JP2007014996A - イオンミリング装置およびイオンミリング方法 - Google Patents
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Abstract
試料とマスクとの遮蔽位置調整を精度良く行うに際して、調整に手間取らずに簡便に行うことのできる、又、試料とマスクが密着していることを確認できるイオンミリング装置、およびイオンミリング方法を提供する。
【解決手段】
マスクと試料との遮蔽位置関係の調整時に、試料マスクユニットを設置した試料マスクユニット微動機構は、試料微動ベースから取り外されて光学顕微鏡の固定台に装着され、マスクは試料に対する遮蔽位置関係が前記マスク位置調整部によって調整され、イオンミリング時に、試料に対する遮蔽位置関係が調整されたマスクを備えた試料マスクユニットを設置した試料マスクユニット微動機構が位置決め用の軸と穴によって再現性のある決まった位置で試料微動ベースに戻される。又、光学顕微鏡には別の固定台を設け、固定台に試料マスクユニットを設置し、試料とマスクが密着しているかどうかを確認できる。
【選択図】図6
Description
試料ホルダ回転ねじ28を回してX1方向の位置調整を行い、試料3の断面とマスク2の稜線が平行になるよう後述するようにして顕微鏡下で微調整する。このとき、試料3の断面がマスクより僅かに突出、例えば50μm程度突出するようにマスク微調整機構26を回して設定する。
Claims (3)
- 真空チャンバに取り付けられ、試料にイオンビームを照射するイオンビーム源と、試料を固定する試料ホルダ、該試料ホルダに固定された試料の一部を遮蔽するマスク,前記試料ホルダを回転する試料回転機構および前記マスクと試料との遮蔽位置関係を調整するマスク位置調整部から構成される試料マスクユニットとイオンビームと垂直に試料マスクユニットをXY駆動できる試料マスクユニット微動機構と前記試料マスクユニット微動機構を真空チャンバ内で設置できる試料微動ベースおよび前記マスクと試料との遮蔽位置関係を観測する光学顕微鏡とを備えたイオンミリング装置において、
前記光学顕微鏡は、前記真空チャンバから別体に構成され、前記試料マスクユニット微動機構を取り付けにおいて再現性のある位置で着脱自在に取り付けられる固定台を備え、
前記試料マスクユニット微動機構は、該試料微動ベースから再現性のある位置で着脱自在とされ、イオンビームを照射したい位置に試料を移動させるために、前記光学顕微鏡の固定台に前記試料マスクユニット微動機構を取り付け、目的の位置に試料を移動後に、前記マスクは試料に対する遮蔽位置関係が前記マスク位置調整部によって調整され、イオンミリング時に、試料に対する遮蔽位置関係が調整された前記マスクを備えた前記試料マスクユニットを取り付けた試料マスクユニット微動機構が前記試料微動ベースに戻され、装着されるものであること
を特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項1において、前記光学顕微鏡には、前記試料マスクユニットを光軸に対して傾斜(例えば30°)した状態で設置できる固定台も取り付けられるようになっていて、前記試料とマスクの位置を調整後、試料マスクユニットを傾斜した状態で光学顕微鏡下に設置して、前記試料とマスクが隙間なく密着していることを光学顕微鏡で確認できることを特徴とするイオンミリング装置
- 請求項1、2において、試料とマスクの位置調整をし、イオンビーム照射により試料を研磨した後、前記試料マスクユニットを前記試料マスクユニット微動機構から取り外し、前記試料とマスクの関係をそのままの状態で試料の研磨面の状態を光学顕微鏡又はSEMで確認し、研磨が不充分な場合は、前記試料とマスクの関係をそのままの状態で、前記試料マスクユニット微動機構に取り付け、同じ位置でイオンビーム照射による研磨を続けることができることを特徴とするイオンミリング装置
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---|---|
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008215979A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Jeol Ltd | イオンミーリング試料作製装置用マスクおよび試料作製装置 |
JP2009245783A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Hitachi High-Technologies Corp | イオンミリング装置及びイオンミリング方法 |
JP2010230665A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-10-14 | Jeol Ltd | イオンビームを用いた試料断面作製装置及び作製方法 |
KR20120004333A (ko) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | 캠텍 리미티드 | 샘플을 준비하는 방법 및 시스템 |
KR20120004332A (ko) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | 캠텍 리미티드 | 라멜라를 준비하는 방법 및 시스템 |
US9761412B2 (en) | 2014-05-09 | 2017-09-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ion milling apparatus and sample processing method |
JPWO2016121080A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2017-12-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンミリングのマスク位置調整方法、マスク位置を調整できる電子顕微鏡、試料ステージに搭載されるマスク調整装置、およびイオンミリング装置の試料マスク部品 |
US10381191B2 (en) | 2017-05-09 | 2019-08-13 | Jeol Ltd. | Sample holder unit and sample observation apparatus |
JP2020194789A (ja) * | 2020-08-11 | 2020-12-03 | 株式会社日立ハイテク | イオンミリング方法、およびイオンミリング装置 |
US11621141B2 (en) | 2016-02-26 | 2023-04-04 | Hitachi High-Tech Corporation | Ion milling device and ion milling method |
WO2024053073A1 (ja) * | 2022-09-08 | 2024-03-14 | 株式会社日立ハイテク | イオンミリング装置、断面ミリング処理方法及び断面ミリングホルダ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61256554A (ja) * | 1985-05-10 | 1986-11-14 | Hitachi Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
JPH09293475A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Nec Corp | 試料ホルダ及びホルダ固定具 |
JP2001176442A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2005037164A (ja) * | 2003-07-16 | 2005-02-10 | Jeol Ltd | 試料作製装置 |
JP2005091094A (ja) * | 2003-09-16 | 2005-04-07 | Jeol Ltd | 試料作製装置および試料作製方法 |
JP2006269342A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Hitachi High-Tech Science Systems Corp | イオンミリング装置 |
-
2005
- 2005-07-08 JP JP2005200441A patent/JP4675701B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61256554A (ja) * | 1985-05-10 | 1986-11-14 | Hitachi Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
JPH09293475A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Nec Corp | 試料ホルダ及びホルダ固定具 |
JP2001176442A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2005037164A (ja) * | 2003-07-16 | 2005-02-10 | Jeol Ltd | 試料作製装置 |
JP2005091094A (ja) * | 2003-09-16 | 2005-04-07 | Jeol Ltd | 試料作製装置および試料作製方法 |
JP2006269342A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Hitachi High-Tech Science Systems Corp | イオンミリング装置 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008215979A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Jeol Ltd | イオンミーリング試料作製装置用マスクおよび試料作製装置 |
JP2009245783A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Hitachi High-Technologies Corp | イオンミリング装置及びイオンミリング方法 |
JP2010230665A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-10-14 | Jeol Ltd | イオンビームを用いた試料断面作製装置及び作製方法 |
JP2012018163A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Kamtec Ltd | 試料を作製するための方法およびシステム |
KR20120004332A (ko) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | 캠텍 리미티드 | 라멜라를 준비하는 방법 및 시스템 |
JP2012018164A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Kamtec Ltd | ラメラを作製するための方法およびシステム |
KR20120004333A (ko) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | 캠텍 리미티드 | 샘플을 준비하는 방법 및 시스템 |
US9761412B2 (en) | 2014-05-09 | 2017-09-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ion milling apparatus and sample processing method |
JPWO2016121080A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2017-12-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンミリングのマスク位置調整方法、マスク位置を調整できる電子顕微鏡、試料ステージに搭載されるマスク調整装置、およびイオンミリング装置の試料マスク部品 |
US10269534B2 (en) | 2015-01-30 | 2019-04-23 | Hitachi High-Technologies Corporation | Mask position adjustment method of ion milling, electron microscope capable of adjusting mask position, mask adjustment device mounted on sample stage and sample mask component of ion milling device |
US11621141B2 (en) | 2016-02-26 | 2023-04-04 | Hitachi High-Tech Corporation | Ion milling device and ion milling method |
US10381191B2 (en) | 2017-05-09 | 2019-08-13 | Jeol Ltd. | Sample holder unit and sample observation apparatus |
JP2020194789A (ja) * | 2020-08-11 | 2020-12-03 | 株式会社日立ハイテク | イオンミリング方法、およびイオンミリング装置 |
WO2024053073A1 (ja) * | 2022-09-08 | 2024-03-14 | 株式会社日立ハイテク | イオンミリング装置、断面ミリング処理方法及び断面ミリングホルダ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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