JP2007031493A - 樹脂組成物除去洗浄剤 - Google Patents

Abstract

【課題】樹脂組成物の洗浄除去に有用な除去洗浄剤、特にカラーフィルターやブラックマトリックスパターンを形成するための顔料分散型感光性樹脂組成物の洗浄用に優れた樹脂組成物除去洗浄剤を提供する。
【解決手段】従来慣用の樹脂用溶剤をベースとして、このベース溶剤に含有アルキル基の炭素数５以下の芳香族化合物を所定量混合した混合液を、樹脂組成物除去洗浄剤として用いる。その所定の混合量は、前記含有アルキル基の炭素数が３〜５の芳香族化合物を用いる時は、除去洗浄剤全量の５〜５０質量％が好ましく、含有アルキル基の炭素数が２以下の芳香族化合物を用いる時は、除去洗浄剤全量の２０〜６０質量％が好ましい。
【選択図】 なし

Description

本発明は、樹脂コーティング装置のノズル、プライミングローラー、配管などの物の表面に付着した樹脂組成物、特に顔料が分散されている感光性樹脂組成物を、前記物の表面から効率的に除去するに好適な樹脂組成物除去洗浄剤に関するものである。

半導体素子や液晶表示素子の製造においては、フォトリソグラフィー技術により、ポジ型やネガ型の感光性樹脂組成物層をパターニングして、電気配線パターンなどの各種パターンを形成している。前記感光性樹脂組成物は、塗布液の形で、半導体基板や、ガラス基板等の基板上に塗布され、適宜乾燥処理が施されて感光性樹脂被膜（感光性樹脂層）を形成する。この被膜に選択的露光を行い、次いで現像処理を行うことで、パターン化された被膜が形成される。

前記感光性樹脂組成物の基板への塗布方法としては、スピンコーティング（回転式塗布）方法が一般的である。しかし、近年では、特に大型化が進む液晶表示素子製造の分野においては、スピン方式では大面積の均一塗布が難しいため、コート・アンド・スピン方式、ノンスピン方式等のコーティング手段が提案されてきている。

感光性樹脂組成物のコーティング工程においては、基板周縁、基板裏面を始めとして、樹脂コーティング装置の吐出ノズル、プライミングローラー、同装置の内壁、同装置の配管系が、感光性樹脂組成物の付着により汚染されるため、定期的あるいは随時に、それらの汚染箇所の洗浄処理を行う必要がある。前記コーティング処理の後、コーティング装置への樹脂付着量が多く、特にプライミングローラーや配管系への付着が比較的に強固になりやすく、洗浄を入念に行う必要がある。

また、洗浄対象の樹脂組成物については、顔料が分散された感光性樹脂組成物、例えば、カラーフィルターやブラックマトリックスパターンを形成するための顔料分散型感光性樹脂組成物が、特に洗浄除去が困難であることが指摘されており、かかる顔料分散型感光性樹脂組成物に対しても洗浄性に優れた洗浄性を持つ除去洗浄剤が、従来、いくつか提案されている（例えば、特許文献１，２）。

これら従来の樹脂組成物除去洗浄剤は、基本的には、溶剤に、界面活性剤や顔料分散剤などの添加剤が加えられてなるもので、添加剤の組成により洗浄性能の向上を図っている。溶剤としては、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメテルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、アセトン、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メタノール、エタノール、ジエチルエーテル、フェノール等の慣用の樹脂用溶剤が用いられている。また、界面活性剤および顔料分散剤としては、同様の化合物が用いられており、例えば、フタロシアニン誘導体，オルガノシロキサンポリマーなどのカチオン系界面活性剤、ポリオキシエチレンラウリルエーテル，ポリエチレングリコールジラウレート，ソルビタン脂肪酸エステルなどのノニオン系界面活性剤、その他、慣用のフッ素系界面活性剤や、アニオン系界面活性剤が用いられている。

特開２００１−１８８３６４号公報 特開２０００−２７３３７０号公報

しかしながら、前記従来の感光性樹脂組成物除去洗浄剤には、次のような改良すべき問題点が指摘されている。

まず、基板の大型化や、塗布手段の新たな提案等により、洗浄領域は拡大する方向にあり、より洗浄性能の向上が必要である点が指摘されている。

次に、顔料が添加された感光性樹脂組成物を用いた場合では、コーティング装置の特に吐出ノズルやプライミングローラーや配管系に顔料が付着しやすく、その部分の顔料の洗浄除去が不十分となることが指摘されている。これら顔料の洗浄残りがあると、経時的に顔料の凝集が生じて、ノズルの吐出異常や、顔料凝集物が塗膜中に異物として混入する問題が発生してしまう。また、除去洗浄剤に非プロトン性極性溶媒が用いられている場合は、その強すぎる極性の影響を受けて、顔料が凝集して沈降し、コーティング装置の配管系が詰まるなど不具合が発生することも、指摘されている。さらに、そもそも従来の除去洗浄剤は、顔料分散型感光性樹脂組成物の洗浄除去においては洗浄性能に乏しく、十分な洗浄効果を得るには大量の洗浄剤を使用しなければならず、そのために、廃液量が増え、環境負荷が大きくなることも、問題とされている。

本発明は、前記従来の事情に鑑みてなされたもので、その課題は、コーティング装置などの物の表面に付着した樹脂組成物の洗浄用として好適な、特にカラーフィルターやブラックマトリックスパターンを形成するための顔料分散型感光性樹脂組成物の洗浄用として優れた特性を有する除去洗浄剤および樹脂組成物の除去方法を提供することにある。

本発明者らは、前記課題を解決するために、鋭意、実験、検討を重ねたところ、下記のような知見を得るに至った。

すなわち、従来慣用の樹脂用溶剤をベースとして、このベース溶剤に所定の芳香族系化合物を所定量混合することにより、感光性樹脂組成物の洗浄除去性能が格段に高められること、しかも、従来洗浄が困難であった顔料分散型感光性樹脂組成物に対しても、少量の使用で十分な洗浄が可能であることを、確認するに至った。

前記ベースとする従来慣用の樹脂用溶剤としては、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメテルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、３−メトキシブチルアセテート、メトキシプロピルアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸ペンチル、酢酸ヘキシル、酢酸ヘプチル、酢酸オクチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸ペンチル、乳酸ヘキシル、乳酸ヘプチル、乳酸オクチル、アセトン、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、２−ヘプタノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、ヘプタノール、オクタノール、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ジエチルエーテル、シクロヘキサン、シクロヘキサノール、ジオキサン、オキセタン、フェノール、クレゾール、キシレノールを挙げることができる。これらから構成する前記ベース溶剤の使用形態としては、これらの一種もしくは混合物でも良く、さらに、樹脂用溶剤として市販されている調合済みの混合溶剤でも良く、独自に調合したものでも良い。

前記所定の芳香族化合物は、アルキルベンゼンを含むことに特徴がある。そのアルキルベンゼンとしては、その含有アルキル基の炭素数が５以下であることが望ましい。前記含有アルキル基の炭素数が３〜５のアルキルベンゼンを用いる時は、除去洗浄剤全量の５〜５０質量％が好ましく、含有アルキル基の炭素数が２以下のアルキルベンゼンを用いる時は、除去洗浄剤全量の２０〜６０質量％が好ましい。これらのアルキルベンゼンの芳香族系化合物全量に対する配合量は、７０〜１００質量％であり、好ましくは８０〜１００質量％、さらに好ましくは９５〜１００質量％である。

添加するアルキルベンゼンの含有アルキル基の炭素数が５以上になると、顔料を含む樹脂組成物に対する洗浄特性は確保できても、除去洗浄剤自体の揮発性が乏しくなり、洗浄後に除去洗浄剤が物の表面に残留して、洗浄剤自体が汚染物質となる虞がある。樹脂組成物除去洗浄剤には、樹脂除去特性ばかりでなく、自身の除去特性、すなわち、揮発性が確保されることが重要である。このような観点から、本発明では、添加するアルキルベンゼンの含有アルキル基の炭素数を５以下にすることが望ましい。アルキル基の炭素数が５以下の範囲でも、炭素数が３〜５のアルキルベンゼンと、炭素数が２以下のアルキルベンゼンとでは、一定の除去性能を発揮するための配合量が異なる。炭素数３〜５のアルキルベンゼンを用いる場合にはより少ない配合量で洗浄効果が得られる。また、炭素数が多くなればなるほど、揮発性が低下するので、配合量の増加による洗浄特性の向上と、一定の揮発性の確保との両条件を適切に満たす範囲を特定する必要がある。かかる観点から設定したのが、前記アルキルベンゼン（芳香族系化合物）の含有量である。

前記含有アルキル基の炭素数が３〜５のアルキルベンゼン（芳香族系化合物）としては、プロピルベンゼン、インダン、１−メチルエチルベンゼン、エチルメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、１−メチルプロピルベンゼン、２−メチルプロピルベンゼン、ジエチルベンゼン、エチルジメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン、テトラメチルシクロペンタジエン、ジエチルメチルベンゼン、エチルトリメチルベンゼン、ジメチルプロピルベンゼンから選ばれる一種以上のアルキルベンゼンである。

前記含有アルキル基の炭素数が３〜５のアルキルベンゼン（芳香族系化合物）の実際の使用形態としては、前記アルキルベンゼンの混合物である石油留分が、コストの観点から、好適に用いることができ、しかも精製したアルキルベンゼン単独もしくはそれらの組み合わせ組成と比較しても、本発明の目的である顔料分散型感光性樹脂組成物に対する洗浄特性に遜色はない。

前記含有アルキル基の炭素数が２以下であるアルキルベンゼン（芳香族系化合物）としては、アニソール、トルエン、キシレンから選ばれる少なくとも一種が好適に用いられる。これら含有アルキル基の炭素数が２以下のアルキルベンゼンを用いる場合には、十分な洗浄性を確保するためには、その混合量を、前記含有アルキル基の炭素数が３〜５のアルキルベンゼンを用いる場合に比べて、より多くする必要がある。その混合量は、前述のように、除去洗浄剤全体の２０〜６０質量％である。

本発明は、前記知見に基づいてなされたものである。すなわち、本発明にかかる感光性樹脂組成物除去洗浄剤は、物の表面に固着した樹脂組成物を溶解除去可能な少なくとも一種の溶剤と、前記固着樹脂組成物中に含有されている顔料を分散させる芳香族系化合物とを有してなることを特徴とする。

前記芳香族系化合物を配合することにより、樹脂中に分散している顔料、特に物表面への付着力が強いカーボンの、前記洗浄剤により樹脂が除去された後の凝集現象を抑制する効果が得られる。物表面へ付着した樹脂成分中においてカーボン粒子などの顔料粒子を凝集させず、効率良く分散させるためには、前記芳香族系化合物としてアルキル基を含有するもの（アルキルベンゼン）が好ましい。

前記芳香族系化合物としては、その含有アルキル基の炭素数が３〜５であるアルキルベンゼンを用いることが好ましく、その好ましい含有量は洗浄剤全体の５質量％〜５０質量％である。

前記含有アルキル基の炭素数が３〜５であるアルキルベンゼンとしては、プロピルベンゼン、インダン、１−メチルエチルベンゼン、エチルメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、１−メチルプロピルベンゼン、２−メチルプロピルベンゼン、ジエチルベンゼン、エチルジメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン、テトラメチルシクロペンタジエン、ジエチルメチルベンゼン、エチルトリメチルベンゼン、ジメチルプロピルベンゼンから選択することが好ましい。

前記含有アルキル基の炭素数が３〜５のアルキルベンゼンとしては、２種以上のアルキルベンゼン混合物である石油留分を用いることが、性能対コストの点から、好ましい。前記石油留分として市販の製品を用いることができ、例えば、ソルベッソ１００、ソルベッソ１５０、ソルベッソ２００（以上商品名、エクソン化学社製）などが利用できる。

前記アルキルベンゼンとしては、そのアルキル基の炭素数が２以下であるアルキルベンゼンを用いてもよく、その好ましい含有量は、洗浄剤全体の２０質量％〜６０質量％である。

前記含有アルキル基の炭素数が２以下の芳香族系化合物としては、アニソール、トルエン、キシレンから選ばれる少なくとも一種を用いることができる。

前記アルキルベンゼンの芳香族系化合物全量に対する配合量は、７０〜１００質量％であり、好ましくは８０〜１００質量％、さらに好ましくは９５〜１００質量％である。

前記溶剤としては、慣用の樹脂用溶剤から選ばれる少なくとも一種を用いることができる。具体的には、例えば、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメテルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、メトキシプロピルアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸ペンチル、酢酸ヘキシル、酢酸ヘプチル、酢酸オクチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸ペンチル、乳酸ヘキシル、乳酸ヘプチル、乳酸オクチル、アセトン、ＭＩＢＫ、ＭＥＫ、２−ヘプタノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、ヘプタノール、オクタノール、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ジエチルエーテル、シクロヘキサン、シクロヘキサノール、ジオキサン、オキセタン、フェノール、クレゾール、キシレノールから選ばれる少なくとも一種を用いることができる。

前記溶剤群の中でもプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートは、感光性樹脂組成物中の有機成分の除去性に効果があり、好ましい。かかるプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートとしては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）が最も好ましい。また、除去洗浄剤の揮発性（速乾性）を求めるためには、プロピレングリコールモノアルキルエーテルが好ましく、特にプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）は好ましい溶剤であるので、前記プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、特にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に混合し、混合溶剤として用いることが好ましい。

また、本発明の樹脂組成物の除去方法は、樹脂コーティング装置のノズル、プライミングローラー、配管などの物の表面に付着した樹脂組成物を除去する方法であって、前記いずれかの樹脂組成物除去洗浄剤を用いて、前記物の表面に付着した前記樹脂組成物を除去することを特徴とする。

本発明の樹脂組成物の除去方法では、前述のように、予め好適な組成の除去洗浄剤を調製しておき、この除去洗浄剤を用いることで、物の表面に付着した樹脂組成物を除去しても良いが、既存の樹脂用溶剤製品に所定の芳香族系化合物を所定量混合して、得られた混合溶媒を用いて、前記物の表面から前記樹脂組成物を除去してもよい。

前記除去方法に用いる芳香族系化合物としては、前述のアルキルベンゼンを含む物を好適に用いることができる。このアルキルベンゼンとしては、含有アルキル基の炭素数が５以下のものを好適に用いることができる。

前記含有アルキル基の炭素数が５以下のアルキルベンゼンの内、含有アルキル基の炭素数が３〜５のアルキルベンゼンを芳香族系化合物に含有させて、既存の樹脂用溶剤に添加する場合には、全体量の５質量％〜５０質量％となるように含有させる。

前記含有アルキル基の炭素数が３〜５のアルキルベンゼンとしては、具体的には、プロピルベンゼン、インダン、１−メチルエチルベンゼン、エチルメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、１−メチルプロピルベンゼン、２−メチルプロピルベンゼン、ジエチルベンゼン、エチルジメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン、テトラメチルシクロペンタジエン、ジエチルメチルベンゼン、エチルトリメチルベンゼン、ジメチルプロピルベンゼンから選ぶことが好ましい。

さらに、前記含有アルキル基の炭素数が３〜５のアルキルベンゼンとしては、２種以上の前記アルキルベンゼンの混合物からなる石油留分を用いることが、性能対コストの観点から、好ましい。

また、前記アルキルベンゼンとしては、その含有アルキル基の炭素数が２以下であるアルキルベンゼンを用いてもよく、その場合の既存の樹脂用溶剤に対する配合量は、全体量の２０質量％〜６０質量％になるように含有させる。

前記含有アルキル基の炭素数が２以下のアルキルベンゼンとしては、アニソール、トルエン、キシレンから選ばれる少なくとも一種から構成することが、好ましい。

なお、本発明の除去洗浄剤が対象とする樹脂組成物には特に制限なく、従来使用されているあらゆる樹脂組成物の洗浄除去に使用可能である。ここで、対象とする樹脂組成物について纏めておくと、以下のようになる。

（洗浄対象の樹脂組成物）
従来の除去洗浄剤では困難であったが、本発明の除去洗浄剤では十分な洗浄効果を発揮し得る感光性樹脂組成物としては、顔料が分散された感光性樹脂組成物を挙げることができる。このような顔料分散型感光性樹脂組成物のうち、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルター形成用感光性樹脂組成物、ブラックマトリックスパターン形成用感光性樹脂組成物が、さらに除去困難であったが、これらの顔料分散型感光性樹脂組成物に対しても、本発明の除去洗浄剤は、少量で十分な洗浄効果を発揮することができる。この顔料分散型感光性樹脂組成物は、基本的には樹脂成分および光重合開始剤などの感光成分を必須成分として含有し、その他にモノマー成分、界面活性剤、酸成分、含窒素有機化合物、顔料、溶剤などを含有する。

上記樹脂成分としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシ基を有するモノマーから選ばれる一種以上と、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、Ｎ−ブチルアクリレート、N-ブチルメタクリレート、イソブチルアクリート、イソブチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェノキシアクリレート、フェノキシメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、スチレン、アクリルアミド、アクリロニトリル などから選ばれる一種以上との共重合体、フェノールノボラック型エポキシアタリレート重合体、フェノールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシアクリレート重合体、クレゾールノポラック型エポキシメタクリレート重合体、ビスフェノールＡ型エポキシアクリレート重合体、ビスフェノールＳ型エポキシアクリレート重合体などの樹脂が挙げられる。

上記光重合開始剤としては、１−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキンエトキシ)フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル)−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−ドデシルフェニル)−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２，２−ジメトキシー１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ビス（４−ジメチルアミノフェニル)ケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ)フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル)−ブタン−１−オン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、４−ベンゾイル−４’−メチルジメチルスルフィド、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、４−ジメチルアミノ−２−エチルヘキシル安息香酸、４−ジメチルアミノ−２−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルポニル)オキシム、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、２，４−ジエチルチオキサントン、２−タロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、２−クロロチオキサンテン、２，４−ジエチルチオキサンテン、２−メチルチオキサンテン、２−イソプロピルチオキサンテン、２−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、アゾビス(イソプチロ)ニトリル、ベンゾイルペルオキシド、クメンペルオキシド、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−（ｏ−クロロフェニル)−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ビス（ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロビルエーテル、ペンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、α,α−ジクロロ-4-フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イノプロビルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル−４−ジメチルアミノベンゾェート、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス−（９−アクリジニル)ヘプタン、１，５−ビス−（９−アクリジニル)ペンタン、１，３−ビス（９−アクリジニル)プロパン、ｐ−メトキシトリアジン、２，４，６−トリス(トリクロロメチル)−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス(トリクロロメチル)−ｓ−トリアジン、２−［２−（５−メチルフラン−２−イル)エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル)−ｓ−トリアジン、２−［２−（フラン−２−イル)エテニル］−４，６−ビス(トリクロロメチル)−ｓ−トリアジン、２−［２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル)エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル)−ｓ−トリアジン、２−［２−（３，４−ジメトキシフェニル)エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル)−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル)−４，６−ビス（トリクロロメチル)−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル)−４，６−ビス（トリクロロメチル)−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル)−４，６−ビス(トリクロロメチル)−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル)−６−（３−ブロモ−４−メトキシ)フェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル)−６−（２−ブロモー４−メトキシ)フェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（３−ブロモ−４−メトキシ)スチリルフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス(トリクロロメチル)−６−（２−ブロモ−４−メトキシ)スチリルフェニル−ｓ−トリアジンなどを挙げることができる。

上記顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １１，２４，３１，５３，８３，９９，１０８，１０９，１３９，１５０，１５１，１５４，１６７，１８０，１８５，１９３；Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ３６，３８，４３；Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １０５，１２２，１４９，１５０，１５５，１７１，１７５，１７６，１７７，２０９，２２４，２５４，２６４；Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ １９，２３，３２，３９；Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １，２，１５：１，１５：２，１５：３，１６，２２，６０，６６；Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ７，３６，３７；Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｒｏｗｎ ２５，２８；Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌａｃｋ １，７；およびカーボンブラックなどが挙げられる。

前述の顔料分散型感光性樹脂組成物の材料としては、例えば、特開２００４−６９７５４号公報、特開平１１−２３１５２３号公報、特開平１１−８４１２５号公報、特開平１０−２２１８４３号公報、特開平９−２６９４１０号公報、特開平１０−９０５１６号公報等に記載されており、これらの感光性材料に対しても、本発明に除去洗浄剤は、十分な洗浄効果を発揮することができる。

本発明にかかる樹脂組成物除去洗浄剤は、樹脂コーティング装置のノズル、プライミングローラー、配管などの物の表面に付着した樹脂組成物を効率的に除去することができる。物に付着した樹脂組成物としては、感光性樹脂組成物が除去しにくく、さらに顔料分散型の感光性樹脂組成物が除去しにくいが、本発明の除去洗浄剤は、樹脂用溶剤をベースに、含有アルキル基の炭素数が５以下の芳香族化合物を所定量添加することによって、物表面への付着樹脂成分、特に顔料分散樹脂成分の除去性能を大幅に増強させている。したがって、本発明の樹脂組成物除去洗浄剤は、従来では除去が困難であったコーティング装置のノズルや配管系等の洗浄剤接触面積の少ない箇所における洗浄にも少量の使用量でも、十分な洗浄効果を発揮することができる。

以下、本発明にかかる樹脂組成物除去洗浄剤の実施例を示す。以下に示す実施例は、本発明を説明するための好適な例示に過ぎず、なんら本発明を限定するものではない。

（実施例１）
樹脂組成物除去洗浄剤として、ＰＧＭＥＡ：ＰＧＭＥ：ソルベッソ１００＝６：２：２（質量比）の混合洗浄液を調製した。ソルベッソ１００の主な成分は、トリメチルベンゼン、インダン、ジエチルベンゼン、エチルジメチルベンゼン、１−メチルプロピルベンゼン、２−メチルプロピルベンゼン、エチルメチルベンゼン、プロピルベンゼン、１−メチルエチルベンゼンである。

（実施例２）
樹脂組成物除去洗浄剤として、ＰＧＭＥＡ：ＰＧＭＥ：ソルベッソ２００＝６：２：２（質量比）の混合洗浄液を調製した。

（実施例３）
樹脂組成物除去洗浄剤として、ＰＧＭＥＡ：ＰＧＭＥ：トルエン＝５：２：３（質量比）の混合洗浄液を調製した。

（実施例４）
樹脂組成物除去洗浄剤として、ＰＧＭＥＡ：ＰＧＭＥ：キシレン＝５：２：３（質量比）の混合洗浄液を調製した。

（実施例５）
樹脂組成物除去洗浄剤として、ＰＧＭＥＡ：ＰＧＭＥ：アニソール＝５：２：３（質量比）の混合洗浄液を調製した。

（比較例１）
樹脂組成物除去洗浄剤として、ＰＧＭＥＡ単独の洗浄液を調製した。

（比較例２）
樹脂組成物除去洗浄剤として、ＰＧＭＥＡ：ＰＧＭＥ＝７：３（質量比）の混合洗浄液を調製した。

（比較例３）
樹脂組成物除去洗浄剤として、ソルベッソ１００単独の洗浄液を調製した。

前記各実施例および比較例の樹脂組成物除去洗浄剤を用いて下記配管洗浄試験および沈降試験を行って、それぞれの樹脂組成物除去洗浄剤の評価を行った。

（配管洗浄試験）
ガラス製の１ミリリットルピペット内にブラックマトリックスパターン形成用感光性樹脂組成物である「ＣＦＰＲ ＢＫ−５００５ＳＬ」（商品名：東京応化株式会社製）を吸い取り、その後、排出することにより、ピペット内面に顔料分散型樹脂組成物を付着させた。次いで、当該ピペット内を１ミリリットルの前記各除去洗浄剤で繰り返し洗浄処理を行い、洗浄具合を目視にて確認して、洗浄に何ｍＬ必要であるかを、記録した。洗浄回数は１０回までとした。１０回の洗浄で洗浄できなかった場合は、「洗浄できず」とした。その結果を下記表１に示した。

（沈降試験）
カラーフィルター形成用のグリーン顔料分散型感光性樹脂組成物であるＣＦＰＲ ＧＨ−１００４（商品名：東京応化工業株式会社製）１０ｍｌと前記各除去洗浄剤９０ｍｌを混合した溶液を内径１２ｍｍのガラスチューブに充填し、２３℃で３週間垂直に静置した。３週間経過後、チューブ内の混合溶液を抜き取り、各ガラスチューブ下部内壁への顔料の凝集沈降を確認した。その結果を下記表１に示した。表には、凝集沈殿がない場合を○で示し、凝集沈降が認められた場合は×で示した。

表１から明らかなように、樹脂用の溶剤に芳香族化合物を混合した混合溶液を除去洗浄剤として用いることにより、少量の除去洗浄剤により顔料分散型感光性樹脂組成物の洗浄が効果的に行うことができることが、確認できた。

以上のように、本発明にかかる樹脂組成物除去洗浄剤は、物の表面に付着した樹脂組成物の洗浄除去に有用であり、特に、樹脂コーティング装置のノズル、プライミングローラー、配管などの物の表面に付着した顔料分散型感光性樹脂組成物を効率的に除去するための除去洗浄剤に好適である。

Claims (7)

1. 物の表面に固着した樹脂組成物を溶解除去可能な少なくとも一種の溶剤と、前記固着樹脂組成物中に含有されている顔料を分散させる芳香族系化合物とを有してなる樹脂組成物除去洗浄剤。
2. 前記芳香族系化合物が、アルキルベンゼンを含むことを特徴とする請求項１に記載の樹脂組成物除去洗浄剤。
3. 前記アルキルベンゼンの含有アルキル基の炭素数が３〜５であり、該アルキルベンゼンの除去洗浄剤全量に対する含有量が５質量％〜５０質量％であることを特徴とする請求項２に記載の樹脂組成物除去洗浄剤。
4. 前記芳香族系化合物が２種以上のアルキルベンゼンの混合物から構成され、そのアルキルベンゼン混合物として石油留分が用いられていることを特徴とする請求項３に記載の樹脂組成物除去洗浄剤。
5. 前記アルキルベンゼンは、そのアルキル基の炭素数が２以下であるアルキルベンゼンを含み、該アルキル基の炭素数が２以下であるアルキルベンゼンの除去洗浄剤全量に対する含有量が２０質量％〜６０質量％であることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一つに記載の樹脂組成物除去洗浄剤。
6. 前記芳香族系化合物が、アニソール、トルエン、キシレンから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項５に記載の樹脂組成物除去洗浄剤。
7. 前記溶剤が、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメテルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、メトキシプロピルアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸ペンチル、酢酸ヘキシル、酢酸ヘプチル、酢酸オクチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸ペンチル、乳酸ヘキシル、乳酸ヘプチル、乳酸オクチル、アセトン、ＭＩＢＫ、ＭＥＫ、２−ヘプタノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、ヘプタノール、オクタノール、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ジエチルエーテル、シクロヘキサン、シクロヘキサノール、ジオキサン、オキセタン、フェノール、クレゾール、キシレノールから選ばれる少なくとも一種から構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の樹脂組成物除去洗浄剤。