JP2006317200A5 - - Google Patents
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- 自由曲面を有する被測定物の前記自由曲面の形状を、３個の位置マーク球を位置基準として測定する表面形状測定装置であって、
保持手段に保持された被測定物の表面を計測するプローブと、前記プローブを前記被測定物に対して３次元に移動させる移動体と、光源からの光を各位置マーク球に集束させ、該位置マーク球からの反射光から各位置マーク球の中心位置を測定するために、互いに異なる光軸方向に配備された２組の光学位置検出手段と、各位置マーク球に対する前記２組の光学位置検出手段による２組の２次元位置情報に基づいて各位置マーク球の３次元位置を演算する演算手段と、を有することを特徴とする表面形状測定装置。 - 各光学位置検出手段が、ポジションセンサーによって前記位置マーク球の反射光による点像の２次元位置を検出する検出光学系であることを特徴とする請求項１記載の表面形状測定装置。
- 各光学位置検出手段が、前記位置マーク球の画像を撮像手段によって撮像する検出光学系であることを特徴とする請求項１記載の表面形状測定装置。
- 前記２組の光学位置検出手段の出力に基づいて、エラー信号を発生することを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の表面形状測定装置。
- 前記２組の光学位置検出手段が、共通の光源と、前記光源から発生される光を前記２組の光学位置検出手段に分割する分割手段を有することを特徴とする請求項１ないし４いずれか１項記載の表面形状測定装置。
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