JP2006313005A - 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 - Google Patents

Abstract

【課題】増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供する。
【解決手段】集積パネル１とバルブ２とを環状ガスケットＧを用いて単一の円管状流体通路３，７シール状態で連通接続するに、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａに環状突起１１，２１を形成し、ガスケットＧには、環状突起１１，２１のそれぞれに嵌合すべく流体経路Ｗの外径側部分に形成された一対の環状溝５１，５１を有するフッ素樹脂製のものに構成し、集積パネル１とバルブ２とを引寄せて、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの環状突起１１，２１とガスケットＧの環状溝５１とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部が形成される接合状態を維持する維持手段Ｉを装備する。
【選択図】図２

Description

本発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造に係り、詳しくは、半導体製造や医療・医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等において今後需要が見込まれる流体用の集積パネルと、ポンプ、バルブ、アキュムレータ等の流体デバイスとをガスケットを介してシール状態で連通接続させるための接続構造に関するものである。

上記接続構造として、例えば、流体デバイスの一例であるバルブと、流体通路が内部形成された集積パネルとを一対の給排流路どうしを連通させて接続連結するものがあり、特許文献１や特許文献２において開示された接続構造が知られている。特許文献１で開示される接続構造は、一対の給排流路を近接させて配列し、夫々に独立したリング状のガスケットを介して複数のボルトで液密に接続連結させるものであり、特許文献２で開示される接続構造は、一対の給排流路を近接させて配列し、それら一対の給排流路に対応する一対の流路孔を有した単一のガスケットを単一の外ねじナットを用いて接続連結させるものである。

特許文献１や２に開示されている接続構造は、いずれも多数の流体機器を流体ブロックに集積させて取付ける構造、いわゆる集積配管構造を採るものであり、これは配管系全体のコンパクト化やモジュール化が可能となる点で有用なものである。
特開２００１−８２６０９号公報 特開平１０−１６９８５９号公報

上記特許文献１や２に開示された接続構造においては、ガスケットが挟み込まれた一対のフランジ部どうしを所定の面圧に達するまでボルトを締付けることにより、有効なシール性能を出すようになる。しかしながら、ボルトの締付け力が時間と共に低下することは避けられないので、締付け力低下、即ちトルクダウンによる接続部からの漏れを防止するには定期的に増し締めを行う必要があった。ガスケットを用いてシールする場合は非常に高い締付け力が必要になるので、集積パネルや流体デバイスの流体給排口部には高い強度が必要になるとともに、その接続連結するための作業性の点でも不利なものであった。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、流体の配管系統における集積パネルと流体デバイスとの接続構造に工夫を凝らすことにより、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することにある。

請求項１に係る発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、管状の流体通路３，４が開口する第１流体給排口部１Ａを備えた集積パネル１の前記第１流体給排口部１Ａと、管状の流体通路７，８が開口する第２流体給排口部２Ａを備えた流体デバイス２の前記第２流体給排口部２Ａとを、これら第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとの間に介在されるリング状のガスケットＧによって前記流体通路３，４，７，８をシールする状態で連通接続するにあたり、
前記第１流体給排口部１Ａ及び前記第２流体給排口部２Ａには、各端面に開口する前記各流体通路３，４，７，８の外径側部分に環状突起１１，２１が形成され、
前記ガスケットＧは、前記第１，第２流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する前記流体通路３，４，７，８どうしを連通すべく形成された流体経路Ｗと、前記第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された前記環状突起１１，２１のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路Ｗの外径側部分に形成された一対の環状溝５１，５１とを有する可撓性を備えた材料から構成されており、
前記第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いに前記ガスケットＧを介して引寄せられることにより、前記第１流体給排口部１Ａの前記環状突起１１と前記ガスケットＧの一端の環状溝５１とが、及び前記第２流体給排口部２Ａの前記環状突起２１と前記ガスケットＧの他端の前記環状溝５１とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部１０が形成され、かつ、前記第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面における前記環状突起１１，２１の内径側に形成される環状押え部分１２，２２と、前記ガスケットＧにおける前記環状溝５１を形成するために軸心方向に突出形成された内外の周壁端部５２，５３のうちの内径側の周壁端部５２とが当接して、前記内径側の周壁端部５２が前記環状溝５１と前記環状突起１１，２１との嵌合によって縮径変形するのを抑制又は阻止する拡縮変形防止手段Ｙが形成される接合状態が構成され、
前記拡縮変形防止手段Ｙは、前記環状押え部分１２，２２と前記環状突起５１とで囲まれた谷部１４，２４が奥窄まり状となるように前記環状押え部分１２，２２における環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面１２ａ，２２ａと、前記内径側の周壁端部５２に形成されたテーパ周面５２ａとの圧接によって構成されていることを特徴とするものである。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記環状押え部分１２，２２のテーパ周面１２ａ，２２ａと前記内径側の周壁端部５２のテーパ周面５２ａとの圧接によってシール部Ｓ２を形成るように構成されていることを特徴とするものである。

請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記ガスケットＧの断面形状が略Ｈ型形状を呈するものに構成されていることを特徴とするものである。

請求項４に係る発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記環状溝５１に前記環状突起１１，２１を入れ易くすべく、前記環状突起１１，２１がその先端の内周角部及び／又は外周角部が面取りされた断面先細り形状に形成されていることを特徴とするものである。

請求項５に係る発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記嵌合シール部１０及び前記拡縮変形防止手段Ｙが形成される前記接合状態を維持する維持手段Ｉが装備されていることを特徴とするものである。

請求項６に係る発明は、請求項５に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記維持手段Ｉは、前記第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとを引寄せて前記接合状態を得るための引寄せ機能を発揮するものに構成されていることを特徴とするものである。

請求項１の発明によれば、第１、２流体給排口部にそれぞれに形成された環状突起と、ガスケットの一端面及び他端面にそれぞれ形成された環状溝とが、軸線方向の相対移動によって互いに嵌り合って嵌合シール部を形成するので、これら両者が多少軸線方向にずれ動くことがあっても環状突起と環状溝とによる嵌合シール部のシール機能が維持され、第１，２流体給給排口部間からの液漏れを阻止する優れたシール性を発揮し続けることが可能になる。つまり、第１、２流体給排口部どうしを、その引寄せられる方向において嵌合しあう構造とするものであり、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。

例えば、半導体製造設備における洗浄装置の配管系統にこのような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら装置の占有面積を減少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることによって循環流量を多くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるという効果を奏することが可能である。

ところで、凹に凸を挿入しての嵌合構造においては、例えこれら両者が互いに同じ材質のものであっても、凸側の部材は殆ど変化（圧縮変形）せず、凹側の部材が拡がり変形する傾向のあることが一般に知られている。そこで、本請求項１においては、流体デバイスに凸である環状突起を、かつ、ガスケットに凹である環状溝を形成する構成としてあるので、クリープや経時変化によって変形するのは、集積パネルや流体デバイスに比べて小さな部品であるガスケット側であって集積パネルや流体デバイス側は殆ど変形しないから、ガスケットを交換することで長期に亘って良好なシール性能を維持し得る利点が廉価に実現される効果もある。

前述したように、凹凸嵌合においては凹側が広がり変形し易い傾向があるから、それは即ち本発明においては環状溝を形成するためにガスケットに形成される内外の周壁端部が拡がり変形することを意味している。そこで、それら内外の周壁端部のうちの流体経路が存在する内径側の周壁端部の拡がり変形を抑制又は阻止する内径側の環状押え部分を第１及び第２流体給排口部に形成してあるから、内径側の周壁端部の拡がり変形が解消又は軽減されて環状突起の内周面と環状溝の外周面とが強い圧接力でもって嵌合でき、これら両者の嵌合による優れたシール機能を所期どおりに発揮させることができる。しかも、環状押え部分が存在することによって内径側の周壁端部の剛性不足を補うことができるので、これらが存在しない場合に比べてガスケットの内径側の周壁端部の厚みを薄くすることが可能であるから、ガスケットの幅寸法を小さくして流体通路の全体径のコンパクト化、つまりは集積パネルと流体デバイスとの接続構造としてのコンパクト化が図れる利点もある。

そして、接合状態においては、第１及び第２流体給排口部の環状突起と、各ガスケットの一端面又は他端面の環状溝との嵌合部分の内径側に、第１及び第２流体給排口部のテーパ周面とガスケットのテーパ周面とが圧接される構成が存在しており、それらテーパ周面どうしの当接により、接続構造部分をコンパクト化することが可能である。加えて、テーパ周面どうしを圧接させる構造であるから、集積パネルや流体デバイスとガスケットとを強く押し付けるに従って圧接力が増し、上記コンパクト化及び環状突起と環状溝との嵌合によるシール性能向上効果をより強化できる利点がある。また、それによってテーパ周面どうしの間における液溜りの生じない接続構造とすることが可能である。

また、拡縮変形防止手段により、接合状態においてはガスケットの環状溝が拡がらないようになるので、環状溝の開口部付近の部位（先端部）と環状突起の根元付近の部位（基端部）との強い圧接状態、即ち優れたシール状態を実現及び保持することができる。この環状突起の根元部位での確実なシール機能により、流体やそれに含まれる混合物、異物が環状溝の根元部分に及び難く又は及ばないようになり、使用後においてシール部に流体等が残留することが無く、クリーンな状況を維持できる利点も得られる。

請求項２の発明によれば、接合状態においては、第１及び第２流体給排口部の環状突起と、各ガスケットの一端面又は他端面の環状溝との嵌合による嵌合シール部が形成されるに加えて、環状押え部分とガスケットにおける内径側の周壁端部との圧接によるシール部が形成されるので、これら複数のシール部によってシール性が強化されるようになり、より優れたシール性能を持つ集積パネルと流体デバイスとの接続構造とすることができる。

請求項３の発明によれば、ガスケットの断面形状が略Ｈ型のものに形成されるので、例えば横倒しＴ型形状のものに比べてガスケットやこれと嵌合される部分である第１、第２流体給排口部の設計、製作が容易化されるとともに、集積パネルや流体デバイスに嵌合される場合のバランス（強度バランス、組付けバランス）に優れたものにできる。

請求項４の発明によれば、環状突起の内周角部及び／又は外周角部を面取りした先細り形状として、環状突起が環状溝に入り易くなるようにしてあるから、第１，第２流体給排口部とガスケットとの相対位置が多少ずれている状態でも、これら両者が引寄せられることによる環状突起と環状溝との嵌合が確実に行われるようになる。その結果、ガスケットを介して第１，第２流体給排口部を引寄せる組付け操作が多少粗いものであっても、環状突起と環状溝とが確実に嵌合されて嵌合シール部が確実に機能する好ましい集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。

請求項５の発明によれば、維持手段によって、両流体給排口部どうしが互いにガスケットを介して引寄せられた接合状態を維持できるので、集積パネルと流体デバイスとが液漏れなく良好なシール性を確保し得る状態を長期に亘って維持可能となり、信頼性に優れる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。その結果、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる、という作用効果をより強化することが可能になる。

請求項６の発明によれば、維持手段は第１流体給排口部と第２流体給排口部との接合状態を維持するだけでなく、第１流体給排口部と第２流体給排口部とを引寄せて接合状態を得るための引寄せ機能も発揮できるので、他に引寄せ手段を用意する必要が無くなり、全体としての組付け手間の省略化やコストダウンが可能となる利点がある。

以下に、本発明による集積パネルと流体デバイスとの接続構造の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図１〜図３は実施例１による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を示し、図４，５はそれぞれ実施例２，３による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を示し、図６〜図１２は維持手段の別構造を示し、図６は第１別構造、図７，８は第２別構造、図９，１０は第３別構造、図１１は第４別構造、図１２は第５別構造である。また、図１３は環状突起の別構造である。

〔実施例１〕
実施例１による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図１、図２に示す。この集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、一対の円管状の流体通路３，４が内部形成された集積パネル１と、これの上面１ａにリング状のガスケットＧを介して搭載されるバルブ（開閉バルブ、ストップバルブ等）２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する単流路型のものである。つまり、給排用として一対の接続構造が互いに同一のものとして構成されている。

集積パネル１は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３ａ，４ａと横向きの横通路３ｂ，４ｂとから成る一対の円管状の供給側流体通路３，４が形成されたものである。この集積パネル１における給排流体通路３，４が開口する部分を第１流体給排口部１Ａと称するものとし、この第１流体給排口部１Ａにおいては、円管状の縦通路３ａ，４ａのそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ａには、その上端面に開口する各流体通路３，４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起２１を有する下第１シール端部ｔ２１及び下第２シール端部ｔ２２が形成されている。

バルブ（流体デバイスの一例）２は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａから下方突出する状態で縦向きに配された円管状の供給側流体通路７と、この供給側流体通路７の横側方に離れて開口する状態で縦向きに配された円管状の排出側流体通路８とを有した第２流体給排口部２Ａに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ａにおいては、円管状の供給側流体通路７，８のそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。つまり、バルブケース６下端には、一対のボルト挿通孔９ａを有するＰＦＡやＰＴＦＥ又はその他の材料によるフッ素樹脂製の取付フランジ９の一対が下方突出形成されており、流体通路７，８を有する管部９Ａとフランジ部（外向きフランジ）９Ｂとで各取付フランジ９が形成されている。供給側の取付フランジ９が、下方突出する環状突起１１を有する上第１シール端部ｔ１１に形成され、排出側の取付フランジ９が、上方突出する環状突起１１を有する上第２シール端部ｔ１２に形成されている。

一対のガスケットＧは互いに同一のものであり、その構造を供給側のガスケットＧを例に挙げて説明する。さて、ガスケットＧは、供給側の上下の流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路である縦通路３ａ及び供給側流体通路７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路Ｗ１と、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された上第１シール端部ｔ１１の環状突起１１と上第２シール端部ｔ１２の環状突起２１のそれぞれに嵌合すべく流体経路Ｗ１の外径側部分に形成された上下一対の環状溝５１，５１とを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものに構成されている。

つまり、ガスケットＧの断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁５４，５５も左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部は、内周面５４ａである流体経路Ｗ１の上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面５２ａ，５２ａに形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面５３ａ，５３ａに形成されている。

集積パネル１の第１流体給排口部１Ａの下第１シール端部ｔ２１の環状突起２１及びバルブ２の第２流体給排口部２Ａの上第１シール端部ｔ１１における環状突起１１の内及び外径側に、ガスケットＧにおける環状溝５１を形成するために軸心Ｐ方向に突出形成された内外の周壁端部５２，５３が、環状溝５１と環状突起１１，２１との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起（環状押え部分の一例）１２，１３，２２，２３が形成されている。

上記環状押え突起に関する構造を、ガスケットＧと上第１シール端部ｔ１１とについて説明する。内外の環状押え突起１２，１３は対称のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面１２ａ及びテーパ内周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１シール端部ｔ１１は、環状突起１１とその内外の両側に形成される環状押え突起１２，１３及び谷部１４，１５の総称である。

ガスケットＧの内外の周壁５４，５５の上端部は、環状押え突起１２，１３のテーパ外周面１２ａとテーパ内周面１３ａのそれぞれに当接するテーパ内周面５２ａとテーパ外周面５３ａを有して１４，１５に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起（周壁端部の一例）５２，５３を有し、接合状態（図１参照）においては、内外の周壁５４，５５の上端部である環状シール突起５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１シール端部ｔ１１のテーパ外周面１２ａとガスケットＧのテーパ内周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１シール端部ｔ１１のテーパ内周面１３ａとガスケットＧのテーパ外周面５３ａとが圧接されるように構成されている。

しかして、ガスケットＧの上端部には、環状溝５１とその内外の環状シール突起５２，５３とで上シール部ｇ１１が形成され、同様に下端部には下シール部ｇ１２が形成されている。上シール部ｇ１１は上第１シール端部ｔ１１と嵌合して嵌合シール部１０を形成し、下シール部ｇ１２は下第２シール端部ｔ２１と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。

嵌合シール部１０の嵌合構造を、上第１シール端部ｔ１１とガスケットＧの上シール部ｇ１１について詳細に説明すると、図２、図３に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の環状シール突起５２，５３どうしは互いに対称であって、内外の谷部１４，１５全体の挟角α°と内外の環状シール突起５２，５３全体の向い角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（２０〜４０°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１シール端部ｔ１１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、上内環状押え突起１２と上内環状シール突起５２とは、それらのテーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図３の仮想線を参照）、流体通路Ｗ１を通る流体がこれら外内のテーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むことをも阻止する二次シール部Ｓ２として機能する利点が得られる。

つまり、維持手段Ｉ（後述）が作動する等によって第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いにガスケットＧを介して引寄せられることにより、第１流体給排口部１Ａの環状突起１１とガスケットＧの一端の環状溝５１とが、及び第２流体給排口部２Ａの環状突起２１とガスケットＧの他端の環状溝５１とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部１０が形成され、かつ、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面における環状突起１１，２１の内及び外径側に形成される環状押え突起１２，１３，２２，２３と、ガスケットＧにおける環状溝５１を形成するために軸心方向に突出形成された内外の環状シール突起５２，５３とが当接して、内外の環状シール突起５２，５３が環状溝５１と環状突起１１，２１との嵌合によって拡がり変形するのを抑制又は阻止する拡縮変形防止手段Ｙが形成される接合状態が構成されている。

拡縮変形防止手段Ｙは、実質的には、各環状押え突起１２，１３，２２，２３のテーパ外周面１２ａ，２２ａ、テーパ内周面１３ａ，２３ａで構成されており、対応するガスケットＧのテーパ内（外）周面５２ａ，５３ａが、これらテーパ外及び内周面１２ａ，２２ａ，１３ａ，２３ａに当接（圧接）することによって、各環状シール突起５２，５３が環状溝５１側に寄る方向に変形しようとする分力が生じるのである。つまり、内環状シール突起５２は外径側に押付けられ、外環状シール突起５３は内径側に押付けられるので、環状溝５１が狭まるように、即ち、環状突起１１，２１を径方向に締付ける作用が生じるのである。この場合、各環状シール突起５２，５３は、それらの先端側ほど分力が強く作用するので、環状突起１１，２１の根元側ほど（環状シール突起５２，５３の先端側ほど）強く押付けられる傾向になる。

従って、もしも流体が二次シール部Ｓ２を越えて一次シール部Ｓ１に及ぶことが生じても、その流体は嵌合シール部１０の入り口部分でシールされることとなり、嵌合シール部１０の奥深く、即ち嵌合溝５１の内奥部には入り込まないようになり、嵌合溝５１の内奥に流体や混合物、異物等が残り、以後に通過する流体の純度や性状に悪影響を及ぼす不都合が生じ難い利点がある。

そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定されており、好ましくはｄ１×（０．６〜０．８）＝ｄ２という関係に設定すると良い。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起１１と上環状溝５１とが、詳しくは、上環状突起１１の内外の両側周面と相対応する上環状溝５１の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次シール部Ｓ１が形成されるとともに、上内環状押え突起１２のテーパ外周面１２ａと上内環状シール突起５２のテーパ内周面５２ａとが必ず当接することになり、前述した二次シール部Ｓ２が良好に形成される利点がある。

嵌合シール部１０については、図３に示すように、内径側の一次シール部Ｓ１を確実に機能させるべく、環状突起１１（２１）及び環状溝５１夫々の軸心Ｐに対する半径をＲ１，Ｒ２としたときに、Ｒ１＜Ｒ２が成り立つように設定すれば好都合である。また、環状押え突起１２，２２（１３，２３）の軸心Ｐ方向に沿う高さｈ３と環状突起１１（２１）の突出長さｈ１との関係は、図３に示すｈ１＞ｈ３という関係以外に、ｈ１＝ｈ３という関係の場合や、ｈ１＜ｈ３という関係の場合でも良い。

また、内側の環状押え突起１２の先端、及び環状シール突起５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起１２の先端が流体通路Ｗ１側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路Ｗ１途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂとテーパ内周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内周角部及び外周角部は面取り加工された面取り形状部１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。

尚、図１３（ａ）に示すように、環状突起１１を、その先端の内周角部及び外周角部の面取り形状部１１ａを明確に大きくした断面先細り形状に形成することにより、環状突起１１，２１が環状溝５１に入り易くされた構成としても良い。このように構成すれば、第１，第２流体給排口部１Ａ，２ＡとガスケットＧとの組付け時における相対位置が所期する適性状態から多少ずれていることがっても、テーパ面状の内又は外の面取り形状部１１ａがガイドとなって環状突起１１，２１が確実に環状溝５１内へ導かれるようになるのである。この場合の嵌合シール部１０は、環状突起１１，２１の根元部と環状溝５１の先端部との嵌合部によって形成される構成となる。

また、図１３（ｂ）に示すように、面取り形状部１１ａをさらに大きくして、環状突起１１，２１の内外の側周面が全て傾斜したテーパ側周面１１ａとなるよう、極端に先細り形状化させた構成としても良い。この場合には、環状突起１１，２１の環状溝５１への入り易さがさらに容易になるとともに、環状突起１１，２１が環状溝５１を押し広げる楔効果が生じて、環状溝５１の先端部と環状突起１１，２１の根元部とが線接触又は極小さい面積でもって周状に圧接されることとなり、より確実にシール機能を発生させることが可能となる利点がある。

外側の環状押え突起１３は、環状押え突起１３のテーパ内周面１３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部９ｂが存在しており、内側の環状押え突起１２とは全体としての形状は異なる。そして、下第１シール端部ｔ２１に関しても、環状押え突起２３のテーパ内周面２３ａに続く状態で、パネル材５の上端部を形成するための上端内周部５ｂが存在しており、やはり、内側の環状押え突起２２とは全体としての形状が異なる。これら上及び下端内周部５ｂ，９ｂは、ガスケットＧの上及び下シール部ｇ１１，ｇ１２を上及び下第１シール端部ｔ１１，ｔ２１に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面１３ａ，２３ａと共にガスケットＧの外周壁５５の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。

なお、図６に仮想線で示すように、ガスケットＧの外周壁５５に横突出するリング状の脱着フランジ１ｆを一体形成しておけば、第１又は第２流体給排口部１Ａ，２ＡからガスケットＧを抜出す際に、工具や手指でフランジ１ｆを引張る等して外し易くすることができるという利点がある。この場合、脱着フランジ１ｆの厚みは、接合状態における第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａどうしの間隙よりも小さい値とする。

嵌合シール部１０についてさらに詳述する。図２、図３に示すように、環状押え突起１２，１３のテーパ周面１２ａ，１３ａの開き角（谷部１４，１５の開き角）Ｄは５０〜７０度の範囲の値（５０°≦Ｄ°≦７０°）に設定されるとともに、環状シール突起（周壁端部）５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａの尖り角Ｅは６０〜８０度の範囲の値（６０°≦Ｄ°≦８０°）に設定されている。そして、開き角Ｄと尖り角Ｅとには、開き角Ｄに１０〜２０度を加えたものが尖り角Ｅとなる［Ｄ°＋（１０〜２０°）＝Ｅ°］ように設定されている。より好ましい値としては、開き角Ｄが６９〜７１度（Ｄ°＝７０±１°）、尖り角Ｅが７９〜８１度（Ｅ°＝８０±１°）、及び尖り角Ｅは開き角Ｄ＋９〜１１度（Ｅ°−Ｄ°＝１０±１°）に設定すると良い。

また、環状押え突起１２の傾斜カット面１２ｂのカット角Ｄｓは４９〜５１度（Ｄｓ°＝５０°±１°）に設定されており、周壁端部５２，５３の先端カット面５２ｂ，５３ｂの迎え角Ｅｓは１２４〜１２６度（Ｅｓ°＝１２５°±１°）に設定されている。このような角度設定により、テーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとは環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が二次シール部Ｓ２において発揮されるようになる。また、テーパ内周面１３ａとテーパ外周面５３ａとの間にも、それらの外径側端部においてシール作用が生じる。尚、図示は省略するが、下端内周部９ｂが存在しない場合（集積パネルや流体デバイスにおけるガスケットＧとの嵌合部の断面形状が左右対称である場合）は、外側の環状押え突起１３にも傾斜カット面１２ｂと同様な傾斜カット面が形成され、前記シールリップ効果が生じる。

つまり、前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する前記環状シール突起（周壁端部）５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａ（テーパ内周面５２ａ、テーパ外周面５３ａ）の尖り角Ｅが、前記引寄せ方向に対する前記環状押え突起１２，１３における環状突起１１側のテーパ周面１２ａ，１３ａ（テーパ外周面１２ａ、テーパ内周面１３ａ）の開き角Ｄに１０〜２０度、好ましくは１０度又はほぼ１０度加えた値に設定されている。そして、前記尖り角Ｅが６０〜８０度、好ましくは８０度又はほぼ８０度に設定されている。

このように尖り角Ｅ及び開き角Ｄを９０度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状押え突起１２，１３は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出量が小さくなって相対的に強度、剛性が向上することとなり、環状シール突起５２，５３の拡がりを規制しながらも、自身（環状押え突起１２，１３）が径方向へ拡がり変形するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、環状シール突起５２，５３の谷部１４，１５への刺さり込みによってテーパ周面５２ａ，５３ａが環状押え突起１２，１３を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起１２，１３の径方向への拡がり変形を抑制することができる。

次に、維持手段Ｉについて説明する。維持手段Ｉは、図２、図３に示すように、集積パネル１の第１流体給排口部１Ａとバルブ２の第２流体給排口部２Ａとが互いにガスケットＧを介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第１流体給排口部１Ａの上第１シール端部ｔ１１と、ガスケットＧの上シール部ｇ１１とが、及び第２流体給排口部２Ａの下第１シール端部ｔ２１と、ガスケットＧの下シール部ｇ１２とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部１０が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第２流体給排雄口部２Ａの環状突起１１とガスケットＧの上側の環状溝５１とが、及び第１流体給排雄口部１Ａの環状突起２１とガスケットＧの下側の環状溝５１とがそれぞれ嵌め合わされる。

維持手段Ｉの具体構造は、第２流体給排口部２Ａのフランジ部９Ｂのボルト挿通孔９ａに挿通される一対のボルト６６と、一対のボルト挿通孔９ａ，９ａに対応して第１流体給排口部１Ａに（パネル材５に）形成されたナット部６７，６７とで構成されており、ボルト６６をナット部６７に螺着させての締め付け操作により、バルブ２を集積パネル１に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる引寄せ機能付の維持手段Ｉに構成されている。また、経時変化やクリープ等が生じて各嵌合シール部１０の圧接力が低下した場合には、ボルト６６を増し締めすることで対処することができ、良好なシール性能を維持することが可能である。

〔実施例２〕
実施例２による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図４に示す。これは、流体デバイスの一例であるフィルタ２と集積パネル１とを接続連結させる構造であり、接続構造自体は図１〜３に示す実施例１によるものと同じである。従って、同じ箇所には同じ符号を付すものとし、その説明は割愛する。

フィルタ２は、本体ケース２Ｋと下部ケース２Ｂと濾過体２Ｃとから成り、下部ケース２Ｂには供給側の流体通路７と排出側の流体通路８、及びこれら流体通路７，８を有する状態で横に張り出し形成される一対の取付フランジ９，９が形成されている。これら取付フランジ９，９と集積パネル１とがガスケットＧを介して接続連結される。

〔実施例３〕
実施例３による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、図５に示すように、集積パネル１と流体デバイスの一例であるレギュレータ２との接続構造である。レギュレータ２は、上部ケース、中間ケース、及び下部ケースから成るケーシング２Ｃを有し、上部ケースと中間ケースとの間で外周部が挟持されるベローズ（図示省略）、中間ケースと下部ケースとの間で外周部が挟持される弁体（図示省略）、下部ケースに収容される戻しバネ（図示省略）等から構成されている。

ケーシング２Ｃには横側方に張り出し形成される一対の取付フランジ９，９が一体的に装備されており、これら取付フランジ９，９を用いてレギュレータ２が集積パネル１の上面１ａにガスケットＧを介して接続連結される。このガスケットＧを介しての取付フランジ９と集積パネル１の上面１ａとの接続構造は、図１〜図３に示す実施例１によるものと同じであり、その詳細説明は割愛する。

〔実施例４〕
実施例４による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図６，７に示す。これは実施例１によるものと維持手段Ｉが異なるのみであり、その第１別構造の維持手段Ｉについて説明する。なお、図６，７においては、図１〜３に示す実施例１のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第１別構造による維持手段Ｉは、図６及び図７に示すように、集積パネル１の上面に形成された平面視で円形を呈する突起状の第１流体給排口部１Ａの外周部に雄ネジ１ｎを形成し、その雄ネジ１ｎに螺合自在な雌ネジ８１ｎを備えた筒状ナット８１と、バルブ２のバルブケース６の下端部に形成された外向きフランジ９に、環状の流体通路７の軸心Ｐ方向で干渉する二つ割り、または三つ割り以上の割型リング８２とから構成されている。第１流体給排口部１Ａの雄ネジ１ｎに雌ネジ８１ｎを螺着させての筒状ナット８１の締付け操作により、両流体給排口部１Ａ，２Ａを互いにガスケットＧを介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能な引寄せ機能付きの維持手段Ｉに構成されている。

筒状ナット８１のバルブ２側（上側）に形成される内向きフランジ８３の開口部８３ａは、外向きフランジ９の通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。割型リング８２の外径は、筒状ナット８１に入り込み自在となるよう雌ネジ８１ｎの内径よりも僅かに小さい寸法に設定され、かつ、内径は、バルブ２の円形の第２流体給排口部２Ａの外径部に外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。この場合、割型リング８２を装備するには、第２流体給排口部２Ａにおける外向きフランジ９を除いた径の細い部分の軸方向長さが、筒状ナット８１の軸方向長さと割型リング８２の厚さとの和を上回る値とすることが必要である。具体的には、図７（ｂ）に示すように、バルブケース６の付根部６ｔに当接させた状態の筒状ナット８１と外向きフランジ９との間の長さｄ３が、割型リング８２の厚さｄ４よりも大きいこと（ｄ３＞ｄ４）が条件となる。

また、筒状ナット８１における雌ネジ８１ｎの内奥端部と内向きフランジ８３との間に、割型リング８２に軸方向に摺動自在で、かつ、割型リング８２の幅寸法をカバーする軸心Ｐ方向長さを有する内周面部８１ｍが軸心Ｐと同心にフラットな内周面に形成されている。すなわち、筒状ナット８１の雌ネジ８１ｎと内向きフランジ８３との間における内径部８１ａが供給側流体通路７と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部８１ｍの内径が断面矩形に形成された割型リング８２の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定される一方、第２流体給排口部２Ａの外径部が供給側流体通路７と同心にフラットな外周面に形成され、かつ，その外径部の外径と、割型リング８２の内径とがほぼ同一径に形成される。これにより、筒状ナット８１を螺進させた際に割型リング８２が傾いて抉るような状態になったり、外向きフランジ９に筒状ナット８１の螺進による軸心Ｐ方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効に外向きフランジ９を押して、第１、第２流体給排口部１Ａ，２Ａを互いに接近する方向に良好に引寄せることができるようにされている。

第１別構造の維持手段Ｉを用いて両流体給排口部１Ａ，２Ａどうしを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図７（ａ）に示すように、外向きフランジ９をやり過ごして筒状ナット８１をバルブ２の第２流体給排口部２Ａの外周に嵌装し、その最内奥側まで（付根部６ｔに当接するまで）移動させる。次いで、図７（ｂ）に示すように、割型リング８２を、外向きフランジ９と筒状ナット８１の先端との間を通して第２流体給排口部２Ａに外嵌装備させる。このとき又はその前にガスケットＧをいずれかの流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に環状突起１１，２１，３１，４１と環状溝５１，６１との仮嵌合を介して装着させておいてもよい。次いで、ガスケットＧを介して第１流体給排口部１Ａを第２流体給排口部２Ａにあてがい、その状態で筒状ナット８１をスライド移動させてから締付け操作［図７（ｃ）参照］することにより、図６に示す接続状態が得られる。なお、図７においては、上下に積層される集積パネル１とバルブ２とを、図面記載都合により横倒し状態で描いてある。

〔実施例５〕
実施例５による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図８，９に示す。これは実施例１によるものと維持手段Ｉが異なるのみであり、その第２別構造の維持手段Ｉについて説明する。なお、図８，９においては、図１〜３に示す実施例１のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第２別構造の維持手段Ｉは、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａをその端面側ほど径が大きくなるように拡径して成る第１及び第２裁頭円錐台状端部１Ｄ，２Ｄと、第１裁頭円錐台状端部１Ｄのテーパ外周面１ｄに当接する第１テーパ内周面８４ａ、及び、第２裁頭円錐台状端部２Ｄのテーパ外周面２ｄに当接する第２テーパ内周面８４ｂとによって断面が略く字状を呈する内周面を有する一対の半割円弧部材８４，８４で成る割型押えリング８５と、半割円弧部材８４，８４どうしを引寄せるボルト８６及び一方の半割円弧部材８４に形成されたナット８７とを有して構成されている。

接合状態における第１裁頭円錐台状端部１Ｄと第２裁頭円錐台状端部２Ｄとに跨らせて一対の半割円弧部材８４を被せた状態において、他方の半割円弧部材８４の挿通孔に８４ｈに通されたボルト８６及びナット８７の締め付けにより、一端が蝶番状に支点Ｑで枢支されている半割円弧部材８４，８４どうしが引寄せられることによるテーパ面どうしの当接による力によって、各流体給排口部１Ａ，２Ａどうしが互いに引寄せられる。割型押えリング８５は、フッ素樹脂材から形成されのが好ましいが、アルミ合金等のそれ以外の材料から成るものでも良い。

第２別構造の維持手段Ｉを用いて両流体給排口部１Ａ，２Ａどうしを接続連結する操作手順は次のようである。まず、図９（ａ）に示すように、第１，第２流体給排口部１Ａ，２ＡをガスケットＧを介して軽く接続連結させる予備連結操作を行う。次に、図９（ｂ）に示すように、その予備連結された第１及び第２裁頭円錐台状端部１Ｄ，２Ｄに割型押えリング８５を被せてボルト８６による締め付け操作を行う。このボルト８６の締め付けにより、ガスケットＧが各流体給排口部１Ａ，２Ａに深く嵌り込み、図９（ｃ）に示すように、集積パネル１とバルブ２との接続連結状態が得られる。

〔実施例６〕
実施例６による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図１０に示す。これは実施例１によるものと維持手段Ｉが異なるのみであり、その第３別構造の維持手段Ｉについて説明する。なお、図１０においては、図１〜３に示す実施例１のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第３別構造の維持手段Ｉは、集積パネル１の上面に、外周部に雄ネジ１ｎを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突起状の第１流体給排口部１Ａと、第２流体給排口部２Ａにおいて外周部に雄ネジ９ｎを有する状態でバルブケース６の下端部に形成されたフランジ部９と、これら両雄ネジ１ｎ，９ｎに螺着自在な雌ネジ９１ｎ，９２ｎを有する第１及び第２リングナット９１，９２と、これらリングナット９１，９２の外周溝９１ｍ、９２ｍに嵌着可能な断面形状が略コ字状の係合リング９３とから構成されている。

両リングナット９１，９２及び係合リング９３は、例えばＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製であり、ある程度の可撓性を有している。そこで第３別構造の維持手段Ｉを用いて両流体給排口部１Ａ，２Ａどうしを接続連結する手順は、予め各リングナット９１，９２に係合リング９３を係着して一体化された第１及び第２リングナット９１，９２を形成しておき、その一体化された第１，２リングナット９１，９２を、ガスケットＧを介して互いに引寄せられて組付状態とされている第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａに螺装し、集積パネルと流体デバイスとの接続構造を形成する、という具合になる。勿論、この場合は各雄ネジ１ｎ，９ｎが互いに同一のネジであることが条件であり、螺装後に各リングナット９１，９２を回してより強く締付けたり、或いは後に増し締めすることが行える。

また、次のような組付け手順も可能である。即ち、それぞれのリングナット９１，９２を対応する雄ネジ１ｎ，９ｎに螺装した状態で、両流体給排口部１Ａ，２ＡをガスケットＧを介して引寄せ、ガスケットＧが圧接されてのシール状態で接続する引寄せ工程を行う。この引寄せ工程は、維持手段Ｉとは別の専用の引寄せ手段を用いて行う。それから、各雄ネジ１ｎ，９ｎのそれぞれに互いに隣接する状態で螺装されている第１及び第２リングナット９１，９２の外周溝９１ｍ，９２ｍに、係合リング９３を強制的に拡径変形することで入れ込むことにより、集積パネルと流体デバイスとの接続構造が形成される。つまり、係合リング９３は無理嵌めによって両リングナット９１，９２に係着される。

この構成による維持手段Ｉは文字通り、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２ＡのガスケットＧを介してのシール接続状態を維持する機能だけを有するものである。しかしながら、各リングナット９１，９２と係合リング９３とは相対回動可能であるから、これらリングナット９１，９２は共に単独での回動移動が可能であり、経時変化やクリープ等によってシール圧接力が低下した場合には、いずれか若しくは双方のリングナット９１，９２を強制的に回動操作して、増し締め操作を行うことは可能である。

〔実施例７〕
実施例７による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図１１に示す。これは実施例１によるものと維持手段Ｉが異なるのみであり、その第４別構造の維持手段Ｉについて説明する。第４別構造の維持手段Ｉは、図１１に示すように、集積パネル１の上面に、外周部に雄ネジ１ｎを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突起状の第１流体給排口部１Ａと、第２流体給排口部２Ａにおいて外周部に雄ネジ９ｎを有する状態でバルブケース６の下端部に形成されたフランジ部９と、これら両雄ネジ１ｎ，９ｎに螺着自在な雌ネジ１０１ｎを有する筒状ナット１０１とから構成されている。

筒状ナット１０１は、先端側の雌ネジ１０１ｎと基端側の内向きフランジ１０２との間に、雄ネジ１ｎ，９ｎよりも大径の抉り内周部１０１ａが形成されており、内向きフランジ１０２は、軸心Ｐ方向においてフランジ部９に干渉する内径寸法に形成されている。図１１に示す組付け状態では、流体デバイス２の雄ネジ９ｎは抉り内周部１０１ａに収容されており、集積パネル１の雄ネジ１ｎと雌ネジ１０１ｎとのみが螺合した状態であり、これによって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａどうしが互いに引寄せられた状態を維持している。

組付けるには、まず、筒状ナット１０１の雌ネジ１０１ｎを流体デバイス２のフランジ部９の雄ネジ９ｎに螺合させて締め込み、雄ネジ９ｎをやり過ごして抉り内周部１０１ａに回転自在に収容する状態にしておき、その状態でガスケットＧを介して集積パネル１の雄ネジ１ｎに雌ネジ１０１ｎを螺合させて締付ける。すると、筒状ナット１０１はフランジ部９の雄ネジ９ｎとは相対的に空回りするので、集積パネル１のみが締め付けによって螺進し、その結果、集積パネル１と流体デバイス２とが引寄せられ、ガスケットＧによって流体通路３，７がシール状態で連通接続される引寄せ状態が維持されるのであり、引寄せ機能付の維持手段Ｉに構成されている。

〔実施例８〕
実施例８による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図１２に示す。これは実施例１によるものと維持手段Ｉが異なるのみであり、その第５別構造の維持手段Ｉについて説明する。第５別構造の維持手段Ｉは、図６に示す第１別構造の維持手段Ｉと、図１１に示す第４別構造の維持手段Ｉとの折衷案的な構成のものであって、図１２に示すように、集積パネル１の上面に、外周部に雄ネジ１ｎを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突起状の第１流体給排口部１Ａと、第２流体給排口部２Ａにおいて外周部に雄ネジ９ｎを有する状態でバルブケース６の下端部に形成されたフランジ部９と、これら両雄ネジ１ｎ，９ｎに螺着自在な雌ネジ１１１ｎを有する筒状ナット１１１と、割型リング１１２とから構成されている。

筒状ナット１１１は、先端側の雌ネジ１１１ｎと基端側の内向きフランジ１１３との間に、雄ネジ１ｎ，９ｎよりも大径の抉り内周部１１１ａが形成されており、内向きフランジ１１３は、軸心Ｐ方向においてフランジ部９に干渉しない程度の内径部１１３ａを有するものに形成されている。割型リング１１２は、円形のリングが三個以上に分断されたような（例：１２０度弱の扇型部材の３個から成る）ものであり、内向きフランジ１１３や雌ネジ１１１ｎをやり過ごして外部から抉り内周部１１１ａに入れ込むこと、並びに抉り内周部１１１ａにおいてリング状の形に組むことが自在である。また、割型リング１１２を、スナップリングのように径方向にある程度撓むことで抉り内周部１１１ａに入れ込める可撓性を有した単一のＣ字状体から構成することも可能である。

この第５別構造による維持手段Ｉを用いた組付けは次のようである。即ち、上述した要領によって予め割型リング１１２を抉り内周部１１１ａに入れ込んだ状態としておき、それ以後の工程は、前述した第４別構造の維持手段Ｉの場合と同じである。従って、これ以上の組付け手順の説明は割愛する。

〔その他の実施例〕
本発明における「流体デバイス」とは、バルブ、ポンプ、アキュムレータ、流体貯留容器、熱交換器、レギュレータ、圧力計、流量計、ヒーター、フランジ配管等の、要は集積パネル以外の流体関係のものの総称と定義する。さらに、引寄せ機能付維持手段としては、ターンバックル式（例：図１０に示す構造において、いずれかの雄ネジ１ｎ，９ｎを逆ネジとして、これら両雄ネジ１ｎ，９ｎに跨るターンバックルナットを螺装する構造）のものも可能である。また、環状押え突起１３，２３については、環状押え壁部１３，２３に読み代えるものとし、これら環状押え突起１２，２２と環状押え壁部１３，２３とを総称して「環状押え部分」と定義するものとする。

集積パネルとバルブとの接続構造を示す断面図（実施例１） 図１の接続構造に用いるガスケットと流体給排口部の要部の断面図 ガスケットと流体デバイスとの嵌合構造の詳細を示す要部の拡大断面図 集積パネルとベローズ式バルブとの接続構造を示す断面図（実施例２） 集積パネルとフィルタとの接続構造を示す断面図（実施例３） 引寄せ機能付き維持手段の第１別構造を示す要部の断面図（実施例４） 図６の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図 引寄せ機能付き維持手段の第２別構造を示す要部の断面図（実施例５） 図８の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図 引寄せ機能付き維持手段の第３別構造を示す要部の断面図（実施例６） 引寄せ機能付き維持手段の第４別構造を示す要部の断面図（実施例７） 引寄せ機能付き維持手段の第５別構造を示す要部の断面図（実施例８） （ａ）、（ｂ）は、共に環状突起の別形状を示す要部の断面図

符号の説明

１ 集積パネル
１Ａ 第１流体給排口部
１ｎ 雄ネジ部
２ 流体デバイス
２Ａ 第２流体給排口部
３，４ 集積パネルの流体通路
７，８ 流体デバイスの流体通路
９ａ 貫通孔
９Ｂ 外向きフランジ
１０ 嵌合シール部
１１，２１ 環状突起
１２，１３，２２，２３ 環状押え部分
１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａ テーパ周面
１４，１５，２４，２５ 谷部
５１ 環状溝
５２，５３ 周壁端部
５２ａ，５３ａ テーパ周面
６６ ボルト
６７ ナット部
８１ 筒状ナット
８１ｎ 雌ネジ部
８２ 割型リング
８３ 内向きフランジ
８３ａ 開口部
Ｇ ガスケット
Ｉ 維持手段
Ｐ 軸心
Ｓ２ シール部
Ｗ 流体経路
Ｘ 中心線に直交する中心線
Ｙ 拡縮変形防止手段
Ｚ 軸心方向に沿う中心線

Claims (6)

1. 管状の流体通路が開口する第１流体給排口部を備えた集積パネルの前記第１流体給排口部と、管状の流体通路が開口する第２流体給排口部を備えた流体デバイスの前記第２流体給排口部とを、これら第１流体給排口部と第２流体給排口部との間に介在されるリング状のガスケットによって前記流体通路をシールする状態で連通接続するにあたり、
   前記第１流体給排口部及び前記第２流体給排口部には、各端面に開口する前記各流体通路の外径側部分に環状突起が形成され、
   前記ガスケットは、前記第１，第２流体給排口部の相対応する前記流体通路どうしを連通すべく形成された流体経路と、前記第１及び第２流体給排口部の端面に形成された前記環状突起のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路の外径側部分に形成された一対の環状溝とを有する可撓性を備えた材料から構成されており、
   前記第１流体給排口部と第２流体給排口部とが互いに前記ガスケットを介して引寄せられることにより、前記第１流体給排口部の前記環状突起と前記ガスケットの一端の環状溝とが、及び前記第２流体給排口部の前記環状突起と前記ガスケットの他端の前記環状溝とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部が形成され、かつ、前記第１及び第２流体給排口部の端面における前記環状突起の内径側に形成される環状押え部分と、前記ガスケットにおける前記環状溝を形成するために軸心方向に突出形成された内外の周壁端部のうちの内径側の周壁端部とが当接して、前記内径側の周壁端部が前記環状溝と前記環状突起との嵌合によって縮径変形するのを抑制又は阻止する拡縮変形防止手段が形成される接合状態が構成され、
   前記拡縮変形防止手段は、前記環状押え部分と前記環状突起とで囲まれた谷部が奥窄まり状となるように前記環状押え部分における環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面と、前記内径側の周壁端部に形成されたテーパ周面との圧接によって構成されている集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
2. 前記環状押え部分のテーパ周面と前記内径側の周壁端部のテーパ周面との圧接によってシール部を形成するように構成されている請求項１に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
3. 前記ガスケットの断面形状が略Ｈ型形状を呈するものに構成されている請求項１又は２に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
4. 前記環状溝に前記環状突起を入れ易くすべく、前記環状突起がその先端の内周角部及び／又は外周角部が面取りされた断面先細り形状に形成されている請求項１〜３の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
5. 前記嵌合シール部及び前記拡縮変形防止手段が形成される前記接合状態を維持する維持手段が装備されている請求項１〜４の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
6. 前記維持手段は、前記第１流体給排口部と第２流体給排口部とを引寄せて前記接合状態を得るための引寄せ機能を発揮するものに構成されている請求項５に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
   

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