JP2006329757A - 輝尽性蛍光体層清掃方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 工程の防塵管理を容易にし、輝尽性蛍光体層表面に傷を付けることなく、輝尽性蛍光体層の性能を維持し、保護層（保護フィルム）で被覆する前の輝尽性蛍光体層表面の清掃方法の提供。
【解決手段】 基材上に輝尽性蛍光体層を有する輝尽性蛍光体プレートを封止フィルムで封止する前に、清掃装置により前記輝尽性蛍光体層の表面を清掃する輝尽性蛍光体層清掃方法であって、前記清掃装置は、前記輝尽性蛍光体層の幅方向に気体を吹き付ける少なくとも一つの気体吹き付け手段と、前記気体吹き付け手段の幅方向と平行に隣接した少なくとも一つの吸引手段とを有すること特徴とする輝尽性蛍光体層清掃方法。
【選択図】 図１

Description

本発明は、支持体上に輝尽性蛍光体層を有する輝尽性蛍光体シートの輝尽性蛍光体層の清掃方法に関する。

従来、放射線画像を得るために銀塩を使用しないで放射線像を画像化する方法として、支持体上に輝尽性蛍光体層を設けた放射線画像変換パネルが開発されている。放射線画像変換パネルは、輝尽性蛍光体層に被写体を透過した放射線を当てて、被写体各部の放射線透過密度に対応する放射線エネルギーを蓄積させることができる。その後、輝尽性蛍光体を可視光線、赤外線などの電磁波（励起光）で時系列的に励起することにより、輝尽性蛍光体中に蓄積されている放射線エネルギーを輝尽発光として放出させる。この光の強弱による信号を、例えば、光電変換して電気信号を得て、この信号をハロゲン化銀写真感光材料などの記録材料、ＣＲＴなどの表示装置上に可視像として再生することができる。放射線画像変換パネルを使用した放射線画像変換方式の優劣は、該パネルの輝尽性発光輝度及びパネルの発光均一性に大きく左右され、特に、これらの特性は用いる輝尽性蛍光体の特性が大きく支配されていることが知られている。

最近では、ＣｓＢｒなどのハロゲン化アルカリを母体にＥｕを賦活した輝尽性蛍光体を用いた放射線パネルが提案され、特にＥｕを賦活剤とすることで従来不可能であったＸ線変換効率の向上が可能になると期待され、医療用のＸ線画像診断機器等にも多く用いられることが予想される。

放射線画像変換パネルは、例えば、特開２００１−８３２９９号に記載されている様に各種高分子材料、ガラス、金属等の支持体上に上記の輝尽性蛍光体を蒸着させることにより輝尽性蛍光体層を形成した後、輝尽性蛍光体層を湿度、酸化等から保護するために、輝尽性蛍光体層を被覆する保護層（保護フィルム）を設けた構成となっていることが知られている。

この様な構成をしている放射線画像変換パネルは、輝尽性蛍光体層上にＸ線画像診断機の画像読み取り装置のピッチ以上のゴミが付着している場合は、画像欠陥として現れてしまうため好ましくない。このため、Ｘ線画像診断機の画像読み取り装置で放射線画像変換パネルの保護層（保護フィルム）上に付着しているゴミを取り、画像欠陥を減らす方法が検討されている。例えば、保護層（保護フィルム）の表面に摺接し回転するブラシローラと、ブラシローラにより取り除かれたゴミを吸引する装置で保護層（保護フィルム）の表面を清掃する方法が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。保護層（保護フィルム）の表面に接触するフラット型ブラシを放射線画像変換パネルの搬送路に配設することで保護層（保護フィルム）の表面を清掃する方法が知られている（例えば、特許文献２を参照。）。

しかしながら、特許文献１、特許文献２に記載の方法は何れも保護層（保護フィルム）の表面を清掃する方法であり、保護層（保護フィルム）で被覆する前に輝尽性蛍光体層上に付着したゴミは取り除くことはできない。又、輝尽性蛍光体層は蛍光体が結合剤などで覆われていないため非常にデリケートな状態となっているため、特許文献１、特許文献２にきさいの様に清掃する面に接触する方法では輝尽性蛍光体層面に傷を付けてしまうため好ましくない。このため、現状は、輝尽性蛍光体層を保護層（保護フィルム）で被覆する工程は、クリーン度を上げ、防塵服を着用し厳重な管理の下で保護層（保護フィルム）による被覆を行っている。

この様な状況から、工程の防塵管理を容易にし、輝尽性蛍光体層表面に傷を付けることなく、輝尽性蛍光体層の性能を維持し、保護層（保護フィルム）で被覆する前の輝尽性蛍光体層表面の清掃方法の開発が望まれている。
特開２００１−３３７４０２号公報 特開２００１−３２１７３１号公報

本発明は、上記状巨うに鑑みなされたものであり、その目的は工程の防塵管理を容易にし、輝尽性蛍光体層表面に傷を付けることなく、輝尽性蛍光体層の性能を維持し、保護層（保護フィルム）で被覆する前の輝尽性蛍光体層表面の清掃方法を提供することである。

本発明の上記目的は、下記の構成により達成された。

（請求項１）
基材上に輝尽性蛍光体層を有する輝尽性蛍光体プレートを封止フィルムで封止する前に、清掃装置により前記輝尽性蛍光体層の表面を清掃する輝尽性蛍光体層清掃方法であって、前記清掃装置は、前記輝尽性蛍光体層の幅方向に気体を吹き付ける少なくとも一つの気体吹き付け手段と、
前記気体吹き付け手段の幅方向と平行に隣接した少なくとも一つの吸引手段とを有することを特徴とする輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項２）
前記気体吹き付け手段は、少なくとも１本の気体供給管と、気体吹き出し面とを有する装置であることを特徴とする請求項１に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項３）
前記吸引手段は、少なくとも１本の気体吸引管と、気体吸引面とを有する装置であることを特徴とする請求項１又は２に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項４）
前記気体吹き付け手段は、気体吹き出し面が輝尽性蛍光体層の表面と平行で、且つ、該表面と直交する様に輝尽性蛍光体プレート上に配設されており、該気体吹き出し面と該表面との距離が０．５〜２ｍｍであることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項５）
前記吸引手段は、気体吸引面が輝尽性蛍光体層の表面と平行で、且つ、該表面と直交する様に輝尽性蛍光体プレート上に配設されており、該気体吸引面と該表面との距離が０．５〜２ｍｍであることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項６）
前記輝尽性蛍光体層の表面の清掃は、清掃装置又は輝尽性蛍光体プレートの何れか一方を移動しながら行うことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項７）
前記清掃装置は、一つの吸引手段の両隣に気体吹き付け手段を有し、該気体吹き付け手段の輝尽性蛍光体層の表面への気体吹き付け角度は±１５〜±６０°、気体吸引角度は０〜±１５°であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項８）
前記清掃装置は、一つの気体吹き付け手段の両隣に吸引手段を有し、該気体吹き付け手段の輝尽性蛍光体層の表面への気体吹き付け角度は０〜±１５°、気体吸引角度は±１５〜±６０°であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項９）
前記清掃装置は、一つの気体吹き付け手段と、一つの吸引手段とを有し、該気体吹き付け手段の輝尽性蛍光体層の表面への気体吹き付け角度は±１５〜±６０°、気体吸引角度は±１５〜±６０°であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項１０）
前記気体吹き付け手段は、気体吹き付け口での気体噴出速度が、４０〜１２０ｍ／ｓｅｃであることを特徴とする請求項１〜９の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項１１）
前記気体吹き付け手段から輝尽性蛍光体層の表面へ吹き付ける気体が、湿度５〜４０％ＲＨの不活性ガスであることを特徴とする請求項１〜１０の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項１２）
前記気体吹き付け手段から輝尽性蛍光体層の表面へ吹き付ける気体が、湿度５〜４０％ＲＨの空気であることを特徴とする請求項１〜１０の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

（請求項１３）
前記輝尽性蛍光体層が気相堆積法により形成されていることを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

工程の防塵管理を容易にし、輝尽性蛍光体層表面に傷を付けることなく、輝尽性蛍光体層の性能を維持し、保護層（保護フィルム）で被覆する前の輝尽性蛍光体層表面の清掃方法を提供することができ、保護層（保護フィルム）で被覆された放射線画像変換パネルの品質の安定化が可能となり、生産効率の向上が可能となった。

本発明の実施の形態を図１〜図６を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

図１は輝尽性蛍光体プレートの上面と下面とを封止フィルムで封止した輝尽性蛍光体パネルの概略図である。図１の（ａ）は輝尽性蛍光体プレートの上面と下面とを封止フィルムで封止した輝尽性蛍光体パネルの概略斜視図である。図１の（ｂ）は図１の（ａ）のＡ−Ａ′に沿った拡大概略部分断面図であり、輝尽性蛍光体層が塗布法で作製された輝尽性蛍光体プレートを使用した場合である。図１の（ｃ）は図１の（ａ）のＡ−Ａ′に沿った拡大概略部分断面図であり、気相堆積法で作製した輝尽性蛍光体プレートを使用した場合である。

図１の（ａ）の輝尽性蛍光体パネルに付いて説明する。図中、１は輝尽性蛍光体パネルを示す。１０１ａは表面側の封止フィルムを示し、１０１ｂは裏面側の封止フィルムを示し、輝尽性蛍光体プレートの周囲の封止フィルムを溶着して輝尽性蛍光体プレートを封止している。

図１の（ｂ）に示す断面図について説明する。尚、本図は可撓性支持体に熱可塑性樹脂を主とする材料を用いた場合を示している。１０２ａは輝尽性蛍光体プレートを示す。輝尽性蛍光体プレート１０２ａは、可撓性支持体１０２ａ１上に中間層１０２ａ２と、輝尽性蛍光体層１０２ａ３とを順に有している。この場合、輝尽性蛍光体パネル１は輝尽性蛍光体層１０２ａ３側を被覆する封止フィルム１０１ａと、可撓性支持体１０２ａ１の裏面側を被覆する封止フィルム１０１ｂとで、輝尽性蛍光体プレート１０２ａの周囲を熱溶着することで形成されている。

可撓性支持体１０２ａ１の厚さは１００〜５０００μｍ、中間層１０２ａ２の厚さは１〜３０μｍ、輝尽性蛍光体層１０２ａ３の厚さは１００〜１０００μｍ、保護層１０２ａ４ｄの厚さは１〜２００μｍが一般的に好ましいとされている範囲である。

輝尽性蛍光体層は、輝尽性蛍光体（最初の光や放射線の照射後に光などで輝尽励起させることで、最初の照射エネルギー量に応じて輝尽発光する蛍光体）とバインダーを好ましい比率で混合し、塗布するために有機溶剤で調液（その他分散材、可塑剤などの添加剤も混合することが好ましい）し、樹脂シートなどの支持体に塗布し、輝尽性蛍光体層を形成する塗布法で形成した。

図１の（ｃ）に示す断面図について説明する。尚、本図は可撓性支持体にアルミニウムを主とする金属板材料、又は、カーボンを主とする材料を用いた場合を示している。

１０２ｂは輝尽性蛍光体プレートを示す。輝尽性蛍光体プレート１０２ｂは、可撓性支持体１０２ｂ１上に、輝尽性蛍光体層１０２ｂ２とを順に有している。この場合、輝尽性蛍光体パネル１は輝尽性蛍光体層１０２ｂ２側を被覆する封止フィルム１０１ａと、可撓性支持体１０２ｂ１の裏面側を被覆する封止フィルム１０１ｂとで、輝尽性蛍光体プレート１０２ｂの周囲を熱溶着することで形成されている。

可撓性支持体１０２ｂ１の厚さは５０〜１０００μｍ、輝尽性蛍光体層１０２ｂ２の厚さは１００〜１０００μｍ、保護層１０２ｂ３の厚さは１〜２００μｍが一般的に好ましいとされている範囲である。又、可撓性支持体１０２ｂ１の上に中間層を設ける場合は１〜１０μｍが好ましい。輝尽性蛍光体層は、気相堆積法（蒸着、スパッタリングなど）により、輝尽性蛍光体を支持体上に形成した。

本発明は、本図に示す様に塗布法又は気相堆積法等で可撓性支持体上に輝尽性蛍光体層を形成させた輝尽性蛍光体プレートを封止フィルムで封止する前に、輝尽性蛍光体層の表面の清掃方法に関するものである。

図２は清掃装置の概略斜視図である。

図中、２ａは清掃装置を示し、３は清掃装置２ａの取り付け部材を示す。４は基材５０１上に輝尽性蛍光体層５０２を形成した輝尽性蛍光体プレート５を搬送するベルトを示す。清掃装置２ａについては図３で説明する。尚、本図は清掃装置を固定し、輝尽性蛍光体プレートを動かす方式の場合を示しているが、輝尽性蛍光体プレートを固定し、清掃装置を移動させる方式であってもよい。輝尽性蛍光体プレート又は清掃装置の移動速度は、輝尽性蛍光体プレート上の付着異物の除去性を考慮し、１０〜１００ｍｍ／ｓｅｃが好ましい。

図３は図２に示した清掃装置の概略図である。図３の（ａ）は図２に示した清掃装置の拡大概略斜視図である。図３の（ｂ）は図３の（ａ）のＢ−Ｂ′に沿った概略断面図である。図３の（ｃ）は図３の（ａ）のＣ−Ｃ′に沿った概略断面図である。

清掃装置２ａは、本体２ａ１と吸引手段２０１の幅方向と平行に隣接した第１気体吹き付け手段２０２と、第２気体吹き付け手段２０３とを有している。清掃装置２ａは、吸引手段２０１の両隣に配設する第１気体吹き付け手段２０２と、第２気体吹き付け手段２０３とは、別体であっても、一体であってもかまわない。本図に示す清掃装置２ａは、第１気体吹き付け手段２０２と、第２気体吹き付け手段２０３と、吸引手段２０１とが一体構造となっている本体２ａ１を有する場合を示している。

本体２ａ１は、天面２ａ１１と、長辺側の側壁２ａ１２（２ａ１３）と、短辺側の側壁２ａ１５（２ａ１４）とを有し、輝尽性蛍光体層の表面に対向する側に開口部を有する箱体構造となっている。本体２ａ１の形状は、特に限定はなく、例えば、断面形状がコ字型、半円形状で合ってもよい。本図は断面形状がコ字型の場合を示している。本体２ａ１の内部は内壁２ａ１６と内壁２ａ１７とにより区切られ、吸引手段２０１と第１気体吹き付け手段２０２と第２気体吹き付け手段２０３とが配設されている。

第１気体吹き付け手段２０２は、第１気体供給管２０２ａと、第１気体吹き出し面２０２ｂとを有する装置であり、本体２ａ１の内部に配設されており、本体の側壁２ａ１２と、側壁２ａ１６と、天面２ａ１１を有する箱体構造となっている。天面２ａ１１に第１気体供給管２０２ａが取り付けられ、輝尽性蛍光体層の表面に対向する本体の開口部に第１気体吹き出し面２０２ｂが取り付けられている。第１気体供給管２０２ａは気体供給系（不図示）の加圧ポンプ（不図示）に繋がっている。第１気体供給管２０２ａの取り付け位置は特に限定はなく、側壁２ａ１２に取り付けてもかまわない。第１気体吹き出し面２０２ｂは、幅方向に少なくとも１本のスリット状の第１気体吹き出し口２０２ｂ１を有し、第１気体吹き出し口２０２ｂ１の両側には第１気体吹き出し口２０２ｂ１から噴出する気体の向きを調整する第１整流板２０２ｂ２を有している。第１気体吹き出し口２０２ｂ１の数は特に限定はなく、必要に応じて設けることが可能である。本図では２本の場合を示している。第１気体吹き出し口２０２ｂ１は第１気体吹き出し面２０２ｂの幅方向に平行に設けられている。

第２気体吹き付け手段２０３は、第２気体供給管２０３ａと、第２気体吹き出し面２０３ｂとを有する装置であり、本体２ａ１の内部に配設されており、本体の側壁２ａ１３と、側壁２ａ１７と、天面２ａ１１を有する箱体構造となっている。天面２ａ１１に第２気体供給管２０３ａが取り付けられ、輝尽性蛍光体層の表面に対向する本体の開口部に第２気体吹き出し面２０３ｂが取り付けられている。第２気体供給管２０３ａは気体供給系（不図示）の加圧ポンプ（不図示）に繋がっている。第２気体供給管２０３ａの取り付け位置は特に限定はなく、側壁２ａ１３に取り付けてもかまわない。第２気体吹き出し面２０３ｂは、幅方向に少なくとも１本のスリット状の第１気体吹き出し口２０３ｂ１を有し、第２気体吹き出し口２０３ｂ１の両側には第２気体吹き出し口２０３ｂ１から噴出する気体の向きを調整する第２整流板２０３ｂ２を有している。第２気体吹き出し口２０３ｂ１の数は特に限定はなく、必要に応じて設けることが可能である。本図では２本の場合を示している。第２気体吹き出し口２０３ｂ１は第２気体吹き出し面２０３ｂの幅方向に平行に設けられている。

吸引手段２０１は、気体吸引管２０１ａと、気体吸引面２０１ｂと、気体吸引管２０１ａと、気体吸引面２０１ｂとを有する装置であり、本体２ａ１の内部に配設されており、本体の側壁２ａ１６と、側壁２ａ１７と、天面２ａ１１を有する箱体構造となっている。尚、吸引手段２０１は両隣に第１気体吹き付け手段２０２と、第２気体吹き付け手段２０３とを配設した状態で本体２ａ１に収納された状態となっている。

気体吸引管２０１ａは天面２ａ１１に取り付けられ、輝尽性蛍光体層の表面に対向る本体の開口部に気体吸引面２０１ｂが取り付けられている。気体吸引管２０１ａは吸引ポンプ（不図示）に繋がっている。尚、側壁２ａ１６と、側壁２ａ１７と、天面２ａ１１とは第１気体吹き付け手段２０２と、第２気体吹き付け手段２０３とに使用している側壁２ａ１６と、側壁２ａ１７と、天面２ａ１１とを共用している。

気体吸引面２０１ｂは、幅方向に少なくとも１本のスリット状の吸引口２０１ｂ１を有し、吸引口２０１ｂ１の両側には吸引口２０１ｂ１から吸引する気体の向きを調整する第３整流板２０１ｂ２を有している。吸引口２０１ｂ１の数は特に限定はなく、必要に応じて設けることが可能である。本図では２本の場合を示している。

第１気体吹き付け面２０２ｂ（第２気体吹き付け面２０３ｂ）と気体吸引面２０１ｂは、同一面となっていることが好ましい。吸引口２０１ｂ１は気体吹き出し口２０２ｂ１及び気体吹き出し口２０３ｂ１と平行に設けられている。

第１気体供給管２０２ａ、第２気体供給管２０３ａから供給された気体は、第１気体吹き付け口２０２ｂ１（第２１気体吹き付け口２０３ｂ１）から第１整流板２０１ｂ２（第２整流板２０３ｂ２）により吹き付け方向が決められ噴出する。噴出された気体は吸引口２０１ｂ１から吸引される様になっている。

本図に示す清掃装置２ａを構成している、気体吹き付け手段（第１気体吹き付け手段２０２と、第２気体吹き付け手段２０３）吸引手段２０１とは、それぞれが有している気体吹き出し面（気体吸引面）が輝尽性蛍光体層の表面と平行で、且つ、輝尽性蛍光体層の表面と直交する様に輝尽性蛍光体プレート上に配設されている（図２を参照）。

図４は図３に示す清掃装置の本体と輝尽性蛍光体層との関係を示す概略断面図である。

図中、θ１は第１整流板２０２ｂ２の斜面の延長面と輝尽性蛍光体層１０２ａ３との交わる角度（気体の輝尽性蛍光体層１０２ａ３の表面への吹き付け角度）を示す。角度θ１は、輝尽性蛍光体プレート上の付着異物の除去性を考慮し、−１５〜−６０°が好ましい。θ２は第２整流板２０３ｂ２の斜面の延長面と輝尽性蛍光体層１０２ａ３との交わる角度（気体の輝尽性蛍光体層１０２ａ３の表面への吹き付け角度）を示す。角度θ２は、輝尽性蛍光体プレート上の付着異物の除去性を考慮し、＋１５〜＋６０°が好ましい。尚、角度θ１と角度θ２とは同じ角度であることが好ましい。

θ３は第３整流板２０１ｂ２の斜面の延長面と輝尽性蛍光体層１０２ａ３との交わる角度（気体の吸引角度）を示す。角度θ３は、輝尽性蛍光体プレート上の付着異物の飛散防止、付着異物を含む気体の回収効率等を考慮し、０〜±１５°が好ましい。尚、角度θ３が０°とは第３整流板２０１ｂ２が輝尽性蛍光体層１０２ａ３に対して垂直となっていることを示す。

Ｐ１は、気体吹き付け面２０３ｂ（気体吹き付け面２０２ｂ、気体吸引面２０１ｂ）から輝尽性蛍光体層１０２ａ３の表面迄の距離を示す。距離Ｐ１は、輝尽性蛍光体プレート上の付着異物の除去性、付着異物を含む気体の回収効率、輝尽性蛍光体プレート面の損傷等を考慮し、０．５〜２ｍｍが好ましい。他の符号は図３と同義である。

図５は気体吹き付け手段の両隣に吸引手段を有する清掃装置の概略断面図である。尚、本体は図３に示す清掃装置と同じ箱体構造となっている。

図中、２ｂは清掃装置を示す。清掃装置２ｂは、気体吹き付け手段２０６と、気体吹き付け手段２０６の両隣に配設された第１吸引手段２０４と、第２吸引手段２０５とを有している。清掃装置２ｂは、気体吹き付け手段２０６の両隣に配設する第１吸引手段２０４と、第２吸引手段手段２０５とは、別体であっても、一体であってもかまわない。本図に示す清掃装置２ｂは、気体吹き付け手段２０６と、第１吸引手段２０４と、第２吸引手段手段２０５とが一体構造となっている本体２ｂ１を有する場合を示している。

本体２ｂ１は、天面２ｂ１１と、長辺側の側壁２ｂ１２（２ｂ１３）と、短辺側の側壁２ａ１４（片側の短辺側の側壁は付図示）とを有し、輝尽性蛍光体層の表面に対向する側に開口部を有する箱体構造（図３に示す本体２ａ１と同じ構造）となっている。本体２ｂ１の形状は、特に限定はなく、例えば、断面形状がコ字型、半円形状で合ってもよい。本図は断面形状がコ字型の場合を示している。本体２ｂ１の内部は内壁２ａ１５と内壁２ａ１６とにより区切られ、気体吹き付け手段２０５と第１吸引手段２０４と第２吸引手段とが配設されている。

第１吸引手段２０４は、第１吸引管２０４ａと、第１気体吸引面２０４ｂとを有する装置であり、本体２ｂ１の内部に配設されており、本体の側壁２ｂ１２と、側壁２ｂ１５と、天面２ｂ１１を有する箱体構造となっている。天面２ｂ１１に第１吸引管２０４ａが取り付けられ、輝尽性蛍光体層の表面に対向する本体２ｂ１の開口部に第１気体吸引面２０４ｂが取り付けられている。第１吸引管２０４ａは吸引ポンプ（不図示）に繋がっている。第１吸引管２０４ａの取り付け位置は特に限定はなく、側壁２ｂ１２に取り付けてもかまわない。

第１気体吸引面２０４ｂは、幅方向に少なくとも１本のスリット状の第１気体吸引口２０４ｂ１を有し、第１気体吸引口２０４ｂ１の両側には第１気体吸引口２０４ｂ１から吸引する気体の向きを調整する第１整流板２０４ｂ２を有している。第１気体吸引口２０４ｂ１の数は特に限定はなく、必要に応じて設けることが可能である。本図では２本の場合を示している。第１気体吸引口２０４ｂ１は第１気体吸引面２０４ｂの幅方向に平行に設けられている。

第２吸引手段２０５は、第２吸引管２０５ａと、第１気体吸引面２０５ｂとを有する装置であり、本体２ｂ１の内部に配設されており、本体の側壁２ｂ１３と、側壁２ｂ１６と、天面２ｂ１１を有する箱体構造となっている。天面２ｂ１１に第２吸引管２０５ａが取り付けられ、輝尽性蛍光体層の表面に対向する本体２ｂ１の開口部に第２気体吸引面２０５ｂが取り付けられている。第２吸引管２０５ａは吸引ポンプ（不図示）に繋がっている。第２吸引管２０４ａの取り付け位置は特に限定はなく、側壁２ｂ１３に取り付けてもかまわない。

第１気体吸引面２０５ｂは、幅方向に少なくとも１本のスリット状の第１気体吸引口２０５ｂ１を有し、第１気体吸引口２０５ｂ１の両側には第１気体吸引口２０５ｂ１から吸引する気体の向きを調整する第１整流板２０５ｂ２を有している。第１気体吸引口２０５ｂ１の数は特に限定はなく、必要に応じて設けることが可能である。本図では２本の場合を示している。第１気体吸引口２０５ｂ１は第１気体吸引面２０５ｂの幅方向に平行に設けられている。

気体吹き付け手段２０６は、気体供給管２０６ａと、気体吹き出し面２０６ｂとを有する装置であり、本体２ｂ１の内部に配設されており、本体の側壁２ｂ１５と、側壁２ｂ１６と、天面２ｂ１１を有する箱体構造となっている。尚、気体吹き付け手段２０６は両隣に第１気体吸引手段２０４と、第２気体吸引手段２０５とを配設した状態で本体２ｂ１に収納された状態となっている。気体供給管２０６ａは天面２ｂ１１に取り付けられ、輝尽性蛍光体層の表面に対向る本体の開口部に気体吹き出し面２０６ｂが取り付けられている。気体供給管２０６ａは気体供給系（不図示）の加圧ポンプ（不図示）に繋がっている。尚、側壁２ａ１５と、側壁２ａ１６と、天面２ａ１１とは第１気体吸引手段２０４と、第２気体吸引手段２０５とに使用している側壁２ａ１５と、側壁２ａ１６と、天面２ｂ１１とを共用している。

気体吹き出し面２０６ｂは、幅方向に少なくとも１本のスリット状の気体吹き出し口２０６ｂ１を有し、気体吹き出し口２０６ｂ１の両側には気体吹き出し口２０６ｂ１から噴出する気体の向きを調整する第３整流板２０６ｂ２を有している。気体吹き出し口２０６ｂ１の数は特に限定はなく、必要に応じて設けることが可能である。本図では２本の場合を示している。

第１気体吸引面２０４ｂ（第２気体吸引面２０５ｂ）と気体吹き付け面２０６ｂは、同一面となっていることが好ましい。第１気体吸引口２０４ｂ１と第２気体吸引口２０５ｂ１とは気体吹き出し口２０６ｂ１とは平行に設けられている。

気体供給管２０６ａから供給された気体は、気体吹き付け口２０６ｂ１から第３整流板２０６ｂ２により吹き付け方向が決められ噴出する。噴出された気体は第１気体吸引口２０４ｂ１（第２吸引口２０５ｂ１）から吸引される様になっている。

本図に示す清掃装置２ｂを構成している、気体吹き付け手段と吸引手段（第１気体吸引手段２０４と、第２気体吸引手段２０５）とは、それぞれが有している気体吹き出し面（気体吸引面）が輝尽性蛍光体層の表面と平行で、且つ、輝尽性蛍光体層の表面と直交する様に輝尽性蛍光体プレート上に配設されている（図２を参照）。

θ４は第１整流板２０４ｂ２の斜面の延長面と輝尽性蛍光体層１０２ａ３との交わる角度（気体を吸引する角度）を示す。角度θ４は、輝尽性蛍光体プレート上の付着異物の飛散防止、付着異物を含む気体の回収効率等を考慮し、−１５〜−６０°が好ましい。

θ５は第２整流板２０５ｂ２の斜面の延長面と輝尽性蛍光体層１０２ａ３との交わる角度（気体を吸引する角度）を示す。角度θ５は、輝尽性蛍光体プレート上の付着異物の飛散防止、付着異物を含む気体の回収効率等を考慮し、＋１５〜＋６０°が好ましい。尚、角度θ４と角度θ５とは同じ角度であることが好ましい。

θ６は第３整流板２０６ｂ２の斜面の延長面と輝尽性蛍光体層１０２ａ３との交わる角度（気体の輝尽性蛍光体層１０２ａ３の表面への吹き付け角度）を示す。角度θ６は、輝尽性蛍光体プレート上の付着異物の除去性を考慮し、０〜±１５°が好ましい。尚、角度θ６が０°とは第３整流板２０６ｂ２が輝尽性蛍光体層１０２ａ３に対して垂直となっていることを示す。

Ｐ２は、気体吹き付け面２０６ｂ（第１気体吸引面２０４ｂ、第１気体吸引面２０５ｂ）から輝尽性蛍光体層１０２ａ３の表面迄の距離を示す。距離Ｐ２は、距離Ｐ１（図４を参照）と同じである。

図６は気体吹き付け手段の隣に吸引手段を有する清掃装置の概略断面図である。尚、本体は図３に示す清掃装置と同じ箱体構造となっている。

清掃装置２ｃは、気体吹き付け手段２０７と、気体吹き付け手段２０７の片側に平行して配設された吸引手段２０８とを有している。清掃装置２ｃは、気体吹き付け手段２０７吸引手段手段２０８とは、別体であっても、一体であってもかまわない。本図に示す清掃装置２ｃは、気体吹き付け手段２０７と、吸引手段２０８とが一体構造となっている本体２ｃ１を有する場合を示している。

本体２ｃ１は、天面２ｃ１１と、長辺側の側壁２ｃ１２（２ｃ１３）と、短辺側の側壁２ｃ１４（片側の短辺側の側壁は付図示）とを有し、輝尽性蛍光体層の表面に対向する側に開口部を有する箱体構造（図３に示す本体２ａ１と同じ構造）となっている。本体２ｃ１の形状は、特に限定はなく、例えば、断面形状がコ字型、半円形状で合ってもよい。本図は断面形状がコ字型の場合を示している。本体２ｃ１の内部は内壁２ｃ１５と、内壁２ｃ１６とにより区切られ、気体吹き付け手段２０７と吸引手段２０８とが配設されている。清掃装置２ｃは、気体吹き付け手段２０７と、吸引手段２０８との位置は本図と逆であってもかまわない。

気体吹き付け手段２０７は、気体供給管２０７ａと、気体吹き出し面２０７ｂとを有する装置であり、本体２ｃ１の内部に配設されており、本体の側壁２ｃ１２と、側壁２ｃ１５と、天面２ｃ１１を有する箱体構造となっている。尚、気体吹き付け手段２０７は片側に気体吸引手段２０８を配設した状態で本体２ｃ１に収納された状態となっている。気体供給管２０７ａは天面２ｃ１１に取り付けられ、輝尽性蛍光体層の表面に対向る本体の開口部に気体吹き出し面２０７ｂが取り付けられている。気体供給管２０７ａは気体供給系（不図示）の加圧ポンプ（不図示）に繋がっている。

気体吹き出し面２０７ｂは、幅方向に少なくとも１本のスリット状の気体吹き出し口２０７ｂ１を有し、気体吹き出し口２０７ｂ１の両側には気体吹き出し口２０７ｂ１から噴出する気体の向きを調整する整流板２０７ｂ３を有している。気体吹き出し口２０７ｂ１の数は特に限定はなく、必要に応じて設けることが可能である。本図では２本の場合を示している。

吸引手段２０８は、気体吸引管２０８ａと、気体吸引面２０８ｂとを有する装置であり、本体２ｃ１の内部に配設されており、本体の側壁２ｃ１３と、側壁２ｃ１６と、天面２ｃ１１を有する箱体構造となっている。天面２ｃ１１に吸引管２０８ａが取り付けられ、輝尽性蛍光体層の表面に対向する本体２ｃ１の開口部に気体吸引面２０８ｂが取り付けられている。吸引管２０８ａは吸引ポンプ（不図示）に繋がっている。吸引管２０８ａの取り付け位置は特に限定はなく、側壁２ｃ１３に取り付けてもかまわない。

気体吸引面２０８ｂは、幅方向に少なくとも１本のスリット状の気体吸引口２０８ｂ１を有し、気体吸引口２０８ｂ１の両側には気体吸引口２０８ｂ１から吸引する気体の向きを調整する整流板２０８ｂ３を有している。気体吸引口２０８ｂ１の数は特に限定はなく、必要に応じて設けることが可能である。本図では２本の場合を示している。気体吸引口２０８ｂ１は気体吸引面２０８ｂの幅方向に平行に設けられている。

気体吹き付け面２０７ｂと気体吸引面２０８ｂは、同一面となっていることが好ましい。気体供給管２０７ａから供給された気体は、気体吹き付け口２０７ｂ２から整流板２０７ｂ３により吹き付け方向が決められ噴出する。噴出された気体は吸引口２０８ｂ２から吸引される様になっている。

本図に示す清掃装置２ｃを構成している、気体吹き付け手段と吸引手段とは、それぞれが有している気体吹き出し面（気体吸引面）が輝尽性蛍光体層の表面と平行で、且つ、輝尽性蛍光体層の表面と直交する様に輝尽性蛍光体プレート上に配設されている（図２を参照）。

図中、θ７は整流板２０７ｂ３の斜面の延長面と輝尽性蛍光体層１０２ａ３との交わる角度（気体の輝尽性蛍光体層１０２ａ３の表面への吹き付け角度）を示す。角度θ７は、輝尽性蛍光体プレート上の付着異物の除去性を考慮し、−１５〜−６０°が好ましい。

θ８は整流板２０８ｂ３の斜面の延長面と輝尽性蛍光体層１０２ａ３との交わる角度（気体の吸引角度）を示す。角度θ８は、輝尽性蛍光体プレート上の付着異物の飛散防止、付着異物を含む気体の回収効率等を考慮し、＋１５〜＋６０°が好ましい。尚、角度θ７と角度θ８は同じ角度であることが好ましい
Ｐ３は、気体吹き付け面２０７ｂ（気体吸引面２０８ｂ）から輝尽性蛍光体層１０２ａ３の表面迄の距離を示す。距離Ｐ３は、距離Ｐ１（図４を参照）と同じである。尚、本図で示される清掃装置は、気体吹き付け手段２０７と吸引手段２０８とは位置が逆であってもかまわない。

図２〜図６に示す本発明の清掃装置を使用し、輝尽性蛍光体プレートを封止フィルムで封止する前に清掃することで次の効果が得られた。

１）非接触方式で気体を輝尽性蛍光体層表面に吹き付けるため、輝尽性蛍光体層表面に傷を付けることなく輝尽性蛍光体層の性能を維持し、保護層（保護フィルム）で被覆することが可能となり、品質の向上が可能となった。

２）不良品の低下に伴い、生産効率の向上が可能となった。

次に、本発明に係わる輝尽性蛍光体プレートを構成している各部材に付き説明する。輝尽性蛍光体プレートを封止するために輝尽性蛍光体層側に使用する封止フィルムとしては、輝尽性蛍光体プレートの輝尽性蛍光体層を湿度から保護するため、及び輝尽性蛍光体層から被写体の画像を取り出すために、特開平６−９５３０２号に記載されている如き、無機物蒸着層を少なくとも一層含んだ透明な積層材料が防湿性の面からより好ましく用いられる。又、支持体側に使用する封止フィルムと接触するシーラント層は熱溶融性の樹脂フィルムを積層する必要がある。

封止フィルムの水蒸気透過率としては、０．５ｇ／ｍ²（２４ｈ、４０℃、９０％ＲＨ）以下であることが好ましい。水蒸気透過率が０．５ｇ／ｍ²（２４ｈ、４０℃、９０％ＲＨ）を越える場合は、輝尽性蛍光体の種類によっては性能劣化が発生する場合がある。本発明において０．５ｇ／ｍ²（２４ｈ、４０℃、９０％ＲＨ）以下とは、水蒸気透過率が限りなく０ｇ／ｍ²（２４ｈ、４０℃、９０％ＲＨ）に近いことを意味し、封止フィルムの厚さとコストから適宜、水蒸気透過率の値を選定することが可能である。

輝尽性蛍光体層側を被覆する封止フィルムは、励起光を吸収するように着色された励起光吸収層を有し、更にヘイズ率が０．２〜６％であることが好ましい。更に、封止フィルムの励起光波長領域における光透過率が励起光吸収層を有しない同等の封止フィルムの光透過率の９８〜５０％であることが好ましい。

水蒸気透過率として０．５ｇ／ｍ²（２４ｈ、４０℃、９０％ＲＨ）以下を得るには、無機物蒸着膜を有する積層材料を使用することが好ましい。無機物蒸着膜としては薄膜ハンドブックｐ８７９〜ｐ９０１（日本学術振興会）、真空技術ハンドブックｐ５０２〜ｐ５０９、ｐ６１２、ｐ８１０（日刊工業新聞社）、真空ハンドブック増訂版ｐ１３２〜ｐ１３４（ＵＬＶＡＣ 日本真空技術Ｋ．Ｋ）に記載されている如き無機膜が挙げられる。例えば、Ｃｒ₂Ｏ₃、Ｓｉ_xＯ_y（ｘ＝１、ｙ＝１．５〜２．０）、Ｔａ₂Ｏ₃、ＺｒＮ、ＳｉＣ、ＴｉＣ、ＰＳＧ、Ｓｉ₃Ｎ₄、単結晶Ｓｉ、アモルファスＳｉ、Ｗ、ＡＩ₂Ｏ₃等を用いることが可能である。

無機物蒸着層を設ける基材として使用する熱可塑性樹脂フィルムとしてはエチレンテトラフルオロエチル共重合体（ＥＴＦＥ）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、延伸ポリプロピレン（０ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、延伸ナイロン（ＯＮｙ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド、ポリエーテルスチレン（ＰＥＳ）など一般の包装用フィルムに使用されているフィルム材料を使用することが可能である。

無機物蒸着フィルムシートを介して積層する熱可塑性樹脂フィルムとしては一般の包装材料として使用されている高分子フィルム（例えば機能性包装材料の新展開株式会社東レリサーチセンター記載の高分子フィルム）である低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、ＨＤＰＥ、線状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）、中密度ポリエチレン、未延伸ポリプロピレン（ＣＰＰ）、ＯＰＰ、ＯＮｙ、ＰＥＴ、セロハン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、延伸ビニロン（ＯＶ）、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＯＨ）、塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）等の使用が可能である。

又、これら熱可塑性樹脂フィルムは、必要に応じて異種フィルムと共押出しで作った多層フィルム、延伸角度を変えて貼り合わせて作った多層フィルム等も当然使用できる。更に必要とする物性を得るために使用するフィルムの密度、分子量分布を組合せて作ることも当然可能である。

最内層の熱可塑性樹脂フィルムとしては、ＬＤＰＥ、ＬＬＤＰＥ及びメタロセン触媒を使用して製造したＬＤＰＥ、ＬＬＤＰＥ、又、これらフィルムとＨＤＰＥフィルムの混合使用したフィルムを使用することが好ましい。

支持体面側に使用する封止フィルムは防湿性を高めることから、上述の無機物蒸層に代えてアルミニウム箔を使用した他は同じである不透明な積層フィルムを用いることが好ましい。上記積層フィルムの製造方法としては、無機物を蒸着したフィルム及びアルミニウム箔をラミネートしたフィルムを介して他のフィルムを積層させる方法としては一般的に知られている各種の方法が用いられ、例えばウェットラミネート法、ドライラミネート法、ホットメルトラミネート法、押出しラミネート法、熱ラミネート法を利用して作ることが可能である。

封止フィルムに使用される色剤としては、プレートの励起光の波長領域で励起光を吸収する特性を有するものが用いられる。好ましくは、封止フィルムの励起光波長領域における光透過率が励起光吸収層を有しない同等の封止フィルムの光透過率の９８％〜５０％となるように励起光吸収層を設けることが望ましい。光透過率が９８％を越えると本発明の効果は小さく、５０％未満ではプレートの輝度が急激に低下してくる。

尚、５０％以上の透過率で輝度の低下があまりないのは、プレートに記録されている放射線画像の情報が、プレート表面側に偏在していることと関連があると推測される。いかなる着色剤を用いるかはプレートに用いる輝尽性蛍光体の種類によって決まるが、プレート用の輝尽性蛍光体としては、通常、波長が４００〜９００ｎｍの範囲にある励起光によって３００〜５００ｎｍの波長範囲の輝尽発光を示す蛍光体が用いられる。このため、着色剤としては通常、青色〜緑色の有機系もしくは無機系の着色剤が用いられる。

青色〜緑色の有機系着色剤の例としては、ザボンファーストブルー３Ｇ（ヘキスト社製）、エストロールブリルブルーＮ−３ＲＬ（住友化学（株）製）、スミアクリルブルーＦ−ＧＳＬ（住友化学（株）製）、Ｄ＆ＣブルーＮｏ１（ナショナル・アニリン社製）、スピリットブルー（保土谷化学（株）製）、オイルブルーＮｏ６０３（オリエント（株）製）、キトンブルーＡ（チバ・ガイギー社製）、アイゼンカチロンブルーＧＬＨ（保土谷化学（株）製）、レイクブルーＡ、Ｆ、Ｈ（協和産業（株）製）、ローダリンブルー６ＧＸ（協和産業（株）製）、ブリモシアニン６ＧＸ（稲畑産業（株）製）、ブリルアシッドグリーン６ＢＨ（保土谷化学（株）製）、シアニンブルーＢＮＲＳ（東洋インキ（株）製）、ライオノルブルーＳＬ（東洋インキ（株）製）が挙げられる。青色〜緑色の無機系着色剤の例としては、群青、コバルトブルー、セルリアンブルー、酸化クロム、ＴｉＯ₂−ＺｎＯ−ＣｏＯ−ＮｉＯ系顔料が挙げられるがこれに限られたものではない。

輝尽性蛍光体プレートの可撓性支持体としては、セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム等のプラスティックフィルム、アルミニウム箔、アルミニウム合金箔などの金属シート、一般紙及び例えば写真用原紙、コート紙、もしくはアート紙のような印刷用原紙、バライタ紙、レジンコート紙、ベルギー特許第７８４，６１５号明細書に記載されているようなポリサッカライド等でサイジングされた紙、二酸化チタンなどの顔料を含むピグメント紙、ポリビニルアルコールでサイジングした紙等の加工紙等が挙げられる。これらの中でも、加工し易さ、取り扱い性からプラスティックフィルムが好ましい可撓性支持体として挙げられる。

又、輝尽性蛍光体層を気相体積法で形成する時は、輝尽性蛍光体プレートの可撓性支持体としては、熱伝導率が０．１〜２０Ｗ／ｍＫの高分子材料を用いることで、支持体上に形成される輝尽性蛍光体層の形成時における熱分布と放熱特性が均一化し、結果、結晶の先端径が細かく、結晶として大きくならない柱状結晶が得られ、且つ賦活剤を均一に蛍光体層に形成できる。

熱伝導率が０．１〜２０Ｗ／ｍＫの高分子材料としては、例えば樹脂含浸炭素繊維（炭素繊維強化樹脂）を用いることができ、具体的には市販されている炭素繊維（東邦レーヨン（株）製＃１３２、エポキシ樹脂含浸）が挙げられる。又従来の放射線画像変換パネルの支持体として公知の材料から任意に選ぶこともでき、石英ガラスシート、アルミニウム、鉄、スズ、クロムなどからなる金属シート、及びアラミドなどからなる樹脂シートやこれらを貼り合わせたものなどを用いることができる。

又、これら可撓性支持体の厚さは、用いる可撓性支持体の材質等によって異なるが、一般的には８０〜１０００μｍであり、取り扱い上の点から、更に好ましくは８０〜５００μｍである。これらの支持体の表面は滑面であってもよいし、マット面としてもよい。

又、支持体の少なくとも一方の面には、ガラス転移点（Ｔｇ）が８０℃〜３５０℃の化合物からなる樹脂層を有することが好ましい。支持体の少なくとも一方の面に樹脂層を設けることで、支持体の表面を平滑にすることができ、輝尽性蛍光体層を平滑に形成することができる。更に支持体の両方の面に樹脂層を有する場合には、加熱した時に樹脂含浸炭素繊維と樹脂層との熱膨張率の差によって支持体がひずむことを防止することができる。ガラス転移点（Ｔｇ）が８０℃〜３５０℃の化合物としては、例えば、ポリエチレンテレフタラート、パラフィン、グラファイト等を用いることができ、好ましくはポリイミドを用いることができる。支持体の蛍光体層形成部には輝尽性蛍光体の柱状結晶からなる輝尽性蛍光体層が気相堆積法で５０μｍ以上、好ましくは３００〜５００μｍの厚さに形成されている。

輝尽性蛍光体層は、バインダーと輝尽性蛍光体粒子とから構成されている。輝尽性蛍光体層を形成している「輝尽性蛍光体」とは、最初の光又は高エネルギー放射線が照射された後に、光的、熱的、機械的、科学的又は電気的等の刺激（輝尽励起）により、最初の光又は高エネルギー放射線の照射量に対応した輝尽発光を示す輝尽性蛍光体をいう。実用的な面からは、光刺激（輝尽励起）により輝尽発光を示す輝尽性蛍光体が好ましく、波長が５００ｎｍ以上、１μｍ以下の輝尽励起光によって輝尽発光を示す輝尽性蛍光体が好ましい。

本発明に係る輝尽性蛍光体層を可撓性支持体に形成する方法は、輝尽性蛍光体層形成用塗布液を塗布し、乾燥する塗布方法でも、輝尽性蛍光体層形成用材料を蒸着させる気相堆積法でも可能である。輝尽性蛍光体層形成用塗布液を塗布する方法としては通常の塗布手段、例えばドクターブレード、ロールコーター、ナイフコーター、コンマコーター、リップコーターなどを用いることができる。塗布方法により形成する、本発明に係わる輝尽性蛍光体層に用いられる輝尽性蛍光体の一例としては、特開２００２−２７７５９６号に記載されている化合物が挙げられる。気相堆積法としては、ＰＶＤ法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、物理蒸着法）、スパッタリング法、ＣＶＤ法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、化学蒸着法）、イオンプレーティング法、その他を用いることができる。気相堆積法により形成する、本発明に係わる輝尽性蛍光体層に用いられる輝尽性蛍光体としては、例えば特開昭５９−７５２００号、同６１−７２０８７号、同６１−７３７８６号、６１−７３７８７号、特開２００４−２２６５１等に記載されているような化合物が挙げられる。

輝尽性蛍光体層は、上記の輝尽性蛍光体を支持体の一面へ気相堆積法を用いて形成される。気相堆積法としては、ＰＶＤ法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、物理蒸着法）、スパッタリング法、ＣＶＤ法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、化学蒸着法）、イオンプレーティング法、その他を用いることができる。

ＰＶＤ法では、まず、支持体を蒸着装置内に設置した後、装置内を排気して１．３３３×１０^-4Ｐａ程度の真空度とする。次いで、前記輝尽性蛍光体の少なくとも一つを抵抗加熱法、エレクトロンビーム法等の方法で加熱蒸発させて、前記支持体表面に輝尽性蛍光体を所望の厚さに成長させる。この結果、結着材を含有しない輝尽性蛍光体層が形成されるが、前記蒸着工程では複数回に分けて輝尽性蛍光体層を形成することも可能である。又、前記蒸着工程では複数の抵抗加熱機あるいはエレクトロンビームを用いて共蒸着し、支持体上で目的とする輝尽性蛍光体を合成すると同時に輝尽性蛍光体層を形成することも可能である。

スパッタリング法では、ＰＶＤ法と同様、支持体をスパッタリング装置内に設置した後、装置内を一旦排気して１．３３３×１０^-4Ｐａ程度の真空度とし、次いでスパッタリング用のガスとしてＡｒ、Ｎｅ等の不活性ガスをスパッタリング装置内に導入して１．３３３×１０^-1Ｐａ程度のガス圧とする。次に、前記輝尽性蛍光体をターゲットとして、スパッタリングすることにより、前記支持体上に輝尽性蛍光体層を所望の厚さに成長させる。

前記輝尽性蛍光体層の膜厚は、放射線画像変換パネルの使用目的によって、又輝尽性蛍光体の種類により異なるが、５０μｍ以上、好ましくは３００〜５００μｍである。上記の気相堆積法による輝尽性蛍光体層の作製に際し、輝尽性蛍光体層が形成される支持体の温度は、５０℃以上に設定することが好ましく、更に好ましくは、１５０℃以上であり、特に好ましくは１５０℃〜４００℃である。スパッタリング工程ではＰＶＤ法と同様に各種応用処理を用いることができる。ＣＶＤ法やイオンプレーティング法、その他においても同様である。なお、前記気相堆積法における輝尽性蛍光体層の成長速度は、０．０５μｍ／ｍｉｎ〜３００μｍ／ｍｉｎであることが好ましい。成長速度が０．０５μｍ／ｍｉｎ未満の場合には放射線画像変換パネルの生産性が悪く好ましくない。又成長速度が３００μｍ／ｍｉｎを超える場合には成長速度のコントロールが難しく好ましくない。

以下、実施例を挙げて本発明の具体的な効果を示すが、勿論、本発明の態様はこれに限定されるものではない。

実施例１
以下の方法に従って、輝尽性光体層を有する放射線画像変換パネルを作製した。

（基材の準備）
厚さ１ｍｍ、大きさ３０ｃｍ×３０ｃｍのアルミニウム板の表面にポリイミド層を設けた基材を準備した。

（プレートの作製）
蒸着源として輝尽性蛍光体（ＣｓＢｒ：０．００１Ｅｕ）を使用し、気相堆積装置を用い、Ａｒガスを導入し０．１３３Ｐａに真空度を調整した後、基材と原料容器の距離を６０ｃｍとし、基材を回転速度１０ｒｐｍで回転させ、基材の温度を約１５０℃に保持しながら原料容器中の温度を７５０℃に保ち蒸着を開始し、輝尽性蛍光体層の膜厚が３００μｍとなったところで原料の蒸発を終了させ、蒸着室を大気圧に戻し、基材上に輝尽性蛍光体層が形成されたプレートを作製した。

（輝尽性蛍光体層表面の清掃）
作製した輝尽性蛍光体プレートの輝尽性蛍光体層上を保護フィルムで被覆する前に、図４に示される清掃装置を使用し、気体噴出手段の輝尽性蛍光体層への気体を吹き付ける角度（気体吹き付け角度）と吸引手段の吸引角度とを表１に示す様に変えて輝尽性蛍光体層表面の清掃を行なった輝尽性蛍光体プレートを作製し、試料１０１〜１１１とした。気体は湿度２０％ＲＨに調整した空気を使用し、気体噴出手段の気体噴出口での気体噴出速度５０ｍ／ｓｅｃ、輝尽性蛍光体プレートの搬送速度を８０ｍｍ／ｓｅｃとした。

評価
作製した各試料１０１〜１１１の画像欠陥の有無を以下に示す評価方法、評価ランクに従って評価した結果を表１に示す。

画像欠陥評価
Ｒｅｇｉｕｓ３３０（コニカミノルタエムジー（株）製）を使用し、８０ｋＶｐ、７０ｍＡの条件下でＸ線管球と各試料１０１〜１２０の間の距離を２ｍにしてＸ線撮影をした後、Ｘ線撮影後画像情報を読み取りβ画像信号を得る。このβ画像信号を２０００×２０００画素毎に分割して画素毎の信号値を得て画像信号とした。得られた画像信号の中で隣り合う信号値差が５０ｓｔｅｐ以上差がある画素を検出した個数を欠陥数とした。

画像欠陥評価ランク
○：１ｍ²当たりの欠陥数が０個
△：１ｍ²当たりの欠陥数が１０個未満
×：１ｍ²当たりの欠陥数が１０個以上

本発明の有効性が確認された。

実施例２
実施例１の試料Ｎｏ．１０３を作製する時、気体噴出速度を表３に示す様に変えた他は全て同じ条件で輝尽性蛍光体プレートを作製し、試料２０１〜２０７とした。

評価
作製した各試料２０１〜２０７の画像欠陥の有無を実施例１と同じ方法で行い、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表２に示す。

試料Ｎｏ．２０７は画像欠陥もなく良好な結果を示したが、試料Ｎｏ．２０６と同じ程度であり、気体噴出速度を上げた効果が得られなかった。本発明の有効性が確認された。

実施例３
実施例１の試料Ｎｏ．１０３を作製する時、吹き付ける気体の湿度を表４に示す様に変えた他は全て同じ条件で輝尽性蛍光体プレートを作製し、試料３０１〜３０７とした。尚、吹き付ける気体としては空気を使用した。

評価
作製した各試料３０１〜３０７の鮮鋭性を以下に示す方法と評価ランクに従って評価した結果を表３に示す。

鮮鋭性評価
鮮鋭性は、変調伝達関数（ＭＴＦ）を求めて評価した。ＭＴＦは、輝尽性蛍光体プレートにＣＴＦチャートを貼付した後、試料に８０ｋＶｐのＸ線を１０ｍＲ（被写体までの距離：１．５ｍ）照射した後、１００μｍφの直径の半導体レーザ（６８０ｎｍ：パネル上でのパワー４０ｍＷ）を用いてＣＴＦチャート像を走査読み取りして求めた。鮮鋭性は清掃前の各輝尽性蛍光体プレート試料の鮮鋭性を１００とした時の相対値で示す。数字が１００に近いほど、鮮鋭性の劣化が少ないことを表す。

試料Ｎｏ．３０１は気体の湿度を下げるのに装置が大きくなりコストがかかる割に、湿度を下げた効果が得られなかった。本発明の有効性が確認された。

実施例４
実施例１の試料Ｎｏ．１０３を作製する時、清掃装置を図５に示す清掃装置に変え気体吹き付け角度、吸引角度を表５に示す様に変えた他は全て同じ条件で輝尽性蛍光体プレートを作製し、試料４０１〜４１１とした。

評価
作製した各試料４０１〜４１１の画像欠陥の有無を実施例１と同じ方法で行い、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表４に示す。

本発明の有効性が確認された。

実施例５
実施例１の試料Ｎｏ．１０３を作製する時、輝尽性蛍光体プレートの搬送速度を２０ｍｍ／ｓｅｃとし、清掃装置を図６に示す清掃装置に変え、気体噴出手段の気体噴出口での気体噴出速度２０ｍ／ｓｅｃとし、気体吹き付け角度、吸引角度を表５に示す様に変えた他は全て同じ条件で輝尽性蛍光体プレートを作製し、試料５０１〜５０６とした。

評価
作製した各試料５０１〜５０６の画像欠陥の有無を実施例１と同じ方法で行い、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表５に示す。

本発明の有効性が確認された。

輝尽性蛍光体プレートの上面と下面とを封止フィルムで封止した輝尽性蛍光体パネルの概略図である。 清掃装置の概略斜視図である。 図２に示した清掃装置の概略図である。 図３に示す清掃装置の本体と輝尽性蛍光体層との関係を示す概略断面図である。 気体吹き付け手段の両隣に吸引手段を有する清掃装置の概略断面図である。 気体吹き付け手段の隣に吸引手段を有する清掃装置の概略断面図である。

符号の説明

１ 輝尽性蛍光体パネル
１０２ａ 輝尽性蛍光体プレート
１０２ａ３、５０２ 輝尽性蛍光体層
２ａ〜２ｃ 清掃装置
２ａ１〜２ｃ１ 本体
２ａ１１〜２ｃ１１ 天面
２ａ１２〜２ａ１５、２ｂ１２〜２ｂ１４、２ｃ１２〜２ｃ１４ 側壁
２ａ１６、２ａ１７ 内壁
２０１、２０８ 吸引手段
２０１ａ、２０８ａ 気体吸引管
２０１ｂ、２０８ｂ 気体吸引面
２０１ｂ２、２０６ｂ２ 第３整流板
２０２ 第１気体吹き付け手段
２０２ａ 第１気体供給管
２０２ｂ 第１気体吹き出し面
２０２ｂ１ 第１気体吹き出し口
２０２ｂ２、２０４ｂ２ 第１整流板
２０３ 第２気体吹き付け手段
２０３ａ 第２気体供給管
２０３ｂ 第２気体吹き出し面
２０３ｂ１ 第２気体吹き出し口
２０３ｂ２ 第２整流板
２０４ 第１吸引手段
２０４ａ 第１吸引管
２０４ｂ、２０５ｂ 第１気体吸引面
２０４ｂ１ 第１気体吸引口
２０５ 第２吸引手段
２０５ａ 第２吸引管
２０６、２０７ 気体吹き付け手段
２０６ｂ、２０７ｂ 気体吹き出し面
２０６ｂ１、２０７ｂ１ 気体吹き出し口
２０６ａ、２０７ａ 気体供給管
２０７ｂ３、２０８ｂ３ 整流板
θ１〜θ８ 角度
Ｐ１〜Ｐ３ 距離

Claims (13)

1. 基材上に輝尽性蛍光体層を有する輝尽性蛍光体プレートを封止フィルムで封止する前に、清掃装置により前記輝尽性蛍光体層の表面を清掃する輝尽性蛍光体層清掃方法であって、前記清掃装置は、前記輝尽性蛍光体層の幅方向に気体を吹き付ける少なくとも一つの気体吹き付け手段と、
   前記気体吹き付け手段の幅方向と平行に隣接した少なくとも一つの吸引手段とを有することを特徴とする輝尽性蛍光体層清掃方法。
2. 前記気体吹き付け手段は、少なくとも１本の気体供給管と、気体吹き出し面とを有する装置であることを特徴とする請求項１に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
3. 前記吸引手段は、少なくとも１本の気体吸引管と、気体吸引面とを有する装置であることを特徴とする請求項１又は２に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
4. 前記気体吹き付け手段は、気体吹き出し面が輝尽性蛍光体層の表面と平行で、且つ、該表面と直交する様に輝尽性蛍光体プレート上に配設されており、該気体吹き出し面と該表面との距離が０．５〜２ｍｍであることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
5. 前記吸引手段は、気体吸引面が輝尽性蛍光体層の表面と平行で、且つ、該表面と直交する様に輝尽性蛍光体プレート上に配設されており、該気体吸引面と該表面との距離が０．５〜２ｍｍであることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
6. 前記輝尽性蛍光体層の表面の清掃は、清掃装置又は輝尽性蛍光体プレートの何れか一方を移動しながら行うことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
7. 前記清掃装置は、一つの吸引手段の両隣に気体吹き付け手段を有し、該気体吹き付け手段の輝尽性蛍光体層の表面への気体吹き付け角度は±１５〜±６０°、気体吸引角度は０〜±１５°であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
8. 前記清掃装置は、一つの気体吹き付け手段の両隣に吸引手段を有し、該気体吹き付け手段の輝尽性蛍光体層の表面への気体吹き付け角度は０〜±１５°、気体吸引角度は±１５〜±６０°であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
9. 前記清掃装置は、一つの気体吹き付け手段と、一つの吸引手段とを有し、該気体吹き付け手段の輝尽性蛍光体層の表面への気体吹き付け角度は±１５〜±６０°、気体吸引角度は±１５〜±６０°であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
10. 前記気体吹き付け手段は、気体吹き付け口での気体噴出速度が、４０〜１２０ｍ／ｓｅｃであることを特徴とする請求項１〜９の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
11. 前記気体吹き付け手段から輝尽性蛍光体層の表面へ吹き付ける気体が、湿度５〜４０％ＲＨの不活性ガスであることを特徴とする請求項１〜１０の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
12. 前記気体吹き付け手段から輝尽性蛍光体層の表面へ吹き付ける気体が、湿度５〜４０％ＲＨの空気であることを特徴とする請求項１〜１０の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。
13. 前記輝尽性蛍光体層が気相堆積法により形成されていることを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載の輝尽性蛍光体層清掃方法。

Images