JP2007027262A - 陽極接合の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】シリコン基板にガラスを陽極接合した加速度センサの陽極接合の検査方法において、シリコン基板と陽極接合されたガラスの位置ズレを確実に検出する。
【解決手段】シリコン基板1に、シリコン基板1上に陽極接合するアルミ電極7を介して上部ガラス3を接合する陽極接合の検査方法において、アルミ電極7にその両端を上部ガラス3の外側に伸延した伸延部7aを設け、この両端の伸延部7a間にプローブ11a、11bを接続して抵抗計13により導通抵抗を測定する検査工程を設ける。この検査工程で測定した導通抵抗から、陽極接合後の上部ガラス3の位置ズレの検査を簡単、かつ効率的に行うことができる。
【選択図】図2
【解決手段】シリコン基板1に、シリコン基板1上に陽極接合するアルミ電極7を介して上部ガラス3を接合する陽極接合の検査方法において、アルミ電極7にその両端を上部ガラス3の外側に伸延した伸延部7aを設け、この両端の伸延部7a間にプローブ11a、11bを接続して抵抗計13により導通抵抗を測定する検査工程を設ける。この検査工程で測定した導通抵抗から、陽極接合後の上部ガラス3の位置ズレの検査を簡単、かつ効率的に行うことができる。
【選択図】図2
Description
本発明は、シリコン基板にガラスを陽極接合した構造体を有する加速度センサなどのMEMS(Micro Electro Mechanical system)デバイスの検査方法に関するものである。
陽極接合によって、半導体基板とガラス基板とを接着して形成する半導体加速度センサや圧力センサ、それを応用した構造体等のMEMSデバイスがいくつか提案されている。これらのMEMSデバイスのセンサでは、1枚の基板だけでは実現できない複雑な構造を、微細加工した後の基板を接合することによって形成している。この接合には、接合度の良い陽極接合が一般に用いられる。しかし、上記センサは、微小な物理的変化を検知するために、その製造においては、高精度の加工技術とともに、加工後の検査が重要となっている。従って、陽極接合においても、陽極接合後の接合界面の状態や接合精度が良好であるか否かの評価等、陽極接合を用いるデバイスの信頼性を確保するための各種検査が行われる。
ここで検査される陽極接合を用いた構造体の例として、図6に、半導体加速度センサ(以下、センサと略す)100を示す。センサ100は、シリコン基板101と、シリコン基板101の上下に陽極接合されるガラス103、102と、シリコン基板101内に形成された片持梁構造の重り部101aと、シリコン基板101の表面に形成されたピエゾ抵抗104と、ピエゾ抵抗104に接続される配線抵抗105とを備える。シリコン基板101の表面には、保護膜及び内部応力コントロールのためにシリコン酸化膜108及びシリコン窒化膜109が形成されている。
そして、ピエゾ抵抗104は、4つ形成され、これらを用いてホイートストンブリッジ回路が構成され、加速度検出が行われる。このピエゾ抵抗104上には、配線抵抗105を介してピエゾ抵抗104に電気的に接続されるアルミ電極106が形成され、シリコン基板101上には、上部ガラス103との接合のためにアルミ電極107が設けられ、上部ガラス103は、アルミ電極107を介してシリコン基板101に陽極接合される。また、シリコン基板101と下部ガラス102との接合は、アルミ電極を介さず直接陽極接合される。
このセンサ100において、シリコン基板101の上下のガラス103、102は、重り部101aが動作の際に限界以上に撓むことのないように、ストッパーとしての役割も担っている。従って、シリコン基板101は、上下のガラス103、102との接合において、その位置合わせがずれると、重り部101aと上下のガラス103、102との位置関係がずれるため、ストッパーが充分機能しなくなる虞があり、このため、陽極接合後にこれらの位置合せ検査が行われてきた。この検査においては、特に上部ガラス103は、シリコン基板101の表面を部分的に覆ってアルミ電極107に接合されるため、その位置合せに厳密さが要求されており、位置ズレを正確に検査する必要があった。しかしながら、従来の陽極接合の評価においては、この上部ガラス3の位置ズレ検査は、主に外観検査で行われ、目視で検査されていた。従って、検査者による検査のばらつきが大きく、精度の良い検査ができていなかった。
なお、陽極接合を評価する方法として、例えば、特許文献1に示されるように、レーザ光を陽極接合された半導体基板とガラス基台に照射して、接合界面に間隙が存在する場合に発生する干渉縞となったスペクトルを分光光度計でもって測定し、干渉縞情報を定量的な数値として算出することにより評価する方法が知られている。また、特許文献2に示されているように、カラス基板と陽極接合される半導体基板の接合界面に、予めPN接合を用いたフォトダイオードを形成しておいて、光を照射して未接合部がある場合と無い場合との発生する光起電流の度合いによって検出する方法が知られている。
しかしながら、これらの方法は、光学系や電流測定回路を備えた測定装置は高額であり、安価に製造することはできず、また鏡面加工やフォトダイオードの形成等といった手間がかかる前処理、加工が必要であった。さらに、これらは、主として、接合界面に未接合部分(ボイド、ギャップ)の存在を検査する場合を対象としており、シリコン基板とガラスの位置ズレを検査することには不適であった。
特開平9−289238号公報
特開平10−22354号公報
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、半導体チップ上のパターンのガラス端面における所定箇所にプローブを当て、プローブ間の導通状態の検出に基いて、ガラスの位置ズレを検出する検査工程を設けることにより、陽極接合後のガラスの位置ズレを効率的に、確実に検査することができる陽極接合の検査方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために請求項1の発明は、半導体チップに、該チップ上に陽極接合するパターンを有し、前記パターンとガラスを接触させ、それらの接触面で接合する陽極接合の検査方法において、前記パターン上の所定箇所に導通用プローブを当てることにより、その導通状態を検出し、この検出に基いて前記ガラスの位置ズレを検出する検査工程を設けたものである。
請求項2の発明は、前記パターンは前記接合されるガラスの外側に伸延して設けられた伸延部を有したものである。
請求項3の発明は、前記伸延部は、前記パターンからリードパターンによって接続される電極パターンとして形成されるものである。
請求項4の発明は、前記パターンの伸延部両側の導通状態を検出するものである。
請求項5の発明は、前記伸延部は、前記ガラスの端面に沿うように設けられ、該伸延部と該ガラス端面の間の導通状態を検出するものである。
請求項1の発明によれば、パターン上の所定箇所間の導通状態の検出に基づいて、ガラスの位置ズレを簡単に検出する検査工程を設けることができるので、陽極接合後のパターン上におけるガラスの位置ズレを容易に検出することができる。
請求項2の発明によれば、パターンがガラスの外側に引き出されるので、測定時にプローブをパターンに当て易く、測定を容易にできる。
請求項3の発明によれば、プローブの当る電極パターンの位置が明確になり、プローブを所望の領域のみに接触させることが可能となり、測定精度を向上することができる。
請求項4の発明によれば、ガラスがパターンの両側のどちらにずれても、ガラスの位置ズレを確実に検出することができる。
請求項5の発明によれば、ガラスの位置ズレの有無だけでなく、位置ズレの方向も特定することができる。
以下、本発明の第1の実施形態に係る陽極接合の検査方法について、図1乃至図3を参照して説明する。図1(a)乃至(d)は、半導体加速度センサ10の作製工程のステップを示す。
先ず、図1(a)乃至(d)を用いて被検査デバイスを半導体加速度センサ(以下センサと略す)10として、その製作プロセスについて説明する。図1(a)において、センサ10は、シリコン基板1の表面にフォトリソグラフィ工程を行い、絶縁膜8(例えば酸化膜)の一部をエッチング除去した後、イオン注入工程、拡散工程によりピエゾ抵抗4と、このピエゾ抵抗4に接続する配線抵抗5を形成する。その後、保護膜9(例えば窒化膜)を形成する。
次の工程として、図1(b)において、配線抵抗5を介してピエゾ抵抗4に接続されるアルミ電極6及びプローブ検査用兼陽極接合用パターンのアルミ電極7を同時に形成する。このアルミ電極7は、後工程で接合される上部ガラス3の外側にまで伸延して形成されている。そして、図1(c)において、シリコン基板1の裏面にフォトリソグラフィー工程を行い、シリコン基板1の裏面の保護膜9及び絶縁膜8をエッチングで除去し、窓開けを行った後、異方性エッチングを行い重り部1aを形成する。さらに、次の工程として、図1(d)において、シリコン基板1の表面に上部ガラス3を陽極接合により接合した後、シリコン基板1の裏面に下部ガラス2を陽極接合により接合する。以上がセンサ10の作製工程である。
次に、本実施形態に係るセンサ10の陽極接合の検査方法について、図2及び図3を参照して説明する。図2は、被測定デバイスのセンサ10上の上部ガラス3の位置ズレを検出する検査工程の構成を示し、この構成は、センサ10と、導通測定用のプローブ11a、11b(材質は例えばタングステン)と、プローブ11a、11bに接続される抵抗計13とを備える。図3は、前述のセンサ製作工程により製作されたセンサ10の構成を示す。
これらの図において、センサ10は、前述の製作工程により製作されたものであり、シリコン基板1と、シリコン基板1の上下に陽極接合されるガラス3、2と、シリコン基板1内に形成された片持梁構造の重り部1aと、シリコン基板1の表面に形成されたピエゾ抵抗4と、このピエゾ抵抗4に接続される配線抵抗5とを備える。シリコン基板1の表面には、保護膜及び内部応力コントロールのためにシリコン酸化膜8及びシリコン窒化膜9が形成されている。
そして、ピエゾ抵抗4は、4つ形成され、これらを用いてホイートストンブリッジ回路(図示なし)が構成され、加速度検出が行われる。このピエゾ抵抗4上には、配線抵抗5を介してピエゾ抵抗4に電気的に接続されるアルミ電極6が形成され、シリコン基板1上には、上部ガラス3との接合のためにアルミ電極7が設けられる。このアルミ電極7は、陽極接合用電極とプローブ検査用電極とが兼用され、かつ上部ガラス3の外側にまで伸延されて、その両端にプローブ11a、11bと接続される伸延部7aが設けられている。上部ガラス3は、アルミ電極7を介してシリコン基板1に陽極接合される。一方、シリコン基板1と下部ガラス2との接合は、アルミ電極を介さず直接陽極接合される。また、シリコン基板1の上下のガラス3、2は、重り部1aが動作の際に限界以上に撓むことのないように、ストッパーとしての役割も担っている。
このようなセンサ10に加速度が印加されると、重り部1aが撓み、表面に応力が発生し、表面に形成されたピエゾ抵抗4のピエゾ効果により応力に伴った抵抗値の変化が生じる。その結果、ホイートストンブリッジ回路には加速度に比例した電位差が出力され、この電位差出力を検出することにより加速度を検出するという仕組みとなっている。
上記構成の陽極接合の検査工程においては、検査台の所定の位置に、被検査デバイスのセンサ10が装着されると、シリコン基板1上のアルミ電極7の両側の伸延部7aに、測定用のプローブ11a、11b(材質は例えばタングステン)が接続され、プローブ11a、11bに接続される抵抗計13によって、伸延部7aの両端の電気抵抗値が測定される。この検査用のプローブ11a、11bは、予め検査台の固定された位置に常に再現性良く接触するよう設定されている。また、プローブ11a、11bの接続される位置の両側の伸延部7aは、上部ガラス3の端面の極めて近くに位置されている。従って、上部ガラス3のわずかな位置ズレでもって、プローブ11a又は11bが上部ガラス3の端面に接触する。この接触により、プローブ11a又は11bは、アルミ電極7の伸延部7aとの接触が外れるようになり、電気的接続が切れるようになっている。
このような検査工程において、被検査物のセンサ10が、検査台の所定の位置に装着されると、アルミ電極7に陽極接合された上部ガラス3が、ズレのない正規の正しい位置にあれば、プローブ11a、11b間は、どちらも伸延部7aに接触したままであるので、導通状態となり、ほぼ短絡状態となる。従って、プローブ11a、11b間の抵抗値は、抵抗計13自身の持つ固有抵抗値を除くとほほゼロ状態となり、これにより、ガラス位置のズレが無いことが検出される。一方、上部ガラス3の位置がシリコン基板1の正規の位置からずれている場合は、固定位置のプローグ11a又は11bに上部ガラス3が触れて、どちらかのプローブにおいて、伸延部7aとの接触が外れることになる。これにより、抵抗計13の抵抗値は、ほぼ無限大を示し、ガラス位置がずれていることを検出できる。
上記検査工程におけるガラス位置ズレの良否の基準は、位置ズレの許容範囲内外で抵抗値に大きく差があることを考慮し、判定基準値を、例えば、プローブ11a、11bの接触抵抗値(数十Ω)に安全率200%以上のマージンを持つ値として設定している。これは、ズレが許容範囲内の場合、アルミのシート抵抗が数十ミリΩのオーダーであることからプローブ11a、11b間の抵抗は、ほぼゼロであり、この抵抗計13の抵抗値は、プローブ11a、11bの接触抵抗が支配的となる(数十Ω程度)。一方、位置ズレが許容範囲を超えた場合は、プローブ11a、11bのいずれかが絶縁体の上部ガラス3に当たり、伸延部7aとの接触が外れるため、プローブ11a、11b間の抵抗値はメガオームレベル以上となる。従って、100オーム程度を合格レベルと設定し、メガオームレベルになれば、ズレ有りとしている。
これにより、例えば、上部ガラス3の位置ズレの許容量を±100μmとした場合には、プローブ11a、11bの位置は、ともガラス端面の設計位置から外側に100μm離れた所とする。位置ズレが許容範囲内であればプローブ11a、11bはいずれもアルミ電極7の伸延部7aに当たり導通するが、許容範囲±100μmを超えていくと、プローブ11a、11bのいずれかが上部ガラス3に当たる事になる。ズレ合否判定は、この時のプローブ11a、11b間の抵抗値で判定するものとし、その基準は、例えば100オーム程度を合格と設定する。
このように、上記実施形態によれば、上部ガラス3の両端面の近傍にアルミ電極7の伸延部7aを設け、この両端の伸延部7a間の抵抗値を測定することにより、上部ガラス3の位置ズレを簡単に、確実に検出することができる。
次に、本発明の第2の実施形態に係る陽極接合の検査方法について、図4を参照して説明する。図4は、本実施形態の陽極接合の検査方法の構成を示し、本実施形態の構成は、基本的に前記実施形態と同じであり、プローブ11a、11bを接続する電極が、アルミ電極7からのリードパターン7dによって接続される伸延部7bとして形成された点で、前記実施形態と異なる。
図4において、半導体加速度センサ10は、シリコン基板1上に、アルミ電極7から上部ガラス3の両側に伸びるリードパターン7dと、その両端に接続される延伸部7bとを備え、両端の延伸部7bに抵抗計13が接続されている。リードパターン7dは、アルミ電極7の中心付近から上部ガラス3の両側に伸びる細いアルミ電極パターンで構成される。このため、延伸部7bのパターン位置がアルミ電極7の中で明確に区別される。これにより、プローブ11a、11bと接触する延伸部7bの位置が明確となり、プローブ11a、11bを所望の領域のみ接続することを可能とし、測定点が正確に定められ、測定精度を向上することができる。
次に、本発明の第3の実施形態に係る陽極接合の検査方法について、図5を参照して説明する。図5は、本実施形態の陽極接合の検査方法の構成を示し、本実施形態の構成は、基本的に前記実施形態の構成と同じであり、センサ10のシリコン基板1のアルミ電極7に、上部ガラス3の端面に沿うように伸延部7cを設け、この伸延部7cと上部ガラス3端面の間の導通状態を検出するように構成した点で前記実施形態と異なる。
図5において、陽極接合の検査方法の構成は、被測定物であるセンサ10と、導通測定用のプローブ11a、11b、12a、12bと、プローブ11a、12a及びプローブ11b、12bに接続される抵抗計13a及び13bとを備える。センサ10は、シリコン基板1において、上部ガラス3の外側に伸延して設けられているアルミ電極7の両伸延部7aに加え、上部ガラス3の端面に沿って、かつ各伸延部7aより上部ガラス3端面から離れた位置に伸延部7cがそれぞれ設けられている。そして、伸延部7aと伸延部7cの各一方には、プローブ11aと12aが接触されて、各他方には、プローブ11bと12bが接続され、さらに、それらのプローブ11aと12a及びプローブ11bと12bは、それぞれ別々の抵抗計13a及び13bに接続されている。
上記構成における上部ガラス3の位置ズレの許容量を、例えば±100μmとする。このとき、プローブ11a、11bを伸延部7aに当てる基準位置は、伸延部7aにおける上部ガラス3の端面の設計位置から外側に100μm離れた所とし、ここを許容量±100μmの中心とする。一方、プローブ12a、12bは、伸延部7aの位置より上部ガラス3端面から遠い伸延部7c上に位置させるので、プローブ11a、11bよりも外側(上部ガラス3端面より離れる)に位置する。
このような構成において、プローブ11a、12a間又は11b、12b間の導通状態を抵抗計13a、13bによる電気抵抗測定により検査する。プローブ11a、12a又はプローブ11b、12bは、上部ガラス3の位置ズレが許容範囲内であれば、各プローブはそれぞれ伸延部7aと伸延部7c上に接触し、プローブ11a、12a間、11b、12b間は、いずれも導通状態を示す。次に、上部ガラス3の位置ズレが許容範囲を超えると、プローブ11a又は11bは上部ガラス3に近いので、プローブ12a又は12bより、早く上部ガラス3に当たることになる。このとき、上部ガラス3に当たることにより、プローブ11a、11bのいずれかが伸延部7aの接触から外れるので、プローブ11a、12a間、又は11b、12b間の導通常態が遮断される。
従って、左右両側において、プローブ11aと12a間、及びプローブ11bと12b間に対して、この導通の測定を実施すれば、抵抗計13a、13bの電気抵抗値より、どちらの位置にズレが生じているのかを特定することができる。例えば、上部ガラス3が左にずれると、プローブ12aと伸延部7cは接続された状態にあるが、プローブ11aと伸延部7aの接触が先ず外れ、プローブ11aと12a間は、導通が無くなる。同様に、上部ガラス3が右にずれた場合は、プローブ11bと12b間の測定より非導通状態を検出することができる。なお、プローブ11aと11b間、及びプローブ12aと12b間の導通測定により、前期実施形態と同様の検査を行うことができる。
また、プローブ12a、12bの位置は、プローブ11a、11bの外側であれば良い。さらに、プローブ検査工程において、被検査のセンサ10を図5の図中の縦方向に移動させ、1チップずつ順番に自動検査を実施する場合は、プローブ11aと12aの位置関係、及びプローブ11bと12bの位置関係は、ともに図5のように両者が縦方向に並んだ位置に構成することにより、検査工程をスムーズに行うことができる。
以上述べたように、本実施形態に係る陽極接合の検査方法によれば、センサ10のシリコン基板1上に陽極接合するアルミ電極7を有し、このアルミ電極7と上部ガラス3を接触させて接合する陽極接合の検査方法において、アルミ電極7の両端に伸延部7aを設け、これにプローブ12a、12bを当て、その間の抵抗値を測定する検査工程を設けたことにより、上部ガラス3の位置ズレを簡単に、確実に検出することができる。従って、検査を定量的に評価することができ、従来の外観検査に比べ、検査者によるばらつきが無くなり、従来に比べ精度の良い検査を効率的に行うことができる。
また、プローブの当るアルミ電極を上部ガラスの外側に伸延して設けることにより、アルミ電極にプローブを当て易く、測定を容易にでき、さらにリードパターンによって接続される電極パターンを設けることにより、所望の領域のみ接合することが可能となり、測定精度を向上することができる。
また、アルミ電極上において、伸延部と上部ガラスの端面間の導通状態を検出することにより、上部ガラスの位置ズレの有無だけでなく、位置ズレの方向も特定することができる。
1 シリコン基板(半導体チプップ)
3 上部ガラス(ガラス)
7 アルミ電極(パターン)
7a、7b、7c 伸延部
7d リードパターン
10 半導体加速度センサ
11a、11b プローブ
12a、11b プローブ
3 上部ガラス(ガラス)
7 アルミ電極(パターン)
7a、7b、7c 伸延部
7d リードパターン
10 半導体加速度センサ
11a、11b プローブ
12a、11b プローブ
Claims (5)
- 半導体チップに、該チップ上に陽極接合するパターンを有し、前記パターンとガラスを接触させ、それらの接触面で接合する陽極接合の検査方法において、
前記パターン上の所定箇所に導通用プローブを当てることにより、その導通状態を検出し、この検出に基いて前記ガラスの位置ズレを検出する検査工程を設けたことを特徴とする陽極接合の検査方法。 - 前記パターンは前記接合されるガラスの外側に伸延して設けられた伸延部を有したことを特徴とする請求項1に記載の陽極接合の検査方法。
- 前記伸延部は、前記パターンからリードパターンによって接続される電極パターンとして形成されることを特徴とする請求項2に記載の陽極接合の検査方法。
- 前記パターンの伸延部両側の導通状態を検出することを特徴とする請求項2に記載の陽極接合の検査方法。
- 前記伸延部は、前記ガラスの端面に沿うように設けられ、該伸延部と該ガラス端面の間の導通状態を検出することを特徴とする請求項2に記載の陽極接合の検査方法。
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