JP2006323111A - レジスト材料及びそれを用いたパターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板101の上に、ヘテロ環式ケトンである4−ペンタンラクタムを含むレジストからなるレジスト102膜を形成し、続いて、レジスト膜102に対して露光光103をマスク104を通して照射することによりパターン露光を行なう。続いて、パターン露光されたレジスト膜102を現像することによりレジストパターン102aを形成する。
【選択図】 図1
Description
トリフェニルスルフォニウムトリフルオロメタンスルフォン酸(酸発生剤)…………………………………………………………………………………………………………0.06g
トリエタノールアミン(クエンチャー)………………………………………0.002g
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶媒)……………………20g
次に、図5(a)に示すように、基板1の上に前記の化学増幅型レジスト材料を塗布して、0.35μmの厚さを持つレジスト膜2を形成する。
T.Kudo et al., "Illumination, Acid Diffusion and Process Optimization Considerations for 193 nm Contact Hole Resists", Proc. SPIE, vol.4690, p.150 (2002).
本発明の第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。
4-ペンタンラクタム(ヘテロ環式ケトン)…………………………………………0.6g
トリフェニルスルフォニウムトリフルオロメタンスルフォン酸(酸発生剤)…………………………………………………………………………………………………………0.06g
トリエタノールアミン(クエンチャー)………………………………………0.002g
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶媒)……………………20g
次に、図1(a)に示すように、基板101の上に前記の化学増幅型レジスト材料を塗布して、0.35μmの厚さを持つレジスト膜102を形成する。
以下、本発明の第2の実施形態について図面を参照しながら説明する。
トリフェニルスルフォニウムトリフルオロメタンスルフォン酸(酸発生剤)…………………………………………………………………………………………………………0.06g
トリエタノールアミン(クエンチャー)………………………………………0.002g
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶媒)……………………20g
次に、図2(a)に示すように、基板201の上に前記の化学増幅型レジスト材料を塗布して、0.35μmの厚さを持つレジスト膜202を形成する。
以下、本発明の第3の実施形態について図面を参照しながら説明する。
ブタン-1,4-スルタム(ヘテロ環式スルホン)………………………………………0.5g
トリフェニルスルフォニウムトリフルオロメタンスルフォン酸(酸発生剤)…………………………………………………………………………………………………………0.06g
トリエタノールアミン(クエンチャー)………………………………………0.002g
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶媒)……………………20g
次に、図3(a)に示すように、基板301の上に前記の化学増幅型レジスト材料を塗布して、0.35μmの厚さを持つレジスト膜302を形成する。
以下、本発明の第4の実施形態について図面を参照しながら説明する。
トリフェニルスルフォニウムトリフルオロメタンスルフォン酸(酸発生剤)…………………………………………………………………………………………………………0.06g
トリエタノールアミン(クエンチャー)………………………………………0.002g
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶媒)……………………20g
次に、図4(a)に示すように、基板401の上に前記の化学増幅型レジスト材料を塗布して、0.35μmの厚さを持つレジスト膜402を形成する。
102 レジスト膜
102a レジストパターン
103 露光光
104 マスク
201 基板
202 レジスト膜
202a レジストパターン
203 露光光
204 マスク
301 基板
302 レジスト膜
302a レジストパターン
303 露光光
304 マスク
401 基板
402 レジスト膜
402a レジストパターン
403 露光光
404 マスク
Claims (21)
- ヘテロ環式ケトン又はその異性体を含むことを特徴とするレジスト材料。
- ヘテロ環式ケトン又はその異性体を含むポリマーを含むことを特徴とするレジスト材料。
- ヘテロ環式スルホンを含むことを特徴とするレジスト材料。
- ヘテロ環式スルホンを含むポリマーを含むことを特徴とするレジスト材料。
- 前記ヘテロ環式ケトンはラクタムであることを特徴とする請求項1又は2に記載のレジスト材料。
- 前記ラクタムは、4−ペンタンラクタム、6−ヘキサンラクタム、2−ペンテン−5−ラクタム又は3−ヘキセン−6−ラクタムであることを特徴とする請求項5に記載のレジスト材料。
- 前記ヘテロ環式ケトンの異性体はラクチムであることを特徴とする請求項1又は2に記載のレジスト材料。
- 前記ラクチムは、2−ペンタンラクチム、6−ヘキサンラクチム、2−ペンテン−5−ラクチム又は3−ヘキセン−6−ラクチムであることを特徴とする請求項7に記載のレジスト材料。
- 前記ヘテロ環式スルホンはスルタムであることを特徴とする請求項3又は4に記載のレジスト材料。
- 前記スルタムは、ブタン−1,4−スルタム、プロパン−1,3−スルタム、ペンタン−1,5−スルタム又はヘキサン−1,6−スルタムであることを特徴とする請求項9に記載のレジスト材料。
- 基板の上に、ヘテロ環式ケトン又はその異性体を含むレジストからなるレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜に対して露光光を選択的に照射することによりパターン露光を行なう工程と、
パターン露光が行なわれた前記レジスト膜に対して現像を行なうことによりレジストパターンを形成する工程とを備えていることを特徴とするパターン形成方法。 - 基板の上に、ヘテロ環式ケトン又はその異性体を含むポリマーを含むレジストからなるレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜に対して露光光を選択的に照射することによりパターン露光を行なう工程と、
パターン露光が行なわれた前記レジスト膜に対して現像を行なうことによりレジストパターンを形成する工程とを備えていることを特徴とするパターン形成方法。 - 基板の上に、ヘテロ環式スルホンを含むレジストからなるレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜に対して露光光を選択的に照射することによりパターン露光を行なう工程と、
パターン露光が行なわれた前記レジスト膜に対して現像を行なうことによりレジストパターンを形成する工程とを備えていることを特徴とするパターン形成方法。 - 基板の上に、ヘテロ環式スルホンを含むポリマーを含むレジストからなるレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜に対して露光光を選択的に照射することによりパターン露光を行なう工程と、
パターン露光が行なわれた前記レジスト膜に対して現像を行なうことによりレジストパターンを形成する工程とを備えていることを特徴とするパターン形成方法。 - 前記ヘテロ環式ケトンはラクタムであることを特徴とする請求項11又は12に記載のパターン形成方法。
- 前記ラクタムは、4−ペンタンラクタム、6−ヘキサンラクタム、2−ペンテン−5−ラクタム又は3−ヘキセン−6−ラクタムであることを特徴とする請求項15に記載のパターン形成方法。
- 前記ヘテロ環式ケトンの異性体はラクチムであることを特徴とする請求項11又は12に記載のパターン形成方法。
- 前記ラクチムは、2−ペンタンラクチム、6−ヘキサンラクチム、2−ペンテン−5−ラクチム又は3−ヘキセン−6−ラクチムであることを特徴とする請求項17に記載のパターン形成方法。
- 前記ヘテロ環式スルホンはスルタムであることを特徴とする請求項13又は14に記載のパターン形成方法。
- 前記スルタムは、ブタン−1,4−スルタム、プロパン−1,3−スルタム、ペンタン−1,5−スルタム又はヘキサン−1,6−スルタムであることを特徴とする請求項19に記載のパターン形成方法。
- 前記露光光は、KrFエキシマレーザ光、Xe2 レーザ光、ArFエキシマレーザ光、F2 レーザ光、KrArレーザ光又はAr2 レーザ光であることを特徴とす請求項11〜14のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
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