JP2007027226A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5533656B2 (ja) * 2008-09-18 2014-06-25 株式会社ニコン 結像光学系、露光装置及び電子デバイスの製造方法
DE102009045135A1 (de) * 2009-09-30 2011-03-31 Carl Zeiss Smt Gmbh Beleuchtungsoptik für die Mikrolithographie
DE102011084266A1 (de) * 2011-10-11 2013-04-11 Carl Zeiss Smt Gmbh Kollektor

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3862347B2 (ja) * 1996-04-11 2006-12-27 キヤノン株式会社 Ｘ線縮小露光装置およびこれを利用したデバイス製造方法
EP1320857A2 (en) * 2000-09-29 2003-06-25 Carl Zeiss Illumination system particularly for microlithography
JP2002323599A (ja) * 2001-04-27 2002-11-08 Nikon Corp 多層膜反射鏡の製造方法及び露光装置
DE10208854A1 (de) * 2002-03-01 2003-09-04 Zeiss Carl Semiconductor Mfg Beleuchtungssystem mit genestetem Kollektor zur annularen Ausleuchtung einer Austrittspupille
JP4356695B2 (ja) * 2003-05-09 2009-11-04 株式会社ニコン 照明光学系、投影露光装置、マイクロデバイスの製造方法
JP4366152B2 (ja) * 2003-09-09 2009-11-18 キヤノン株式会社 露光装置

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