JP2006344682A - 半導体発光装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体発光装置の製造方法は、共晶電極層13を有するLEDチップを準備する工程と、Agを主成分とする反射金属層26を含む積層電極層を形成したサブマウント基板を準備する工程と、前記積層電極層を有するSi基板21によるサブマウント基板に、共晶接合のピーク温度以下の熱履歴を印加する工程と、前記熱履歴を印加したサブマウント基板上に、共晶電極層を有するLEDチップを載置し、ピーク温度300℃以上の共晶接合を行う工程と、を有する。共晶接合前に、反射金属層に熱履歴を印加することにより、反射金属層の平坦性を担保できる。
【選択図】 図1
Description
共晶電極層を有するLEDチップを準備する工程と、
Agを主成分とする反射金属層を含む積層電極層を形成したサブマウント基板を準備する工程と、
前記積層電極層を有するサブマウント基板に、共晶接合のピーク温度以下の熱履歴を印加する工程と、
前記熱履歴を印加したサブマウント基板上に、共晶電極層を有するLEDチップを載置し、共晶接合を行う工程と、
を有する半導体発光装置の製造方法
が提供される。
12 窒化物半導体層
13 アノード電極(Au−Sn共晶層)
14 カソード電極
21 Si基板
22 酸化シリコン層
23 Ti層
24 Cu層
25 Ni層
26 反射金属層(Ag層)
31 Si基板
32 Au層
33 Ti層
34 Ni層
35 反射金属層
41 サファイア基板
42 (低温成長)窒化物半導体バッファ層
43 n型窒化物半導体層
44 窒化物半導体MQW構造
45 p型窒化物半導体層
Claims (12)
- 共晶電極層を有するLEDチップを準備する工程と、
Agを主成分とする反射金属層を含む積層電極層を形成したサブマウント基板を準備する工程と、
前記積層電極層を有するサブマウント基板に、共晶接合のピーク温度以下の熱履歴を印加する工程と、
前記熱履歴を印加したサブマウント基板上に、共晶電極層を有するLEDチップを載置し、共晶接合を行う工程と、
を有する半導体発光装置の製造方法。 - 前記熱履歴印加後の積層電極層表面の算術平均粗さRaが熱履歴印加前のRaと同等以下である請求項1記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記熱履歴が,一定温度の定温プリヒートとピーク状のピークプリヒートの組み合わせである請求項1または2記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記熱履歴のピーク状プリヒートのピーク温度が共晶接合のピーク温度より5℃以上低い請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記共晶接合が、ピーク温度300℃以上のピーク状温度プロファイルを有する請求項3または4記載の半導体装置の製造方法。
- 前記反射金属層がAgまたはAg合金で形成され、前記熱履歴のピーク状プリヒートのピーク温度が150℃以上、300℃以下である請求項3〜5のいずれか1項記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記熱履歴のピーク状プリヒートのピーク温度が290℃以下である請求項6記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記積層電極層が、ボールアップ防止層を含む請求項1〜7のいずれか1項記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記ボールアップ防止層が、Ti、Cr,またはTi,Crのいずれか一方を含む合金の密着層を含む請求項8記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記ボールアップ防止層が前記密着層の上方に形成されたNi、またはNiを含む合金の上層を含む請求項9記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記LEDチップが、SiC基板と、その上にエピタキシャル成長した窒化物半導体層を有する、請求項1〜10のいずれか1項記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記熱履歴を印加する工程を、前記サブマウント基板と前記LEDチップとを重ね合わせた状態で、共晶接合工程の直前に行う、請求項1〜11のいずれか1項記載の半導体発光装置の製造方法。
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