JP2007005599A5 - - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 99
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 98
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 claims description 44
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 claims description 12
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 92
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 73
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 26
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 24
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 20
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 19
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 12
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005184676A JP4558594B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | シャッター付きブレスフィルター装置および該装置に使用するシャッター押上げロッド並びにシャッター押上げロッド付きノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005184676A JP4558594B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | シャッター付きブレスフィルター装置および該装置に使用するシャッター押上げロッド並びにシャッター押上げロッド付きノズル |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007005599A JP2007005599A (ja) | 2007-01-11 |
| JP2007005599A5 true JP2007005599A5 (fr) | 2008-08-07 |
| JP4558594B2 JP4558594B2 (ja) | 2010-10-06 |
Family
ID=37690902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005184676A Expired - Fee Related JP4558594B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | シャッター付きブレスフィルター装置および該装置に使用するシャッター押上げロッド並びにシャッター押上げロッド付きノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4558594B2 (fr) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5547576B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2014-07-16 | 近藤工業株式会社 | Ｎ２ガスパージ用ブリージングフィルターユニットおよび該フィルターユニットを搭載した半導体ウエハ収納容器をｎ２ガスパージするパージ装置 |
| US9997388B2 (en) | 2012-11-20 | 2018-06-12 | Entegris, Inc. | Substrate container with purge ports |
| JP5888287B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2016-03-16 | 株式会社ダイフク | 処理設備 |
| EP3080838B1 (fr) * | 2013-12-13 | 2022-02-02 | Brooks Automation (Germany) GmbH | Système de purge par recirculation |
| KR101611521B1 (ko) | 2014-07-28 | 2016-04-12 | 우범제 | 로드 포트의 풉 스테이지 노즐 개폐용 셔터장치 |
| JP6982050B2 (ja) * | 2014-12-13 | 2021-12-17 | ブルックス シーシーエス ゲーエムベーハーBrooks CCS GmbH | 再循環型基板コンテナパージングシステム及び方法 |
| KR101956797B1 (ko) * | 2017-06-09 | 2019-03-12 | 주식회사 저스템 | 웨이퍼 용기의 가스공급장치 |
| KR102034753B1 (ko) * | 2017-11-06 | 2019-10-22 | 크린팩토메이션 주식회사 | 웨이퍼 수용 용기를 퍼지하기 위한 선반 및 그에 사용되는 배기 노즐 |
| JP7100243B2 (ja) * | 2018-04-19 | 2022-07-13 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 排気ノズルユニット、ロードポート、及びｅｆｅｍ |
| JP6882698B2 (ja) * | 2019-04-24 | 2021-06-02 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | パージノズルユニット、ロードポート |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3617681B2 (ja) * | 1995-01-24 | 2005-02-09 | アシスト シンコー株式会社 | 可搬式密閉コンテナのガス供給システム |
| JP3167970B2 (ja) * | 1997-10-13 | 2001-05-21 | ティーディーケイ株式会社 | クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置 |
| JP3367421B2 (ja) * | 1998-04-16 | 2003-01-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の収納装置及び搬出入ステージ |
| JP2003115519A (ja) * | 2001-10-04 | 2003-04-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法、半導体製造装置、ロードロック室、基板収納ケース、ストッカ |
-
2005
- 2005-06-24 JP JP2005184676A patent/JP4558594B2/ja not_active Expired - Fee Related
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