JP2014035224A - 分光光度計 - Google Patents
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Abstract
【課題】 1つの分光器と複数の測定プローブを備えた分光光度計の構成を簡素化して小型化し、さらに複数点の測定のリアルタイム性を向上させる。
【解決手段】 複数の測定プローブ3,4の光導入用光ファイバ31a,41aに、光源1からの光を光スイッチ5を介して選択的に光を導く一方、各光導出用光ファイバ31b,41bの各ファイバ端は、所定の位置関係のもとに分光器2の分散素子21に対向するように臨ませて各測定プローブ3,4からの測定光を導き、測定プローブの選択は光スイッチ5の切り替えのみで行うとともに、分散素子21に対する光導出用光ファイバ31b,41bのファイバ端の位置の相違に基づく分散後の光の光センサアレイ22へのスペクトルの結像位置のずれは、あらかじめ記憶している上記の位置の相違に基づく情報を用いて補正することで、測定光の切り替えを不要として装置構成の簡素化とリアルタイム性の向上を実現する。
【選択図】図1
【解決手段】 複数の測定プローブ3,4の光導入用光ファイバ31a,41aに、光源1からの光を光スイッチ5を介して選択的に光を導く一方、各光導出用光ファイバ31b,41bの各ファイバ端は、所定の位置関係のもとに分光器2の分散素子21に対向するように臨ませて各測定プローブ3,4からの測定光を導き、測定プローブの選択は光スイッチ5の切り替えのみで行うとともに、分散素子21に対する光導出用光ファイバ31b,41bのファイバ端の位置の相違に基づく分散後の光の光センサアレイ22へのスペクトルの結像位置のずれは、あらかじめ記憶している上記の位置の相違に基づく情報を用いて補正することで、測定光の切り替えを不要として装置構成の簡素化とリアルタイム性の向上を実現する。
【選択図】図1
Description
本発明は複数の測定プローブを有する分光光度計に関し、特に、複数点をリアルタイムでモニタするのに適した分光光度計に関する。
例えば製造工程でのオンライン測定等において、分光光度計を用いて複数の場所の測定を行う場合、複数台の分光光度計を用意して各測定場所にそれぞれ分光光度計を配置して測定を行う方法(例えば特許文献1参照)と、複数の測定プローブを光ファイバを主体とする光学系を介して1台の分光光度計に接続し、その光学系を順次切り替える方法(例えば特許文献2参照)とがある。
以上の方法のうち、後者の1台の分光光度計と複数の測定プローブを接続する方法は、前者の各測定場所ごとに分光光度計を設置する方法に比して、測定点における装置構成の小型化やコスト面で有利であり、その構成例を図7に示す。
この図7の例では、光源61と分光器62、およびこれらを制御する制御ユニット63をそれぞれ1個ずつと、複数箇所のサンプルを測定するための複数の測定プローブ64,65と、光源61からの光を各測定プローブ64または65に向けて選択的に導入し、かつ、各測定プローブ64または65からの測定光を選択的に分光器62に導くように切り替わる光マルチプレクサ66、および制御ユニット63と光マルチプレクサ66を制御するパーソナルコンピュータ67によって構成されている。
各測定プローブ64,65は、光マルチプレクサ66に対して光導入用および光導出用の光ファイバ641a,641bまたは651a,651bによって接続され、光マルチプレクサ66と光源61とは光ファイバ611で接続され、さらに、光マルチプレクサ66と分光器62とは光ファイバ621によって接続されている。
各測定プローブ64,65は、光マルチプレクサ66を介して光源61からの光をサンプルに照射し、その測定光(透過光もしくは反射光)は、光マルチプレクサ66を介して分光器62に導入される。光マルチプレクサ66は、光源61からの光が一方の測定プローブ64に導入されている状態では、その測定プローブ64からの測定光が分光器62に導入されるように動作し、分光器62では導入された測定光を分光して検出器で受光し、測定プローブ64の配設位置でのデータとして取得する。その測定が終了した時点で光マルチプレクサ66が切り替わり、他方の測定プローブ65に光源61からの光を導入し、その測定プローブ65のからの測定光を分光器62に導く。
以上の構成から明らかなように、この例における分光光度計は、サンプルを透過または反射した後の光を分光器に入射させる後分光構成であり、この後分光構成とすることで、波長スキャンを行うことなく一度に広域スペクトルの測定が可能となるという利点がある。この後分光構成では、測定光を波長ごとに空間的に分散させる分散素子と、その分散素子により分散された光を結像させるフォトダイオードアレイ等の光センサアレイとからなる分光器が用いられる。
ところで、製造工程等におけるオンライン測定により複数点での分光分析データを得る場合、各測定点にそれぞれ個別の分光光度計を設置する特許文献1等に記載の方法では、前記したように測定点での装置の小型化を実現することは困難であるばかりでなく、コストも高くなるという問題がある。
一方、単一の分光器に複数の測定プローブからの測定光を、光マルチプレクサを介して選択的に導く従来の方法は、測定点における装置構成の小型化やコストの点で有利であるが、光マルチプレクサにより光源からの光を1つの測定プローブに導くと同時に、その測定プローブからの測定光を1つの分光器に導くために、光マルチプレクサとして比較的精密で複雑な機械的構成を持つものを使用する必要があり、装置の小型化を阻害するという問題がある。また、切り替え動作も遅く、複数点の測定のリアルタイム性に欠けるシステムとなってしまうという問題もある。
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、1つの分光器と複数の測定プローブを備えた分光光度計で、比較的簡単な構成のもとに複数点の測定のリアルタイム性が高く、しかも装置の小型化を実現することのできる分光光度計の提供をその課題としている。
上記の課題を解決するため、請求項1に係る発明の分光光度計は、複数の測定プローブと1つの分光器を備えた分光光度計であって、上記複数の測定プローブはそれぞれ、試料に対する照射光を導入するための光導入用光ファイバと、試料を反射もしくは透過した測定光を導出するための光導出用光ファイバを有し、これらの各測定プローブの各光導入用光ファイバには、1つの光源からの光が光スイッチを介して順次導入され、上記分光器は分散素子とその分散素子により分散された光が入射する光センサアレイを含み、上記各測定プローブの各光導出用光ファイバは、上記分散素子に対してファイバ端を向けた状態で所定の位置関係で相互に固定されているとともに、上記光センサアレイの出力を、上記分散素子に対する上記各光導出用光ファイバのファイバ端の位置の相違に基づいて、あらかじめ記憶している情報を用いて補正する補正演算手段を備えていることによって特徴づけられる。
また、同じ課題を解決するため、請求項2に係る発明の分光光度計は、複数の測定プローブと1つの分光器を備えた分光光度計であって、上記複数の測定プローブはそれぞれ、試料に対する照射光を導入するための光導入用光ファイバと、試料を反射もしくは透過した測定光を導出するための光導出用光ファイバを有し、これらの各測定プローブの各光導入用光ファイバには、当該各光導入用光ファイバごとに設けられた光源からの光が導入され、これらの各光源は、順次オン/オフされて上記各光導入用光ファイバのいずれか1つにのみ光が順次導入され、上記分光器は分散素子とその分散素子により分散された光が入射する光センサアレイを含み、上記各測定プローブの各光導出用光ファイバは、上記分散素子に対してファイバ端を向けた状態で所定の位置関係で相互に固定されているとともに、上記光センサアレイの出力を、上記分散素子に対する上記各光導出用光ファイバのファイバ端の位置の相違に基づいて、あらかじめ記憶している情報を用いて補正する補正演算手段を備えていることによって特徴づけられる。
さらに同じ課題を解決するため、請求項3に係る発明の分光光度計は、複数の測定プローブと1つの分光器を備えた分光光度計であって、上記複数の測定プローブはそれぞれ、試料に対する照射光を導入するための光導入用光ファイバと、試料を反射もしくは透過した測定光を導出するための光導出用光ファイバを有し、これらの各測定プローブの各光導入用光ファイバには光源からの光が導入され、上記分光器は分散素子とその分散素子により分散された光が入射する光センサアレイを含み、上記各測定プローブの各光導出用光ファイバは、上記分散素子に対してファイバ端を向けた状態で所定の位置関係で相互に固定されているとともに、上記光センサアレイの出力を、上記分散素子に対する上記各光導出用光ファイバのファイバ端の位置の相違に基づいてあらかじめ記憶している情報を用いて補正する補正演算手段を備え、上記各測定プローブの光導入用光ファイバもしくは光導出用光ファイバには、光を遮断するシャッタが設けられ、これらの各測定プローブのうち、いずれか1つの測定プローブからの光のみが上記分光器に順次入射するよう、上記各シャッタが駆動制御されることによって特徴づけられる。
本発明は、分光器に導く各測定プローブからの測定光を、従来のように順次切り替えることなく、各測定プローブの光導出用光ファイバのファイバ端を分光器の分散素子に対向して所定の位置関係で固定する一方、測定点の切り替えは、各測定プローブに対する光源からの光の導入/非導入のみによって行うことで課題を解決しようとするものである。そして、各光導出用ファイバ端の分散素子に対する位置の相違に起因する光センサアレイ上へのスペクトルの結像位置のずれは、あらかじめ記憶している情報を用いた演算によって補正する。
すなわち、各測定プローブからの測定光を分光器に導く光導出用光ファイバの各ファイバ端を、分光器の分散素子に向けて所定の位置関係のもとに固定し、各測定プローブのうち1つの測定プローブに対してのみ光が導入されるようにすることで、分散素子に対しては1つの測定プローブからの測定光のみが照射されることになり、分光器の前段で各測定プローブからの測定光を切り替える必要がなくなり、その分、装置構成の簡素化と小型化を実現できる。このような構成において、分散素子に入射する測定光の光軸が各測定プローブごとに相違したものとなり、分散素子からのスペクトルの光センサアレイへの結像位置がずれることになる。このずれは、各測定プローブごとにその光導出用ファイバ端の位置に基づく情報、例えば光センサアレイの各素子と波長との関係の表など、を用いて演算により補正することで実質的に排除され、得られるスペクトルに影響を与えることがない。
そして、各測定プローブへの光の導入は、単一の光源を光スイッチを用いて切り替える(請求項1)か、あるいは各測定プローブごとに設けた光源のオン/オフにより行う(請求項2)か、あるいは各測定プローブの光導入用光ファイバもしくは光導出用光ファイバに光を遮断するシャッタ(具体的には、例えば光を通過/遮断する光スイッチ)を設けて、いずれか1つの測定プローブからの光が順次分光器に到達するようにシャッタを制御する(請求項3)ことで、従来のように機械的に動作する光マルチプレクサを不要とし、この点においても装置構成の小型化を実現でき、しかも、切り替え時間は数msec〜数十msecと、光マルチプレクサを用いる場合に比して大幅に短縮化することができる。
本発明によれば、複数の測定プローブから測定光を導出するための光導出用光ファイバの各ファイバ端を、単一の分光器の分散素子に向けて所定の位置関係のもとに固定し、各測定プローブへの光の導入のみを切り替えることで各測定点の切り替えを行うとともに、各測定プローブの光導出用光ファイバのファイバ端の分散素子に対する位置の相違に基づく分光器の光センサアレイへのスペクトルの結像位置のずれは、あらかじめ記憶している情報を用いた情報により補正することで解消するように構成しているので、装置構成の簡素化と小型化、さらには各測定点でのデータのリアルタイム性を達成することができる。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の実施の形態の全体構成図で、図2はその分光器2の近傍の構成を示す模式図(A)とそのB−B矢視図(B)である。
図1は本発明の実施の形態の全体構成図で、図2はその分光器2の近傍の構成を示す模式図(A)とそのB−B矢視図(B)である。
この例は、1つの光源1および1つの分光器2に、2つの測定プローブ3,4を接続した例を示している。測定プローブ3,4は、それぞれ、光導入用光ファイバ31a,41aと、光導出用光ファイバ31b,41bを備えており、各光導入用光ファイバ31a,41aは光スイッチ5に接続される一方、各光導出用光ファイバ31b,41bは分光器2に接続されている。
光スイッチ5は光源1に対して光ファイバ11で接続されており、この光スイッチ5の動作により、光源1からの光は測定プローブ3,4のいずれか一方の光導入用光ファイバ31aまたは41aに導入されるように交互に切り替えられる。
各測定プローブ3,4は、光導入用光ファイバ31a,41aからの光を測定対象に照射し、測定対象を反射もしくは透過した光を測定光として光導出用光ファイバ31b,41bを通じて分光器2に導くものであり、反射光を測定光とする場合には、図3(A)に模式的に示すように、光導入用光ファイバ31a(41a)と光導出用光ファイバ31b(41b)が、いずれも測定対象Wに対して対向するように保持部材(図示略)によって相互に固定された構造のものが用いられる。また、透過光を測定光とする場合には、図3(B)に模式的に示すように、光導入用光ファイバ31a(41a)と光導出用光ファイバ31b(41b)が、測定対象Wを挟んで互いに対向するように保持部材(図示略)によって相互に固定された構造のものが用いられる。
光源1と光スイッチ5、および分光器2は制御ユニット6に接続されており、この制御ユニット6によって光源1と光スイッチ5が駆動制御されるとともに、分光器2からの出力が制御ユニット6に取り込まれる。また、この制御ユニット6はパーソナルコンピュータ7の制御下に置かれているとともに、このパーソナルコンピュータ7は、制御ユニット6を介して分光器2からの出力を取り込み、後述する補正演算を含むデータ処理を行う。なお、この補正演算処理は、パーソナルコンピュータ7で行うほか、制御ユニット6で処理することもできるが、以下ではパーソナルコンピュータ7でデータ処理をする例について説明する。
分光器2は、図2(A)に示すように、分散素子としてのグレーティング21と光センサアレイとしてのフォトダイオードアレイ22によって構成されている。各測定プローブ3,4の光導出用光ファイバ31b,41bは、それぞれのファイバ端をグレーティング21に対向させた状態で、ファイバコネクタ8により互いに所定の位置関係のもとに分光器2に対して固定されている。各光導出用光ファイバ31b,41bの位置関係は、フォトダイオードアレイ22の素子の配列方向に並ぶように、つまり、各ファイバ端から出た光のグレーティング21による反射光のフォトダイオードアレイ22への結像位置が、当該フォトダイオードアレイ22の素子の配列方向にずれる位置関係のもとに固定される。
各測定プローブ3,4の光導出用光ファイバ端の位置が上記のようにグレーティング21に対して相違していると、図2に示すように各測定プローブ3,4からの測定光のグレーティング21上への結像位置が互いに相違することになる。パーソナルコンピュータ7は、各測定プローブ3,4からの測定光の結像位置の相違に基づいて以下のように補正を行った上で、各測定プローブ3,4による測定データとして取得する。すなわち、各測定プローブ3,4ごとに、フォトダイオードアレイ22の各素子と波長との関係を、例えば図4に示すような素子−波長変換表の形であらかじめ記憶しておき、測定プローブ3,4のいずれからの測定光かを認識して、該当する素子−波長変換表を用いて各素子の出力から波長ごとの強度データ、つまりスペクトルデータを演算により作成する。
以上の本発明の実施の形態の動作手順を表すフローチャートを図5に示す。以下の動作説明では、測定プローブ3を第1の測定プローブ3と称し、それに対応する素子−波長変換表を「素子−波長変換表1」と称するとともに、測定プローブ4を第2の測定プローブ4と称し、それ対応する素子−波長変換表を「素子−波長変換表2」と称する。
さて、測定を開始すると、分光器2のフォトダイオードアレイ22の各素子出力を取り込むとともに(ST1)、その時点における光スイッチ5の状態を判別し(ST2)、光スイッチ5が光源1からの光を第1の測定プローブ3側に導いている状態であれば、フォトダイオードアレイ22の出力から、「素子−波長換算表1」を用いてスペクトルデータを作成する(ST3)。一方、ST2において光スイッチ5が光源1からの光を第2の測定プローブ4に導いている状態であると判別すると、フォトダイオードアレイ22の出力から、「素子−波長換算表2」用いてスペクトルデータを作成する(ST4)。その後、光スイッチ5を切り替え(ST5)、ST1へ戻って上記の動作を繰り返す。
以上の実施の形態によると、光路の切り替えは光源1からの光路のみでよいため、動作速度の速い1つの光スイッチ5を用いることができる結果、装置構成の簡素化と小型化、および2箇所の測定点のデータ相互のリアルタイム性の向上を実現することができる。
ここで、以上の実施の形態においては、光スイッチ5を用いて光源1からの光を測定プローブ3,4のいずれかに導入するように切り替えることで、測定点の切り替えを行ったが、各測定プローブ3,4ごとに光源を設け、その各光源を順次オン/オフするように構成することもできる。
すなわち、各測定プローブ3,4の光導入用光ファイバ31a,41aのファイバ端のそれぞれに向けて個別に光源を配置し、これらの光源のうちのいずれか1つの光源のみがオン状態となるように各光源をオン/オフすることで、測定点の切り替えを行ってもよい。この複数の光源のオン/オフにより測定点を切り替える構成によっても、先の例と同等の作用効果を達成することができる。
さらに、本発明においては、測定点の切り替えに、各測定プローブの光導入用光ファイバもしくは光導出用光ファイバに、光を遮断するシャッタ、例えば通過する光をオン/オフ(通過/遮断)するいわゆる1×1等と称される光スイッチ等を設け、これらを制御していずれか1つの測定プローブからの光のみが分光器に順次入射するようにしてもよい。その光学的構成例を図6に模式図で示す。この図6の例では、1つの光源1からの光を複数の光ファイバ111,112によって分割し、それぞれの光ファイバ111,112を各測定プローブの光導入用光ファイバ31a,41aに対してオン/オフタイプ(1×1タイプ)の光スイッチ51,52を介在させて接続している。そして、これらの光スイッチ51,52を、いずれか1つの光導入用光ファイバ31a,41aにのみ光が導入されるように制御する。各測定プローブ3,4の光導出用光ファイバ31b,41bと分光器2との関係は先の例と全く同じである。このような構成によっても、測定点が迅速に切り替えられ、先の例と同等の作用効果を奏することができる。
ここで、以上のようなオン/オフタイプの光スイッチ51,52を用いる場合、上記のように各測定プローブ3,4の光導入用光ファイバ31a,41aへの光をオン/オフするほか、各測定プローブ3,4の光導出用光ファイバ31b,41bを通る光をオン/オフすることもできる。すなわち、各測定プローブ3,4には光源1からの光を常時導入し、各測定プローブ3,4において試料を透過もしくは反射した光を、分光器2の前段でオン/オフし、いずれか一方の測定プローブ3または4のからの光のみを順次分光器へ導いても、上記と同等の作用効果を奏することができる。
さらに、図6の例では、各光導入用光ファイバ31a、41aに対して、1つの光源1からの光を光ファイバ111と112で分岐させて導入した例を示したが、本発明は、各光導入用光ファイバ31a,41aごとに光源を設けてもよいことは勿論である。
また、以上の実施の形態においては、1つの分光器に対して2つの測定プローブを接続した例を示したが、測定プローブの数は2つに限らず任意の複数個とし得ることは勿論である。
1 光源
1,111,112 光ファイバ
2 分光器
21 グレーティング
22 フォトダイオードアレイ
3,4 測定プローブ
31a,41a 光導入用光ファイバ
31b,41b 光導出用光ファイバ
5 光スイッチ
6 制御ユニット
7 パーソナルコンピュータ
8 ファイバコネクタ
51,52 光スイッチ(オン/オフタイプ)
W 測定対象
1,111,112 光ファイバ
2 分光器
21 グレーティング
22 フォトダイオードアレイ
3,4 測定プローブ
31a,41a 光導入用光ファイバ
31b,41b 光導出用光ファイバ
5 光スイッチ
6 制御ユニット
7 パーソナルコンピュータ
8 ファイバコネクタ
51,52 光スイッチ(オン/オフタイプ)
W 測定対象
Claims (3)
- 複数の測定プローブと1つの分光器を備えた分光光度計であって、
上記複数の測定プローブはそれぞれ、試料に対する照射光を導入するための光導入用光ファイバと、試料を反射もしくは透過した測定光を導出するための光導出用光ファイバを有し、これらの各測定プローブの各光導入用光ファイバには、1つの光源からの光が光スイッチを介して順次導入され、上記分光器は分散素子とその分散素子により分散された光が入射する光センサアレイを含み、上記各測定プローブの各光導出用光ファイバは、上記分散素子に対してファイバ端を向けた状態で所定の位置関係で相互に固定されているとともに、上記光センサアレイの出力を、上記分散素子に対する上記各光導出用光ファイバのファイバ端の位置の相違に基づいてあらかじめ記憶している情報を用いて補正する補正演算手段を備えていることを特徴とする分光光度計。 - 複数の測定プローブと1つの分光器を備えた分光光度計であって、
上記複数の測定プローブはそれぞれ、試料に対する照射光を導入するための光導入用光ファイバと、試料を反射もしくは透過した測定光を導出するための光導出用光ファイバを有し、これらの各測定プローブの各光導入用光ファイバには、当該各光導入用光ファイバごとに設けられた光源からの光が導入され、これらの各光源は、順次オン/オフされて上記各光導入用光ファイバのいずれか1つにのみ光が順次導入され、上記分光器は分散素子とその分散素子により分散された光が入射する光センサアレイを含み、上記各測定プローブの各光導出用光ファイバは、上記分散素子に対してファイバ端を向けた状態で所定の位置関係で相互に固定されているとともに、上記光センサアレイの出力を、上記分散素子に対する上記各光導出用光ファイバのファイバ端の位置の相違に基づいてあらかじめ記憶している情報を用いて補正する補正演算手段を備えていることを特徴とする分光光度計。 - 複数の測定プローブと1つの分光器を備えた分光光度計であって、
上記複数の測定プローブはそれぞれ、試料に対する照射光を導入するための光導入用光ファイバと、試料を反射もしくは透過した測定光を導出するための光導出用光ファイバを有し、これらの各測定プローブの各光導入用光ファイバには光源からの光が導入され、上記分光器は分散素子とその分散素子により分散された光が入射する光センサアレイを含み、上記各測定プローブの各光導出用光ファイバは、上記分散素子に対してファイバ端を向けた状態で所定の位置関係で相互に固定されているとともに、上記光センサアレイの出力を、上記分散素子に対する上記各光導出用光ファイバのファイバ端の位置の相違に基づいてあらかじめ記憶している情報を用いて補正する補正演算手段を備え、
上記各測定プローブの光導入用光ファイバもしくは光導出用光ファイバには、光を遮断するシャッタが設けられ、これらの各測定プローブのうち、いずれか1つの測定プローブからの光のみが上記分光器に順次入射するよう、上記各シャッタが駆動制御されることを特徴とする分光光度計。
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