JP2006339647A - 位置合わせ装置への2次元フォトニック結晶の応用 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は基板で使用するための位置調整用マークに関し、この位置調整用マークは、構造体の周期的な2次元配列からなり、構造体の間隔は位置合わせビームよりも小さいが、露光ビームよりも大きい。
【選択図】図2
Description
放射ビームB(例えば、UV放射又は可視光放射)を調整するように構成された照明システム(照明装置)ILと、
パターン形成装置(例えば、マスク)MAを支持するように組み立てられ、且つ特定のパラメータに従ってパターン形成装置を正確に位置付けするように構成された第1の位置決め装置PMに接続された支持構造体(例えば、マスク・テーブル)MTと、
基板(例えば、レジスト被覆ウェハ)Wを保持するように組み立てられ、且つ特定のパラメータに従って基板を正確に位置付けするように構成された第2の位置決め装置PWに接続された基板テーブル(例えば、ウェハ・テーブル)WTと、
パターン形成装置MAによって放射ビームBに付与されたパターンを基板Wの目標部分C(例えば、1つ又は複数のチップを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば、屈折投影レンズ・システム)PSとを含む。
1.ステップ・モードでは、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTは基本的に静止状態に保たれるが、一方で、放射ビームに与えられた全パターンは一度に目標部分Cに投影される(即ち、単一静的露光)。次に、異なる目標部分Cが露光されるように、基板テーブルWTはX方向及び/又はY方向に移動される。ステップ・モードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一静的露光で像が形成される目標部分Cのサイズが制限される。
2.走査モードでは、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影されている間に、マスク・テーブルMTと基板テーブルWTとは同期して走査される(即ち、単一動的露光)。マスク・テーブルMTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特性によって決定できる。走査モードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一動的露光での目標部分の(非走査方向の)幅が制限されるが、走査移動の長さによって目標部分の(走査方向の)高さが決定される。
3.他のモードでは、マスク・テーブルMTは、プログラム可能パターン形成装置を保持して基本的に静止状態に保たれ、そして基板テーブルWTは、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影されている間に、動かされる(即ち走査される)。このモードでは、一般に、パルス放射源が使用され、そしてプログラム可能パターン形成装置は、基板テーブルWTの各移動の後で、又は走査中に連続する放射パルスの間で、必要に応じて更新される。この動作モードは、先に言及したような型のプログラム可能ミラー配列などのプログラム可能パターン形成装置を使用するマスクレス・リソグラフィに容易に応用できる。
WT 基板テーブル(ウェハ・テーブル)
MT マスク支持構造体(マスク・テーブル)
MA パターン形成装置(マスク)
IL 照明システム(照明装置)
B 放射ビーム
W 基板
P1、P2 基板位置調整用マーク
10、100 柱状部
12、120 コンタクト・ホールの2次元配列
Claims (21)
- 構造体の周期的配列を含む位置調整用マークを有する基板において、前記構造体が位置合わせ放射ビームの波長よりも小さな間隔で隔てられている基板。
- 前記周期的配列が、フォトニック結晶を含む、請求項1に記載された基板。
- 前記構造体がコンタクト・ホールである、請求項1に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが2次元である、請求項1に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが、構造体の第1の配列を含む第1の柱状部と、構造体を含まない第2の柱状部とを有する、請求項1に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが、交互に配置された第1及び第2の柱状部を含む、請求項5に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが、構造体の第1の配列を含む第1の柱状部と、前記第1の配列とは異なるパターン及び/又は異なる周期で配列された構造体の第2の配列を含む第2の柱状部とを有する、請求項1に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが、交互に配置された第1及び第2の柱状部を含む、請求項7に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが、所定の屈折率を有する第1の柱状部と、前記第1の柱状部とは異なる屈折率を有する第2の柱状部とを含む、請求項1に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが、交互に配置された第1及び第2の柱状部を含む、請求項9に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが、前記基板上の1つ又は複数のレジスト層に設けられている、請求項1に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが、深いトレンチ層に設けられている、請求項1に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが、リソグラフィ装置内で加工層に設けられる、請求項1に記載された基板。
- 前記位置調整用マークが、積層構成で使用されている、請求項1に記載された基板。
- 前記周期的配列のパターン及び周期性が、前記周期的配列を含む材料の屈折率の実数部及び虚数部に影響するようになっている、請求項1に記載された基板。
- 露光ビームを使用して前記基板にパターンを露光する露光ツールを含むリソグラフィ装置で使用するために、前記構造体が前記露光ビームの波長よりも大きい、請求項1に記載された基板。
- 基板上のパターンの位置合わせを検査するための検査方法において、
基板に反射性構造体の周期的配列を設ける段階と、
前記構造体間の間隔よりも大きな波長を有する位置合わせ放射ビームにより、前記配列を照射する段階と、
前記反射された位置合わせ放射ビームを検出する段階と、
前記反射ビームの特性から前記配列が前記パターンと位置合わせされているかどうかを決定する段階とを含む検査方法。 - 基板に位置調整用マークを作製する方法において、
構造体の周期的な2次元配列を含む層を前記基板に被着する段階を含み、前記配列が屈折率の周期的な変化を有し、前記構造体間の間隔が、予定された位置合わせビームの波長よりも小さい、位置調整用マークの作製方法。 - 前記構造体間の間隔が、予定された露光ビームの波長よりも大きい、請求項18に記載された位置調整用マークの作製方法。
- パターンを付与形成された放射ビームを基板に投影する段階を含むデバイスの製造方法において、前記基板が、構造体の周期的な2次元配列で作られた位置調整用マークを含み、前記構造体間の間隔が、位置合わせビームの波長よりも小さいが、前記パターン形成されたビームの波長よりも大きい、デバイス製造方法。
- 請求項20に記載されたデバイス製造方法に従って製造されたデバイス。
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