JP2006518459A - 円偏光二色性検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
マルチプレクサ13は、46個の出力端子を有するが、図4では、略図化のため、単一の出力信号のみを示す。92(各フォトダイオードの個別の交流及び直流チャンネル数)から46(各フォトダイオードに対する多重化された交流及び直流を伝達する単一チャンネル数)まで、データ伝送路の数を減らすマルチプレクサの使用は、有利である。マルチプレクサ13は、デジタイザ14に多重化されたフォトダイオード信号を出力する。デジタイザ14は、アナログ電圧を33MHzで12ビット、4096レベルにデジタル化する。
Claims (34)
- 入射する放射ビームに変調を加える変調手段と、変調された放射ビームが通過するサンプル保持手段と、放射ビームを拡張するビーム拡張手段と、拡張された放射ビームの異なる部分を検出信号として受信する検出器のアレイと、変調手段により変調された変調信号に検出した信号を同期させる処理手段とを備えることを特徴とする検出装置。
- 検出器は、固体検出器である請求項1に記載の検出装置。
- 処理手段は、固体検出器のアレイにより検出した検出信号を増幅する増幅手段を更に備える請求項2に記載の検出装置。
- 処理手段は、検出信号をデジタル化するデジタル化手段を更に備える請求項1〜3の何れか1項に記載の検出装置。
- 処理手段は、変調手段により変調された放射ビームに検出信号を同期させる前に、検出信号をデジタル化する請求項4に記載の検出装置。
- ビーム拡張手段は、発散する扇状の波長にビームを変換する波長分離手段を備える請求項1〜5の何れか1項に記載の検出装置。
- 波長分離手段は、反射格子を備える請求項6に記載の検出装置。
- 検出装置は、固体検出器のアレイに入射する扇状の波長を選択できるように方向を調節できるステアリングミラーを更に備える請求項6又は7に記載の検出装置。
- ビーム拡張手段は、ビームの空間特性を維持しながら、放射ビームの伝達方向に直角な少なくとも1つの方向に放射ビームを拡張する手段を備える請求項1〜8の何れか1項に記載の検出装置。
- 固体検出器のアレイは、二次元アレイである請求項1〜9の何れか1項に記載の検出装置。
- 放射ビームの伝達方向に直角な第1の方向に波長を分離し、空間特性を維持しながら、放射ビームの伝達方向に直角な第2の方向にビームを拡張し、二次元アレイを使用して、拡張したビームの波長依存性及び空間特性を検出する請求項6、9及び10の何れか1項に記載の検出装置。
- 固体検出器のアレイは、近紫外波長を検出するフォトダイオードの第1のアレイと、深紫外線波長を検出するフォトダイオードの第2のアレイとを備える請求項1〜11の何れか1項に記載の検出装置。
- フォトダイオードの第1のアレイは、シリコンフォトダイオードアレイである請求項12に記載の検出装置。
- フォトダイオードの第2のアレイは、AlGaNフォトダイオードアレイである請求項12又は13に記載の検出装置。
- 変調手段は、変調された円形偏光を放射ビームに加える請求項1〜14の何れか1項に記載の検出装置。
- 変調手段は、1kHzを超える周波数で変調を加える請求項1〜15の何れか1項に記載の検出装置。
- サンプル保持手段は、サンプルに入射するビーム幅を調整できる調節可能な開口を備える請求項1〜16の何れか1項に記載の検出装置。
- 固体検出器のアレイの各検出器は、検出器による光電流出力を電圧に変換する相互コンダクタンス増幅器を備える請求項1〜17の何れか1項に記載の検出装置。
- 相互コンダクタンス増幅器は、相互コンダクタンス増幅器の利得を修正するスイッチを使用して、相互コンダクタンス増幅器に異なる組合せで接続される複数の抵抗を備える請求項18に記載の検出装置。
- スイッチは、マイクロプロセッサにより制御される請求項19に記載の検出装置。
- 固体検出器のアレイの各検出器は、固体検出器により検出した信号の交流成分を増幅する交流増幅器を備える請求項1〜20の何れか1項に記載の検出装置。
- 交流増幅器は、交流増幅器の利得を修正するスイッチを使用して、相互コンダクタンス増幅器に異なる組合せで接続される複数の抵抗を備える請求項21に記載の検出装置。
- スイッチは、マイクロプロセッサにより制御される請求項22に記載の検出装置。
- 検出装置は、変調手段の作動周波数に同調された帯域フィルタを備える請求項1〜23の何れか1項に記載の検出装置。
- 検出装置は、固体検出器のアレイの各検出器に対し、増幅後の直流信号及び交流信号を多重送信するマルチプレクサを更に備える請求項1〜24の何れか1項に記載の検出装置。
- 同期化は、高速プログラマブル・アレイにより実行される請求項1〜25の何れか1項に記載の検出装置。
- 検出装置は、データを受信しかつ検出装置の構成要素の作動を制御するパーソナルコンピュータを更に備える請求項1〜26の何れか1項に記載の検出装置。
- 固体検出器のアレイは、ビームに同軸となるように移動可能かつ回転可能である請求項1〜27の何れか1項に記載の検出装置。
- 入射する放射ビームに変調を加える変調手段と、変調された放射ビームが通過するサンプル保持手段と、少なくとも1つの固体検出器と、少なくとも1つの検出器により検出された信号を増幅しかつデジタル化し、その後、変調手段により変調された変調信号に、増幅されかつデジタル化された信号を同期させる処理手段とを備えることを特徴とする検出装置。
- 入射する放射ビームに変調を加える過程と、サンプル保持手段により保持されたサンプルに変調された放射ビームを通過させる過程と、放射ビームを拡張する過程と、固体検出器アレイを使用して、拡張された放射ビームの異なる部分を検出する過程と、変調された変調信号に検出した信号を同期させる過程とを含むことを特徴とする検出法。
- 検出信号を増幅する請求項30に記載の検出法。
- 検出信号をデジタル化する請求項30又は31に記載の検出法。
- 変調された変調信号に検出信号を同期させる前に、検出信号をデジタル化する請求項32に記載の検出法。
- 入射する放射ビームに変調を加える過程と、変調された放射ビームをサンプルに通過させる過程と、少なくとも1つの固体検出器を使用して、放射ビームを検出する過程と、少なくとも1つの検出器により検出された信号を増幅しかつデジタル化する過程と、その後、増幅されかつデジタル化された信号を変調された変調信号に同期させる過程とを含むことを特徴とする検出法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0302378.5A GB0302378D0 (en) | 2003-02-01 | 2003-02-01 | Detection system |
PCT/GB2004/000365 WO2004068119A1 (en) | 2003-02-01 | 2004-01-30 | Circular dichroism detection system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006518459A true JP2006518459A (ja) | 2006-08-10 |
Family
ID=9952290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006502214A Pending JP2006518459A (ja) | 2003-02-01 | 2004-01-30 | 円偏光二色性検出装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7480049B2 (ja) |
EP (1) | EP1588149A1 (ja) |
JP (1) | JP2006518459A (ja) |
GB (1) | GB0302378D0 (ja) |
WO (1) | WO2004068119A1 (ja) |
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-
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-
2004
- 2004-01-30 JP JP2006502214A patent/JP2006518459A/ja active Pending
- 2004-01-30 EP EP04706729A patent/EP1588149A1/en not_active Ceased
- 2004-01-30 WO PCT/GB2004/000365 patent/WO2004068119A1/en active Application Filing
- 2004-01-30 US US10/543,803 patent/US7480049B2/en active Active
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US20060192959A1 (en) | 2006-08-31 |
US7480049B2 (en) | 2009-01-20 |
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EP1588149A1 (en) | 2005-10-26 |
WO2004068119A1 (en) | 2004-08-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070110 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A521 | Written amendment |
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|
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
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