JP2012159353A - 分光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定光を波長分散素子で波長ごとに分散させ、任意の波長幅に存在する光信号の強度をフォトダイオードアレイで測定する分光装置において、
前記分散光の集光位置に両端が回転可能に支持されるとともに列方向に沿って配列された複数のミラーよりなるミラーアレイが配置され、前記フォトダイオードアレイには、前記ミラーアレイで反射された光信号が入射されることを特徴とするもの。
【選択図】 図1
Description
被測定光を波長分散素子で波長ごとに分散させ、任意の波長幅に存在する光信号の強度をフォトダイオードアレイで測定する分光装置において、
前記分散光の集光位置に両端が回転可能に支持されるとともに列方向に沿って配列された複数のミラーよりなるミラーアレイが配置され、
前記フォトダイオードアレイには、前記ミラーアレイで反射された光信号が入射されることを特徴とする。
請求項1記載の分光装置において、
前記フォトダイオードアレイのフォトダイオードの配列数PDと前記ミラーアレイを構成するミラーの配列数MRは、PD>MRに選定されていることを特徴とする。
請求項1または請求項2記載の分光装置において、
前記ミラーアレイのミラーを測定したい波長領域に応じて選択的に駆動することを特徴とする。
PD>MR
になるように選定されている。
はじめに、測定波長範囲1000nmのうちの前半500nm分を、10分割されたミラーアレイ17の5個のマイクロミラーMMによりフォトダイオードアレイ15の250個のフォトダイオードに向けて反射させ、フォトダイオードアレイ15上にフォーカスさせて測定する。このとき、測定波長範囲1000nmのうちの後半500nmを受けるマイクロミラーMMについては、反射光がフォトダイオードアレイ15に入らない方向に向ける。
14、18 集光光学系(フォーカシングレンズ)
15 フォトダイオードアレイ
17 ミラーアレイ
17a 支持部材
17b、17d、17h 取付窓
17c、17f 回転軸
17e 第1の支持部材
17g 第2の支持部材
Claims (3)
- 被測定光を波長分散素子で波長ごとに分散させ、任意の波長幅に存在する光信号の強度をフォトダイオードアレイで測定する分光装置において、
前記分散光の集光位置に両端が回転可能に支持されるとともに列方向に沿って配列された複数のミラーよりなるミラーアレイが配置され、
前記フォトダイオードアレイには、前記ミラーアレイで反射された光信号が入射されることを特徴とする分光装置。 - 前記フォトダイオードアレイのフォトダイオードの配列数PDと前記ミラーアレイを構成するミラーの配列数MRは、PD>MRに選定されていることを特徴とする請求項1記載の分光装置。
- 前記ミラーアレイのミラーを測定したい波長領域に応じて選択的に駆動することを特徴とする請求項1または請求項2記載の分光装置。
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- 2011-01-31 JP JP2011018170A patent/JP5740781B2/ja active Active
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