JP2007036131A - 膜転写方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】膜転写方法において、2つの基板130、131の少なくとも一方の基板上にGaN膜などの膜150、151を成膜し、膜同士または膜と基板を相対向して密着し、固定する。この固定状態で、一方の基板130と一方の基板130上の膜150との間にレーザ照射などで分離層170を予め形成し、分離層形成後、固定状態で膜同士または膜と基板を加熱加圧法などで接合し、接合後、分離層170で一方の基板130を剥離する。
【選択図】図1
Description
図1は本実施形態によるGaN/GaN薄膜の接合方法及びサファイア基板の剥離方法を示している。本実施形態の方法において、まず、第1の基板であるサファイア基板130上に形成された第1のGaN薄膜150と第2の基板であるサファイア基板131上に形成された第2のGaN薄膜151を用意する。第1のGaN薄膜150と第2のGaN薄膜151とを室温で密着した状態で、固定部材101、押え部材110及びスペーサ120で固定する(図1(a))。次に、この固定状態で、走査レーザビーム100をサファイア基板130側から照射することによって(レーザリフトオフ)、サファイア基板130とGaN薄膜150の界面付近に遊離Gaを含む分離層170を形成する(図1(b))。この状態で、すなわち、遊離Gaを生成した状態で、GaN/GaN薄膜を加熱加圧法で接合する(図1(c))。次に、上記試料(図1(d)参照)をビーカー180に収容されたエッチング液190に浸漬し、上記遊離Ga層170を含む層(つまり、分離層)を溶出して、第1の基板であるサファイア基板130を第2のサファイア基板131側から剥離する(図1(e))。こうして、上記方法によって、サファイア基板131上にGaN薄膜151とGaN薄膜150の膜同士の接合体が得られる(図1(f)参照)。
図1は実施例1を説明する断面図である。図1において、100は走査レーザビームであり、101は石英から成る固定部材である。110はサファイアから成る押え部材であり、120はグラファイトから成るスペーサである。130及び131は基板として用いたサファイア基板であり、150及び151はそれぞれサファイア基板130、131上に成膜したGaN膜である。170はGaN150から遊離したGaを含む分離層であり、180はビーカーであり、190は遊離Gaを含む分離層170をエッチングするためのエッチング液である。
図2は実施例2を説明する断面図である。図2において、200は走査レーザビームであり、201は石英から成る固定部材である。210はサファイアから成る押え部材であり、220はグラファイトから成るスペーサである。230及び231は基板として用いたサファイア基板であり、250及び251はそれぞれサファイア基板230、231上に成膜したGaN膜である。270はGaN250から遊離したGaを含む分離層であり、280はヒーターであり、290は剪断力Fである。
図2(d)までの過程は実施例1と同様である。すなわち、遊離Gaの生成後、GaN膜250及びGaN膜251を加熱加圧接合によって接合するところまでは実施例1と同様である。上記接合後、図2(e)に見るようにサファイア基板230、231に剪断荷重F290を印加することで、サファイア基板230をGaN膜250から剥離する(図2(f))。この際、ヒーター280によりサファイア基板231を介して分離層270を100℃以下の温度に加熱して、遊離Gaを溶融すると、剥離作業が効果的に促進される。こうして、上記剥離手法を用いて、一方のサファイア基板231上のGaN膜251に、他方のサファイア基板230上のGaN膜250を転写することができる。
130、131、230、231 基板(サファイア基板)
150、151、250、251 膜(GaN膜)
170、270 分離層(遊離Gaを含む層)
190 エッチング液
290 剪断力(剪断荷重)
Claims (9)
- 2つの基板の少なくとも一方の基板上に膜を成膜し、該膜同士または膜と基板を相対向して密着し、固定し、この固定状態で一方の基板と該一方の基板上の膜との間に分離層を予め形成し、分離層形成後、固定状態で膜同士または膜と基板を接合し、接合後、分離層で一方の基板を剥離することを特徴とする膜転写方法。
- 請求項1に記載の膜転写方法において、少なくとも一方の基板はサファイアであり、該一方の基板上にGaN膜を形成する膜転写方法。
- 請求項2に記載の膜転写方法において、一方の基板はサファイア基板であり、該一方の基板上にGaN膜を形成し、もう一方の基板はGaN単体である膜転写方法。
- 請求項1から3の何れかに記載の膜転写方法において、少なくとも一方の基板上の膜に溝のパターンを形成する膜転写方法。
- 請求項1から4の何れかに記載の膜転写方法において、前記分離層の形成をレーザ照射で行う膜転写方法。
- 請求項1から5の何れかに記載の膜転写方法において、前記分離層はGaN膜から分解した遊離Gaを含む膜転写方法。
- 請求項1から6の何れかに記載の膜転写方法において、前記分離層における一方の基板の剥離除去を酸によるエッチングで行う膜転写方法。
- 請求項1から6の何れかに記載の膜転写方法において、前記分離層における一方の基板の剥離除去を100℃以下の加熱と基板への剪断力の印加によって行う膜転写方法。
- 請求項1から8の何れかに記載の膜転写方法において、前記接合は加熱加圧法で行う膜転写方法。
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