JP2006515435A - 加熱用光素子 - Google Patents

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Abstract

【解決手段】2、3の例として挙げれば、1つの熱光学装置が、1つのヒータを用いて、1つの光スイッチ、1つのマッハ‐ツェンダ干渉計、あるいは、1つの可変光減衰器などの1つの光素子の調整を行うことが可能となる。実施形態によっては、光芯材とクラッド材とを1つの基板上に含む1つのクラッドコアを画定し、1つのヒータの3つの側部に上記クラッドコアをカバーすることにより、加熱効率と電力効率とに起因して生じる複数の偏光依存損失の改善が可能となるものもありうる。

Description

本発明は一般に複数の光信号を伝える複数の光ネットワークに関する。
複数の光ネットワークは波長分割多重化を利用することが可能であり、それによって、それぞれが異なる1つの波長からなる複数のチャネルを同じケーブルを介して多重化することが可能となる。この多重化された複数のチャネルのうちのいずれか1つのチャネル用の1つの所望の成端点において、1つの光アド/ドロップマルチプレクサによって、複数の多重化された光チャネルから所定の波長の光を取り出すことが可能となる。同様に、1つの光アド/ドロップマルチプレクサによって所定の波長の1つの光チャネルを上記ネットワークに追加することが可能となる。
1つの光アド/ドロップマルチプレクサを形成する1つの技法としてマッハ‐ツェンダ構成を用いる技法がある。マッハ‐ツェンダ干渉計は2つの離間して配置された複数のアームを備えたものであってもよく、これらアームのうちの少なくとも一方のアームはヒータを用いて調整することができる。1つの電気ヒータを用いて1つのアームを加熱することにより、マッハ‐ツェンダ干渉計は2つのアームのうちの一方のアームの屈折率を変えることによって1つのマッハ‐ツェンダー干渉計の調整を行うことができる。
しかし、調整を目的として1つのマッハ‐ツェンダ干渉計を使用する場合、現行の複数のヒータでは比較的大きな消費電力が必要となる。これら複数の素子は比較的高い偏光依存損失を示す場合がある。
偏光依存損失とは複数の種々のネットワーク光学素子が被る複数の損失であり、これらの損失は、当該複数のネットワーク光学素子とリアルタイムで通信している光偏光状態によって偶発的に生じる。1つのネットワークコンポーネントが、光の偏光状態に応じて選択的に光を減衰させ、伝播信号強度をランダムに変化させることがある。
複数の偏光依存損失を示す複数の熱光素子の複数の例には、複数の光スイッチ、複数のスプリッタおよび複数の可変光減衰器が含まれる。1つの可変光減衰器として、印加された減衰を変化させて、例えば1つの送信機や増幅器の経時変化に対する補正を図ったり、1つのネットワークの複数の作動条件に応じたりする1つの素子が存在する。1つのスプリッタとして、光を分割して、複数の異なるチャネルに変える1つの素子が存在する。複数の光スイッチは、複数の電光(electro-optical)変換または複数の光電変換(optoelectrical)を行うことなく1つの光信号の経路選定を行う。複数の熱光素子は一般に外部電力の印加を必要とする。したがって、複数の熱光素子を加熱するより良好な複数の方法に対する1つの要望が存在する。
図1を参照すると、1つの熱光学装置10は1つのマッハ‐ツェンダ干渉計の形をとるものであってもよい。複数の別の熱光学装置10が複数の可変光減衰器、複数のスプリッタおよび複数の光スイッチを備える。1つのマッハ‐ツェンダ熱光素子について考える一例を続いて示すが、本発明は、いずれかの特定タイプの熱光学装置に限定されるものではない。
1つの実施形態では、上記干渉計は、1つの基板26内で複数の集積回路処理技術を用いて形成される1つのプレーナ光回路として実現可能である。1つの実施形態では、これら複数の種々のコンポーネントは、基板26上に形成される複数の組み込まれた導波管として形成してもよい。
一対のブラッググレーティング12aと12bとを基板26上に形成してもよい。1つの実施形態では、1つのプレーナ型導波路である1つの基板26上に、これら複数のグレーティングを形成してもよい。熱光学装置10は一対の3デシベル(dB)(50−50%カプリング)カプラ14aと14bも備える。入力カプラ14aは、光の1または2以上の複数の入力波長を受け取る1つの入力ポート16と結合される。カプラ14aは1つのポート18とも結合される。第2のカプラ14bは1つのポート20および1つのエクスプレスポート(express port)22と結合され、1つの渡された波長が出力される。個々のカプラ14は、図1に図示のように1つのバー側部および1つのクロスバー側部を備える。
個々のグレーティング12は、本発明のいくつかの実施形態に基づいてマッハ‐ツェンダ干渉計またはマイケルソン干渉計の2つのアームのうち一方のアームを構成する。これら複数のブラッググレーティング12に対してブラッグマッチされた複数の入力光は、これら複数のマッハ‐ツェンダアームに沿って逆方向に伝播し、第1のカプラ14aにおいて互いに干渉する。複数の反射光における双方の光路のバランスがとられるとすぐに、関心対象の波長範囲にわたってこれら複数のすべての光位相マッチが行われる、すべての光エネルギが、バーパス(bar path)へ戻るエネルギをほとんど伴うことなく第1のカプラ14aのクロスパス(cross path)の中へ転送される。
第1のカプラ14aのクロスパスはドロップ波長ポート18になり、このドロップ波長ポート18で、これら複数のブラッググレーティング12のブラッグ波長での複数の信号は複数の別のチャネルからフィルタアウトされる。ブラッグ波長以外の複数の波長での複数の信号はこれら複数のブラッググレーティングの中を透過し、第2のカプラ14bでマージを行う。
関心対象の波長範囲のすべての複数の透過光は、1つのバランスのとれたマッハ‐ツェンダ干渉計を用いて位相マッチされる。バーパスへの漏出をほとんど伴うことなく、すべてのエネルギが第2のカプラ14bのクロスパスの中へ転送される。この結果、カプラ14bのクロスパスはパス波長ポート22になる。このパス波長ポート22を介してブラッググレーティング反射帯域の外側の複数の信号が伝送される。
第2のカプラ14bのバーパスを1つの追加ポートとして用いてもよい。この追加ポートの中へ上記ブラッグ波長を運ぶ複数の信号が発射される。これら複数の追加信号は、複数のブラッググレーティング12によって反射され、第2のカプラ14bのクロスパスの中を通って運ばれ、次いで、互いに干渉することなくパス波長ポート22において複数のパス信号に加わる。
光アド/ドロップマルチプレクサは、マッハ‐ツェンダ干渉計を用いるものであってもよい。1つの実施形態では、個々のグレーティング12と関連づけられる複数のヒータ24を用いてこれら複数のブラッググレーティング12の双方を加熱することによりこのマッハ‐ツェンダ干渉計の調整を行うことができる。このような加熱を用いて最初にマッハ‐ツェンダ干渉計を調整してもよい。加熱の結果、熱光学装置10を制御可能に操作することが可能となる。したがって、本発明の1つの実施形態では、ヒータ24は、個々のグレーティング12の複数の上面を取り囲むことになる。
図2に図示のように本発明の1つの実施形態では、1つの可変光減衰器10aと関連して、1つのアーム23は1つのヒータ24を備えたものであってもよい。
図3を参照すると、グレーティング12aは、基板26内の1つの領域38内に画定されるものであってもよい。図1の実施形態では、グレーティング12bの中を通る1つの断面は図3と同じものとなる。基板26は、1つのシリコン基板30、基板30にわたる1つのSi0層26、頂部にわたる1つのリン酸ホウ素シリコンガラス層34を含むものであってもよい。下の層32と34とを貫通して基板30まで1つのトレンチ36が形成される。トレンチ36内で、グレーティング12aに対応し、信号を運ぶ1つのコア12aが領域内のリン酸ホウ素ガラス層34内に形成される。
トレンチ36内の層34と32の複数の部分にわたって金属抵抗ヒータ24を形成してもよい。
このようにグレーティング12aをその頂部と複数の側部とから加熱することが可能となる。
グレーティング12aを下方から効果的に加熱することも可能となる。というのは、ヒータ24が、グレーティング12aの下に在る基板30と接触し、この基板30も加熱することになるからである。
トレンチ36内でグレーティング12aの加熱を可能にすることにより、ヒータからの熱が主として上記コア12aへ向かって流れるように無用のクラッド材を取り除くことによって消費電力量の低減が可能となる。また、同じ目的のために複数の1/4波長光路差マッハ‐ツェンダ干渉計の利用も可能である。
本発明の別の実施形態に従って、図4を参照すると、この構造は本発明の1つの実施形態に準拠する1つの光スイッチ26aの1つのコア38を表わすものであってもよい。このようなケースでは複数のブラッググレーティング12を使用しない場合もある。
実施形態によっては複数の偏光依存損失と複数の熱光学装置の消費電力量とが低減するものもある。上記効果に関連する1つの可能な説明として、従来型の複数の素子の場合、グレーティング12やコア38を上方からのみ加熱するということが挙げられる。このことによって、ヒータの複数の熱膨張係数およびリン酸ホウ素シリコンガラスなどのクラッド材の熱膨張係数の1つのミスマッチが結果として生じる場合がある。このミスマッチによってヒータ/クラッディングの境界面において複数の機械的応力が生成される場合がある。この誘起された機械的応力が1つの側部、すなわち上面にのみ生じる可能性があるため、応力による光学的効果に起因して生じるコアの誘起された屈折率は主として応力方向における屈折率となり、誘起複屈折を生じさせる原因となる。この誘起複屈折は最終的に偏光依存損失として生じることになる。
これらの誘起された複数の偏光依存損失は周りを取り囲むヒータ構成を使用することにより減らすことが可能である。ヒータ24が3つの側部でグレーティング12aや12bあるいはコア38を取り囲んでいることに起因して、ヒータとシリコン基板との複数のさらに大きな熱膨張係数により誘起された応力は立方対称性を有することが可能となる。というのは、より高い温度の複数の熱膨張材料が複数のすべての4つの側部上で上記コアを取り囲んでいるからである。複数の一意の応力主軸が存在しない場合もあり、したがって、複屈折が低下することになる場合がある。この結果、消費電力量および複数の位相依存損失を減らすことが可能となる。
複数の限られた数の実施形態と関連して本発明について説明したが、当業者であればこれらの実施形態から多数の修正例および変更例を得ることができることを理解するであろう。これら複数の添付の請求項は、本発明の真の精神と範囲内に属するものとして、すべての複数のこのような修正例と複数の変更例とをカバーすることを意図するものである。
本発明の1つの実施形態の概略描写である。 本発明の別の実施形態の概略描写である。 図1または2のライン3−3に沿って切りとられた1つの拡大断面図である。 本発明の別の実施形態を通じて採られた1つの拡大断面図である。

Claims (27)

  1. 1つの方法であって、
    1つの基板にわたって1つのクラッディング内に埋め込まれた1つのコアを用いて1つの光素子を形成するステップと、
    前記コアを取り囲む前記クラッディングの一部を取り除いて、1つのトレンチを形成し、それによって前記トレンチ内に形成される1つのクラッドコアを画定するステップと、
    前記クラッドコアの前記複数の側部と1つの頂部とをカバーする前記クラッドコアにわたって1つのヒータを形成するステップと、を備える方法。
  2. 1つの基板と、1つの熱絶縁層と、前記熱絶縁層にわたって形成された1つのガラス層とを含む1つのプレーナ光回路を形成するステップと、前記熱絶縁層と前記ガラス層とを貫通して下部の前記基板まで1つのトレンチを形成するステップと、前記トレンチ内に画定された1つのクラッドコアを残すステップと、を備え、前記クラッドコアが、前記熱絶縁層にわたって前記ガラス層内に埋め込まれた1つのコアを含む請求項1に記載の方法。
  3. 1つの頂面と一対の対向する側面とを備えた前記クラッドコアを形成するステップと、前記1つの頂部と前記複数の側面との上に前記ヒータを画定するステップと、を含む請求項2に記載の方法。
  4. 前記基板と接触するように下部に前記ヒータを形成するステップを含む請求項3に記載の方法。
  5. マッハ‐ツェンダ干渉計を形成するステップを含む請求項1に記載の方法。
  6. 1つの調整済みのマッハ‐ツェンダ干渉計を形成するステップを含む請求項1に記載の方法。
  7. 1つのスプリッタを形成するステップを含む請求項1に記載の方法。
  8. 1つの光スイッチを形成するステップを含む請求項1に記載の方法。
  9. 1つの可変光減衰器を形成するステップを含む請求項1に記載の方法。
  10. 少なくとも3つの側部から前記コアを加熱することにより複数の偏光依存損失を減らすステップを含む請求項1に記載の方法。
  11. 1つのヒータを備えた少なくとも3つの側部に被膜された1つのブラッググレーティングを形成するステップを含む請求項1に記載の方法。
  12. 1つの加熱される光素子であって、前記コアにわたって1つのコアと1つのU字型ヒータとを備えた光素子。
  13. 1つの加熱されるブラッググレーティングを備えた請求項12に記載の素子。
  14. 前記素子が1つの光スイッチである請求項12に記載の素子。
  15. 前記素子が1つの可変光減衰器である請求項12に記載の素子。
  16. 前記素子が1つのスプリッタである請求項12に記載の素子。
  17. 1つの基板と、前記基板にわたる1つのクラッディングと、前記コアの2つの側部上の前記クラッディングを貫通する1つのトレンチと、を備えた請求項12に記載の素子。
  18. 前記コアにわたる前記クラッディングが1つの頂部と2つの対向する側部とを備え、前記ヒータが前記頂部と前記複数の側部とにわたって存在する請求項17に記載の素子。
  19. 前記ヒータが前記基板と接触する請求項18に記載の素子。
  20. 1つの光素子であって、1つの頂部と1つの側部とを有する1つのコアと、前記コアの頂部を加熱する1つの第1のヒータ部と、前記コアの側部を加熱する1つの第2のヒータ部と、を備えた光素子。
  21. 前記素子が1つのマッハ‐ツェンダ干渉計である請求項20に記載の素子。
  22. 前記素子が1つのスプリッタである請求項20に記載の素子。
  23. 前記素子が1つの光スイッチである請求項20に記載の素子。
  24. 前記素子が1つの可変光減衰器である請求項20に記載の素子。
  25. 1つの基板と、前記基板にわたる1つのクラッディングと、前記コアの2つの側部にわたる前記クラッディングを貫通する1つのトレンチと、を備えた請求項20に記載の素子。
  26. 前記コアにわたる前記クラッディングが1つの頂部と2つの対向する側部とを備え、前記ヒータが前記頂部と前記複数の側部とにわたって存在する請求項24に記載の素子。
  27. 前記ヒータが前記基板と接触する請求項25に記載の素子。
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