JP2006520733A - 気相成長法による二重壁炭素ナノチューブの大量合成方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 気相成長法による二重壁炭素ナノチューブの大量合成方法を提供する。
【解決手段】 数nmサイズの触媒金属粒子を保持材粉末のナノ孔に固着させる。次いで、触媒金属粒子が固着した保持材粉末を700〜900℃の温度で焼結する。次いで、触媒金属粒子が固着した保持材粉末を反応器内に入れた後、700〜1100℃の温度で炭素源溶液を気化させて炭素源ガスを反応器の内部に供給するか、炭素源ガスを直接反応器の内部に供給して高純度の二重壁炭素ナノチューブを大量に合成する。

Description

本発明は、二重壁炭素ナノチューブの合成方法に係り、より詳細には、気相成長法を利用して大量に二重壁炭素ナノチューブを合成する方法に関する。
炭素ナノチューブは、黒鉛シートが円筒形に巻かれたものである。黒鉛シートの数に応じて、炭素ナノチューブは、1枚の黒鉛シートを有する単一壁炭素ナノチューブ(single−walled carbon nanotube)と、2枚の黒鉛シートを有する二重壁炭素ナノチューブ(double−walled carbon nanotube)、および、3枚あるいはそれ以上の黒鉛シートを有する多重壁炭素ナノチューブ(multiwalled carbon nanotube)に区分できる。
そのうち、二重壁炭素ナノチューブは、単一壁炭素ナノチューブと多重壁炭素ナノチューブとの両方の長所を有するために、電子放出装置、電子装置、センサー、高強度複合素材などで幅広い応用が期待されている。この二重壁炭素ナノチューブが多様な分野で有効に使われるためには、高純度の二重壁炭素ナノチューブを低コストで大量合成することが要求されている。
この二重壁炭素ナノチューブを合成するための方法としては、電気放電法および気相合成法がある。電気放電法を利用した際には、炭素ナノチューブ以外にも非晶質炭素物質が副産物として生成される。したがって、高純度の炭素ナノチューブを得るためには、必ず熱的、化学的なろ過過程が必要になる。また、電気放電法は、炭素ナノチューブを低コストで大量合成することが困難である。
これにより、高純度炭素ナノチューブを低コストで大量合成するための代替案として、気相合成法が大変注目されている。ところが、現在まで報告された種々の気相合成法によって二重壁炭素ナノチューブを合成する場合、二重壁炭素ナノチューブの収率が非常に低く、また、二重壁炭素ナノチューブとともに、単一壁炭素ナノチューブや非晶質炭素粒子が多量に生成される。
本発明は、気相合成法により数nm以下の径を有する高純度の二重壁炭素ナノチューブを大量に合成する方法を提供する。
本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成方法は、Fe、Co、Ni、Moまたはそれらの合金からなる、2〜5nmサイズの触媒金属粒子を、酸化マグネシウム(MgO)、アルミナ(Al)、ゼオライトまたはシリカからなる保持材粉末のナノ孔に固着させる。
次いで、前記触媒金属粒子が固着した保持材粉末を焼結する。その後、保持材粉末に固着した触媒金属粒子に炭素源ガスを供給して、炭素源ガスと触媒金属粒子との反応により二重壁炭素ナノチューブを合成する。
前記触媒金属粒子を保持材粉末のナノ孔に固着させるために、先ず、前記触媒金属粒子が含まれた第1の溶液を作る。次に前記触媒金属粒子が含まれた第1の溶液と保持材粉末とを混合して第2の溶液を作る。さらに第2の溶液内の水分を除去する。前記触媒金属粒子及び保持材粉末が含まれた第2の溶液の水分除去は、真空オーブンを利用して150℃で15時間行うことが望ましい。その後前記触媒金属粒子が含まれた保持材粉末を粉砕して、前記触媒金属粒子が固着した保持材粉末を形成する。
前記触媒金属粒子が固着した保持材粉末の焼結は、大気雰囲気中で700ないし900℃の温度で6ないし12時間行うことが望ましい。前記二重壁炭素ナノチューブは、前記触媒金属粒子が固着した保持材粉末を反応器の内部に入れた後、反応器の温度を700〜1100℃に維持させ、前記反応器の内部に、気化器内の炭素源溶液を気化させて炭素源ガスを供給して合成する。
本発明は、触媒金属粒子が保持材粉末のナノ孔に固着されるために、高温でも触媒金属粒子の移動が抑制されて均一な直径を持つ二重壁炭素ナノチューブを大量に合成することができる。
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。しかし、次に例示する本発明の実施形態は色々な他の形態に変形でき、本発明の範囲が後述する実施形態に限定されるものではない。本発明の実施形態は、当業者に本発明をさらに完全に説明するために提供されるものである。
図1及び図2は、本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成方法に利用された炭素ナノチューブ合成装置の概略図である。
具体的に、本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成は、気相合成法を利用する。それを具現するための炭素ナノチューブ合成装置は、反応器100及び、前記反応器の外部には前記反応器を加熱させうる加熱コイル102が位置し、前記反応器100の内部にボート104が位置する。前記ボート104は、石英ボートまたはグラファイトボートを利用する。前記ボート104内には、二重壁炭素ナノチューブが成長する触媒物質106が含まれる。本発明の触媒物質106は、後述するように、触媒金属粒子が固着した保持材粉末を利用する。
前記反応器100のガス注入口107には、第1ガス供給管108を通じてアルゴンガス供給源110が連結される。特に、図1に図示した前記アルゴンガス供給源110は、アルゴンガスを炭素源溶液、例えば、アルコールが含まれている気化器119に供給できる第2ガス供給管112が連結されている。前記炭素源溶液は、アルコール以外にもベンゼン、へキサン、THF(Tetra hydrofuran)またはプロパノールを使用できる。
前記反応器100のガス注入口107には、炭素源ガスが供給される第3ガス供給管116が連結されている。前記アルゴンガス供給源110に連結された第2ガス供給管112を通じてアルゴンガスを供給することによって、炭素源溶液を気化させて、第3ガス供給管116を通じて炭素源ガスが供給される。
そして、図2に図示した炭素ナノチューブ合成装置は、アルゴンガス供給源110に第2ガス供給管112が連結されておらず、第3ガス供給管116に直接に炭素源ガス供給源118が連結されている。これにより、図2に図示した炭素ナノチューブ合成装置は、前記炭素源ガス供給源118に連結された第3ガス供給管116を通じて直接に炭素源ガスが供給される。
前記炭素源ガス供給源118を通じて供給される炭素源ガスの例には、アセチレン、メタン、エチレン、プロパン、一酸化炭素などを挙げられる。図1及び図2の炭素源ガス供給方式は、いかなる方法を使用しても本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成には支障がない。
前記第1ガス供給管108、第2ガス供給管112、及び第3ガス供給管116には、それぞれ反応器100内へのガス供給を遮断できる第1弁120、第2弁122及び第3弁124が設置されている。前記反応器100のガス注入口107に注入されたガスは、矢印方向に移動してガス排出口126に排出される。
本発明の気相合成法による二重壁炭素ナノチューブの合成装置は、後述するように反応器100の温度を一定温度に維持しつつ、気化器119を通じてガス状の炭素源ガスを供給するか、反応器内に炭素源ガスを供給して、触媒物質106上で気相合成法で二重壁の炭素ナノチューブを成長させる。前記二重壁の炭素ナノチューブを成長させる時、必要に応じてアルゴンガス供給源110を通じてアルゴンガスを供給する。
図3は、本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成方法を説明するためのフローチャートであり、図4は、本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成メカニズムを図示した概略図である。
具体的に、本発明によって気相合成法により二重壁炭素ナノチューブを合成するためには、適切な大きさの触媒金属粒子の形成が必ず必要であり、適当な炭素源ガスを供給せねばならない。適切な大きさの触媒金属粒子を形成させるためには、数nmサイズの孔を持つ適切な保持材を選定せねばならず、触媒金属粒子が溶解された溶液での触媒金属の濃度を適切に調節せねばならない。最終的には、炭素ナノチューブは、触媒金属粒子と反応する炭素源ガスを適切に供給せねばならず、合成温度が重要な要素として作用する。
そのために、本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成方法は、大きく3ステップで構成される。第1ステップで、Fe、Co、Ni、Moまたはそれらの合金から形成された2〜5nmサイズの触媒金属粒子を酸化マグネシウム(MgO)、アルミナ(Al)、ゼオライトまたはシリカから形成された保持材粉末のナノ孔(数nmの孔)に固着させる(ステップ200)。
前記触媒金属粒子を保持材粉末のナノ孔に固着させる方法は、下記の通りである。
まず、触媒金属粒子が含まれた溶液を製造する(ステップ202)。触媒金属粒子が含まれた溶液の例には、Fe(NO・9HO、FeCl・9HO、CoSO・XHO、Co(NO・6HO、Ni(NO・6HO、NiSO・6HOなど多くの例を挙げられる。そして、触媒金属粒子であるMo金属が含まれた溶液は、MoS、MoClなどを脱イオン水に稀釈させて使用するか、固体状態のMo金属をそのまま利用できる。したがって、前記触媒金属粒子が含まれた溶液は、前述した物質から選択して混合した後、脱イオン水に1時間稀釈して作る。
次いで、触媒金属粒子が含まれた溶液を、脱イオン水と保持材(保持材粉末)との混合液に1時間超音波装置で混合させて混合溶液を製造する。換言すれば、触媒金属粒子が含まれた溶液と保持材粉末とを混合させる(ステップ204)。
前記触媒金属粒子と保持材粉末とが含まれた混合溶液がFe、NiまたはCoとMo及びMgOを含む溶液である場合、Fe、NiまたはCo:Mo:MgOのモル比は、0.7〜1:0.1〜0.3:10〜13とする。前記触媒金属粒子と保持材粉末とが含まれた混合溶液が、FeとNiとMo及びMgOを含む溶液である場合、Fe:Ni:Mo:MgOのモル比は0.7〜1:0.1〜0.3:0.1〜0.3:10〜13とする。前記触媒金属粒子と保持材粉末とが含まれた混合溶液がFeとCoとMo及びMgOを含む溶液である場合、Fe:Co:Mo:MgOのモル比は、0.7〜1:0.1〜0.3:0.1〜0.3:10〜13とする。
次いで、前記触媒金属粒子と保持材粉末とが含まれた混合溶液を超音波装置から取り出した後、真空オーブンを利用して150℃で15時間乾燥させて水分を除去する(ステップ206)。次いで、水分が除去されて触媒金属粒子が含まれた保持材粉末をさらに微細にするために、乳鉢(Mortar)で粉砕して、最終的に触媒金属粒子を保持材粉末のナノ孔に固着させる(ステップ208)。
本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成方法の第2ステップで、触媒金属粒子が固着した保持材粉末を焼結させる(ステップ300)。前記焼結によって保持材粉末の表面積を拡大させることができるために、今後の二重壁炭素ナノチューブの合成時に実質的に反応に関与する触媒金属粒子の密度を高めることができる。
前記触媒金属粒子が固着した保持材粉末の焼結によって触媒金属粒子のサイズを2〜5nmに適切に調節し、触媒金属粒子を活性化させうるために、二重壁炭素ナノチューブの合成時に炭素ナノチューブの収率を非常に高めることができる。
前記焼結は、触媒金属粒子が固着した保持材粉末を炉に入れて700〜900℃で6時間ないし12時間大気雰囲気で焼結させる。前記焼結温度及び時間は調節でき、雰囲気ガスとしては、水素またはアルゴンガスを使用してもよい。
次いで、本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成方法の第3ステップで、前記保持材粉末に固着した触媒金属粒子上に炭素源ガスを供給して、炭素源ガスと触媒金属粒子との触媒反応により二重壁炭素ナノチューブを形成する(ステップ400)。
前記二重壁炭素ナノチューブの形成は、図1ないし図2を参考としてさらに詳細に説明する。まず、前記触媒金属粒子が固着した保持材粉末106をボート104に入れた後、反応器100の内部にボート104を装着させる(ステップ402)。
次いで、前記反応器100の内部にアルゴンガスを1000sccmで供給しつつ反応器100の温度を任意温度、望ましくは、700〜1100℃に維持させる(ステップ404)。 次いで、図1のような炭素ナノチューブ合成装置を利用する場合には、前記反応器100の内部に供給するアルゴンガスを中断し、1000sccmのアルゴンガスを気化器119内に10分間供給して炭素源溶液、例えば、アルコールを気化させて、第3ガス供給管116を通じて炭素源ガスを供給する。前記気化器119内に注入されるアルゴンガスの流量は、反応器100の大きさによって調節される。前記炭素源溶液は、アルコール以外にもベンゼン、へキサン、THF、プロパノールなどが使われうる。
そして、図2のような炭素ナノチューブ合成装置を利用する場合には、前記反応器100の内部に供給するアルゴンガスを中断し、炭素源ガス供給源及び第3ガス供給管116を通じて炭素源ガス、例えば、アセチレンを40sccmの流量で約20分間供給する。前記炭素源ガスは、アセチレン以外にもメタン、エチレン、プロパンまたは一酸化炭素を利用する。結果的に、反応器100の内部に供給された炭素源ガスによって、触媒金属粒子上に触媒反応によって二重壁炭素ナノチューブが合成される(ステップ406)。
前記二重壁炭素ナノチューブの合成時、反応器100は大気圧状態に維持しつつ進めることが望ましい。前記二重壁炭素ナノチューブの合成が終わった後、反応器100の内部にアルゴンガスを500sccmで供給しつつ反応器100の温度を徐々に低める。
前記二重壁炭素ナノチューブの合成時、気化器119内に注入されるアルゴンガスの流量を適切に調節するか、反応器100内に直接供給される炭素源ガスを適切に調節する。これにより、触媒金属粒子の表面に過剰の炭素原子が供給されることを抑制し、触媒金属粒子の表面に吸着される非晶質炭素物質を除去するか、成長する炭素ナノチューブの外壁に非晶質炭素塊や炭素粒子が付着されることを抑制できる。
ここで、図1、図2及び図4を参考して本発明により触媒粒子上に二重壁炭素ナノチューブが合成(成長)される過程をさらに詳細に説明する。
具体的に、本発明の触媒金属粒子505は、保持材粉末501のナノ孔503に固着されて存在する。このように、ナノ孔503に固着した触媒金属粒子が含まれた反応器100内に炭素源ガス(例えば、R−OH、ここで、Rは炭化水素を表す)を供給すれば、供給された炭素源ガスが気相で熱分解(pyrolysis)されて炭素ユニット(C=CまたはC)及び自由水素(H)を形成すると共に、炭素ユニットが触媒金属粒子505の表面に吸着された後、内部に広がって入って溶解される。次いで、触媒金属粒子505の内部に炭素ユニットが拡散して蓄積されれば、二重壁の炭素ナノチューブ507が成長し始める。炭素ユニットが供給され続ければ、触媒作用(反応)により、二重壁炭素ナノチューブ507が触媒金属粒子から成長し続ける。
本発明は、触媒金属粒子505が保持材粉末501のナノ孔503に固着されるために、炭素ナノチューブの合成時に要求される高温でも触媒金属粒子の移動が抑制されて、非常に均一な直径を持つ二重壁炭素ナノチューブの合成が可能である。
さらに、本発明は、ナノ孔に固着された触媒金属粒子状に、最適の炭素源供給条件で炭素ナノチューブが合成されるために、非晶質状態の炭素塊が形成されずに高純度の炭素ナノチューブを形成できる。これにより、本発明は炭素ナノチューブの合成後の精製過程が不要になる。
図5は、本発明によって形成された二重壁炭素ナノチューブのSEM写真を図示した図面であり、図6及び図7は、本発明による二重壁炭素ナノチューブのTEM写真を図示した図面である。
具体的に、図5に図示した炭素ナノチューブは、精製過程を経ないサンプルである。図5に図示したように、本発明によって非晶質炭素塊などの不良なしに大量の炭素ナノチューブが合成されることが分かる。さらに、図5の炭素ナノチューブの直径は20〜40nmである。そして、図6及び図7に図示したTEM写真から、本発明によって二重壁炭素ナノチューブが合成されることが分かる。
本発明は、焼結工程を使用して保持材粉末のナノ孔に固着した触媒金属粒子のサイズを2〜5nm程度に適切に調節し、触媒金属粒子を活性化させることができる。それにより、本発明は、二重壁炭素ナノチューブの合成時に非晶質状態の炭素塊が形成されずに高純度の炭素ナノチューブを形成でき、炭素ナノチューブの収率を非常に高めることができる。
本発明は、非晶質状態の炭素塊が形成されずに炭素ナノチューブの合成後の精製過程が不要である。さらに、本発明は、複雑な装置や後続精製過程を使用せずに簡単な合成方法で高純度の二重壁炭素ナノチューブを大量に合成できる。
本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成方法は、炭素ナノチューブが利用できる分野、例えば、電子放出装置、電子装置、センサー、高強度複合素材などで利用できる。
本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成方法に利用された炭素ナノチューブ合成装置の概略図である。 本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成方法に利用された炭素ナノチューブ合成装置の概略図である。 本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成方法を説明するためのフローチャートである。 本発明の二重壁炭素ナノチューブの合成メカニズムを図示した概略図である。 本発明によって形成された二重壁炭素ナノチューブのSEM写真を図示した図面である。 本発明による二重壁炭素ナノチューブのTEM写真を図示した図面である。 本発明による二重壁炭素ナノチューブのTEM写真を図示した図面である。

Claims (6)

  1. Fe、Co、Ni、Moまたはそれらの合金からなる2〜5nmサイズの触媒金属粒子を、酸化マグネシウム(MgO)、アルミナ(Al)、ゼオライトまたはシリカからなる保持材粉末のナノ孔中に固着させること、
    触媒金属粒子が固着した保持材粉末を焼結すること、
    前記保持材粉末に固着した触媒金属粒子に炭素源ガスを供給して、炭素源ガスと触媒金属粒子との反応により二重壁炭素ナノチューブを合成することを含んでなるが、
    触媒金属粒子を保持材粉末中に固着させるステップは、
    触媒金属粒子が含まれた第1の溶液を作ること、
    触媒金属粒子が含まれた第1の溶液と保持材粉末とを混合して第2の溶液を形成すること、
    第2の溶液内の水分を除去すること、および
    触媒金属粒子を含む保持材粉末を粉砕して、触媒金属粒子が固着した保持材粉末を形成するステップと、からなることを特徴とする二重壁炭素ナノチューブの合成方法。
  2. 水分除去は、真空オーブンを利用して150℃で15時間行われる請求項1に記載の二重壁炭素ナノチューブの合成方法。
  3. 第2溶液が、Fe、NiまたはCoとMoおよびMgOを含む場合、Fe、NiまたはCo:Mo:MgOのモル比は、0.7〜1:0.1〜0.3:10〜13であり、
    第2溶液がFeとNiとMo及びMgOを含む溶液である場合には、Fe:Ni:Mo:MgOのモル比は、0.7〜1:0.1〜0.3:0.1〜0.3:10〜13であり、
    および
    前記混合溶液がFeとCoとMoおよびMgOを含む場合には、Fe:Co:Mo:MgOのモル比は、0.7〜1:0.1〜0.3:0.1〜0.3:10〜13である請求項1に記載の二重壁炭素ナノチューブの合成方法。
  4. 焼結は、大気雰囲気中で700ないし900℃の温度で6ないし12時間行われる請求項1に記載の二重壁炭素ナノチューブの合成方法。
  5. 炭素ナノチューブの形成は、
    触媒金属粒子が固着した保持材粉末を反応器内に装填すること、
    保持材粉末を含む反応器の温度を700〜1100℃に維持すること、
    および
    反応器内に、アルコール、ベンゼン、へキサン、THF(テトラ ハイドロフラン)およびプロパノールからなる群からなる炭素源から選択された炭素源溶液を、気化器を利用してガス状で供給することを含む請求項1に記載の二重壁炭素ナノチューブの合成方法。
  6. 炭素ナノチューブの形成は、
    触媒金属粒子が固着した保持材粉末を反応器内に装填すること、
    保持材粉末を含む反応器の温度を700〜1100℃に維持すること、
    および、
    反応器内に、アセチレン、メタン、エチレン、プロパンおよび一酸化炭素からなる群から選択された炭素源ガスを供給することを含む請求項1に記載の二重壁炭素ナノチューブの合成方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009214021A (ja) * 2008-03-11 2009-09-24 Japan Fine Ceramics Center カーボンナノコイル製造用触媒及びその製造方法並びにカーボンナノコイルの製造方法

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4849437B2 (ja) * 2005-04-22 2012-01-11 国立大学法人名古屋大学 3層カーボンナノチューブの製造方法および3層カーボンナノチューブ含有組成物
JP4811712B2 (ja) * 2005-11-25 2011-11-09 独立行政法人産業技術総合研究所 カーボンナノチューブ・バルク構造体及びその製造方法
WO2007100306A1 (en) * 2006-03-01 2007-09-07 National University Of Singapore Carbon nanotube(s) and method for making the same
WO2007116434A1 (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Fujitsu Limited カーボンナノチューブの製造方法
EP2098484A1 (en) * 2008-02-15 2009-09-09 Imec Synthesis of zeolite crystals and formation of carbon nanostructures in patterned structures
JP5652201B2 (ja) * 2008-03-25 2015-01-14 東レ株式会社 導電性複合体およびその製造方法
US20100072458A1 (en) * 2008-08-05 2010-03-25 Green Alexander A Methods For Sorting Nanotubes By Wall Number
US20100266478A1 (en) * 2008-12-10 2010-10-21 Cheil Industries Inc. Metal Nano Catalyst, Method for Preparing the Same and Method for Controlling the Growth Types of Carbon Nanotubes Using the Same
KR100976174B1 (ko) 2009-02-13 2010-08-16 금호석유화학 주식회사 얇은 다중벽 탄소나노튜브 제조용 촉매조성물 및 이의 제조방법
JP5093288B2 (ja) * 2010-04-13 2012-12-12 トヨタ自動車株式会社 燃料電池の製造方法
JP5453618B2 (ja) * 2011-07-11 2014-03-26 独立行政法人産業技術総合研究所 カーボンナノチューブ・バルク構造体
KR101448367B1 (ko) * 2012-01-11 2014-10-07 주식회사 엘지화학 카본나노튜브 및 그 제조방법
KR101395611B1 (ko) * 2012-10-09 2014-05-16 한국에너지기술연구원 구조체 내의 기공 또는 간극 표면에 탄소나노와이어를 고밀도로 합성하는 방법 및 이에 의하여 합성된 계층 구조체
CN113192762B (zh) * 2021-05-17 2022-04-05 安徽科技学院 一种具有分级结构的碳纳米管复合材料及其制备方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU6148499A (en) 1998-09-18 2000-04-10 William Marsh Rice University Catalytic growth of single-wall carbon nanotubes from metal particles
US6333016B1 (en) 1999-06-02 2001-12-25 The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma Method of producing carbon nanotubes
EP1059266A3 (en) * 1999-06-11 2000-12-20 Iljin Nanotech Co., Ltd. Mass synthesis method of high purity carbon nanotubes vertically aligned over large-size substrate using thermal chemical vapor deposition
KR100376197B1 (ko) * 1999-06-15 2003-03-15 일진나노텍 주식회사 탄소 소오스 가스 분해용 촉매금속막을 이용한탄소나노튜브의 저온 합성 방법
JP2002029718A (ja) 2000-07-14 2002-01-29 Takeshi Hatanaka フラーレンおよびカーボンナノチューブの製造法およびその装置
KR100382879B1 (ko) 2000-09-22 2003-05-09 일진나노텍 주식회사 탄소 나노튜브 합성 방법 및 이에 이용되는 탄소 나노튜브합성장치.
JP3743628B2 (ja) 2000-12-28 2006-02-08 株式会社豊田中央研究所 単層カーボンナノチューブの製造方法
JP2002293524A (ja) 2001-03-30 2002-10-09 Osaka Gas Co Ltd 気相成長ナノスケールカーボンチューブ製造法及び装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009214021A (ja) * 2008-03-11 2009-09-24 Japan Fine Ceramics Center カーボンナノコイル製造用触媒及びその製造方法並びにカーボンナノコイルの製造方法

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