JP2007003204A - 厚み測定機 - Google Patents
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Abstract
【課題】自動的にゼロ点を補正できる厚さ測定機を提供する。
【解決手段】厚み測定機は、対向配置された2つのセンサ要素2,6から構成される。センサ要素2のレーザ光源3からのレーザ光はセンサ要素6の位置検出素子(受光素子)8で受光され、センサ要素6のレーザ光源7からのレーザ光はセンサ要素2の位置検出素子(受光素子)4で受光される。このときの出力電圧V1,V2が厚みのゼロ点となる。被測定体をセンサ要素2,6の間に挿入し、表面で反射したレーザ光を位置検出素子4,8で受光する。被測定体の厚さに応じて出力電圧V1,V2が変化し、V1+V2により厚さを測定する。
【選択図】図1
【解決手段】厚み測定機は、対向配置された2つのセンサ要素2,6から構成される。センサ要素2のレーザ光源3からのレーザ光はセンサ要素6の位置検出素子(受光素子)8で受光され、センサ要素6のレーザ光源7からのレーザ光はセンサ要素2の位置検出素子(受光素子)4で受光される。このときの出力電圧V1,V2が厚みのゼロ点となる。被測定体をセンサ要素2,6の間に挿入し、表面で反射したレーザ光を位置検出素子4,8で受光する。被測定体の厚さに応じて出力電圧V1,V2が変化し、V1+V2により厚さを測定する。
【選択図】図1
Description
本発明は、シリコンウエーハ等の薄板材の厚みを非接触で測定する厚み測定機に関し、特にゼロ点校正に関する。
図9(a)、(b)に従来の厚み測定機の構成を示す。図9(a)は平面図、図9(b)は正面図である。非接触で薄板材の厚みを測定する場合、図のように薄板材106の左面及び右面までの距離を測定できるように距離センサ104及び105を配置し、それぞれの距離センサ104,105からの表面及び裏面までの距離を測定し、その測定値を演算して厚みを間接的に測定していた。各面を測定する距離センサ基準点は各センサを取り付けた位置に拘束されるため、基準となるブロックゲージ等を基準位置に取り付けてそれぞれのセンサのゼロキャリブレーション(ゼロ点補正)を行う必要がある。
しかしながら、ゼロ基準を調整するために使用するブロックゲージは有限の厚みであるため、2つの対向するセンサに同一の基準点を与えるのは非常に困難な作業である。また、基準点を与えてゼロキャリブレーションを行っても、温度変動による影響、センサの信号処理回路の温度ドリフト等によりセンサを取り付けた時に調整した基準位置がずれる可能性がある。そのため、定期的なキャリブレーションが必要となる。ところが、既述したように、対向して取り付けたセンサを同一の基準点から校正する作業は非常に困難である。また、キャリブレーションは基準点とスケールゲインの両方に対して実行する必要があり、スケールゲイン調整は一度行えばすむものの、基準点は温度ドリフト等でずれることがしばしばであり、調整を測定毎に行うのは現実には不可能であるため、キャリブレーション作業は数ヶ月、あるいは一年といった長い時間間隔で行っているのが現状である。
したがって、基準点を常に監視し、ずれが生じたら速やかに自動的に補正して常に正しい基準点から測定できる自立校正の機能を有する厚みセンサの実現が望まれている。また、センサ104,105の間に挟んで厚みを測定すべき薄板材106が傾いて挿入されるとこの傾きによりsin誤差が生じるので、挿入姿勢にも細心の注意が必要となる。したがって、挿入姿勢により生じる誤差を自動補正する機能の実現も望まれている。
本発明の目的は、温度変化によるドリフトが生じても校正用の特別な被検体を用いることなくゼロ点補正でき、常に正しい基準点から測定できる厚み測定機を提供することにある。また、本発明の目的は、被測定体の位置や傾きによらず高精度な厚み測定を可能とする厚み測定機を提供することにある。
本発明は、対向配置された第1センサ要素及び第2センサ要素と、前記第1センサ要素に設けられる第1光源及び第1受光素子と、前記第2センサ要素に設けられる第2光源及び第2受光素子と、前記第1光源からの第1光は前記第2受光素子に向けて照射され、前記第2光源からの第2光は前記第1受光素子に向けて照射され、前記第1光と第2光は、前記第1センサ要素と第2センサ要素との間で交叉し、前記第1センサ要素と前記第2センサ要素との間に被測定体を挿入し、前記被測定体のうち前記第1センサ要素に対向する表面で反射した前記第1光を前記第1受光素子で受光し、前記被測定体のうち前記第2センサ要素に対向する表面で反射した前記第2光を前記第2受光素子で受光した場合の前記第1受光素子及び前記第2受光素子からの出力信号に基づき前記被測定体の厚みを測定することを特徴とする。
本発明の厚み測定機では、2つのセンサ要素からの光を2つのセンサ要素間で互いに交叉(クロス)させるように配置し、相手のセンサ要素の光を自己の受光素子で受光するようにする。これが被測定体が挿入されていない状態であり、このときに第1受光素子及び第2受光素子で受光される受光位置が基準位置となり、厚みゼロの基準となる。温度ドリフトが生じても、第1受光素子と第2受光素子で受光される受光位置が変動するのみであるため、これを検出してゼロ点補正すればよい。第1センサ要素と第2センサ要素との間に被測定体を挿入すると、第1光は被測定体表面で反射して第1受光素子で受光され、第2光は被測定体表面で反射して第2受光素子で受光されるようになる。それぞれの受光位置は、被測定体の厚みに応じて変化する。より詳細には、被測定体が挿入されていないときの第1光及び第2光のクロス点を基準とし、被測定体の厚みのうち基準よりも第1センサ要素側にある厚みが第1受光素子の受光位置を決定し、基準よりも第2センサ要素側にある厚みが第2受光素子の受光位置を決定する。したがって、第1受光素子と第2受光素子の出力信号に基づいて、すなわち、第1受光素子と第2受光素子の出力信号の加算結果に基づいて、被測定体の厚みを非接触で測定できる。
本発明において、被測定体は第1センサ要素と第2センサ要素との間に挿入されるが、その挿入位置が第1センサ要素側あるいは第2センサ要素側のいずれかに偏ったとしても、その影響は第1受光素子における受光位置と第2受光素子における受光位置に互いに反対極性で現れるから、その影響は互いに相殺されることになる。このことは、本発明の厚み測定精度は位置の偏りに影響されないことを意味する。被測定体の挿入角度(傾き)も同様である。
本発明によれば、ゼロ点補正を簡易かつ確実に実行して被測定体の厚みを高精度に測定できる。また、被測定体の位置や傾きによらずに高精度に測定できる。
以下、図面に基づき本発明の実施形態について説明する。
図1(a)、(b)に、本実施形態の厚み測定機としての厚みセンサの構成を示す。図1(a)は平面図、図1(b)は正面図である。厚みセンサ1は、同一構造で対向配置される2つのセンサ要素2,6から構成される。各センサ要素2,6は、それぞれレーザ光源3,7、位置検出素子(受光素子)4,8、信号処理回路5,9を有する。センサ要素2,6は、互いに相手のレーザ光源から照射されたレーザ光を受光可能な位置に配置される。すなわち、センサ要素6の位置検出素子8はセンサ要素2のレーザ光を受光し、センサ要素2の位置検出素子4はセンサ要素6のレーザ光を受光する位置に対向配置される。
センサ要素2,6においてレーザ光源3,7が上方、位置検出素子4,8が下方にあるが、上下逆転してもよい。センサ要素2のレーザ光とセンサ6のレーザ光はセンサ要素2,6の中間位置でクロスする。2つのレーザ光がクロスする点を含む厚みセンサ1の中心軸Pを厚みゼロの基準として、このときの各センサ要素2,6の信号処理回路5,9の出力電圧V1,V2をゼロ基準と定める。センサ要素2,6の照射レーザ光波長は同一でもよく異なっていてもよい。
センサ要素2,6においてレーザ光源3,7が上方、位置検出素子4,8が下方にあるが、上下逆転してもよい。センサ要素2のレーザ光とセンサ6のレーザ光はセンサ要素2,6の中間位置でクロスする。2つのレーザ光がクロスする点を含む厚みセンサ1の中心軸Pを厚みゼロの基準として、このときの各センサ要素2,6の信号処理回路5,9の出力電圧V1,V2をゼロ基準と定める。センサ要素2,6の照射レーザ光波長は同一でもよく異なっていてもよい。
図2(a)、(b)に、厚みセンサ1の略中心位置に被測定体としての薄板材10を挿入した状態を示す。図2(a)は平面図、図2(b)は正面図である。薄板材10を挿入すると厚みセンサ1のクロスするレーザ光が遮られ、センサ要素2,6はそれぞれ相手のレーザ光が受光できなくなる。そして、薄板材10の表面で反射した自己のレーザ光を位置検出素子4,8で受光するようになる。薄板材10の厚さをD、中心軸Pより左側にある厚みをd1、右側にある厚みをd2とすればD=d1+d2の関係にある。
図2において、センサ要素2のレーザ光源3から照射されたレーザ光は薄板材10の左表面で反射され位置検出素子4で受光される。位置検出素子4で受光されるレーザ光の位置は、ゼロ点を定めたときに受光された位置よりx1だけ離れた位置となる。他方、センサ要素6のレーザ光源7から照射されたレーザ光は薄板材10の右表面で反射され位置検出素子8で受光される。位置検出素子8で受光されるレーザ光の位置はゼロ点を定めたときに受光された位置よりx2だけ離れた位置となる。x1とx2はそれぞれd1とd2に対して比例関係にあり、また、出力電圧V1,V2とも比例関係にあることから、V1,V2を知ることで薄板材10の厚みDを計測することができる。すなわち、センサ要素2は厚みd1に比例した電圧V1を出力し、センサ要素6は厚みd2に比例した電圧V2を出力するから、V1+V2により厚みDを計測することができる。
図3(a)、(b)に、薄板材10が挿入される位置が中心より左側にずれた状態を示す。薄板材10がセンサ要素2に対してΔdだけ接近するので、出力電圧V1はV1=k(d1+Δd)となる。一方、センサ要素6に対してはΔdだけ遠ざかることになるので、出力電圧V2はV2=k(d2−Δd)となる。ここで、kは定数である。薄板材10の厚みはV1+V2に比例するから、D=V1+V2=k(d1+d2)となり、挿入位置の偏りΔdにより生じる誤差がキャンセルされることが分かる。
図4に、薄板材10が傾きθをもって挿入された状態を示す。傾きθによる誤差は薄板材10の表面と位置検出素子4間の距離l1、薄板材10の表面と位置検出素子8間の距離l2により生じる。その距離はl≒l1≒l2の関係にあるので、各センサ要素には傾きがない場合に比べてlsin2θの誤差が生じる。この誤差はセンサ要素2,6に対して大きさが同じで向きが逆に現れることから、D=V1+V2=k(d1+lsin2θ)+k(d2−lsin2θ)=k(d1+d2)となり、この場合も誤差がキャンセルされることが分かる。なお、図4では一次元の傾きについて説明したが、二次元の傾きについても同様であり、二次元の傾きによる誤差はセンサ要素2,6に大きさ等しく向きが逆に作用するから互いにキャンセルされる。
ところで、図1では、薄板材10の表面で反射する光を位置検出素子4,8で検出するため、位置検出素子4,8の分解能がそのまま厚みセンサ1の分解能となってしまう。また、薄板材10表面の性状により誤差が生じ得る。
図5(a)、(b)に、上記の課題を解決する、変位拡大光学系を備えた改良された厚みセンサ21を示す。図5(a)は平面図、図5(b)は正面図である。厚みセンサ21は、対向配置されたセンサ要素22,29から構成される。センサ要素22において、レーザ光源23からのレーザ光は集光レンズ24で集光されて薄板材36の左表面に照射される。表面で反射したレーザ光はピンホール25を通って受光レンズ26で集光され、位置検出素子27上に光点を結ぶ。薄板材36の表面で反射したレーザ光は、薄板材36の表面とピンホール25間の距離l3、及びピンホール25と位置検出素子27間の距離l4の比で位置検出素子27での変位が拡大する。他方のセンサ要素29も同様であり、集光レンズ31、ピンホール32、受光レンズ33をレーザ光の光路上に配置し、位置検出素子34での変位を拡大する。これにより、位置検出素子27,34の分解能によらず厚みセンサ21の分解能を向上できる。なお、ピンホール25,32は、変位を拡大する機能だけでなく、薄板材36の表面で散乱するレーザ光の一部を選択し他を遮蔽する機能を有することから、図5の構成では鏡面だけでなく粗面でも計測できる等、薄板材36の表面性状によらずその厚みを高精度で計測できる。
図6に、以上述べた厚みセンサを備える非接触マイクロメータ61の構成を示す。薄板材の厚さ測定だけでなく、一般的な被測定体の厚みを測定できる構成である。図5では厚みセンサ21は位置が固定された一対のセンサ要素22,29から構成されているが、図6では厚みセンサ62を構成するセンサ要素63,64は測定範囲を広げるため互いの距離が可変となるように配置される。センサ要素63は固定軸67に取り付けられ、センサ要素64は粗動軸65に取り付けられる。センサ要素63,64から照射された2つのレーザ光はクロスして相手の位置検出素子で受光される。操作者は、駆動ツマミを手動で回転操作することで粗動軸65を移動させることができ、粗動軸65の移動距離は駆動軸66に内蔵したエンコーダ71で90°位相差信号として検出され、アップダウンカウンタ72でその移動距離Trが検出される。エンコーダ71はリニアエンコーダの他、ロータリーエンコーダとすることもできる。センサ要素63は厚みd1に比例した出力電圧V1を出力し、センサ要素64は厚みd2に比例した出力電圧V2を出力する。これらの出力電圧は加算器で加算され、A/D73で厚みDに比例したデジタルデータTdに変換され出力される。検出されたTr及びTdは加算器74で加算され、加算結果が表示器75に表示される。センサ要素63とセンサ要素64が互いに相手のレーザ光を受光した状態をセンサの基準点と定め、このときの各センサの出力電圧V1,V2をゼロリセットする。つまり、非接触マイクロメータ61のゼロ点を校正したことになる。
図7に、図6の非接触マイクロメータ61で被測定体を測定する状態を示す。被測定体80は厚みセンサ62を構成するセンサ要素63,64の間に挿入される。このときの厚みはD=Tr+Tdと表される。センサ要素64を移動できる構成とすることで、薄板材だけでなく一般的なワークの測定が可能となる。駆動ツマミ69の代わりに図8に示すような駆動モータ81としてもよい。センサ要素64の位置決めは精密に行う必要はなく、厚みセンサ62の測定範囲内に入っていればよい。センサ要素64の位置決め許容範囲は数mm程度である。
以上説明したように、本実施形態では、厚みセンサの基準点が温度ドリフト等によりずれても迅速にそのずれを補正する機能を有するため、常に正しい基準点から厚みを測定できる。
また、被測定体の測定位置のずれ、傾きが生じていても、これを補正する機能があるので測定姿勢を厳密に保つ必要がないので使い勝手のよい厚みセンサを実現できる。また、測定基準を自動的に決定できるのでセンサの取付調整が不要化される。
さらに、本実施形態では非接触マイクロメータが実現されるため、接触測定では測定機を扱う測定者個々の技量が測定結果に現れる特性があるが、その恐れが軽減され、信頼性の高い測定が可能となる。
本実施形態では、光源としてレーザ光源を例示したが、発光ダイオードとしてもよい。
1 厚みセンサ、2,6 センサ要素、3,7 レーザ光源、4,8 位置検出素子、5,9 信号処理回路、10 薄板材。
Claims (4)
- 対向配置された第1センサ要素及び第2センサ要素と、
前記第1センサ要素に設けられる第1光源及び第1受光素子と、
前記第2センサ要素に設けられる第2光源及び第2受光素子と、
前記第1光源からの第1光は前記第2受光素子に向けて照射され、
前記第2光源からの第2光は前記第1受光素子に向けて照射され、
前記第1光と第2光は、前記第1センサ要素と第2センサ要素との間で交叉し、
前記第1センサ要素と前記第2センサ要素との間に被測定体を挿入し、前記被測定体のうち前記第1センサ要素に対向する表面で反射した前記第1光を前記第1受光素子で受光し、前記被測定体のうち前記第2センサ要素に対向する表面で反射した前記第2光を前記第2受光素子で受光した場合の前記第1受光素子及び前記第2受光素子からの出力信号に基づき前記被測定体の厚みを測定することを特徴とする厚み測定機。 - 請求項1記載の装置において、
前記第1センサ要素と前記第2センサ要素との間に被測定体を挿入していない場合の前記第1受光素子及び前記第2受光素子からの出力信号に基づき厚みゼロの基準点を設定して前記被測定体の厚みを測定することを特徴とする厚み測定機。 - 請求項1、2のいずれかに記載の厚み測定機において、
前記第1センサ要素及び第2センサ要素は固定され、その間隔が一定であることを特徴とする厚み測定機。 - 請求項1、2のいずれかに記載の厚み測定機において、
前記第1センサ要素あるいは前記第2センサ要素の少なくともいずれかは前記被測定体の厚み方向に移動自在に設けられ、
前記第1センサ要素あるいは前記第2センサ要素のうちの移動自在なセンサ要素の移動距離を検出する手段と、
検出された移動距離と前記第1受光素子及び前記第2受光素子から出力信号に基づき前記被測定体の厚みを測定することを特徴とする厚み測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005180367A JP2007003204A (ja) | 2005-06-21 | 2005-06-21 | 厚み測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005180367A JP2007003204A (ja) | 2005-06-21 | 2005-06-21 | 厚み測定機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007003204A true JP2007003204A (ja) | 2007-01-11 |
Family
ID=37688999
Family Applications (1)
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JP2005180367A Pending JP2007003204A (ja) | 2005-06-21 | 2005-06-21 | 厚み測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007003204A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011169664A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-01 | Keyence Corp | 測定システム及びその校正方法 |
JP2012088277A (ja) * | 2010-10-22 | 2012-05-10 | New Japan Radio Co Ltd | 反射型フォトセンサを用いた位置検出装置 |
JP2012163419A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Toshiba Corp | 厚さ測定装置 |
-
2005
- 2005-06-21 JP JP2005180367A patent/JP2007003204A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011169664A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-01 | Keyence Corp | 測定システム及びその校正方法 |
JP2012088277A (ja) * | 2010-10-22 | 2012-05-10 | New Japan Radio Co Ltd | 反射型フォトセンサを用いた位置検出装置 |
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