JP2006343185A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の発光素子から構成された照明部による照射光によって照明された被検査面に対する撮像カメラ4の出力信号を評価して被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段6とからなる表面欠陥検査装置。欠陥評価手段が、出力信号から生成された画像データに対して輪郭強調処理を施した後平滑化処理を施す欠陥強調処理を少なくとも1回行う前処理部60Aと、この前処理部から出力された画像データから被検査面の明暗画像を生成する明暗画像生成部60Bと、この明暗画像生成部から出力された明暗画像から欠陥を検出する欠陥決定部60Cを備えている。
【選択図】 図3
Description
本発明によるその他の特徴及び利点は、以下図面を用いた実施形態の説明により明らかになるだろう。
まず、撮像カメラ4から画像入力部7を介して順次送られてくるフレーム画像をメモリ8に取り込む(#01)。取り込まれた入力画像は、前処理部60Aによって前処理を受ける。この前処理では、まず、輝度調整部61aによって輝度(濃度値)調整される(#02)。その際入力画像の特徴量が必要となるが、その特徴量は入力画像を所定の区画数で区画し、各区画毎に演算された濃度平均値の最大値を特徴量とすることが好ましい。続いて、Sobelフィルタをかけてから平均値フィルタをかける欠陥強調処理を2回行うために、カウント変数nに0を代入し、回数を規定する変数aに2を代入する(#03)。まず、Sobelフィルタによる輪郭強調処理を行う(#04)。さらに、平均値フィルタによる平滑化処理を行う(#05)。その後、変数nを1だけインクリメントし(#06)、変数nと変数aの値を比較する(#07)。変数nと変数aの値が異なっていると(#07No分岐)、ステップ#04にジャンプしてSobelフィルタをかけてから平均値フィルタをかける処理を繰り返す。変数nと変数aの値が同じであれば(#07Yes分岐)、Sobelフィルタをかけてから平均値フィルタをかける欠陥強調処理を2回行ったことになるので、明暗画像生成処理部60Bによる処理に入る。2値化閾値決定部62aで2値化閾値が決定されると(#08)、前述したように前処理された入力画像はこの2値化閾値で2値化処理されて2値化画像となる(#09)。
4:撮像カメラ
5:コントローラ
6:欠陥評価手段
30:発光素子(LED素子)
31:暗面
60A:前処理部
60B:明暗画像生成部
60C:欠陥決定部
61a:輝度調整部
61b:平均化処理部(平均値フィルタ)
61c:輪郭強調処理部(Sobelフィルタ)
62b:2値化処理部
63:欠陥候補(孤立点)抽出部
64:欠陥候補選別部
65:画像マスク生成部
66:ラベル設定部
67:面積演算部
68:欠陥判定部
Claims (3)
- 連続的に配置された複数の発光素子から構成された照明部と、前記照明部による照射光によって照明された被検査面を撮像する撮像カメラと、前記撮像カメラの出力信号を評価して前記被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段とからなる表面欠陥検査装置において、
前記発光素子が内側に所定形状の暗面を残すようなレイアウトパターンで繰り返し配置されており、かつ
前記欠陥評価手段が、前記出力信号から生成された画像データに対して輪郭強調処理を施した後平滑化処理を施す欠陥強調処理を少なくとも1回行う前処理部と、この前処理部から出力された画像データから前記被検査面の明暗画像を生成する明暗画像生成部と、この明暗画像生成部から出力された明暗画像から欠陥を検出する欠陥決定部を備えていることを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 前記輪郭強調処理はSobelフィルタによって行われ、前記平滑化処理は平均値フィルタによって行われ、前記欠陥強調処理が2回繰り返されることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 連続的に配置された複数の発光素子から構成された照明部を用いるとともに、前記照明部による照射光によって照明された被検査面を撮像する撮像カメラの出力信号を評価して前記被検査面における欠陥を検知する表面欠陥検査方法において、
前記発光素子のレイアウトに対応する発光像とその発光像の内側に暗画像が形成されるように前記照明部からの照射光を被検査面にあてるステップと、前記撮像カメラの出力信号から生成された画像データに対して輪郭強調処理を施した後平滑化処理を施す欠陥強調処理を少なくとも1回行うステップと、前記欠陥強調処理後の画像データから前記被検査面の明暗画像を生成するステップと、生成された明暗画像から欠陥を検出するステップからなることを特徴とする表面欠陥検査方法。
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2005
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