JP2006332129A - 静電吸着電極および処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 静電チャック5は、互いに分離可能な第1の基材30と第2の基材31とからなる組み合わせ構造を有している。第1の基材30上の誘電体材料膜8内には、電極6aが、第2の基材31上の誘電体材料膜8内には、電極6bが、それぞれ埋設されている。第1の基材30と第2の基材31とを組み合わせた状態で、両者の間には第1の基材30の周囲を囲むように間隙が形成され、この間隙が伝熱ガスを供給するガス供給スリット9cとして機能する。
【選択図】図3
Description
また、前記伝熱媒体流路は、鉛直方向に対して角度をもって形成されていてもよい。
また、前記中央載置領域には、複数の凸部が形成されていてもよい。あるいは、前記中央載置領域には、複数の溝が形成されていてもよい。
さらに、前記周辺載置領域には、段部が形成されていてもよい。
また、静電吸着電極を、互いに分離可能な複数の基材により形成し、その間に流路を形成したので、流路の絶縁を、例えば溶射によって容易に行えるようになり、異常放電を確実に防止できる。また、万一異常放電が発生しても、短時間かつ低コストでの修理が可能になる。さらに、静電吸着電極を複数の基材により構成することによって、いずれかの基材を交換するだけで電極表面パターンを任意に変更できる。従って、静電吸着電極表面のパターン依存により発生するエッチング処理などにおける処理むら(処理の不均一性)への対策が容易になる。
図1は、本発明の一実施形態に係る静電吸着電極としての静電チャックを備えた処理装置の一例であるプラズマエッチング装置を示す断面図である。図1に示すように、プラズマエッチング装置1は、矩形をした被処理体であるFPD用ガラス基板などの基板Gに対してエッチングを行なう容量結合型平行平板プラズマエッチング装置として構成されている。ここで、FPDとしては、液晶ディスプレイ(LCD)、発光ダイオード(LED)ディスプレイ、エレクトロルミネセンス(Electro Luminescence;EL)ディスプレイ、蛍光表示管(Vacuum Fluorescent Display;VFD)、プラズマディスプレイパネル(PDP)等が例示される。なお、本発明の処理装置は、プラズマエッチング装置にのみ限定されるものではない。
すなわち、ガス通路9に供給された伝熱ガスは、サセプタ基材4aと静電チャック5との境界に形成されたガス溜り9aを介して一旦水平方向に拡散した後、静電チャック5内に形成されたガス供給連通穴9b、ガス供給スリット9cを通り、静電チャック5の表面から基板Gの裏側に噴出する。このようにして、サセプタ4の冷熱が基板Gに伝達され、基板Gが所定の温度に維持される。
まず、被処理体である基板Gは、ゲートバルブ22が開放された後、図示しないロードロック室から基板搬入出口21を介してチャンバー2内へと搬入され、サセプタ4上に形成された静電チャック5上に載置される。この場合に、基板Gの受け渡しはサセプタ4の内部を挿通しサセプタ4から突出可能に設けられたリフターピン(図示せず)を介して行われる。その後、ゲートバルブ22が閉じられ、排気装置20によって、チャンバー2内が所定の真空度まで真空引きされる。
例えば、図6に示す静電チャック60のように、ガス供給スリット62とガス供給スリット63とを2重に形成し、これらによって載置面が中心領域61a、中間領域61b、周辺領域61cの3つの領域に分割されるように、3重構造にすることも可能である。このようにすると、伝熱ガスのコンダクタンスをよりいっそう向上させることが可能になるとともに、載置面の形状パターンの選択の幅がさらに広がり、より高精度にエッチングなどの処理を行なうことができる。なお、図6の符号64は、図2の符号51に相当する段部である。
2 チャンバー(処理室)
3 絶縁板
4 サセプタ
5 静電チャック
6 電極
8 誘電性材料膜
11 シャワーヘッド(ガス供給手段)
20 排気装置
30 第1の基材
31 第2の基材
32 セラミックス溶射膜
33 Oリング
34 スパイラルシールドリング
35 放電防止部材
50 凸部
Claims (11)
- 互いに分離可能な複数の基材により構成され、被処理体を載置する載置面を有しており、少なくとも二つの基材の間隙に、前記載置面に達し、被処理体の裏面に向けて伝熱媒体を供給する伝熱媒体流路を形成したことを特徴とする、静電吸着電極。
- 少なくとも、前記伝熱媒体流路を形成する前記基材の表面が、絶縁材料により被覆されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電吸着電極。
- 前記伝熱媒体流路は、鉛直方向に対して角度をもって形成されていることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の静電吸着電極。
- 前記伝熱媒体流路により、前記載置面が、載置された被処理体の中央部に対応した中央載置領域と、周辺部に対応した周辺載置領域と、に分割されていることを特徴とする、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の静電吸着電極。
- 前記分割された載置面のそれぞれが、静電吸着面であることを特徴とする、請求項4に記載の静電吸着電極。
- 前記分割された載置面のそれぞれが、独立して静電吸着機能を有することを特徴とする、請求項4に記載の静電吸着電極。
- 前記中央載置領域には、複数の凸部が形成されていることを特徴とする、請求項5または請求項6に記載の静電吸着電極。
- 前記中央載置領域には、複数の溝が形成されていることを特徴とする、請求項5または請求項6に記載の静電吸着電極。
- 前記周辺載置領域には、段部が形成されていることを特徴とする、請求項4から請求項8のいずれか1項に記載の静電吸着電極。
- 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載された静電吸着電極を備えた処理装置。
- フラットパネルディスプレイの製造に用いられることを特徴とする、請求項10に記載の処理装置。
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