JP2006504102A - 集積型発光読み取り装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 光学誘導面
3 検査コンタクト
4 楕円ミラー
5 ウェハ
6 光検出器
7 光導波路
11 検査装置
12 光学誘導面
13 検査コンタクト
14 コンタクト
15 ウェハ
17 光導波路
19 経路
21 検査装置
22 光学誘導面
23 検査コンタクト
25 ウェハ
26 光検出器
27 マイクロ導波路
28 フィルタリングネットワーク
41 検査装置
42 光学誘導面
43 検査コンタクト
45 ウェハ
46 光検出器
51 検査装置
52 光学誘導面
53 検査コンタクト
54 集束レンズ
55 ウェハ
56 光検出器
57 導波路
63 コンタクト
64 楕円ミラー
67 光導波路
73 コンタクト
74 楕円ミラー
77 導波路
80 基板
81 装置
82 誘導層
83 サイト
84 ミラー
90 第1シリカ層
93 試料
100 第2シリカ層
110 基板
111 検査装置
117 光導波路
121 検査装置
122 誘導層
124 集束レンズ
125 ウェハ
127 光導波路
140 上部限定層
150 下部限定層
174 集束レンズ
177 導波路
Claims (10)
- 発光の光学的検出により少なくとも1つの試料を検査する装置(1、11、21、41、51、81、111)であって、試料を受け取るためのサイト(3、13、23、43、53、63、73)を含み、前記サイトは、前記装置の光学誘導面(1、12、22、42、52)内で励起発光を前記試料が受け取って、発光による光を前記試料が放出することが可能なように配置され、前記装置は、前記発光による光を収集するために光学誘導面に光学的に接続された収集手段をさらに含み、さらに、前記装置は、前記光学誘導面において放出され、前記収集手段により直接収集されなかった発光による光の一部を、前記収集手段の方に送り返すことを可能にする手段(4、14、44、54、64、74)を、前記光学誘導面内に含むことを特徴とする装置。
- 発光による光を検出する手段(6、26、46、56)をさらに備え、前記検出手段は前記収集手段の出力側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記装置は基板上に形成されており、前記光学誘導面は前記基板に平行な面であり、前記発光による光検出手段は前記基板に平行な面に対し垂直な面に沿って配置されることを特徴とする請求項2に記載の検査装置。
- 前記発光による光の一部を前記収集手段の方に送り返すことを可能にする手段は、楕円ミラー(4、64、74)、放物面ミラー(44)、光禁制帯構造(14)、共振ディスク型構造、及び1つ以上の集束レンズ(54、174)のうちから選択されることを特徴とする請求項1に記載のことを特徴とする検査装置。
- 前記収集手段は少なくとも1つの光導波路(7、17、27、57、67、177、277)を含むことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記収集手段は、前記装置における前記光学誘導面が終端するウェハ上に設置されていることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 励起が光ビームによるものであって、前記収集手段は励起光ビームをフィルタリングする手段(8、28)を含むことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- いくつかの試料受け取りサイトを含むことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 第1のシリコン酸化物層(90)と、光学誘導面(82)として機能するシリコン窒化物層と、試料(93)を受け取るためのサイト(83)が形成される第2のシリコン酸化物層(100)と、により連続的に被覆されたシリコン基板(80)から形成されていることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記試料は、バクテリア、菌類、ウイルス、化合物、健全な細胞または腫瘍性の細胞、並びにペプチド、タンパク質、酵素、多糖類、脂質、リポ蛋白質、核酸、ホルモン、抗原、抗体、成長因子、またはハプテンなどの分子、のような微小有機体のうちから選択される生物学的試料であることを特徴とする請求項1から9のうちいずれか1項に記載の検査装置。
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