JP2003329621A - 微小部蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
微小部蛍光ｘ線分析装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微小部蛍光分析装置に一次Ｘ線フィルタを設
け、特性Ｘ線の分析能を高めること。 【解決手段】 Ｘ線集光用キャピラリレンズ３を用いる
ことによりＸ線を試料Ｓの微小部分に集光させて微小部
を分析する蛍光Ｘ線分析装置１を構成すると共に、この
Ｘ線集光用キャピラリレンズ３とＸ線源２との間に一次
Ｘ線フィルタ（一次Ｘ線フィルタ変換装置２０）を配置
することにより、Ｘ線の集光位置の近傍付近への構成要
素の配置が困難な微小部蛍光Ｘ線分析装置への一次Ｘ線
フィルタの設置を可能とする。
け、特性Ｘ線の分析能を高めること。 【解決手段】 Ｘ線集光用キャピラリレンズ３を用いる
ことによりＸ線を試料Ｓの微小部分に集光させて微小部
を分析する蛍光Ｘ線分析装置１を構成すると共に、この
Ｘ線集光用キャピラリレンズ３とＸ線源２との間に一次
Ｘ線フィルタ（一次Ｘ線フィルタ変換装置２０）を配置
することにより、Ｘ線の集光位置の近傍付近への構成要
素の配置が困難な微小部蛍光Ｘ線分析装置への一次Ｘ線
フィルタの設置を可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光Ｘ線分析装置
に関し、特に微小部分析に適した微小部蛍光Ｘ線分析装
置に関する。
に関し、特に微小部分析に適した微小部蛍光Ｘ線分析装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料に対して、Ｘ線、γ線、電子線等の
照射線を照射し、試料から発生した特性Ｘ線を検出器で
測定することにより、試料の定性分析や定量分析を行う
蛍光Ｘ線分析装置が知られている。
照射線を照射し、試料から発生した特性Ｘ線を検出器で
測定することにより、試料の定性分析や定量分析を行う
蛍光Ｘ線分析装置が知られている。
【０００３】エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置で
は、試料からの特性Ｘ線を半導体検出器等により直接Ｘ
線を直接に検出し、マルチチャネルアナライザーでエネ
ルギー選別することにより分析を行う。
は、試料からの特性Ｘ線を半導体検出器等により直接Ｘ
線を直接に検出し、マルチチャネルアナライザーでエネ
ルギー選別することにより分析を行う。
【０００４】試料に励起Ｘ線を直入射させる直入射方式
では、一次Ｘ線中に複数の波長成分が含まれているた
め、試料に照射するＸ線を単色化する方法が採られる。
例えば、Ｒｈターゲットを用いたＸ線源では、一次Ｘ線
にＲｕ，Ｒｈ，Ｐｂ，Ｓｂ，Ｓｎ，Ｃｄなどの波長域の
成分が含まれているため、この一次Ｘ線をそのまま試料
に照射すると、これらの波長域成分はバックグラウンド
成分となり、Ｒｕ，Ｒｈ，Ｐｂ，Ｓｂ，Ｓｎ，Ｃｄの分
析が困難となる。また、Ｒｈ−ＬαがＣｌ−Ｋαが重な
るため分析が困難となる。Ｘ線の単色化としては、例え
ば、一次フィルターの吸収特性を使ってＸ線源から発せ
られる一次Ｘ線のバックグラウンド成分を低減させる方
法がある。
では、一次Ｘ線中に複数の波長成分が含まれているた
め、試料に照射するＸ線を単色化する方法が採られる。
例えば、Ｒｈターゲットを用いたＸ線源では、一次Ｘ線
にＲｕ，Ｒｈ，Ｐｂ，Ｓｂ，Ｓｎ，Ｃｄなどの波長域の
成分が含まれているため、この一次Ｘ線をそのまま試料
に照射すると、これらの波長域成分はバックグラウンド
成分となり、Ｒｕ，Ｒｈ，Ｐｂ，Ｓｂ，Ｓｎ，Ｃｄの分
析が困難となる。また、Ｒｈ−ＬαがＣｌ−Ｋαが重な
るため分析が困難となる。Ｘ線の単色化としては、例え
ば、一次フィルターの吸収特性を使ってＸ線源から発せ
られる一次Ｘ線のバックグラウンド成分を低減させる方
法がある。
【０００５】図４は、従来の蛍光Ｘ線分析装置の一構成
例を説明するための概略図である。図４に示す例は下面
照射による構成例を示している。Ｘ線管１０１から発せ
られた一次Ｘ線を一次Ｘ線フィルタ１０２を通し、一次
Ｘ線フィルタ１０２により一次Ｘ線に含まれるバックグ
ラウンド成分を低減し、試料Ｓに照射する。検出器１０
３は、Ｘ線照射によって試料Ｓから発生した特性Ｘ線を
検出する。
例を説明するための概略図である。図４に示す例は下面
照射による構成例を示している。Ｘ線管１０１から発せ
られた一次Ｘ線を一次Ｘ線フィルタ１０２を通し、一次
Ｘ線フィルタ１０２により一次Ｘ線に含まれるバックグ
ラウンド成分を低減し、試料Ｓに照射する。検出器１０
３は、Ｘ線照射によって試料Ｓから発生した特性Ｘ線を
検出する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】蛍光Ｘ線分析におい
て、試料の微小部分を分析することが求められる場合が
あるが、従来の蛍光Ｘ線分析装置では、このようなニー
ズに充分に対応することができないという問題がある。
て、試料の微小部分を分析することが求められる場合が
あるが、従来の蛍光Ｘ線分析装置では、このようなニー
ズに充分に対応することができないという問題がある。
【０００７】これは、試料の微小部分を分析するには、
一次フィルタを通過した一次Ｘ線を試料上の微小部分に
照射する必要があるため、一次フィルタを試料が配置さ
れる位置に近接して設ける必要がある。しかしながら、
試料が配置される近傍には、Ｘ線を照射するための機構
の他に、特性Ｘ線を検出する検出器や、試料の光学像を
得るための光学観察系が設けられており、さらに、汎用
の分析装置では反射電子や二次電子を検出する電子線検
出器が設けられている。
一次フィルタを通過した一次Ｘ線を試料上の微小部分に
照射する必要があるため、一次フィルタを試料が配置さ
れる位置に近接して設ける必要がある。しかしながら、
試料が配置される近傍には、Ｘ線を照射するための機構
の他に、特性Ｘ線を検出する検出器や、試料の光学像を
得るための光学観察系が設けられており、さらに、汎用
の分析装置では反射電子や二次電子を検出する電子線検
出器が設けられている。
【０００８】微小部蛍光分析装置では、このようなＸ線
の照射機構と特性Ｘ線の検出機構を近接して配置する必
要があるため、種々の分析機構が密集する程度はさらに
過密なものとなり、このような狭い空間部分に、さらに
一次フィルタを設けることは困難である。そのため、微
小部蛍光Ｘ線分析装置において、一次Ｘ線フィルタを備
えることは困難であり、一次Ｘ線フィルタを設けない構
成では特性Ｘ線の分析能が制限されるというに問題があ
る。
の照射機構と特性Ｘ線の検出機構を近接して配置する必
要があるため、種々の分析機構が密集する程度はさらに
過密なものとなり、このような狭い空間部分に、さらに
一次フィルタを設けることは困難である。そのため、微
小部蛍光Ｘ線分析装置において、一次Ｘ線フィルタを備
えることは困難であり、一次Ｘ線フィルタを設けない構
成では特性Ｘ線の分析能が制限されるというに問題があ
る。
【０００９】そこで、本発明は前記した従来の問題点を
解決し、微小部蛍光Ｘ線分析装置に一次Ｘ線フィルタを
設け、特性Ｘ線の分析能を高めることを目的とする。
解決し、微小部蛍光Ｘ線分析装置に一次Ｘ線フィルタを
設け、特性Ｘ線の分析能を高めることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ線集光用キ
ャピラリレンズを用いることによりＸ線を試料の微小部
分に集光させ、これにより微小部を分析する蛍光Ｘ線分
析装置を構成すると共に、このＸ線集光用キャピラリレ
ンズとＸ線源との間に一次Ｘ線フィルタを配置する。こ
れにより、Ｘ線の集光位置の近傍付近に構成要素を配置
することが困難な微小部蛍光Ｘ線分析装置においても、
一次Ｘ線フィルタを設置することを可能とする。
ャピラリレンズを用いることによりＸ線を試料の微小部
分に集光させ、これにより微小部を分析する蛍光Ｘ線分
析装置を構成すると共に、このＸ線集光用キャピラリレ
ンズとＸ線源との間に一次Ｘ線フィルタを配置する。こ
れにより、Ｘ線の集光位置の近傍付近に構成要素を配置
することが困難な微小部蛍光Ｘ線分析装置においても、
一次Ｘ線フィルタを設置することを可能とする。
【００１１】本発明は、一次Ｘ線フィルタの配置位置
を、種々の構成要素が近接して配置されているＸ線の集
光位置ではなく、Ｘ線集光用キャピラリレンズとＸ線源
との間に配置することにより、微小部蛍光分析装置に一
次Ｘ線フィルタを設けることができる。
を、種々の構成要素が近接して配置されているＸ線の集
光位置ではなく、Ｘ線集光用キャピラリレンズとＸ線源
との間に配置することにより、微小部蛍光分析装置に一
次Ｘ線フィルタを設けることができる。
【００１２】本発明の一次Ｘ線フィルタは、透過特性を
異にする複数のフィルタから構成し、Ｘ線源とＸ線集光
用キャピラリレンズを結ぶ光軸上に対して交換自在とす
る。複数のフィルタの内、光軸上に位置するフィルタを
交換することにより、試料に照射する一次Ｘ線の波長を
切り替えることができる。また、複数のフィルタは、例
えばＸ線シャッタの役をなすＰｂ板のフィルタや、開口
部を形成してＸ線源からの一次Ｘ線を全て通すフィルタ
を含む構成としてもよい。
異にする複数のフィルタから構成し、Ｘ線源とＸ線集光
用キャピラリレンズを結ぶ光軸上に対して交換自在とす
る。複数のフィルタの内、光軸上に位置するフィルタを
交換することにより、試料に照射する一次Ｘ線の波長を
切り替えることができる。また、複数のフィルタは、例
えばＸ線シャッタの役をなすＰｂ板のフィルタや、開口
部を形成してＸ線源からの一次Ｘ線を全て通すフィルタ
を含む構成としてもよい。
【００１３】また、本発明の一次Ｘ線フィルタは、複数
のフィルタを支持する支持部材を、フィルタを交換自在
に回転させるハスバギアにより構成する。このハスバギ
アをモータやウォームギヤを含む駆動装置で回転させ、
所定位置で停止させることにより、光軸上に対するフィ
ルタ交換を行う。モータを電気信号に基づいて制御し、
回転位置を検出することにより、目的とするフィルタの
交換を自動で行うことができる。
のフィルタを支持する支持部材を、フィルタを交換自在
に回転させるハスバギアにより構成する。このハスバギ
アをモータやウォームギヤを含む駆動装置で回転させ、
所定位置で停止させることにより、光軸上に対するフィ
ルタ交換を行う。モータを電気信号に基づいて制御し、
回転位置を検出することにより、目的とするフィルタの
交換を自動で行うことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
蛍光Ｘ線分析装置を説明するための概略図である。蛍光
Ｘ線分析装置１は、試料Ｓ上にＸ線を照射する構成とし
て、Ｘ線源２と、Ｘ線集光用キャピラリレンズ３と、こ
のキャピラリレンズを所定位置に保持するキャピラリ固
定用フランジ４と、一次Ｘ線フィルタ交換装置２０とを
備える。また、試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線を検出する
構成として、蛍光Ｘ線集光部５と、検出器６を備える。
て、図を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
蛍光Ｘ線分析装置を説明するための概略図である。蛍光
Ｘ線分析装置１は、試料Ｓ上にＸ線を照射する構成とし
て、Ｘ線源２と、Ｘ線集光用キャピラリレンズ３と、こ
のキャピラリレンズを所定位置に保持するキャピラリ固
定用フランジ４と、一次Ｘ線フィルタ交換装置２０とを
備える。また、試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線を検出する
構成として、蛍光Ｘ線集光部５と、検出器６を備える。
【００１５】上記したＸ線を照射する構成、及び蛍光Ｘ
線を検出する構成は、Ｘ線照射室７により所定位置関係
に保持され、Ｘ線照射室７の開口部分には、Ｘ線集光用
キャピラリレンズ３及び蛍光Ｘ線集光部５の各先端部分
が、試料ステージ８側に突出して設けられている。Ｘ線
照射室７の下方位置には、試料ステージ８が設けられ
る。試料ステージ８は、上部面に配置する試料Ｓを支持
すると共に、Ｘ，Ｙ方向及びＺ方向に移動可能としてい
る。なお、Ｘ，Ｙ方向の移動は、試料Ｓを分析機構に対
して横方向に移動させ、Ｚ方向の移動は、試料Ｓを分析
機構に対して上下方向に移動させる。
線を検出する構成は、Ｘ線照射室７により所定位置関係
に保持され、Ｘ線照射室７の開口部分には、Ｘ線集光用
キャピラリレンズ３及び蛍光Ｘ線集光部５の各先端部分
が、試料ステージ８側に突出して設けられている。Ｘ線
照射室７の下方位置には、試料ステージ８が設けられ
る。試料ステージ８は、上部面に配置する試料Ｓを支持
すると共に、Ｘ，Ｙ方向及びＺ方向に移動可能としてい
る。なお、Ｘ，Ｙ方向の移動は、試料Ｓを分析機構に対
して横方向に移動させ、Ｚ方向の移動は、試料Ｓを分析
機構に対して上下方向に移動させる。
【００１６】また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置１は、Ｘ
線照射室７と試料ステージ８との間の隙間にカバー部材
９を備える。カバー部材９は、少なくともＸ線照射室７
の下端部分を覆い、試料ＳがＸ線集光用キャピラリレン
ズ３や蛍光Ｘ線集光部５の先端部分と直接に接触しない
ように保護する。また、Ｘ線照射室７や他の接点部材
（図示していない）と組み合わせることにより、試料Ｓ
の接触を検出する電気的スイッチ機構を構成してもよ
い。
線照射室７と試料ステージ８との間の隙間にカバー部材
９を備える。カバー部材９は、少なくともＸ線照射室７
の下端部分を覆い、試料ＳがＸ線集光用キャピラリレン
ズ３や蛍光Ｘ線集光部５の先端部分と直接に接触しない
ように保護する。また、Ｘ線照射室７や他の接点部材
（図示していない）と組み合わせることにより、試料Ｓ
の接触を検出する電気的スイッチ機構を構成してもよ
い。
【００１７】本発明の一次Ｘ線フィルタ交換装置２０
は、一次Ｘ線のバックグラウンド成分を低減する複数の
一次Ｘ線フィルタを交換可能に保持し、透過特性を異に
する複数の一次Ｘ線フィルタを交換することにより、分
析目的に適した波長の一次Ｘ線を透過させる。一次Ｘ線
フィルタを透過した一次Ｘ線は、Ｘ線集光用キャピラリ
レンズ３を介して集光位置に集光される。集光位置に集
光された一次Ｘ線は、集光位置に配置された試料をＸ線
励起し、蛍光Ｘ線（特性Ｘ線）を発生する。
は、一次Ｘ線のバックグラウンド成分を低減する複数の
一次Ｘ線フィルタを交換可能に保持し、透過特性を異に
する複数の一次Ｘ線フィルタを交換することにより、分
析目的に適した波長の一次Ｘ線を透過させる。一次Ｘ線
フィルタを透過した一次Ｘ線は、Ｘ線集光用キャピラリ
レンズ３を介して集光位置に集光される。集光位置に集
光された一次Ｘ線は、集光位置に配置された試料をＸ線
励起し、蛍光Ｘ線（特性Ｘ線）を発生する。
【００１８】以下、図２及び図３を用いて一次Ｘ線フィ
ルタ交換装置を説明する。なお、図２は一次Ｘ線フィル
タ交換装置を正面方向から見た概略断面図であり、図３
は一次Ｘ線フィルタ交換装置を平面方向から見た概略断
面図である。一次Ｘ線フィルタ交換装置２０は、Ｘ線源
２とＸ線集光用キャピラリレンズ３との間に配置され
る。一次Ｘ線フィルタ交換装置２０は、透過特性を異に
する複数の一次Ｘ線フィルタ２１（２１ａ〜２１ｆ）を
フィルタ保持部２２に備える。フィルタ保持部２２は、
回転軸２４の周りに回転自在とし、かつ所定の一次Ｘ線
フィルタを選択可能とする。
ルタ交換装置を説明する。なお、図２は一次Ｘ線フィル
タ交換装置を正面方向から見た概略断面図であり、図３
は一次Ｘ線フィルタ交換装置を平面方向から見た概略断
面図である。一次Ｘ線フィルタ交換装置２０は、Ｘ線源
２とＸ線集光用キャピラリレンズ３との間に配置され
る。一次Ｘ線フィルタ交換装置２０は、透過特性を異に
する複数の一次Ｘ線フィルタ２１（２１ａ〜２１ｆ）を
フィルタ保持部２２に備える。フィルタ保持部２２は、
回転軸２４の周りに回転自在とし、かつ所定の一次Ｘ線
フィルタを選択可能とする。
【００１９】図３に示す構成の一次Ｘ線フィルタ２１
は、例えば、透過するＸ線の波長が異なる一次Ｘ線フィ
ルタ２１ａ〜２１ｄ（図３中の斜線を施したフィルタ部
分）と、Ｘ線源２から発せられた一次Ｘ線をそのまま通
過させる開口部２１ｅ（図３中の破線で表示するフィル
タ部分）と、Ｘ線源２から発せられた一次Ｘ線を遮蔽す
る鉛板２１ｆ等のフィルタ（図３中の実線で表示するフ
ィルタ部分）を備える。なお、一次Ｘ線フィルタの個数
及び組合せは任意に設定することができる。各一次Ｘ線
フィルタ２１ａ〜２１ｆは、図示するように、回転軸２
４を軸中心とする同心円上に配置され、一次Ｘ線フィル
タ２１ａ〜２１ｄの何れか一つは、所定位置においてＸ
線源２とＸ線集光用キャピラリレンズ３とを結ぶ光軸上
１１を通るように配置される。
は、例えば、透過するＸ線の波長が異なる一次Ｘ線フィ
ルタ２１ａ〜２１ｄ（図３中の斜線を施したフィルタ部
分）と、Ｘ線源２から発せられた一次Ｘ線をそのまま通
過させる開口部２１ｅ（図３中の破線で表示するフィル
タ部分）と、Ｘ線源２から発せられた一次Ｘ線を遮蔽す
る鉛板２１ｆ等のフィルタ（図３中の実線で表示するフ
ィルタ部分）を備える。なお、一次Ｘ線フィルタの個数
及び組合せは任意に設定することができる。各一次Ｘ線
フィルタ２１ａ〜２１ｆは、図示するように、回転軸２
４を軸中心とする同心円上に配置され、一次Ｘ線フィル
タ２１ａ〜２１ｄの何れか一つは、所定位置においてＸ
線源２とＸ線集光用キャピラリレンズ３とを結ぶ光軸上
１１を通るように配置される。
【００２０】一次Ｘ線フィルタ２１ａ〜２１ｆを保持す
るフィルタ保持部２２の外周部分にはハスバギヤ２３が
設けられ、ウォームギヤ２３と噛み合っている。ウォー
ムギヤ２３は、モータ２７により駆動される駆動軸２６
に取り付けられる。モータ２７により駆動軸２６が駆動
されると、駆動軸２６に取り付けられたウォームギヤ２
３はハスバギヤ２３を駆動する。ハスバギヤ２３の駆動
により、フィルタ保持部２２は回転軸２４を回転中心に
回転する。このフィルタ保持部２２の回転により、光軸
上１１を通る一次Ｘ線フィルタ２１ａ〜２１ｆは順次交
換される。
るフィルタ保持部２２の外周部分にはハスバギヤ２３が
設けられ、ウォームギヤ２３と噛み合っている。ウォー
ムギヤ２３は、モータ２７により駆動される駆動軸２６
に取り付けられる。モータ２７により駆動軸２６が駆動
されると、駆動軸２６に取り付けられたウォームギヤ２
３はハスバギヤ２３を駆動する。ハスバギヤ２３の駆動
により、フィルタ保持部２２は回転軸２４を回転中心に
回転する。このフィルタ保持部２２の回転により、光軸
上１１を通る一次Ｘ線フィルタ２１ａ〜２１ｆは順次交
換される。
【００２１】フィルタ保持部２２の外周の所定位置には
位置検出器２８ａ，２８ｂが設置されている。位置検出
器２８ａ，２８ｂは、フィルタ保持部２２の回転位置を
検出し、一次Ｘ線フィルタ２１ａ〜２１ｆの内でどの一
次Ｘ線フィルタが光軸上１１を通っているかの位置を確
認することができ、初期位置等の所定位置を確認するこ
とによりモータ２７の駆動パルス数を制御することによ
り、希望する一次Ｘ線フィルタを自動で交換することが
できる。
位置検出器２８ａ，２８ｂが設置されている。位置検出
器２８ａ，２８ｂは、フィルタ保持部２２の回転位置を
検出し、一次Ｘ線フィルタ２１ａ〜２１ｆの内でどの一
次Ｘ線フィルタが光軸上１１を通っているかの位置を確
認することができ、初期位置等の所定位置を確認するこ
とによりモータ２７の駆動パルス数を制御することによ
り、希望する一次Ｘ線フィルタを自動で交換することが
できる。
【００２２】一次Ｘ線フィルタ交換装置２０により、所
定の透過特性を有する一次Ｘ線フィルタ２１を選択し、
Ｘ線源２とＸ線集光用キャピラリレンズ３とを結ぶ光軸
上に配置する。これにより、Ｘ線源２から発生された一
次Ｘ線は、選択配置された一次Ｘ線フィルタ２１を通る
ことにより一次Ｘ線のバックグラウンド成分が低減さ
れ、所定波長の一次Ｘ線がＸ線集光用キャピラリレンズ
３に導かれる。Ｘ線集光用キャピラリレンズ３に導かれ
た一次Ｘ線フィルタは、集光位置に配置された試料Ｓ
（図１に示す）上に集光される。集光された一次Ｘ線は
試料ＳをＸ線励起し、特性Ｘ線（蛍光Ｘ線）を発生す
る。
定の透過特性を有する一次Ｘ線フィルタ２１を選択し、
Ｘ線源２とＸ線集光用キャピラリレンズ３とを結ぶ光軸
上に配置する。これにより、Ｘ線源２から発生された一
次Ｘ線は、選択配置された一次Ｘ線フィルタ２１を通る
ことにより一次Ｘ線のバックグラウンド成分が低減さ
れ、所定波長の一次Ｘ線がＸ線集光用キャピラリレンズ
３に導かれる。Ｘ線集光用キャピラリレンズ３に導かれ
た一次Ｘ線フィルタは、集光位置に配置された試料Ｓ
（図１に示す）上に集光される。集光された一次Ｘ線は
試料ＳをＸ線励起し、特性Ｘ線（蛍光Ｘ線）を発生す
る。
【００２３】異なる波長による蛍光Ｘ線分析を行う場合
には、一次Ｘ線フィルタ交換装置２０により対応する一
次Ｘ線フィルタに交換する。また、試料Ｓに一次Ｘ線を
照射しない場合には、一次Ｘ線フィルタ交換装置２０に
より鉛板等からなるフィルタ２１ｆに交換する。また、
Ｘ線源で発生する一次Ｘ線をそのまま用いる場合には、
一次Ｘ線フィルタ交換装置２０により開口部２１ｅに交
換する。
には、一次Ｘ線フィルタ交換装置２０により対応する一
次Ｘ線フィルタに交換する。また、試料Ｓに一次Ｘ線を
照射しない場合には、一次Ｘ線フィルタ交換装置２０に
より鉛板等からなるフィルタ２１ｆに交換する。また、
Ｘ線源で発生する一次Ｘ線をそのまま用いる場合には、
一次Ｘ線フィルタ交換装置２０により開口部２１ｅに交
換する。
【００２４】本発明の構成によれば、一次Ｘ線フィルタ
の設置位置を、Ｘ線源とＸ線集光用キャピラリレンズと
の間の位置とすることより、微小部蛍光Ｘ線分析装置に
一次Ｘ線フィルタを設けることができる。また、一次Ｘ
線フィルタを一次Ｘ線フィルタ交換装置で交換自在とす
ることにより、微小部蛍光分析装置の分析範囲を調整す
ることができる。
の設置位置を、Ｘ線源とＸ線集光用キャピラリレンズと
の間の位置とすることより、微小部蛍光Ｘ線分析装置に
一次Ｘ線フィルタを設けることができる。また、一次Ｘ
線フィルタを一次Ｘ線フィルタ交換装置で交換自在とす
ることにより、微小部蛍光分析装置の分析範囲を調整す
ることができる。
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
微小部蛍光分析装置に一次Ｘ線フィルタを設け、特性Ｘ
線の分析能を高めることができる。
微小部蛍光分析装置に一次Ｘ線フィルタを設け、特性Ｘ
線の分析能を高めることができる。
【００２５】
【図１】本発明の蛍光Ｘ線分析装置を説明するための概
略図である。
略図である。
【図２】本発明の一次Ｘ線フィルタ交換装置の正面方向
から見た概略断面図である。
から見た概略断面図である。
【図３】本発明の一次Ｘ線フィルタ交換装置の平面方向
から見た概略断面図である。
から見た概略断面図である。
【図４】従来の蛍光Ｘ線分析装置の一構成例を説明する
ための概略図である。
ための概略図である。
１…蛍光Ｘ線分析装置、２…Ｘ線源、３…Ｘ線集光用キ
ャピラリレンズ、４…キャピラリ固定用フランジ、５…
蛍光Ｘ線集光管、６…検出器、７…Ｘ線照射室、８…試
料ステージ、９…カバー部材、１０…保持部材、１１…
光軸、２０…一次Ｘ線フィルタ変換装置、２１…一次Ｘ
線フィルタ、２２…フィルタ保持部、２３…ハスバギ
ア、２４…回転軸、２５…ウォームギア、２６…駆動
軸、２７…モータ、２８ａ，２８ｂ…位置検出器、１０
１…Ｘ線管、１０２…一次Ｘ線フィルタ、１０３…検出
器。
ャピラリレンズ、４…キャピラリ固定用フランジ、５…
蛍光Ｘ線集光管、６…検出器、７…Ｘ線照射室、８…試
料ステージ、９…カバー部材、１０…保持部材、１１…
光軸、２０…一次Ｘ線フィルタ変換装置、２１…一次Ｘ
線フィルタ、２２…フィルタ保持部、２３…ハスバギ
ア、２４…回転軸、２５…ウォームギア、２６…駆動
軸、２７…モータ、２８ａ，２８ｂ…位置検出器、１０
１…Ｘ線管、１０２…一次Ｘ線フィルタ、１０３…検出
器。
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Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA04 CA01 EA06 GA01
GA06 JA01 KA01 PA11 PA14
SA02
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線源と、Ｘ線源から発生したＸ線を試
料に集光させるＸ線集光用キャピラリレンズと、試料か
ら発生した特性Ｘ線を検出する検出器とを備える微小部
蛍光Ｘ線分析装置であって、 前記Ｘ線源と前記Ｘ線集光用キャピラリレンズとの間
に、一次Ｘ線フィルタを備えることを特徴とする微小部
蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項２】 前記一次Ｘ線フィルタは透過特性を異に
する複数のフィルタから構成され、前記フィルタは前記
Ｘ線源と前記Ｘ線集光用キャピラリレンズを結ぶ光軸に
対して交換自在であることを特徴とする、請求項１に記
載の微小部蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項３】 前記複数のフィルタは、フィルタを交換
自在に回転させるハスバギアを構成し、当該ハスバギア
を回転させることにより前記光軸に対してフィルタを交
換することを特徴とする、請求項２記載の微小部蛍光Ｘ
線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002139667A JP2003329621A (ja) | 2002-05-15 | 2002-05-15 | 微小部蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002139667A JP2003329621A (ja) | 2002-05-15 | 2002-05-15 | 微小部蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003329621A true JP2003329621A (ja) | 2003-11-19 |
Family
ID=29700744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002139667A Pending JP2003329621A (ja) | 2002-05-15 | 2002-05-15 | 微小部蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003329621A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1029645C2 (nl) * | 2005-07-29 | 2007-01-30 | Panalytical Bv | Inrichting en werkwijze voor het uitvoeren van röntgenanalyse. |
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| JP2010507810A (ja) * | 2006-10-24 | 2010-03-11 | サーモ ニトン アナライザーズ リミテッド ライアビリティ カンパニー | ２段ｘ線集中装置 |
| CN102200640A (zh) * | 2011-07-05 | 2011-09-28 | 湖北久之洋红外系统有限公司 | 一种用于x射线主动成像设备的龙虾眼透镜装置 |
-
2002
- 2002-05-15 JP JP2002139667A patent/JP2003329621A/ja active Pending
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