JP2007017273A - 試料支持装置及びx線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ベースステージ7に重ねて配置される搭載ステージ8を有し、この搭載ステージ8によって試料Sを支持する試料支持装置である。ベースステージ7と搭載ステージ8はそれぞれの結合面を対向させた状態で互いに重ね合わされる。試料支持装置は、搭載ステージ8に設けられた駆動装置18,19と、搭載ステージ8の結合面内に設けられていて電線44を介して駆動装置18,19に導通する搭載側端子31aと、ベースステージ7の結合面内に設けられていて搭載側端子31aと導電接続可能なベース側端子31bとを有する。搭載ステージ8をベースステージ7上に重ねて配置した状態で、搭載側端子31aとベース側端子31bとが導電接続する。
【選択図】 図7
Description
以下、本発明に係るX線分析装置及び試料支持装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。また、これ以降の説明では図面を参照するが、その図面では特徴的な部分を分かり易く示すために実際のものとは異なった比率で構成要素を示す場合がある。
本実施形態の試料台6に関しては、図3に矢印A及びBで示すように、搭載ステージ8がベースステージ7に対して着脱可能、すなわち容易に取付け及び取外しできるようになっている。つまり、ベースステージ7の上面及び搭載ステージ8の底面のそれぞれを結合面として、搭載ステージ8がベースステージ7に対して着脱可能となっている。このような着脱構造を採用するのは、ベースステージ7への搭載ステージ8の取付け作業を簡単化するため、及び搭載ステージ8を構成する移動ステージを別の種類の移動ステージと交換することを可能とするためである。以下、この着脱構造について説明する。
図8は、本発明に係るX線分析装置及び試料支持装置の他の実施形態を示している。ここに示す実施形態が図1に示した先の実施形態と異なる点は、図1の試料台6を構成する搭載ステージ8に改変を加えたことである。本実施形態において図1に示した部材と同じ部材は同じ符号を付してその説明は省略することにする。
図10は、本発明に係るX線分析装置及び試料支持装置のさらに他の実施形態の要部を示している。本実施形態の全体的な外観形状は図1の実施形態と同じである。本実施形態は、先の実施形態で用いたところの図4に示したベースステージ7の上面の構造に関して改変を加えたものである。以下、主に改変を加えた部分について説明し、共通する構成の説明は省略するものとする。
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
5.χ軸移動ステージ、 6.試料台、 7.ベースステージ、 8.搭載ステージ、
9.χ駆動装置、 11.Z軸移動ステージ、 12.φ軸移動ステージ、
13.Y軸移動ステージ、 14.X軸移動ステージ、
16,17,18,19.駆動装置、 21.嵌合凸部、 22.嵌合凹部、
23.嵌合ピン、 24.嵌合穴、 26.凹部、 27.ベース側配線基板、
28.ネジ、 29.貫通穴、 31a.搭載側端子、 31b.ベース側端子、
32.外部接続端子、 33.基板、 34.パッド、 36.凹部、
37.搭載側配線基板、 39.貫通穴、 42.外部接続端子、 43.基板、
44,45,48.電線、 47.スリップリングコネクタ、 49.上端子、
50.下端子、 56.試料台、 61b.スプリングコネクタ、 62.可動端子、
63.Ry軸移動ステージ、 64.Rx軸移動ステージ、 65.スプリング、
68,69.駆動装置、 F.X線源、 R0.入射X線、 S.試料、
Xh1.横基準軸線、 Xh2.軸線、 Xv.縦基準軸線
Claims (10)
- ベースステージと、該ベースステージに重ねて配置される搭載ステージとを有し、該搭載ステージによって試料を支持する試料支持装置であって、
前記ベースステージと前記搭載ステージはそれぞれの結合面を対向させた状態で互いに重ね合わされ、
前記搭載ステージに設けられた電気要素と、
前記搭載ステージの結合面内に設けられていて電線を介して前記電気要素と導通する搭載側端子と、
前記ベースステージの結合面内に設けられていて前記搭載側端子と導電接続可能なベース側端子と、を有し、
前記搭載ステージを前記ベースステージ上に重ねて配置した状態で、前記搭載側端子と前記ベース側端子とが導電接続する
ことを特徴とする試料支持装置。 - 請求項1記載の試料支持装置において、
前記搭載側端子が設けられた搭載側配線基板と、前記ベース側端子が設けられたベース側配線基板とをさらに有し、
前記搭載側配線基板は前記搭載ステージの結合面内に固定され、前記ベース側配線基板は前記ベースステージ内に固定される
ことを特徴とする試料支持装置。 - 請求項2記載の試料支持装置において、
前記搭載側配線基板は外部接続端子を有し、該外部接続端子は前記搭載側配線基板上に形成された配線パターンを介して前記搭載側端子に導通し、
前記ベース側配線基板は外部接続端子を有し、該外部接続端子は前記ベース側配線基板上に形成された配線パターンを介して前記ベース側端子に導通する
ことを特徴とする試料支持装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の試料支持装置において、
前記ベースステージと前記搭載ステージとの間に設けられていて嵌合部と被嵌合部とを有する嵌合構造をさらに有し、
前記ベースステージと前記搭載ステージは前記嵌合部と前記被嵌合部とが互いに嵌合した状態で互いに重ね合わされる
ことを特徴とする試料支持装置。 - 請求項4記載の試料支持装置において、前記嵌合構造は、前記搭載ステージが前記ベースステージに対して横方向へ平行移動するのを規制し、さらに前記ベースステージに対して回転移動するのを規制することを特徴とする試料支持装置。
- 請求項1から請求項5のいずれか1つに記載の試料支持装置において、前記搭載ステージに設けられた電気要素と前記搭載側端子とを導通する前記電線は、前記搭載ステージの内部を通ることを特徴とする試料支持装置。
- 請求項1から請求項6のいずれか1つに記載の試料支持装置において、
前記ベースステージは、前記試料をX線ビームに対して進退移動させるZ軸移動ステージと、前記試料を面内回転させるφ軸移動ステージとを有し、
前記搭載ステージは、前記試料を面内スライド移動させることにより試料表面上のX線照射位置を変化させるX−Y軸移動ステージか、X線ビームに対する試料の姿勢を調整するRx−Ry軸移動ステージか、のどちらかである
ことを特徴とする試料支持装置。 - 請求項1から請求項7のいずれか1つに記載の試料支持装置において、
前記搭載側端子及び前記ベース側端子の一方は、弾性及び導電性を有する材料を変形可能に湾曲させて成る変形可能端子であり、
前記搭載側端子及び前記ベース側端子の他方は、導電性を有する材料によって平面的に形成された平面端子であり、
前記搭載側端子と前記ベース側端子とが導電接続する際には、前記変形可能端子が前記平面端子によって押されて変形する
ことを特徴とする試料支持装置。 - 請求項8記載の試料支持装置において、
前記変形可能端子は、変形可能な湾曲形状に形成された板状の端子か、可動端子をスプリングによって支持して成るスプリングコネクタか、であることを特徴とする試料支持装置。 - 試料を支持する試料支持手段と、前記試料へ照射されるX線を発生するX線源と、前記試料から出たX線を検出するX線検出手段とを有するX線分析装置において、
前記試料支持手段は、請求項1から請求項9のいずれか1つに記載の試料支持装置であることを特徴とするX線分析装置。
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