェイル情報が追加された中間データに基づき、前記故障解析情報処理装置が備えるテストデータ作成部及びフェイル情報作成部が、故障解析用テストデータ及び故障解析用フェイル情報をそれぞれ作成するステップと、
   前記故障解析装置が、前記故障解析用テストデータ及び前記故障解析用フェイル情報を用いて前記半導体集積回路の故障箇所を解析するステップ
   とを含むことを特徴とする故障解析方法。
   

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