JP2007040992A - X線分析を実施する装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】装置1は、X線管2と、被分析サンプルが設置された位置5のミクロ領域に、X線を焦点化する少なくとも1つのキャピラリレンズ4と、を有する。さらに装置1は、サンプルからの蛍光X線を検出する検出器6を有する。また装置1は、X線管2とキャピラリレンズ4との間の光路に設置された、少なくとも一つのエネルギー依存性フィルタ3を有する。このフィルタ3は、所定の閾値よりも小さなエネルギーを有するX線を実質的に遮蔽するように適合されている。
【選択図】図1
Description
X線管と、被分析サンプルが設置された位置のミクロ領域に、X線を焦点化する少なくとも1つのキャピラリレンズと、前記サンプルからの蛍光X線を検出する検出器と、を有し、
さらに当該装置は、X線管と前記位置との間の光路に設置された、少なくとも一つのエネルギー依存性フィルタを有し、
該フィルタは、所定のエネルギー値以下のエネルギーを有するかなりのX線を遮蔽するように適合され、
これにより、前記ミクロ領域の寸法が、実質的に所定の許容可能値内に収められる。
a)前記ミクロ領域の所望の最大寸法を定めるステップと、
b)前記ミクロ領域の所望の最大寸法に対応するX線のエネルギーを定めるステップと、
c)所定のエネルギー値以下のエネルギーを有するかなりのX線を遮蔽するように適合されたフィルタを選定するステップと、
を有し、前記エネルギー値は、ステップb)で定められたエネルギーと実質的に等しくなるように選定される。
1)ステップb)で定められたエネルギー以下のエネルギーを有するかなりのX線を遮蔽することに適したフィルタ材料を選定するステップと、
2)選定されたフィルタ材料製の厚さの異なる多くのフィルタについての透過特性を定めるステップと、
3)ステップb)において定められたエネルギーと等しいエネルギーを有するX線の許容可能な透過率が所定の値に対応するように、フィルタ材料の厚さを選定するステップと、
を有する。
FWHM/2.36=σ
ここで、6*σは、いわゆるフットプリント、すなわちX線の99.7%が入射されるサンプルの領域寸法を表す。
2 X線管
3 エネルギー依存性フィルタ
4 キャピラリレンズ
5 サンプル位置
6 X線検出器
R X線ビーム
RF X線ビーム
RF+L X線ビーム
F 蛍光X線。
Claims (8)
- X線管と、被分析サンプルが設置された位置のミクロ領域に、X線を焦点化する少なくとも1つのキャピラリレンズと、前記サンプルからの蛍光X線を検出する検出器と、を有するX線分析を実施する装置であって、
さらに当該装置は、X線管と前記位置との間の光路に設置された、少なくとも一つのエネルギー依存性フィルタを有し、
該フィルタは、所定のエネルギー値(Emax)以下のエネルギーを有するかなりのX線を遮蔽するように適合され、
これにより、前記ミクロ領域の寸法(Smax)が、実質的に所定の許容可能値内に収められることを特徴とする装置。 - 前記フィルタは、アルミニウムを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記フィルタの厚さは、300μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記フィルタは、X線管とキャピラリレンズの間の光路に設置されることを特徴とする前記請求項のいずれか一つに記載の装置。
- 前記X線管は、マイクロフォーカス管であることを特徴とする前記請求項のいずれか一つに記載の装置。
- 前記キャピラリレンズは、ポリキャピラリレンズであることを特徴とする前記請求項のいずれか一つに記載の装置。
- 前記請求項のいずれか一つに記載の装置を用いてX線分析を実施する方法であって、
a)前記ミクロ領域の所望の最大寸法(Smax)を定めるステップと、
b)前記ミクロ領域の所望の最大寸法(Smax)に対応するX線のエネルギー(Emax)を定めるステップと、
c)所定のエネルギー値以下のエネルギーを有するかなりのX線を遮蔽するように適合されたフィルタを選定するステップと、
を有し、前記エネルギー値は、ステップb)で定められたエネルギー(Emax)と実質的に等しくなるように選定されることを特徴とする方法。 - ステップc)は、
1.ステップb)で定められたエネルギー(Emax)以下のエネルギーを有するかなりのX線を遮蔽することに適したフィルタ材料を選定するステップと、
2.選定されたフィルタ材料製の厚さの異なる多くのフィルタについての透過特性を定めるステップと、
3.ステップb)において定められたエネルギー(Emax)と等しいエネルギーを有するX線の許容可能な透過率が所定の値に対応するように、フィルタ材料の厚さを選定するステップと、
を有することを特徴とする請求項7に記載の方法。
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