KR20030067825A - 반도체 설비의 기판용기 인덱스시스템 - Google Patents

Abstract

반도체 설비의 기판용기 인덱스시스템에서, FOUP(front open unified pod)은 저면에 홀을 가지고, 로드포트는 배기통로를 가진다. 이에 의해 FOUP도어가 열려 외부에서 유입된 공기를 상기 홀과 배기통로를 통해서 배기시킴으로써 FOUP내의 웨이퍼가 오염되는 것을 방지할 수 있다.

Description

반도체 설비의 기판용기 인덱스시스템{System for indexing substrate container of semiconductor apparatus}

본 발명은 반도체 설비로, 보다 상세하게는 기판용기를 인덱스하는 시스템, 즉 기판용기와 로드포트(loadport)에 관한 것이다.

반도체 기판, 특히 반도체 웨이퍼(wafer)는 먼지나 기화된 유기물 등이 부착되면 오염되어 버리고, 이것은 특히 생산성, 즉 양품률을 저하시키게 된다. 따라서 반도체 기판을 운반, 가공할 때에는 그 주변을 청정도가 높은 환경으로 할 필요가 있다.

최근에 있어 웨이퍼를 담는 용기는 전달과정에서 생길 수도 있는 오염을 방지하기 위해 기판용기, 대표적인 예로서 풉(FOUP:front open unified pod)을 많이 채용하고 있다.

도 1은 종래의 기판용기 인덱스 시스템의 작동을 보여주는 개략도이다.

FOUP은 저면에 홈을 가지고, FOUP도어와 웨이퍼재치선반을 가진다. 로드포트는 FOUP을 정해진 위치에 놓을 수 있도록, 홈에 삽입되는 돌출부를 가진다.

도 1에서 보는 바와 같이 FOUP(10)이 로드포트(20)위에 놓여지면, FOUP도어(11)와 로드포트의 도어(21)가 일체가 된다. 일체가 된 상기 도어가 열리면, FOUP(10)내에 보관, 수납된 웨이퍼들이 로봇(robot)(30)에 의해 로드록(loadlock) (40)으로 이송된다.

그러나 종래의 시스템은 다음과 같은 문제점이 발생한다.

상기 도어가 열리고 웨이퍼가 이송될 때에, FOUP(10)내로 공기나 오염물질이 유입될 수 있다. 이 유입된 공기나 오염물질은 와류나 회오리에 의해 도 1에서와 같이, FOUP(10)내부의 아래에서 위로 상승하게 되고, 이것은 웨이퍼의 윗면을 오염시킨다.

본 발명의 목적은 외부에서 FOUP내부로 유입된 공기에 의해 FOUP내부의 웨이퍼가 오염되는 것을 방지하는 기판용기 인덱스 시스템을 제공하고자 한다.

도 1은 일반적인 기판용기 인덱스시스템을 보여주는 개략단면도;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판용기인덱스시스템의 기판용기의 부분단면도;

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판용기인덱스시스템의 로드포트의 단면도;

그리고 도 4는 본 발명의 기판용기와 로드포트의 결합상태를 보여주는 부분단면도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : FOUP 11 : FOUP 도어

12 : 웨이퍼재치선반 13 : FOUP 돌출부

14 : FOUP 돌출부에 형성된 홀 15 : 홀 덮개

16 : 스프링 17 : 실링부재

18 : 팬(fan) 20 : 로드포트

21 : 로드포트 도어 22 : 로드포트 돌출부

23 : 로드포트 돌출부의 관통구 24 : 로드포트에 형성된 통로

25 : 배기관

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명인 기판용기 인덱스시스템에서, FOUP은 저면에 홀을 가지고, 로드포트는 상기 FOUP이 정해진 위치에 놓여지도록 상기홀에 삽입될 수 있는 돌출부를 가진다.

상기 로드포트의 돌출부가 상기 FOUP의 홀에 삽입될 때, 상기 로드포트는 상기 돌출부로부터 FOUP 내부공기를 배기관을 통해 외부로 배기시키기 위해 형성된 관통구와 통로를 가진다.

또한, 본 발명에서 상기 FOUP은, 상기 홀을 통한 공기유입을 차단하는 홀 덮개와, 상기 홀 덮개가 상기 홀을 막고 있도록 탄성력을 제공하고, 상기 홀에 로드포트의 돌출부가 삽입되는 경우, 상기 홀이 개방되게 하는 탄성체를 가진다.

또한 본 발명에서 상기 FOUP은, 상기 홀과 홀 덮개와의 실링을 유지시키기 위해 홀 덮개와의 접촉부에 실링부재를 가진다.

또한 본 발명에서 상기 FOUP은 FOUP 도어가 오픈될 때, 상기 FOUP내부로 유입된 공기를 위에서 아래로 흐르도록 강제하는 수단을 가진다.

이하, 본 발명의 일실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에서의 FOUP(10)을 보여주는 부분단면도이고, 도 3은 본 발명에서의 로드포트의 돌출부(22)로부터, 로드포트(20)에 연결된, 배기관(25)까지 형성된 로드포트의 통로(24)를 보여주는 단면도이다. 그리고 도 4는 본 발명에서 FOUP의 홀(14)에 로드포트의 돌출부(22)가 결합시, 상기 돌출부(22)에 의해 홀덮개(15)가 홀(14)로부터 들어올려진 상태를 보여주는 부분단면도이다. 또한 상기 도 4는 FOUP도어(11)가 열려 외부에서 유입되는 공기가 로드포트의 통로(24)를 통해 배기관(25)으로 배기되는 것을 보여준다.

상기 FOUP(10)은 6면체 모양으로 형성되고, 상기 FOUP(10)의 내부는 웨이퍼를 보관, 수납하기 위해 빈 공간을 가진다. 상기 FOUP 내부의 일측면에는 FOUP도어(11)가 설치되고, 타 측면에는 웨이퍼를 재치하기 위한 선반(12)이 설치된다. 또한, 상기 FOUP(10)은 그 저면에 내부로 돌출된 3개의 원통형의 돌출부(13)를 가진다. 상기 돌출부(13)는 도2에서와 같이 로드포트의 돌출부(22)가 삽입될 수 있도록, 중앙에 형성된 홀(14)을 가진다.

상기 FOUP(10)이 로드포트(20)에 놓여지지 않은 경우에는 FOUP(10)은 밀폐되어야 한다. 이를 위해서 상기 FOUP은 상기 FOUP(10)에 형성된 홀(14)을 통해서 FOUP(10)내부로 외부 공기가 유입되지 않도록 하는 홀 덮개(15)를 가진다.

상기 홀 덮개(15)는 홀(14)을 덮는 상태를 유지하고, 상기 홀(14)에 상기 로드포트의 돌출부(22)가 삽입되는 경우에는 홀(14)이 개방되도록 하여야 한다. 이를 위해서 상기 FOUP(10)은 상기 홀(14)보다 넓은 단면적을 가지는 홀 덮개(15)와 상기 홀 덮개(15)가 홀(14)을 막고 있도록 탄성력을 제공하는 스프링(16)을 구비한다. 스프링(16)은 홀의 덮개(15)의 저면 외측과 FOUP(20)의 바닥 사이에 종방향으로 2개 설치된다.

상기 FOUP(10)은 상기 홀 덮개(15)와 접촉하는 부분인 FOUP(10)내부로 돌출된 돌출부(13)의 끝단에 고무와 같은 실링부재(17)를 가진다. 상기 실링부재(17)에 의해서 상기 홀덮개(15)와 상기 FOUP 내부의 돌출부(13) 사이에 밀폐력을 높일 수 있다.

본 발명에서 로드포트(20)는 도 3과 같이 상기 FOUP도어(11)와 일체되어 FOUP도어(11)를 개폐되는 로드포트도어(21)와, 상기 FOUP(10)이 정해진 위치에 놓여지도록 상기홀(14)에 삽입될 수 있는 돌출부(22)를 가진다.

그리고 상기 로드포트 돌출부(22)의 길이는 FOUP내부로 돌출된 돌출부(13) 길이보다 길게 되도록 한다. 또한 상기 로드포트의 돌출부(22)의 옆면에는 한개 내지 수개의 관통구(23)가 횡방향으로 형성되도록 한다. 상기 관통구(23)는, 로드포트의 돌출부(22)가 상기 FOUP의 홀(14)에 삽입되어 상기 홀 덮개(15)를 들어올릴 때, FOUP내부에 형성된 돌출부(13)로부터 노출된 위치에 형성되도록 한다. 상기 로드포트(20)는 상기 돌출부(22)에 형성된 관통구(23)가 로드포트(20) 저면에 연결된 배기관(25)으로 연결될 수 있는 통로(24)를 가진다.

상기 구조에 의해 본 발명인 기판용기 인덱스시스템은 FOUP 도어(11)가 열릴때, 상기 열린 도어를 통해 FOUP(10)내부로 유입되는 공기가 상기 배기관(25)으로 배기될 수 있는 통로(24)를 가진다. 또한 상기 유입공기가 와류에 의해 FOUP내부에서 위로 상승하지 않고 아래로 흘러 상기 관통구(23)와 상기 통로(24)를 통해 배기관(25)으로 강제로 흐르도록 해야 한다. 이를 위해서 FOUP(10)내부의 상측벽에 도 2 또는 도 4에서 보는 바와 같이 팬(18)이 수개 설치된다.

도 4는 본 발명에서 로드포트 돌출부(22)가 FOUP의 홀(14)에 삽입될 때, FOUP도어(11)를 통해 내부로 유입된 공기의 흐름을 보여준다. 도시한 바와 같이 로드포트 돌출부(22)가 상기 홀(14)에 삽입되면, 상기 돌출부(22)가 홀 덮개(15)를 들어올리고, 스프링(16)은 인장된다.

FOUP 도어(11)를 통해 내부로 유입되는 공기는 FOUP(10)내부에 설치된 팬(18)에 의해서 아래로 흐르게 되고, 상기 유입공기는 로드포트(20)에 형성된 관통구(23)와 통로(24)를 통해서 배기관(25)으로 배기된다.

본 발명인 반도체 설비의 기판용기 인덱스시스템에서는, FOUP이 로드포트에 놓여지지 않은 경우에는 FOUP의 홀이 홀 덮개에 의해 막혀서 외부에서 공기가 유입되지 않는다. 그리고 FOUP도어가 열려 외부에서 유입된 공기는 상기 FOUP의 홀에 형성된 통로를 통해서 배기관으로 배기될 수 있다.

또한, FOUP내부의 돌출부에 부착된 실링재료에 의해서 홀덮개와 상기 돌출부사이에 밀폐력을 높일 수 있고, FOUP 내부에 설치된 팬에 의해 FOUP내의 공기를 위에서 아래로 흐르도록 강제할 수 있어, 상기 유입된 공기가 웨이퍼 윗면을 오염시키는 것을 방지할 수 있다.

Claims (4)

1. 저면에 적어도 하나의 홀을 가진 기판용기와;

   상기 기판용기의 홀에 삽입되고, 상기 기판용기가 정해진 위치에 놓여지도록 하는 돌출부와, 상기 돌출부를 통해 외부로 상기 기판용기의 내부공기를 배기시키기 위한 통로를 가진 로드포트로 구성되는 반도체설비의 기판용기 인덱스 시스템.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 기판용기는,

   상기 홀을 통해 유입되는 공기를 차단하는 홀 덮개와,

   상기 홀 덮개가 상기 홀을 막고 있도록 탄성력을 제공하고, 상기 홀에 로드포트의 돌출부가 삽입되는 경우, 상기 홀이 개방되게 하는 탄성체를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 기판용기 인덱스 시스템.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 기판용기는 홀 덮개와의 접촉부에 형성되고, 상기 홀의 밀폐력을 높이는 실링부재를 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 기판용기 인덱스시스템.
4. 제 1항 내지 3항 중 어느 하나에 있어서,

   상기 기판용기는 상기 기판용기의 내부공기를 위에서 아래로 강제로 보내는수단을 가진 반도체설비의 기판용기 인덱스시스템.