JP2006342403A - メッキ装置、メッキ処理管理装置、メッキ方法、及びメッキ処理管理方法 - Google Patents
メッキ装置、メッキ処理管理装置、メッキ方法、及びメッキ処理管理方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本発明は、メッキ液3が充填されたメッキ槽2を備え、被メッキ基板4を陰極電極とし、被メッキ基板4と陽極電極5とを略平行に対向させてメッキ液3に浸漬して、被メッキ基板4に電解メッキを行う電解メッキ装置10であって、メッキ液4中の少なくとも2点間で、電位の変化のバランスを監視する監視手段を備えたことを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
ここでいう「均一性のスペック」とは、具体的には、メッキ基板量産において、メッキ膜厚の15〜20%程度のばらつきのことをいう。
2 メッキ槽
3 メッキ液
4 被メッキ基板
5 陽極電極
6a 電位モニター端子
6b 電位モニター端子
7 遮蔽板
8 監視部(監視手段)
9 攪拌部(攪拌手段)
10 電解メッキ装置(メッキ装置)
11 比較部(比較手段)
12 判定部
13 発報部(発報手段)
14 インターロック機構
15 平均値算出部
Claims (14)
- メッキ液が充填されたメッキ槽を備え、被メッキ基板を陰極電極とし、被メッキ基板と陽極電極とを略平行に対向させてメッキ液に浸漬して、被メッキ基板に電解メッキを行う装置であって、
被メッキ基板から等距離になる少なくとも2点間で、電位の変化のバランスを監視する監視手段を備えたことを特徴とするメッキ装置。 - 上記監視手段は、さらに、上記少なくとも2点間の電位を比較する比較手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載のメッキ装置。
- 上記監視手段は、さらに、少なくとも2点間で電位の差分が所定レベル以上になった場合に発報する発報手段を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のメッキ装置。
- 上記監視手段は、さらに、少なくとも2点間で電位の差分が所定レベル以上になった場合に、電解メッキを停止するインターロック機構を備えたことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のメッキ装置。
- 上記発報手段は、上記少なくとも2点間で、電位の差が該少なくとも2点の電位のうち最も小さい電位の10%以上になった場合に発報するようになっていることを特徴とする請求項3または4に記載のメッキ装置。
- 上記監視手段は、メッキ液中の電位を検出する電位モニター端子を少なくとも2つ備えたことを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載のメッキ装置。
- 被メッキ基板と上記電位モニター端子との間隔が0.1mm以上であることを特徴とする請求項6に記載のメッキ装置。
- 上記電位モニター端子は、金線または白金線により構成されていることを特徴とする請求項6または7に記載のメッキ装置。
- 上記電位モニター端子は、陽極電極−被メッキ基板の位置関係、電流の流れ、または、液の流れに対して、ハード的に対称になるように配置されていることを特徴とする請求項6〜8の何れか1項に記載のメッキ装置。
- さらに、上記メッキ液を攪拌する攪拌手段を備え、
上記監視手段は、上記攪拌手段による攪拌周期よりも大きい期間、上記少なくとも2点の電位の監視を行い、該期間にて監視された電位の平均値を求めて電位の変化のバランスを監視することを特徴とする請求項1〜9の何れか1項に記載のメッキ装置。 - 被メッキ基板を陰極電極とし、被メッキ基板と陽極電極とを略平行に対向させてメッキ液に浸漬して、被メッキ基板に電解メッキするメッキ処理を管理するメッキ処理管理装置であって、
被メッキ基板から等距離になる少なくとも2点間で、電位の変化のバランスを監視する監視手段を備えたことを特徴とするメッキ処理管理装置。 - 被メッキ基板を陰極電極とし、被メッキ基板と陽極電極とを略平行に対向させてメッキ液に浸漬して、被メッキ基板に電解メッキを行うメッキ方法であって、
被メッキ基板から等距離になる少なくとも2点間で、電位の変化のバランスを監視する監視工程を含むことを特徴とするメッキ方法。 - 被メッキ基板を陰極電極とし、被メッキ基板と陽極電極とを略平行に対向させてメッキ液に浸漬して、被メッキ基板に電解メッキするメッキ処理を管理するメッキ処理管理方法であって、
被メッキ基板から等距離になる少なくとも2点間で、電位の変化のバランスを監視する監視工程を含むことを特徴とするメッキ処理管理方法。 - さらに、上記メッキ液を攪拌する攪拌工程を含み、
上記監視工程にて、上記攪拌工程における攪拌周期よりも大きい期間、上記少なくとも2点の電位の監視を行い、該期間にて監視された電位を平均化することを特徴とする請求項13に記載のメッキ処理管理方法。
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