JP2007010994A - 表示装置及び表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】駆動信号源が接続される複数の電極が静電破壊されることを防止し、表示不良を抑制する表示装置及び表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】複数の表示画素PXによって構成された有効表示部6と、有効表示部6に駆動信号を供給する駆動信号源が接続される複数の電極11と、複数の電極11が並ぶ方向に沿って延びる配線W2と、複数の電極11と配線W2との間に配置され、配線W2と略平行に延びる導電層17と、を備え、導電層17と配線W2とは同一層に配置された表示装置。
【選択図】図4
【解決手段】複数の表示画素PXによって構成された有効表示部6と、有効表示部6に駆動信号を供給する駆動信号源が接続される複数の電極11と、複数の電極11が並ぶ方向に沿って延びる配線W2と、複数の電極11と配線W2との間に配置され、配線W2と略平行に延びる導電層17と、を備え、導電層17と配線W2とは同一層に配置された表示装置。
【選択図】図4
Description
本発明は、複数の導電層を備えた表示装置及びその表示装置の製造方法に関する。
液晶表示装置などの表示装置は、互いに対向するアレイ基板及び対向基板から成り、マトリクス状の表示画素によって構成された有効表示部を備えている。この有効表示部は、表示画素の行方向に沿って延在する複数の走査線、表示画素の列方向に沿って延在する複数の信号線等の各種配線を備えている。これら各走査線及び各信号線は、有効表示部の外周部に引き出されている。
有効表示部の外周部には各走査線及び各信号線等の各種配線が接続された複数の電極が配置されている。この複数の電極には有効表示部に駆動信号を供給する駆動ICやフレキシブル配線基板などの駆動信号源が実装される。
上記の表示装置の製造段階において、アレイ基板と対向基板との間に発生する静電気による表示素子の破壊を低減するために、複数の電極が並ぶ方向に沿って延びる導電層が形成された表示装置が提案されている(特許文献1参照)。
特開2002−91341号公報
しかし上記の方法のように、複数の電極と、これらの電極が並ぶ方向に沿って配置される導電層とを同時に形成すると、エッチングプロセスなどで導電層に帯電した静電気が電極に移動して、電極が静電破壊される場合があった。
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、駆動信号源を実装するための電極の静電破壊を抑制するとともに、表示不良を抑制することが可能な表示装置及び表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の第1の態様による表示装置は、複数の表示画素によって構成された有効表示部と、前記有効表示部に駆動信号を供給する駆動信号源が接続される複数の電極と、前記複数の電極が並ぶ方向に沿って延びる配線と、前記複数の電極と前記配線との間に配置され、前記配線と略平行に延びる導電層と、を備え、前記導電層と前記配線とは同一層に配置される。
本発明の第2の態様による表示装置の製造方法は、複数の表示画素によって構成された有効表示部に駆動信号を供給するための駆動信号源が接続される複数の電極を形成する工程と、前記複数の電極が並ぶ方向に沿って延びる配線を形成する工程と、を備え、前記配線を製造する工程は、前記複数の電極と前記配線との間に配置され前記配線と略平行に延びる導電層を形成する工程を含む表示装置の製造方法。
本発明によれば、駆動信号源を実装するための電極の静電破壊を抑制するとともに、表示不良を抑制することが可能な表示装置及び表示装置の製造方法を提供することができる。
以下、本発明の第1実施形態に係る表示装置について図面を参照して説明する。本発明の一実施形態に係る表示装置は、例えば図1に示すような略矩形平板状の液晶表示パネル1を備えた液晶表示装置である。この液晶表示パネル1は、図2に示すように、対向して配置された一対の基板すなわちアレイ基板3及び対向基板4と、これら一対の基板の間に光変調層として保持された液晶層5と、によって構成されている。
この液晶表示パネル1は、画像を表示する略矩形状の有効表示部6を備えている。有効表示部6は、マトリクス状に配置された複数の表示画素PXによって構成されている。
アレイ基板3は、有効表示部6の一部を構成する表示部6Aを有している。表示部6Aは、配線、例えば、表示画素PXの行方向に沿って延在する複数の走査線Y(1、2、3、…、m)や、表示画素PXの列方向に沿って延在する複数の信号線X(1、2、3、…、n)を備えている。また、アレイ基板3は、表示部6Aにおいて、これらの各種配線の他に、走査線Yと信号線Xとの交差部付近において表示画素PX毎に配置されたスイッチング素子7、スイッチング素子7に接続された画素電極8等を備えている。
このスイッチング素子7のゲート電極7Gは、対応する走査線Yに電気的に接続されている(あるいは走査線と一体に形成されている)。スイッチング素子7のソース電極7Sは、対応する信号線Xに電気的に接続されている(あるいは信号線と一体に形成されている)。スイッチング素子7のドレイン電極7Dは、対応する表示画素PXの画素電極8に電気的に接続されている。画素電極8の表面は、配向膜16Aによって覆われている。
対向基板4は、有効表示部6の一部を構成する表示部6Bを有している。表示部6Bは、全表示画素PXに共通の対向電極9を備えている。対向電極9は、インジウム・ティン・オキサイド(ITO)等の光透過性を有する導電性部材によって形成されている。対向電極9の表面は、配向膜16Bによって覆われている。
アレイ基板3と対向基板4とは、画素電極8上の配向膜16Aと対向電極9上の配向膜16Bとが対向する状態で配設され、これらの間に液晶層5を介してシール部材15によって貼り合わせられている。液晶層5は、アレイ基板3と対向基板4との空間に封止された液晶組成物によって形成されている。
アレイ基板3の表示部6A、及び対向基板4の表示部6Bの液晶層5とは反対側となる主面には偏光板14が貼り付けられている。
カラー表示タイプの液晶表示装置の液晶表示パネル1は、複数種類の表示画素、例えば赤を表示する赤色画素、緑を表示する緑色画素、青を表示する青色画素を有している。すなわち、赤色画素は、赤色の主波長の光を透過する赤色カラーフィルタCFRを備えている。緑色画素は、緑色の主波長の光を透過する緑色カラーフィルタCFGを備えている。青色画素は、青色の主波長の光を透過する青色カラーフィルタCFBを備えている。これらカラーフィルタCFR、CFG、CFBから成るカラーフィルタ層CFは、表示部6Bの液晶層5側の主面に配置される。
また、各カラーフィルタCFR、CFG、CFB間(すなわち表示画素間)、及び表示部6Bの周囲には、遮光層13が形成されている。各カラーフィルタCFR、CFG、CFB間に形成された遮光層13は、アレイ基板3上の信号線X及び走査線Yに対向するように配置されている。この遮光層13は、例えば、黒色に着色された着色樹脂によって形成される。
上記の液晶表示パネル1は、対向基板4の端部4Eより外方に延在したアレイ基板3の延在部3A上に、有効表示部6に駆動信号を供給する駆動信号源として機能する駆動ICが接続される複数の電極11と、有効表示部6に駆動信号を供給する駆動信号源として機能するフレキシブル配線基板FPCが接続される接続パッド12とを備えている。
複数の電極11は、例えば、対向基板4の端部4Eの延びる方向(X方向)に沿って配置され、信号線Xが延びる方向(Y方向)に所定の距離をおいて並んだ第1電極11A及び第2電極11Bを有している。端部4E側に配列した第1電極11Aには、有効表示部6に延びる配線W1が接続されている。配線W1は、信号線Xや走査線Yの他にコモン電位を供給するコモン配線等の一部に相当する。
第1電極11Aと第2電極11Bとの間には、第1電極11A及び第2電極11Bが並ぶ方向(X方向)に沿って配線W2が延びている。配線W2には、例えば電源系やGND系やタイミングクロック及びRGB等の信号が入力される。さらに、第1電極11Aと配線W2との間には、配線W2の延びる方向(X方向)に対して略平行に延びた導電層17が配置されている。この導電層17は、例えば、いずれの端子にも接続されていない電気的にフローティング状態であり、液晶表示装置を駆動する際、有効表示部6に駆動信号を供給するような配線ではない。
図3及び図4に示すように、配線W2は、第1絶縁層21上の第2導電層L1に配置された上層配線W2Uを有している。図4に示した例では、配線W2は、低抵抗化などを目的とした2層構造であり、第1絶縁層21の下層である第1導電層L1に配置された下層配線W2Lを有している。これらの上層配線W2U及び下層配線W2Lは、第1絶縁層21を貫通するコンタクトホールを介してコンタクトしている。
第1電極11Aは、第1導電層L1に配置された下層電極11AL及び第2絶縁層22上の第3導電層L3に配置された上層電極11AUを有している。これらの下層電極11AL及び上層電極11AUは、第1絶縁層21及び第2絶縁層22を貫通するコンタクトホールを介してコンタクトしている。
導電層17は、第2導電層L2に配置されている。すなわち、導電層17は、配線W2(図4に示した2層構造の配線W2では、上層配線W2U)と同一層に配置されている。また、導電層17は、第1電極11Aとは異なる層に配置されている。
次に、上記の液晶表示パネル1の製造方法について説明する。最初に、アレイ基板3を製造する。まず、アレイ基板3を形成するための透明な絶縁基板を用意する。この絶縁基板上に第1導電層L1となるモリブデン等の金属膜を成膜した後に、金属膜をパターンニングする。これにより、表示部6Aにスイッチング素子7のゲート電極7Gや走査線Yなどを形成するとともに、延在部3Aに第1電極11Aの下層電極11ALなどを同時に形成する。また、必要に応じて、配線W2の下層配線W2Lも同時に形成される。
なお、ここでのパターニング工程では、燐酸・硝酸・酢酸混合液等のケミカルウェット法などのエッチングプロセスが適用される。このため、下層電極11ALと下層配線W2Lとを同時に形成したとしても、下層配線W2Lに電荷がたまりにくく、下層配線W2Lから下層電極11ALに電荷が飛ぶような放電はほとんど発生しない。
続いて、この第1導電層L1上に第1絶縁膜21となる窒化シリコンや酸化シリコンなどの絶縁材料を成膜した後、必要に応じてコンタクトホールなどを形成するために絶縁材料をパターンニングする。その後に、この第1絶縁膜21上に第2導電層L2となるアルミニウム等の金属膜を成膜した後に、この金属膜をパターンニングする。これにより、表示部6Aにスイッチング素子7のソース電極7S、ドレイン電極7D、信号線Xなどを形成するとともに、延在部3Aに配線W2の上層配線W2Uや導電層17などを同時に形成する。
ここでのパターニング工程では、ドライエッチングプロセスが適用される。このため、ドライエッチングのプラズマガスの影響により比較的線幅の広い上層配線W2Uに電荷がたまりやすい。ここで、先の工程で形成した下層電極11ALは、当然のことながら上層配線W2Uとは異なる層に形成されており、しかも、下層電極11ALと上層配線W2Uとの間に導電層17が形成される。このため、上層配線W2Uに蓄積した電荷は、最寄の同一層に形成された金属層である導電層17に飛びやすくなる。つまり、上層配線W2Uに蓄積した電荷による下層電極11ALの静電破壊を抑制することができる。
続いて、この第2導電層L2上に第2絶縁膜22となる窒化シリコンや酸化シリコンなどの絶縁材料を成膜した後、必要に応じてコンタクトホールなどを形成するために絶縁材料をパターンニングする。その後に、この第2絶縁膜22上に第3導電層L3と成るITO等の金属膜を成膜した後に、この金属膜をパターンニングする。これにより、表示部6Aに画素電極8を形成するとともに、延在部3Aに下層電極11ALにコンタクトした上層電極11AUを形成する。
続いて、対向基板4を製造する。すなわち、透明な絶縁基板を用意する。その後、この絶縁基板上に、着色樹脂の成膜及びパターンニングを繰り返し、表示部6Bに遮光層13、及びカラーフィルタ層CFを形成する。さらに、カラーフィルタ層CFの上に金属膜や絶縁膜の成膜とパターニングとを繰り返して対向電極9、配向膜16Bなどを備えた表示部6Bを形成する。
続いて、アレイ基板3の表示部6Aと対向基板4の表示部6Bとが対向するようにアレイ基板3と対向基板4とを配置し、表示部6Aと表示部6Bとの間に液晶層5を封入するための空間を形成した状態でシール部材15によってこれらを貼り合せる。表示部6Aと表示部6Bとの間の空間に液晶層を注入し、注入口を閉じて図1及び図2に示すような液晶表示パネル1を製造する。
上記のように、配線W2と同一層である第2導電層L2の複数の電極11及び配線W2の間に導電層17を形成することによって、配線W2に帯電した電荷を電極11に移動させることなく導電層17に誘導することが可能となる。導電層17は、表示に寄与する信号が供給されない配線であるため、例え配線W2と導電層17とがショートしたとしても、表示に何ら影響を与えない。また、電極11の静電破壊が防止されるため、後の工程で駆動信号源を確実に電極11に実装することが可能となる。すなわち、液晶表示装置が上記構成の液晶表示パネル1を備えることによって、駆動信号源を実装するための複数の電極11の静電破壊を抑制することが可能となり、表示不良を抑制することが可能な表示装置を提供することができる。
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。
例えば、上記の実施形態では表示装置として液晶表示装置を用いて説明しているが、液晶表示装置以外の有機EL表示装置等であっても良い。その場合にも、上記の実施形態と同様に、配線W2と同一層に複数の電極11が並ぶ方向に沿った導電層17を形成することによって同様の効果が得られる。
また、上述した実施の形態では、配線W2と第1電極11Aとの間に放電を誘導するための導電層17を配置したが、配線W2と第2電極11Bとの間にも同様の導電層を配置しても良いし、接続パッド12が並ぶ方向に沿ってこれらの近傍に同様の導電層を配置しても良い。
また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
1…液晶表示パネル、3…アレイ基板、3A…延在部、4…対向基板、4E…端部、5…液晶層、6…表示領域、6A、6B…表示部、7…スイッチング素子、7G…ゲート電極、7S…ソース電極、7D…ドレイン電極、8…画素電極、11…電極、11A…第1電極、11B…第2電極、17…導電層、X(X1〜Xn)…信号線、Y(Y1〜Ym)…走査線、PX…画素、W1、W2…配線、W2A…第1配線、W2B…第2配線
Claims (3)
- 複数の表示画素によって構成された有効表示部と、
前記有効表示部に駆動信号を供給する駆動信号源が接続される複数の電極と、
前記複数の電極が並ぶ方向に沿って延びる配線と、
前記複数の電極と前記配線との間に配置され、前記配線と略平行に延びる導電層と、を備え、
前記導電層と前記配線とは同一層に配置された表示装置。 - 前記電極は、前記導電層とは異なる層に配置された請求項1に記載の表示装置。
- 複数の表示画素によって構成された有効表示部に駆動信号を供給するための駆動信号源が接続される複数の電極を形成する工程と、
前記複数の電極が並ぶ方向に沿って延びる配線を形成する工程と、を備え、
前記配線を形成する工程は、前記複数の電極と前記配線との間に配置され前記配線と略平行に延びる導電層を形成する工程を含む表示装置の製造方法。
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