JP2006327109A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室12が形成される流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられる圧電素子と、流路形成基板の圧電素子側の面に設けられる保護基板30と、圧電素子300を駆動する駆動IC110が一方面側に搭載されると共に他方面側に駆動IC110と電気的に接続される接触ピン46が各圧電素子300に対応して立設された実装基板45とを有し、且つこの駆動IC110が実装された実装基板45が、各接触ピン46が圧電素子から引き出される各リード電極90にそれぞれ接触した状態で保護基板30上に固定されているようにする。
【選択図】 図2
Description
かかる第1の態様では、保護基板上に駆動ICが予め実装された実装基板を固定することによって、保護基板上への駆動ICの実装と、駆動ICと各リード電極との電気的な接続を同時に行うことができる。したがって、製造効率が大幅に向上し、歩留まりも著しく向上する。
かかる第2の態様では、接触ピンとリード電極とを確実に接触させることができ、圧電素子と駆動ICとが電気的に良好に接続される。
かかる第3の態様では、接触ピンとリード電極とを比較的容易且つ確実に接触させることができる。
かかる第4の態様では、接触ピンとリード電極とをより確実に接触させることができる。
かかる第5の態様では、接触ピンが確実に付勢され、接触ピンとリード電極とをさらに確実に接触させることができる。
かかる第6の態様では、ケースヘッドを固定すると同時に、駆動ICの実装及び駆動ICと圧電素子との電気的接続を行うことができ、製造効率がさらに向上する。
かかる第7の態様では、耐久性及び信頼性に優れたインクジェット式記録装置を比較的安価で製造することができる。
(実施形態1)
図1は、実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図及びそのA−A’断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ1〜2μmの弾性膜50が設けられている。この流路形成基板10には、その他方面側から異方性エッチングすることにより形成され、隔壁11によって区画された複数の圧力発生室12が並設されている。また、圧力発生室12の長手方向外側には、各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する連通部13が形成され、この連通部13は各圧力発生室12の長手方向一端部とそれぞれインク供給路14を介して連通されている。また、各圧力発生室12の一端に連通する各インク供給路14の断面積は、圧力発生室12のそれより小さく形成されており、圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
図7は、実施形態2に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
図7に示すように、本実施形態では、流路形成基板10に、圧力発生室12の列が2列形成されている。また、駆動IC110が実装された実装基板45は、各圧力発生室12の列に対応して設けられ、各接触ピン46は、流路形成基板10の中央部、すなわち、圧力発生室12の列間で、各圧電素子300から引き出されたリード電極90に接触させるようにしている。そして、本実施形態では、保護基板30上に固定されて駆動IC110を囲む空間部を画成するケースヘッド120をさらに有し、実装基板45が、このケースヘッド120に一体化された状態で、保護基板30上に固定されている以外は、実施形態1と同様である。
以上、本発明の実施形態について説明したが、勿論、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。また、上述の実施形態では、成膜及びリソグラフィプロセスを応用して製造される薄膜型のインクジェット式記録ヘッドを例示したが、本発明は、それ以外の構成のインクジェット式記録ヘッド、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のインクジェット式記録ヘッド等にも採用することができる。
Claims (7)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接合されて当該圧電素子を保護する圧電素子保持部が設けられた保護基板と、前記圧電素子を駆動する駆動ICが一方面側に搭載されると共に他方面側に前記駆動ICと電気的に接続される接触ピンが各圧電素子に対応して立設された実装基板とを有し、且つ前記駆動ICが実装された前記実装基板は、各接触ピンが前記圧電素子から引き出される各リード電極にそれぞれ接触した状態で前記保護基板に固定されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1において、前記接触ピンが、前記リード電極に弾接するように付勢されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項2において、前記実装基板が実質的に前記保護基板が凸となるように湾曲した状態で固定され、前記接触ピンが前記実装基板の弾性力によって付勢されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項2において、前記接触ピンが、弾性部材を介して前記実装基板に立設され当該接触ピンの軸方向で移動可能となっており、当該接触ピンが前記弾性部材の弾性力によって付勢されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項4において、前記弾性部材が、バネ部材であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜5の何れかにおいて、前記保護基板上に固定されて前記駆動ICを囲む空間を有するケースヘッドをさらに有し、且つ前記駆動ICが実装された前記実装基板が当該ケースヘッドに一体化された状態で前記保護基板上に固定されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜6の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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Citations (5)
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2005
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