JP2007003209A - 光学式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射型の光学式エンコーダ100において、光源104の光出射部141の任意の点141pから放出された光のうち、光透過樹脂105と外界との界面で全反射する光が、光検出器103の受光部131の一部に入射するように、または受光部131とは異なる領域に入射するように、光源104の光出射部141と光検出器103の受光部131とが配置されていること及び光透過樹脂105の形状が形成されていること及び光透過樹脂105の光学特性が設定されていることの少なくとも何れか一つを満足することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
n1・sinθ1=n2・sinθ2 ・・・・(1)
θcr=sin−1(n1/n2)・・・・(2)
θ2≧sin−1(n1/n2)・・・・(3)
光源の光出射部の表面から光透過樹脂のスケールに対向する表面までの厚みをt11と、
光検出器の受光部の表面から光透過樹脂のスケールに対向する表面までの厚みをt21と、
光源の光出射部の任意の点から光検出器の受光部の中心までの光透過樹脂の表面に対して平行な方向の距離をdcと、
外界の媒質の屈折率をn1と、
光透過樹脂の屈折率をn2とそれぞれしたとき、
tan−1(dc/(t11+t21))<sin−1(n1/n2)
の条件式を満足することが望ましい。
光源の光出射部の表面から光透過樹脂のスケールに対向する表面までの厚みをt111と、
光検出器の受光部面から光透過樹脂のスケールに対向する表面までの厚みをt211と、
光源の光出射部の任意の点から光検出器の受光部までの光透過樹脂の表面に対して平行な方向の距離のうち最も長い距離をdeと、
外界の媒質の屈折率をn1と、
光透過樹脂の屈折率をn2とそれぞれしたとき、
tan−1(de/(t111+t211))<sin−1(n1/n2)
の条件式を満足することが望ましい。
光源の光出射部の表面から光透過樹脂の凸状部のスケールに対向する表面までの厚みをt12と、
光検出器の受光部の表面から光透過樹脂の凸状部のスケールに対向する表面までの厚みをt22と、
光源の光出射部の任意の点から光検出器の受光部の中心までの光透過樹脂の表面に対して平行な方向の距離をdcと、
外界の媒質の屈折率をn1と、
光透過樹脂の屈折率をn2とそれぞれしたとき、
tan−1(dc/(t12+t22))<sin−1(n1/n2)
の条件式を満足することが望ましい。
光源の光出射部の面から光透過樹脂の凸状部のスケールに対向する表面までの厚みをt122と、
光検出器の受光部の表面から光透過樹脂の凸状部のスケールに対向する表面までの厚みをt222と、
光源の光出射部の任意の点から光検出器の受光部までの光透過樹脂の表面に対して平行な方向の距離のうち最も長い距離をdeと、
外界の媒質の屈折率をn1と、
光透過樹脂の屈折率をn2とそれぞれしたとき、
tan−1(de/(t122+t222))<sin−1(n1/n2)
の条件式を満足することが望ましい。
光源の光出射部の表面から光透過樹脂の凹状部のスケールに対向する表面までの厚みをt13と、
光検出器の受光部の表面から光透過樹脂の凹状部のスケールに対向する表面までの厚みをt23と、
光源の光出射部の任意の点から光検出器の受光部までの光透過樹脂の表面に対して平行な方向の距離のうち最も短い距離をdsと、
外界の媒質の屈折率をn1と、
光透過樹脂の屈折率をn2とそれぞれしたとき、
1.73×(t13+t23)<ds
の条件式を満足することが望ましい。
センサヘッド101の光透過樹脂105の屈折率をn2、
外界の媒質の屈折率をn1(一般的に、媒質は空気なのでn1≒1)、
光透過樹脂105のスケール110に対向する表面(界面151)から光出射部141面までの厚みをt11と、
表面(界面151)から光検出器103の受光部131の表面までの厚みをt21と、
光源104の光出射部141の任意の点から光検出器103の受光部131の中心までの表面(界面151)に対して平行な方向の間隔(距離)をdcと、
間隔dcの中で光源104の光出射部141の任意の点141pから出射した光Laが光透過樹脂105の表面(界面151)で反射し、光検出器103の受光部131の中心131aに入射する光Lb2の光透過樹脂105の表面(界面151)での反射点107までの法線106に沿った方向の間隔をd11、
間隔dcの中で光検出器103の受光部131の中心131aから光透過樹脂151の表面(界面151)での反射点107までの法線106に沿った方向の間隔をd21とそれぞれする。
tanθ2=d11/t11
=d21/t21・・・・(4)
dc=(t11+t21)・tanθ2
θ2=tan−1(dc/(t11+t21))・・・・(5)
tan−1(dc/(t11+t21))<sin−1(n1/n2)・・・・(6)
(a)光源104の光出射部141と光検出器103の受光部131とが配置されていること
(b)光透過樹脂151の形状が形成されていること
(c)光透過樹脂151の光学特性、例えば屈折率が設定されていること
tanθ2=d111/t111
=d211/t211・・・・(7)
de=(t111+t211)・tanθ2
θ2=tan−1(de/(t111+t211))・・・・(8)
tan−1(de/(t111+t211))<sin−1(n1/n2)・・・(9)
θ2<sin−1(n1/n2)・・・・(10)
tan−1(dc/(t12+t22))<sin−1(n1/n2)・・・・(11)
tan−1(de/(t122+t222))<sin−1(n1/n2)・・(12)
ds=d13+d23
となる。
tan60°=t13/d13
=t23/d23より
1.73≒t13/d13
≒t23/d23
となる。
ds>1.73(t13+t23)・・・・(13)
101 センサヘッド
102 配線基板
103 光検出器
104 光源
105 光透過樹脂
106 法線
107 反射点
110 スケール
111 格子パターン
131 受光部
131a 受光部の中心
131b 最も離れた受光部の位置
131c 最も近い受光部の位置
141 光出射部
141p 任意の点
150 領域
151 表面
155 界面
PD1、PD2、PD3、PD4 フォトダイオード
t21、t11、t11、t12、t23、t13、t211、t111 厚さ
d11、d12、d22、d12、d23、d13、d211、d111 距離
n1 外界の媒質の屈折率
n2 光透過樹脂の屈折率
Ls、Lsr、La、Lb1、Lb2 光
60 光透過樹脂
70 光源
75 光検出器
80 界面
90 エンコーダ
91 スケール
92 センサヘッド
24 発光素子
26 受光素子
28 反射鏡
30 リードフレーム
Claims (12)
- 少なくとも1つの光源と少なくとも1つの光検出器を、光透過樹脂で一体化したパッケージからなるセンサヘッドと、前記センサヘッドと相対的に変位するスケールとから構成され、前記光源の光出射部から出射した光を前記スケールで反射及び回折し、反射及び回折した光を前記光検出器の受光部で受光して前記センサヘッドから変位信号を出力する光学式エンコーダにおいて、
前記光源の光出射部の任意の点から放出された光のうち、前記光透過樹脂と外界との界面で全反射する光が、前記光検出器の前記受光部の一部に入射するように、または前記受光部とは異なる領域に入射するように、前記光源の前記光出射部と前記光検出器の前記受光部とが配置されていること及び前記光透過樹脂の形状が形成されていること及び前記光透過樹脂の光学特性が設定されていることの少なくとも何れか一つを満足することを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面は、略平坦であることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 前記光源の前記光出射部の任意の点から放出された光のうち、前記光透過樹脂と外界との前記界面で全反射する光が、前記光検出器の前記受光部の一部に入射するように、または前記受光部とは異なる領域に入射するように、前記光検出器の前記受光部と前記光源の前記光出射部とが配置されており、かつ前記光透過樹脂の厚みが設定されていることを特徴とする請求項2に記載の光学式エンコーダ。
- 前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面と、前記光源の前記光出射部の表面と、前記光検出器の前記受光部の表面とが略平行であり、
前記光源の前記光出射部の表面から前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面までの厚みをt11と、
前記光検出器の前記受光部の表面から前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面までの厚みをt21と、
前記光源の前記光出射部の任意の点から前記光検出器の前記受光部の中心までの前記光透過樹脂の表面に対して平行な方向の距離をdcと、
外界の媒質の屈折率をn1と、
前記光透過樹脂の屈折率をn2とそれぞれしたとき、
tan−1(dc/(t11+t21))<sin−1(n1/n2)
の条件式を満足することを特徴とする請求項2に記載の光学式エンコーダ。 - 前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面と、前記光源の前記光出射部の表面と、前記光検出器の前記受光部の表面とが略平行であり、
前記光源の前記光出射部の表面から前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面までの厚みをt111と、
前記光検出器の前記受光部面から前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面までの厚みをt211と、
前記光源の前記光出射部の任意の点から前記光検出器の前記受光部までの前記光透過樹脂の表面に対して平行な方向の距離のうち最も長い距離をdeと、
外界の媒質の屈折率をn1と、
前記光透過樹脂の屈折率をn2とそれぞれしたとき、
tan−1(de/(t111+t211))<sin−1(n1/n2)
の条件式を満足することを特徴とする請求項2に記載の光学式エンコーダ。 - 前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面のうち前記光源の前記光出射部と前記光検出器の前記受光部との間の少なくとも一部の表面は、凸状部を有していることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面のうち前記凸状部の表面と、前記光源の前記光出射部の表面と、前記光検出器の前記受光部の表面とが略平行であり、
前記光源の前記光出射部の表面から前記光透過樹脂の前記凸状部の前記スケールに対向する表面までの厚みをt12と、
前記光検出器の前記受光部の表面から前記光透過樹脂の前記凸状部の前記スケールに対向する表面までの厚みをt22と、
前記光源の前記光出射部の任意の点から前記光検出器の前記受光部の中心までの前記光透過樹脂の表面に対して平行な方向の距離をdcと、
外界の媒質の屈折率をn1と、
前記光透過樹脂の屈折率をn2とそれぞれしたとき、
tan−1(dc/(t12+t22))<sin−1(n1/n2)
の条件式を満足することを特徴とする請求項6に記載の光学式エンコーダ。 - 前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面のうち前記凸状部の表面と、前記光源の前記光出射部の表面と、前記光検出器の前記受光部の表面とが略平行であり、
前記光源の前記光出射部の面から前記光透過樹脂の前記凸状部の前記スケールに対向する表面までの厚みをt122と、
前記光検出器の前記受光部の表面から前記光透過樹脂の前記凸状部の前記スケールに対向する表面までの厚みをt222と、
前記光源の前記光出射部の任意の点から前記光検出器の前記受光部までの前記光透過樹脂の表面に対して平行な方向の距離のうち最も長い距離をdeと、
外界の媒質の屈折率をn1と、
前記光透過樹脂の屈折率をn2とそれぞれしたとき、
tan−1(de/(t122+t222))<sin−1(n1/n2)
の条件式を満足することを特徴とする請求項6に記載の光学式エンコーダ。 - 少なくとも1つの光源と少なくとも1つの光検出器を、光透過樹脂で一体化したパッケージからなるセンサヘッドと、前記センサヘッドと相対的に変位するスケールとから構成され、前記光源の光出射部から出射した光を前記スケールで反射及び回折し、その反射及び回折した光を前記光検出器の受光部で受光して前記センサヘッドから変位信号を出力する光学式エンコーダにおいて、
前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面のうち前記光源の前記光出射部と前記光検出器の前記受光部との間の少なくとも一部の表面は、凹状部を有していることを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記光透過樹脂の前記スケールに対向する表面のうち前記凹状部の表面と、前記光源の前記光出射部の表面と、前記光検出器の前記受光部の表面とが略平行であり、
前記光源の前記光出射部の表面から前記光透過樹脂の前記凹状部の前記スケールに対向する表面までの厚みをt13と、
前記光検出器の前記受光部の表面から前記光透過樹脂の前記凹状部の前記スケールに対向する表面までの厚みをt23と、
前記光源の前記光出射部の任意の点から前記光検出器の前記受光部までの前記光透過樹脂の表面に対して平行な方向の距離のうち最も短い距離をdsと、
外界の媒質の屈折率をn1と、
前記光透過樹脂の屈折率をn2とそれぞれしたとき、
1.73×(t13+t23)<ds
の条件式を満足することを特徴とする請求項9に記載の光学式エンコーダ。 - 前記光源上に、少なくとも1つのスリットパターンを有する光学部材を配置したことを特徴とする請求項1または9記載の光学式エンコーダ。
- 前記スリットパターンを有する前記光学部材は、前記光源に直接貼付されていることを特徴とする請求項11に記載の光学式エンコーダ。
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JP2003166856A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Fuji Electric Co Ltd | 光学式エンコーダ |
JP2004045367A (ja) * | 2002-05-14 | 2004-02-12 | Mitsutoyo Corp | 反射型エンコーダの迷光防止方法 |
JP2005156549A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-16 | Sendai Nikon:Kk | 光学式エンコーダ |
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