JP2006317403A - バーンイン方法、バーンイン装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】作業効率およびエネルギ効率の向上が可能なバーンイン方法およびバーンイン装置を提供すること。
【解決手段】バーンインボード上の複数のデバイスそれぞれに対応して設けられ、かつ可撓性のある熱伝導部材で互いに結合された複数の部材を、複数のデバイスに伝熱接触させる工程と、複数の部材を一括的に温度制御する工程とを具備する方法である。また、バーンインボード上の複数のデバイスそれぞれに対応して伝熱接触し得る複数の部材と、複数の部材間を結合する可撓性のある熱伝導部材とを具備する装置である。
【選択図】図1
【解決手段】バーンインボード上の複数のデバイスそれぞれに対応して設けられ、かつ可撓性のある熱伝導部材で互いに結合された複数の部材を、複数のデバイスに伝熱接触させる工程と、複数の部材を一括的に温度制御する工程とを具備する方法である。また、バーンインボード上の複数のデバイスそれぞれに対応して伝熱接触し得る複数の部材と、複数の部材間を結合する可撓性のある熱伝導部材とを具備する装置である。
【選択図】図1
Description
本発明は、初期故障の半導体デバイスを除去するために行うバーンインの方法および装置に係り、特に、作業効率、エネルギ効率の向上に適するバーンイン方法およびバーンイン装置に関する。
半導体デバイスの評価工程の一つとして、125℃程度の温度環境下で半導体デバイスに電圧を印加し初期不良を加速させるバーンイン工程がある。近年のMPUなどではデバイス自身のリーク電流による内部発熱が100Wを超えるものが出現し、かつデバイス間で発熱量に差があるため、複雑な温度制御手法を採らざるを得なくなっている。すなわち、バーンインボード上の複数の大電流デバイスに対応するため、ヒートシンクブロックを用意し、このヒートシンクブロックに冷却用の流路や加熱するためのヒータ、およびデバイスの温度を検知する温度センサを内蔵させる。そして、これを個々のデバイスに対して装着してこれらを一定温度(一般的に125℃程度)に保つよう冷却または加熱制御をおこなう方式を採っている。
つまり、個々のデバイスの温度を計測し発熱量の大きいデバイスに対しては冷却を、発熱量の小さいデバイスに対しては加熱を個々のデバイスに対し独立した制御を行っている。これらの場合に以下の問題があった。
1)冷却と加熱能力により、適用できるデバイスの発熱量バラツキ範囲に限界が生じること。つまり事前にデバイスの発熱量を測定してデバイスを区分する必要であった。これによりバーンイン工程として手数が増加する。
2)冷却と加熱それぞれ独立して制御をおこなうためエネルギ効率が悪いこと。つまり高発熱デバイスの熱エネルギを低発熱デバイスに活用できず、それぞれに冷却・過熱エネルギが別々に消費されるため制御のエネルギに無駄が多かった。
1)冷却と加熱能力により、適用できるデバイスの発熱量バラツキ範囲に限界が生じること。つまり事前にデバイスの発熱量を測定してデバイスを区分する必要であった。これによりバーンイン工程として手数が増加する。
2)冷却と加熱それぞれ独立して制御をおこなうためエネルギ効率が悪いこと。つまり高発熱デバイスの熱エネルギを低発熱デバイスに活用できず、それぞれに冷却・過熱エネルギが別々に消費されるため制御のエネルギに無駄が多かった。
なお、バーンイン装置の例として下記特許文献1に開示のものがある。このバーンイン装置では、デバイスを収容するソケットをグループ化して冷却することに言及があるが、個々のデバイスに対して温度制御を行う点で一般的な装置である。
特表2003−523071号公報
本発明は、上記の事情を考慮してなされたもので、作業効率およびエネルギ効率の向上が可能なバーンイン方法およびバーンイン装置を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係るバーンイン方法は、バーンインボード上の複数のデバイスそれぞれに対応して設けられ、かつ可撓性のある熱伝導部材で互いに結合された複数の部材を、前記複数のデバイスに伝熱接触させる工程と、前記複数の部材を一括的に温度制御する工程とを具備する。
また、本発明の一態様に係るバーンイン装置は、バーンインボード上の複数のデバイスそれぞれに対応して伝熱接触し得る複数の部材と、前記複数の部材間を結合する可撓性のある熱伝導部材とを具備する。
本発明によれば、作業効率およびエネルギ効率の向上が可能なバーンイン方法およびバーンイン装置を提供することができる。
本発明の一態様に係るバーンイン方法によれば、バーンインボード上の複数のデバイスそれぞれに対応する複数の部材が、熱伝導部材で互いに結合されている。よって、複数の部材間での熱伝導が確保されてこれらの熱平衡がよりたやすく実現する。ゆえに、複数のデバイス個々に対応して温度制御する必要性が弱まり、一括的な温度制御で足りるようになる。これにより、デバイスの発熱量によるその仕分けがより単純化しバーンイン工程の作業効率が向上する。また、デバイス個々に対応する温度制御の必要性が小さいので、冷却/加熱に必要なエネルギの節約になる。なお、熱伝導部材に可撓性を設けたのは、複数の部材が、バーンインボード上の複数のデバイスの姿勢に倣うように位置可能とするためである。デバイスの姿勢に倣うことで、部材とデバイスとの伝熱接触がより確実になる。
本発明の実施態様として、前記複数の部材が、それぞれ、吸熱または発熱する部位を有する、とすることができる。一括的な温度制御のため、複数の部材にそれぞれ有する吸熱または発熱する部位を利用する態様である。
ここで、前記複数の部材の前記吸熱する部位が、流体の流路であり、該流路が、前記複数の部材のうちの前記複数のデバイスの一部に対応するもので直列に接続され、さらに、該直列に接続された流路が、別の複数のデバイスごとに設けられた直列接続流路と並列に接続されている、とすることができる。すなわち、複数の部材それぞれに流体の流路を並列に設けデバイス個々に厳密に対応する温度制御をする必要がないことの帰結である。
また、実施態様として、前記複数の部材を一括的に温度制御する前記工程が、恒温槽を用いてなされる、としてよい。一括的な温度制御のため恒温槽を利用する態様である。
また、実施態様として、前記熱伝導部材が、前記複数の部材を一括的に温度制御する前記工程における制御温度付近の比較的高温で気化し比較的低温で液化する媒質が封止された中空部材を有する、とすることができる。熱伝導部材として、中空構造を有し、その中空内に制御温度付近の比較的高温で気化し比較的低温で液化する媒質が封止されていると、その熱伝導性は非常に良好になる。よって、複数の部材間での熱平衡がさらにたやすく実現する。このような熱伝導部材に代えて、例えばグラファイト系の素材を用いることもできる。
また、実施態様として、前記複数の部材が、それぞれ、前記複数の部材を一括的に温度制御する前記工程における制御温度付近の比較的高温で気化し比較的低温で液化する媒質が封止された中空部を有する、とすることができる。これは、デバイスに伝熱接触する複数の部材そのものに、熱伝導性を向上するための構成を加えたものである。
また、本発明の一態様に係るバーンイン装置は、バーンインボード上の複数のデバイスそれぞれに対応する複数の部材が、熱伝導部材で互いに結合された形態で有している。よって、複数の部材間での熱伝導が確保されてこれらの熱平衡がよりたやすく実現する。ゆえに、複数のデバイス個々に対応して温度制御する必要性が弱まり、一括的な温度制御で足りるようになる。これにより、デバイスの発熱量によるその仕分けがより単純化しバーンイン工程の作業効率が向上する。また、デバイス個々に対応する温度制御の必要性が小さいので、冷却/加熱に必要なエネルギの節約になる。なお、熱伝導部材に可撓性を設けたのは、複数の部材が、バーンインボード上の複数のデバイスの姿勢に倣うように位置可能とするためである。デバイスの姿勢に倣うことで、部材とデバイスとの伝熱接触がより確実になる。
以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。まず、比較例としてのバーンイン方法を図8ないし図11を参照して説明する。これらの図において対応する部位には同一符号を付してある。図8は、一例としてのバーンインボードの構成を示す上面図である。図8に示すように、バーンインボード1上には、複数のソケット2が例えばグリッド状に設けられ、そのそれぞれには配線パターン(図示せず)により電圧印加に必要な電気的接続が設けられている。ソケット2それぞれにはバーンインの対象であるデバイス3が挿入され得る。
図9は、比較例としてのバーンイン方法を実行するための装置の要部構造を示す垂直断面図である。また、図10は、図9に示した装置の下面図である。バーンイン工程に際しては、バーンインボード1のソケット2に挿入されたデバイス1の上面それぞれに対向して、図示するようなヒートシンクブロック11が伝熱接触される。ヒートシンクブロック11は、ヒートシンクボード31上に設けられた1対のヒートシンクブロック支持板51により下方を支えられ、また、デバイス3の方向にばね14により付勢がされている。このような構造のヒートシンクブロック11をヒートシンクボード31ごとデバイス3方向に下降させ押しつけることにより、ヒートシンクブロック11の先端部が、バーンインボード1上のデバイス3の姿勢に倣うようにこれに伝熱接触する。
ヒートシンクブロック11は例えば銅、ヒートシンクブロック支持板51は例えば鉄やステンレス、ヒートシンクボード31は例えばアルミニウムからなっている。
ヒートシンクブロック11中には、ヒータ12、温度センサ13、液体流路15が設けられている。ヒータ12は、発熱してデバイス3を加熱するため、液体流路15はその内部に水などの流体を流すことにより吸熱してデバイス3を放熱するため、温度センサ13は、デバイス3付近の温度が所定の温度になっているか否かを監視するため、それぞれ設けられる。ヒートシンクブロック11中の液体流路15には、これに接続するように給排管15aが延設されている(図10)。
図11は、図9、図10に示した装置の全体を概略的に示す下面図である。ヒートシンクボード31に設けられた各ヒートシンクブロック11は、その給排管15aにそれぞれ独立に入口配管部71A、出口配管部72Aにより弾性配管73を介して給水、排水がなされる。
この例では、デバイス3の温度をバーンイン温度(一般的には125℃)に保つため、デバイス3の最大発熱条件により必要な冷却能力が決定されている。そして、バーンインボード1上の最大発熱のデバイスに基づいて冷却液の温度が設定され、バーンイン温度に満たないデバイスに対してはヒータ12で加熱される。このような加熱による温度制御は、温度センサ13(またはデバイス3自身が有するサーマルダイオードなど)を使用して個別に温度検知してなされ、必要に応じてデバイス3に対するヒータ12加熱と冷却液の流量で個々に制御される。
次に、本発明の実施形態について図1ないし図4を参照して述べる。図1は、本発明の一実施形態に係るバーンイン方法を実行するための装置の要部構造を示す垂直断面図である。また図2は、図1に示した装置の下面図である。図1、図2において、すでに登場した構成要素と同一または同一相当のものには同一符号を付してある。
この実施形態のヒートシンクユニット10a(10b、…)は、図示するように、ヒートシンクボード31Aに支持ボルト21で支持され、さらに、ヒートシンクボード31Aとヒートシンクブロック11Aとに挟まれた位置の支持ボルト21に設けられたばね22により、ヒートシンクブロック(ヒートシンク部材)11Aが下方に付勢される。このような構造により、デバイスの高さ、傾きなどの姿勢の違いを吸収して、これに対してヒートシンクブロック11Aの先端部が伝熱接触できるようになっている。ヒートシンクブロック11Aは例えば銅、ヒートシンクボード31Aは例えばアルミニウムからなる。
各ヒートシンクユニット10a(10b、…)の間には、可撓性のある熱伝導部材41が渡されて4方向に連結されている(図2)。可撓性があるため、ヒートシンクブロック11Aの先端部とデバイスとの伝熱接触を阻害することはない。なお、バーンインの対象であるデバイスを設けるバーンインボードは、例えば図8に示したものと同様とすることができる。
図3は、図1中に示したA−Aa位置のおける矢視方向の断面図である。また、図4は、図3中に示したB−Ba位置における矢視方向の断面図である。これらの図においてすでに説明した図に登場した部位と同一のものには同一符号を付してある。
図3、図4に示すように、熱伝導部材41は例えば銅製の密閉容器(中空部材)41aを有し、その内部には少量の液状の作動液(液体の媒質41b)が真空封入され、かつ内壁に接触して毛細管構造41cを備えている。密閉容器41aは、筒形状を扁平につぶした薄型形状を有し、その両端は扁平をさらにつぶした態様で閉じられている(図4)。ヒートシンクユニット10a(10b、…)間の連結中間の熱伝導部材41は湾曲部が持たせられており、これにより個々のデバイスの高さ、傾きに応じてヒートシンクブロック11Aの姿勢が倣うようなっている。
差動液(媒質41b)は、バーンインの温度制御において制御温度付近の比較的高温で気化し比較的低温で液化する性質がある。したがって、熱伝導部材41で連結された各ヒートシンクブロック11A間の熱伝導性が大きく向上し、これらがほぼ熱平衡した状態に比較的たやすく達することになる。すなわち、ヒートシンクブロック11Aとデバイスとの接触状態において、もともとはデバイスの発熱量に比例してそれらに温度差が発生するのに対し、この実施形態では、デバイス発熱量の差が吸収されすべてのヒートシンクブロック11Aの温度がほぼ均一化した状態になる。
より具体的には、熱伝導部材41内では、高温部で作動液が蒸発(気化)して低温部にその蒸気が移動し、低温部で蒸気が凝縮(液化)してその凝縮液が毛細管現象で高温部に還流する。このような一連の相変化で温度の高いヒートシンクブロックから、温度の低いヒートシンクブロックへ熱がすばやく移動し温度差をなくすような作用が生じる。
デバイスとヒートシンクブロック11Aとが伝熱接触する状態において各ヒートシンクブロック11Aの熱平衡がとれれば、最小限の加熱(または冷却)制御が可能になる。その結果として、図1に示すように冷却(吸熱)機能を設けず、ヒートシンクボード31Aごと全体を一括して温度制御を行うように、ヒータ12の発熱を制御するようにできる。さらには、恒温槽を使用して雰囲気温度(Ta)のみで一括して制御するような構成も実現可能である。なお、図1では冷却機能を省いているが、当然ながら、デバイスの発熱量が大きく、雰囲気温度(Ta)を室温以下にする必要がある場合はヒートシンクブロック11Aに必要に応じ例えば図9に示したような冷却機能を設けてもよい。
また、熱伝導部材41は、上記のような構成の熱伝導部材でなくてもよい。例えば、可撓性のあるグラファイト系の素材でもよい。さらに、熱伝導部材41による連結をヒートシンクブロック11A間の縦横4方向に行うことに代えて、斜めを含む8方向や周辺を含める連結とすることもできる。連結が多いほど熱移動の効果は増加し好ましい。
次に、本発明の別の実施形態について図5ないし図7を参照して述べる。図5は、本発明の別の実施形態に係るバーンイン方法を実行するための装置の要部構造を示す垂直断面図である。また、図6は、図5中に示したC−Ca位置における矢視方向の断面図である。図1、図2において、すでに登場した構成要素と同一または同一相当のものには同一符号を付してある。
この実施形態は、上記の実施形態が四方のヒートシンクブロック11A間を熱伝導部材41で連結したところ、例えば銅製のヒートシンクブロック11B自体の内部に中空(媒質移動中空部16)を設け、さらにそれらの中空部を互いに媒質流路16a、弾性配管16bで接続するように構成している。媒質流路16a、弾性配管16bはヒートシンクブロック11B間の熱伝導部材として機能する。
媒質移動中空部16は、ヒートシンクブロック11Bの内部に環体状に設けられており、その四方放射状に隣のヒートシンクブロックとの接続用の媒質流路16aが突設されている。媒質流路16a突設からの逃げのためヒートシンクブロック支持板51Aには貫通孔が設けられる。ヒートシンクブロック支持板51Aの機能は、すでに説明した図9におけるヒートシンクブロック支持板51と同じである。弾性配管16bを用いるのは、ヒートシンクブロック11Bの先端部とデバイス3との伝熱接触の際に、ヒートシンクブロック11Bがデバイスの高さ、傾きに倣って確実な伝熱接触を行うのを阻害しないためである。
媒質移動中空部16内には、上記実施形態で説明した媒質41bを封入し異なるヒートシンクブロック11B間で閉回路を形成する。これにより、作用として、媒質流路16a、弾性配管16bを介したヒートシンクブロック11B間の熱の移動がなされる。よって、各ヒートシンクブロック11B間の熱伝導性が大きく向上し、これらがほぼ熱平衡した状態に比較的たやすく達することになる。ゆえに、ヒートシンクボード31Bごと全体を一括して温度制御を行うように、ヒータ12の発熱を制御するか、または液体流路15による冷却を制御するかという動作が可能になる。さらには、ヒータ12による発熱、液体流路15による冷却を用いることなしに、恒温槽を使用して雰囲気温度(Ta)を一括して制御するような構成も実現可能である。
図7は、図5、図6に示した装置の全体を概略的に示す下面図である。図7においてすでに説明した図に登場した部位と同一のものには同一符号を付してある。図示するように、弾性配管16bで互いの四方のヒートシンクブロック11Bが接続され、さらに、その接続は、最外側の中空枠状の部材とも連絡している。このような接続でいずれのヒートシンクブロック11Bも四方への接続が確保され、伝熱上好ましい。
この実施形態の場合、入口配管部71Aから出口配管部72Aまでの冷却用の弾性配管73は、各ヒートシンクブロック11Bで独立に設けるには及ばない。例えば、図示するように、一部の(この場合縦に並ぶ3つの)ヒートシンクブロック11Bで直列に弾性配管73を設け、これを別の複数のヒートシンクブロック11Bにおける直列接続弾性配管と並列に設ける。このような接続が可能なのは、ヒートシンクブロック11B間でのほぼ熱平衡の状態が容易に生じ得るので、厳密に個々の冷却を制御する必要性がないからである。すべて一列に直列接続していないのは、冷却能力が上流と下流で異なり過ぎるのを避けるためである。
本発明の各実施形態によれば、複数のデバイス個々に対応して温度制御する必要性が弱まり、一括的な温度制御で足りるようになる。これにより、デバイスの発熱量によるその仕分けがより単純化しバーンイン工程の作業効率が向上する。また、デバイス個々に対応する温度制御の必要性が小さいので、冷却/加熱に必要なエネルギの節約になる。
以上、本発明の実施形態を述べたが、以下のような変形も可能である。例えば、個々のヒートシンクブロック11A、11Bの先端部に加熱ヒータ12、温度センサ13を設けずに、ヒートシンクボード31A、31B全体をエリアで区分し、エリア単位に設けて設置数を減らしてもよい。熱伝導部材により各ヒートシンクブロック11A、11Bの温度が均一化されるためである。また、温度センサ13のみ設置数を減らすこともできる。
10a,10b…ヒートシンクユニット、11A,11B…ヒートシンクブロック、12…ヒータ、13…温度センサ、14…ばね、15…液体流路、15a…給排管、16…媒質移動中空部、16a…媒質流路、16b…弾性配管、21…支持ボルト、22…ばね、31A,31B…ヒートシンクボード、41…熱伝導部材、41a…密閉部材、41b…媒質、41c…毛細管構造、51A…ヒートシンクブロック支持板、71A…入口配管部、72A…出口配管部、73…弾性配管。
Claims (5)
- バーンインボード上の複数のデバイスそれぞれに対応して設けられ、かつ可撓性のある熱伝導部材で互いに結合された複数の部材を、前記複数のデバイスに伝熱接触させる工程と、
前記複数の部材を一括的に温度制御する工程と
を具備することを特徴とするバーンイン方法。 - 前記複数の部材が、それぞれ、吸熱または発熱する部位を有することを特徴とする請求項1記載のバーンイン方法。
- 前記熱伝導部材が、前記複数の部材を一括的に温度制御する前記工程における制御温度付近の比較的高温で気化し比較的低温で液化する媒質が封止された中空部材を有することを特徴とする請求項1記載のバーンイン方法。
- 前記複数の部材が、それぞれ、前記複数の部材を一括的に温度制御する前記工程における制御温度付近の比較的高温で気化し比較的低温で液化する媒質が封止された中空部を有することを特徴とする請求項1記載のバーンイン方法。
- バーンインボード上の複数のデバイスそれぞれに対応して伝熱接触し得る複数の部材と、
前記複数の部材間を結合する可撓性のある熱伝導部材と
を具備することを特徴とするバーンイン装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005142887A JP2006317403A (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | バーンイン方法、バーンイン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005142887A JP2006317403A (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | バーンイン方法、バーンイン装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006317403A true JP2006317403A (ja) | 2006-11-24 |
Family
ID=37538191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005142887A Withdrawn JP2006317403A (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | バーンイン方法、バーンイン装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016114498A (ja) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | 株式会社シバソク | 試験装置 |
US11158395B2 (en) | 2019-03-14 | 2021-10-26 | Toshiba Memory Corporation | Reliability evaluation apparatus |
-
2005
- 2005-05-16 JP JP2005142887A patent/JP2006317403A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
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US11158395B2 (en) | 2019-03-14 | 2021-10-26 | Toshiba Memory Corporation | Reliability evaluation apparatus |
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