JP2006269342A - イオンミリング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料3を固定した試料ホルダ23とその回転機構およびマスク2とその微調整機構とが一体になった試料マスクユニット本体21を備え、この試料マスクユニット本体21を試料ホルダ固定具5に取り付け、取り外し可能、且つ、真空チャンバの外部へ取り出し可能にした。これにより、試料マスクユニット本体を別の高性能の顕微鏡下に設置して、試料の鏡面研磨したい部位とマスクの位置関係を精度良く設定することができる。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 試料ホルダに固定された試料にイオンビームを照射するためのイオン源と、前記試料ホルダを固定する試料ホルダ固定具と、前記試料ホルダに固定された試料の一部をイオンビームが照射されないように遮蔽するマスクと、前記試料の加工部位をイオンビームの光軸と合わせるために前記試料ホルダを回転する試料ホルダ回転機構と、前記マスクと試料との位置関係を調整するためのマスク微調整機構とを具備し、真空チャンバ内にてイオンミリングが行われるように構成されているイオンミリング装置であって、前記試料ホルダとその回転機構および前記マスクとその微調整機構とが一体に構成された試料マスクユニット本体を有し、前記試料マスクユニット本体が前記試料ホルダ固定具から取り外し可能であり、且つ、前記真空チャンバの外部へ取り出し可能に構成されていることを特徴とするイオンミリング装置。
- 請求項1において、前記試料ホルダ固定具を前記イオンビームの光軸に対して横方向に移動できるようにした試料ホルダ固定具移動機構と、前記試料ホルダ固定具を前記イオンビームの光軸に対して任意の角度に傾斜できるようにした試料ホルダ固定具回転傾斜機構の少なくとも1つを備えたことを特徴とするイオンミリング装置。
- 試料ホルダに固定された試料にイオンビームを照射するためのイオン源と、前記試料ホルダを固定する試料ホルダ固定具と、前記試料ホルダに固定された試料の一部をイオンビームが照射されないように遮蔽するマスクと、前記試料の加工部位をイオンビームの光軸と合わせるために前記試料ホルダを回転する試料ホルダ回転機構と、前記マスクと試料との位置関係を調整するためのマスク微調整機構とを具備し、真空チャンバ内にてイオンミリングが行われるように構成されているイオンミリング装置であって、前記試料ホルダとその回転機構および前記マスクとその微調整機構とが一体に構成された試料マスクユニット本体を有し、前記試料マスクユニット本体と前記試料ホルダ固定具とが前記真空チャンバの外部へ取り出し可能に構成されていることを特徴とするイオンミリング装置。
- 請求項3において、前記試料ホルダ固定具を前記イオンビームの光軸に対して横方向に移動できるようにした試料ホルダ固定具移動機構と、前記試料ホルダ固定具を前記イオンビームの光軸に対して任意の角度に傾斜できるようにした試料ホルダ固定具回転傾斜機構の少なくとも1つを備えたことを特徴とするイオンミリング装置。
- 請求項4において、前記試料ホルダ固定具が前記真空チャンバの一部を兼ねるフランジに固定され、前記フランジが前記真空チャンバの外部へ引き出し可能に構成されていることを特徴とするイオンミリング装置。
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