JP2007027331A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 第１のコイルと該第１のコイルにより発生する磁束変化を検出する第２のコイルとを有する電磁アクチュエータと、
   前記電磁アクチュエータをフィードバック制御する電磁アクチュエータ制御部と、
   を備え、
   前記電磁アクチュエータ制御部は、
   前記第１のコイルに変調信号を与える変調部と、
   前記第２のコイルからの出力信号を復調する復調部と、
   を有し、
   前記復調部によって復調された出力信号に基づいて前記電磁アクチュエータをフィードバック制御することを特徴とする駆動装置。
2. 前記変調信号は、前記フィードバック制御における目標値に基づいて生成されることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
3. 前記電磁アクチュエータ制御部は、前記目標値と前記復調部で復調された信号とに基づいて前記電磁アクチュエータをフィードバック制御することを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。
4. 前記電磁アクチュエータ制御部は、前記変調部及び前記復調部の少なくとも一方に位相調整部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の駆動装置。
5. 前記電磁アクチュエータ制御部は、前記復調部で復調された信号の高調波成分を除去するフィルタを有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の駆動装置。
6. 前記目標値は、前記電磁アクチュエータで発生する力に基づいて生成され、
   前記電磁アクチュエータ制御部は、前記目標値に平方根演算を施すスケール変換部を有し、該スケール変換部からの出力信号と前記復調部で復調された信号とに基づいて前記電磁アクチュエータをフィードバック制御することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の駆動装置。
7. 前記第１のコイルを駆動する電力増幅部と、
   前記第１のコイルに流れる電流を検出する電流検出部と、
   前記第１のコイルに流れる電流をフィードバック制御するコイル制御部と、
   を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の駆動装置。
8. 前記電磁アクチュエータはＥコア及びＩコアを有し、
   前記第１のコイル及び前記第２のコイルは、前記Ｅコアにそれぞれ取り付けられることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の駆動装置。
9. 粗動ステージと微動ステージとを備えるステージ装置であって、
   前記微動ステージは、請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の駆動装置を含み、
   前記粗動ステージに対して前記微動ステージが駆動されることを特徴とするステージ装置。
10. 粗動ステージと微動ステージとを備えるステージ装置であって、
    駆動コイルが発生する磁束を用いて前記粗動ステージに対して前記微動ステージを駆動する電磁アクチュエータと、
    前記駆動コイルが発生する磁束変化を検出する検出コイルと、
    前記駆動コイルに供給する前記微動ステージを駆動するための第１信号および前記検出コイルによって検出された前記磁束変化を示す第２信号に基づいて前記電磁アクチュエータの駆動をフィードバック制御する制御部とを有し、
    前記制御部は、前記第１信号を増幅するための増幅部と、前記第１信号を変調するための変調部と、前記増幅部によって増幅された前記第１信号と前記変調部によって変調された前記第１信号とを加算する加算器と、前記第２信号を復調するための復調部と、前記復調部によって復調された前記第２信号の高調波成分を除去するフィルタとを有することを特徴とするステージ装置。
11. 請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の駆動装置と、
    パターンを形成した原版に照射される露光光を基板に投影するための光学系と、
    前記基板または前記原版を保持し前記駆動装置により位置決めされるステージ装置と、
    を備えることを特徴とする露光装置。
12. 請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の駆動装置によって、投影光学系を支持するためのマウントを駆動することを特徴とする露光装置。
13. 請求項１１又は請求項１２に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
    露光された前記基板を現像する工程と、
    を含むことを特徴とするデバイス製造方法。