JP2007005451A - 回路パターン形成方法、溶液セット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 導電性のパターンと絶縁性のパターンからなるパターンを基体上に重ねて形成する方法であって、前記導電性のパターンを形成するための導電パターン用溶液の表面張力が、前記絶縁性のパターンを形成するための絶縁パターン用溶液の表面張力より大きい溶液を用いる。
【選択図】 図1
Description
それでは、まず本発明の実施形態における基材上に導電パターンと絶縁パターンを形成するために使用した回路パターン形成装置から説明する。
次に、基材上に付与された溶液層に液滴が着弾したとき、その衝撃により発生する液滴自身の跳ね返り現象と表面張力との関係について説明する。
本発明の実施形態における基材上に導電パターンと絶縁パターンを形成するために使用した導電パターン用溶液と絶縁パターン用溶液の表面張力について説明する。
本発明に使用可能な導電パターン用溶液及び絶縁パターン用溶液の例をあげる。
本発明に使用可能な導電パターン用溶液に用いられる導電性微粒子として使用される金属コロイドに望まれる作用としては、絶縁パターン用溶液と混合した際に、絶縁パターン用溶液中の絶縁性微粒子と凝集反応を起こし、絶縁性微粒子表面に吸着されること等が挙げられ、これらの作用を達成できる金属コロイドが好適に用いられる。尚、これらの作用は、1種若しくは2種以上の金属コロイドによって達成されても良い。
アニオン性の導電パターン用溶液に使用される金属コロイドは、ゼータ電位がマイナスの値を示すものである。ゼータ電位がマイナスを示す金属コロイドとしてはAg、Pt、SnO2などが存在するが導電性などの面からAgやSnO2が望ましい。一般にコロイド粒子の直径は数100nmであるが、本発明で使用するアニオン性金属コロイドは回路パターンの均一性や安定性等の観点から、粒子直径が数10〜数100nmの範囲のものが好適に用いられる。この範囲内ではカチオン性の金属コロイドが導電パターン用溶液中で沈降することも抑えられ、導電パターン用溶液の保存安定性の低下を有効に防止することができる。
塩基は、アニオン性の金属コロイド表面をイオン化し、表面電位を高めることにより液中での分散安定性を向上させると共に、絶縁パターン用溶液中のカチオン性化合物の吸着性向上や導電パターン用溶液の粘度調整の役割を果たす。本発明に好適に用いられる塩基は、使用するアニオン性の金属コロイドと組み合わせた場合に、所望のpHやゼータ電位、金属コロイドの分散性等の物性が得られるものであれば特に限定はなく、下記に挙げるような無機化合物や有機化合物等から自由に選択して、使用することができる。
本発明で使用される上記のようなアニオン性の導電パターン用溶液には、更にこれに、水、水溶性有機溶剤及びその他の成分、例えば、粘度調整剤、pH調整剤、防腐剤、界面活性剤、酸化防止剤等が必要に応じて含まれて構成される。
カチオン性の導電パターン用溶液に使用される金属コロイドは、ゼータ電位がプラスの値を示すものである。ゼータ電位がプラスを示す金属コロイドとしてはAl、Cr、Zn、Feなどの水酸化物が存在するが導電性の面からAlが望ましい。一般にコロイド粒子の直径は数100nm以下であるが、本発明で使用するカチオン性金属コロイドは回路パターンの均一性や安定性等の観点から、粒子直径が数10〜数100nmの範囲のものが好適に用いられる。この範囲内では、カチオン性の金属コロイドが導電パターン用溶液中で沈降することも抑えられ、導電パターン用溶液の保存安定性の低下を有効に防止することができる。
酸は、カチオン性の金属コロイド表面をイオン化し、表面電位を高めることにより、液中での金属コロイドの分散安定性を向上させると共に、絶縁パターン用溶液中のアニオン性化合物の吸着性向上や、導電パターン用溶液の粘度調整の役割を果たす。本発明に好適に用いられる酸は、使用するカチオン性の金属コロイドと組み合わせて、所望のpHやゼータ電位、金属コロイドの分散性等の物性が得られるものであれば特に限定はなく、下記に挙げる無機酸や有機酸等から自由に選択して使用することができる。
本発明で使用される上記のようなカチオン性の導電パターン用溶液には、更にこれに、水、水溶性有機溶剤及びその他の成分、例えば、粘度調整剤、pH調整剤、防腐剤、界面活性剤、酸化防止剤等が必要に応じて含まれて構成される。
本発明において好適に用いられる絶縁性微粒子に望まれる作用としては、
1)導電パターン用溶液と混合した際に、金属コロイドの本来持つ導電性を損なわずに、金属コロイドを吸着する、
2)導電パターン用溶液と混合した際或いは基材に付与された際に、分散安定性が低下して、基材表面に残存する、こと等が挙げられ、これらの作用を達成できる絶縁性微粒子が好適に用いられる。尚、これらの作用は、1種若しくは2種以上の絶縁性微粒子によって達成されても良い。
カチオン性の絶縁性微粒子とは、ゼータ電位がプラスの値を示すものである。微粒子の分散系における表面の性質は、分散質と分散媒との界面に生じる電気二重層によって議論される。実際には、電気泳動異動度などから得られるゼータ電位に置き換えられる。ゼータ電位の値は、界面に存在するOH−イオンの濃度に大きく支配され、従って微粒子の表面の性質は、絶縁パターン用溶液のpHに大きな影響をうける。
酸は、カチオン性の絶縁性微粒子表面をイオン化し、表面電位を高めることにより、液中での絶縁性微粒子の分散安定性を向上させると共に、導電パターン用溶液中のアニオン性化合物の吸着性向上や、絶縁パターン用溶液の粘度調整の役割を果たす。本発明に好適に用いられる酸は、使用するカチオン性の絶縁性微粒子と組み合わせて、所望のpHやゼータ電位、絶縁性微粒子の分散性等の物性が得られるものであれば特に限定はなく、下記に挙げる無機酸や有機酸等から自由に選択して使用することができる。
次に、カチオン性の絶縁パターン用溶液を構成するその他の成分について具体的に説明する。本発明で使用するカチオン性の絶縁パターン用溶液は、上記したカチオン性絶縁性微粒子を必須の成分とし、上記したような酸を含み、その他に、通常は液媒体として水を含むが、更に、水溶性有機溶剤及びその他の添加剤、例えば、粘度調整剤、pH調整剤、防腐剤、各種界面活性剤、酸化防止剤及び蒸発促進剤、水溶性カチオン性化合物やバインダー樹脂等の添加剤を適宜配合してもかまわない。
アニオン性の絶縁性微粒子とは、ゼータ電位がマイナスの値を示すものである。本発明において、ア二オン性の絶縁性微粒子のゼータ電位は、好ましくは−5〜−90mVである。その理由は定かではないが、上記範囲において、導電パターンとの境界部の滲みが少なく、絶縁性の高いパターン得ることができた。
塩基は、アニオン性の絶縁性微粒子表面をイオン化し、表面電位を高めることにより液中での分散安定性を向上させると共に、導電パターン用溶液中のカチオン性化合物の吸着性向上や絶縁パターン用溶液の粘度調整の役割を果たす。本発明に好適に用いられる塩基は、使用するアニオン性の絶縁性微粒子と組み合わせた場合に、所望のpHやゼータ電位、絶縁性微粒子の分散性等の物性が得られるものであれば特に限定はなく、下記に挙げるような無機化合物や有機化合物等から自由に選択して、使用することができる。
次に、アニオン性の絶縁パターン用溶液を構成するその他の成分について具体的に説明する。本発明で使用するアニオン性の絶縁パターン用溶液は、上記したアニオン性絶縁性微粒子を必須の成分とし、好ましくは上記したような塩基を含み、その他に、通常は液媒体として水を含むが、更に、水溶性有機溶剤及びその他の添加剤、例えば、粘度調整剤、pH調整剤、防腐剤、各種界面活性剤、酸化防止剤及び蒸発促進剤、水溶性アニオン性化合物やバインダー樹脂等の添加剤を適宜配合してもかまわない。
(1)導電パターン用溶液の表面張力:33≦γ≦50
(2)絶縁パターン用溶液の表面張力:25≦γ<30
[4.回路パターン形成方法]
〔実施例1〕
導電パターン用溶液と絶縁パターン用溶液とが接する界面において、導電パターン用溶液に含まれる導電性微粒子と絶縁パターン用溶液に含まれる第2の材料とが化学的に凝集し始める材料を用いた例を示す。
導電パターン用溶液と絶縁パターン用溶液の界面において導電パターン用溶液に含まれる導電性微粒子と絶縁パターン用溶液に含まれる絶縁性微粒子とが化学的に凝集するような材料を用いる。使用するノズルなど、実施例1と同様の部分の説明は省略する。
2 導電パターン用溶液の液滴
3 絶縁パターン用溶液の液滴
4 絶縁パターン用溶液層
5 導電性微粒子
6 絶縁性微粒子
7 第1の導電パターン
8 第2の導電パターン
9 導電パターン用溶液層
12 記録ヘッド
20a,20b ノズル
30a,30b ノズル列
101 CRリニアモータ
102 LFリニアモータ
103 吸着ステージ
104、105 ベース
106、107 原点センサー
108 定盤
109 キャリッジ
111,112 リニアエンコーダ
120 ヘッド回復ユニット
201 第1の容器
202第2の容器
203 第1の供給口
204 第2の供給口
Claims (6)
- 導電性のパターンと絶縁性のパターンからなるパターンを基体上に重ねて形成する方法であって、
前記導電性のパターンを形成するための導電パターン用溶液の表面張力が、前記絶縁性のパターンを形成するための絶縁パターン用溶液の表面張力より大きいことを特徴とする回路パターン形成方法。 - 前記導電パターン用溶液の表面張力γ1が33〔dyne/cm〕≦γ1であり、
前記絶縁パターン用溶液の表面張力γ2がγ2<30〔dyne/cm〕であることを特徴とする請求項1記載の回路パターン形成方法。 - 前記導電パターン用溶液の表面張力γ1がγ1≦50〔dyne/cm〕であり、
前記絶縁パターン用溶液の表面張力γ2が25〔dyne/cm〕≦γ2であり、
前記導電パターン用溶液と前記絶縁パターン用溶液とを液体吐出によって前記基材に吐出することを特徴とする請求項2記載の回路パターン形成方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の回路パターン形成方法によって形成された回路パターンと前記基材とを有する回路基板。
- 表面張力が33〔dyne/cm〕≦γ1≦50〔dyne/cm〕の範囲にある導電パターンを形成する導電パターン用溶液を貯留する第1の液体容器と、
表面張力が25〔dyne/cm〕≦γ2<30〔dyne/cm〕の範囲にある絶縁パターンを形成する絶縁パターン用溶液を貯留する第2の液体容器と、
前記導電パターン用溶液と前記絶縁パターン用溶液とを、前記基体に供給することにより、前記導電パターン用溶液と前記絶縁パターン用溶液よりなる回路パターンを前記基体に形成する手段と、
を有することを特徴とする配線形成装置。 - 表面張力が33〔dyne/cm〕≦γ1≦50〔dyne/cm〕の範囲にある導電パターンを形成する導電パターン用溶液と、前記導電パターン用溶液を貯留する第1の液体容器と、
表面張力が25〔dyne/cm〕≦γ2<30〔dyne/cm〕の範囲にある絶縁パターンを形成する絶縁パターン用溶液と、前記絶縁パターン溶液を貯留する第2の液体容器と、を有することを特徴とする溶液セット。
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