JP2006305732A - インクジェットプリンタヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 温度によって変化するインクの粘度に適した圧力を発生させるために、プリンタの使用状況に応じて変化するプリンタヘッド全体の温度変化を正確に測定することができるプリンタヘッドを提供することにある。
【解決手段】 静電容量値測定用の測定電極１３を、第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃを挟んで共通電極１２と対向し、更に、第１圧電板１０ａを挟んで全てのインク圧力室４、４…と対向するように配設することで、より広い面積で、共通電極１２及び測定電極１３の間の圧電板の静電容量値を測定し、測定した静電容量値から圧電板の静電容量−温度特性に基づいて圧電板の温度を算出する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、インクジェット方式により文字又は画像等を印刷するプリンタに搭載されるプリンタヘッドに関する。

文字又は画像等を印刷するインクジェットプリンタは、インクの微小な液滴によって文字又は画像等を形成するものである。インクの液滴はプリンタヘッドに設けられた微小な吐出口から吐出され、代表的なインクの吐出方法にバブルジェット（登録商標）方式及びピエゾ方式がある。バブルジェット（登録商標）方式はインクを加熱して沸騰させ、このときに発生する気泡を利用してインクを吐出させる方式であり、ピエゾ方式は圧電板に変形を起こし、このときにインクの流路内に発生する圧力によりインクを吐出させる方式である。

インクジェットプリンタに用いられるインクはインクの温度によりその粘度が大きく変化し、例えば、プリンタを起動した直後ではインクの温度が低く、インクの粘度は高い。このため、ピエゾ方式のインクジェットプリンタにおいては、インクの温度に応じて圧電板に印加する電圧値を可変制御し、例えば、インクの温度が低い場合には圧電板に印加する電圧値を高く設定して、インクを吐出させるための圧力を高くすることで、粘度の高いインクを確実に吐出できるようにし、また、インクの温度が高い場合には圧力を低くすることで、粘度の低いインクが大量に吐出されてにじみなどが生じることを防止している。

しかし、インクそのものの温度を測定することは困難であるため、従来のプリンタにおいては、プリンタヘッドを駆動するための駆動回路などが配設してある回路基板上にサーミスタを配し、サーミスタの抵抗値の変化により温度を測定し、この温度変化に応じて圧電板に印加する電圧値を決定していた。しかし、従来のプリンタでの温度測定の場合、インクの吐出を行う吐出口及び圧電板を有するプリンタヘッドと温度測定を行う回路基板との距離が離れているため、プリンタヘッドの温度変化が回路基板へ伝わるまでに時間がかかり、正確なインクの温度を測定することができず、最適な電圧を圧電板に印加できていなかった。

特許文献１においては、積層された複数の圧電板と、圧電板上に配された複数の個別電極と、圧電板を挟んで全個別電極と対向する共通電極と、圧電板を挟んで共通電極と対向し、かつ、個別電極のそれぞれに対応して配されるセンサ電極とを備え、共通電極及びセンサ電極の間の圧電板の静電容量値を測定し、得られた静電容量値から温度を算出することができるようにした印刷ヘッドが提案されている。
特開２００４−８２５４２号公報

特許文献１に記載の印刷ヘッドにおいては、圧電板の電圧の印加により変位する部分の温度バラツキにより、圧電板の変位量にバラツキが生じることに着目し、多数存在する吐出口から吐出するインクの吐出量のバラツキを低減するために、圧電板の静電容量値を測定し、温度を算出している。このため、各個別電極に対応させてセンサ電極を配することが必要であり、各センサ電極への配線領域がプリンタヘッドに必要となるため、プリンタヘッドが大型化するという問題がある。また、センサ電極の面積が微小であるため、静電容量値から求める温度の測定精度が悪いという問題がある。

また、吐出口毎の温度差は圧電板を介して周囲に拡散していくため、人間の目に印刷結果として判断できるほどの差が生じることは少ない。しかし、プリンタ起動時のプリンタヘッドの温度と、長時間使用した後のプリンタヘッドの温度とでは、数度から数十度の差が生じるため、インクの粘度が大きく変化し、印刷結果に大きく影響する。例えば、起動直後はインクの温度が低く、インクの粘度が高いため、大きな圧力を発生させてインクを吐出させるが、継続使用に伴いインクの温度が上昇することになる。しかし、静電容量値から求める温度の測定精度の問題から、温度の測定バラツキを生じることになる。実際より温度を低く測定すると、粘度の低いインクに大きな圧力を加え、所望の量より大量のインクを吐出し、印刷した文字又は画像等ににじみが生じる。このため、印字品質の確保という観点からは、プリンタの使用状況に応じて変化するプリンタヘッド全体の温度変化をより正確に測定することが望まれる。

また、プリンタヘッドの製造工程において、圧電板は１０００℃程度の高温で焼成するため、圧電板と圧電板の間に配される電極との熱膨張率の差により応力が発生し、圧電板と電極との積層形態によっては、プリンタヘッドに歪みなどが生じる虞があるという問題がある。このため、熱膨張率の差によるプリンタヘッドの歪みの発生を抑制し、製造工程での不良発生率を低減することが望まれる。

本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、複数のインク圧力室が形成された基板上に積層された複数の圧電板と、圧電板に配される共通電極及び複数の個別電極とを備え、静電容量値測定用の測定電極を複数のインク圧力室に対向するように配設することで、広い面積で共通電極及び測定電極間の圧電板の静電容量値を測定でき、プリンタの使用状況に応じて変化するプリンタヘッド全体の温度変化を精度良く測定することができるインクジェットプリンタヘッドを提供することにある。

また本発明の他の目的とするところは、測定電極を全てのインク圧力室と対向するように配設することで、簡単な構造とすることができ、また、より広い面積で静電容量値を測定でき、温度変化をより精度良く測定することができるインクジェットプリンタヘッドを提供することにある。

また本発明の他の目的とするところは、インク圧力室複数からなるインク圧力室群を複数備え、複数の測定電極をインク圧力室群にそれぞれ対応させて設けることで、例えば、インクの色別に測定領域を別とし、各測定領域毎に静電容量値を測定し、各領域毎に適した電圧を印加できるインクジェットプリンタヘッドを提供することにある。

また本発明の他の目的とするところは、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を、積層方向の中心から両側に対称にすることで、製造工程において圧電板に反りなどが発生することを防ぐことができるインクジェットプリンタヘッドを提供することにある。

また本発明の他の目的とするところは、圧電板を４枚積層する場合に、第１及び第２の圧電板の間に測定電極を配し、第３及び第４の圧電板の間に共通電極を配することで、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を積層方向の中心から両側に対称にし、製造工程において圧電板に反りなどが発生することを防ぐことができ、また、プリンタヘッド全体の温度変化を精度良く測定することができるインクジェットプリンタヘッドを提供することにある。

また本発明の他の目的とするところは、圧電板を４枚積層する場合に、第２及び第３の圧電板の間に測定電極を配し、第１及び第２の圧電板の間、並びに第３及び第４の圧電板の間に共通電極を配することで、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を積層方向の中心から両側に対称にし、製造工程において圧電板に反りなどが発生することを防ぐこ
とができ、また、測定する共通電極及び測定電極間の圧電板の静電容量を増やし、より精度良く温度を測定することができるインクジェットプリンタヘッドを提供することにある。

また本発明の他の目的とするところは、圧電板を３枚積層する場合に、第１及び第２の圧電板の間に測定電極を配し、第２及び第３の圧電板の間に共通電極を配することで、構造を簡単にすることができ、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を積層方向の中心から両側に対称にし、製造工程において圧電板に反りなどが発生することを防ぐことができ、プリンタヘッド全体の温度変化を精度良く測定することができるインクジェットプリンタヘッドを提供することにある。

また本発明の他の目的とするところは、全ての圧電板の厚さを等しくすることで、複数の種類の圧電板を製造する必要がなく、製造工程を簡単化できるインクジェットプリンタヘッドを提供することにある。

また本発明の他の目的とするところは、共通電極及び測定電極に挟まれる圧電板の厚さを、他の圧電板より薄くすることで、電極面積が同じであっても測定される静電容量を増やし、より精度良く温度を測定することができるインクジェットプリンタヘッドを提供することにある。

本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、複数のインク圧力室が形成された基板と、該基板上に積層された複数の圧電板と、該圧電板を挟んで対向する共通電極及び複数の個別電極とを備え、前記共通電極は複数の前記インク圧力室に渡って配設され、各個別電極は前記インク圧力室に各対応させて配設されているインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電板を挟んで前記共通電極と対向し、前記共通電極との間の静電容量値を測定するための測定電極を備え、該測定電極は、複数の前記インク圧力室に対向して配設されていることを特徴とする。

本発明においては、静電容量値測定用の測定電極を、圧電板を挟んで共通電極と対向し、更に、複数のインク圧力室と対向するように配設することで、測定電極をインク圧力室のそれぞれ対して設ける場合よりも広い面積で、共通電極及び測定電極の間の圧電板の静電容量値を測定し、測定した静電容量値から圧電板の静電容量−温度特性に基づいて圧電板の温度を算出する。算出した温度に応じて個別電極に印加する電圧値を変更し、温度に依存するインクの粘度に応じた圧力を、インク圧力室内のインクに加える。

また、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、前記測定電極が、前記インク圧力室の全てに対向して配設されていることを特徴とする。

本発明においては、測定電極を全てのインク圧力室と対向するように配設し、測定電極をインク圧力室のそれぞれ対して設ける場合よりも広い面積で、共通電極及び測定電極の間の圧電板の静電容量値を測定する。また、測定電極が１つで足りるため、プリンタヘッドが簡単な構造になる。

また、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、前記測定電極を複数備えると共に、前記インク圧力室複数からなるインク圧力室群を複数備え、前記測定電極それぞれは前記インク圧力室群に各対応させて配設されていることを特徴とする。

本発明においては、インク圧力室複数からなるインク圧力室群を複数設け、複数の測定電極をインク圧力室群にそれぞれ対応させて設けて、複数の測定領域に分けて測定を行う
。例えば、インクの色別に複数のインク圧力室をインク圧力室群とし、それぞれのインク圧力室群に対応させて測定電極を設け、各色のインク毎の温度に適した電圧を印加する。

また、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、前記基板上にて、前記圧電板と前記共通電極及び測定電極との積層順序が、積層方向の中心から両側に対称にしてあることを特徴とする。

本発明においては、圧電板と前記共通電極及び測定電極との積層順序を、積層方向の中心から両側に対称にすることで、温度変化に伴う材料の膨張率の差によって生じる応力が、積層方向の両方向について等しくなり、圧電板に反りなどが発生しない。

また、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、前記基板上に第１、第２、第３及び第４の圧電板をこの順に積層してあり、第１の圧電板及び第２の圧電板の間に前記測定電極が配設してあり、第３の圧電板及び第４の圧電板の間に前記共通電極が配設してあり、第４の圧電板の外面に複数の前記個別電極が、前記基板に形成された複数の前記インク圧力室にそれぞれ対向して配設してあることを特徴とする。

本発明においては、圧電板を４枚積層する場合に、第１及び第２の圧電板の間に測定電極を配し、第３及び第４の圧電板の間に共通電極を配して、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を積層方向の中心から両側に対称にし、温度変化に伴う材料の膨張率の差によって生じる応力を、積層方向の両方向について等しくすることで、圧電板に反りなどが発生しない。

また、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、前記基板上に第１、第２、第３及び第４の圧電板をこの順に積層してあり、第２の圧電板及び第３の圧電板の間に前記測定電極が配設してあり、第１の圧電板及び第２の圧電板の間、並びに第３の圧電板及び第４の圧電板の間に前記共通電極が配設してあり、第４の圧電板の外面に複数の前記個別電極が、前記基板に形成された複数の前記インク圧力室にそれぞれ対向して配設してあることを特徴とする。

本発明においては、圧電板を４枚積層する場合に、第２及び第３の圧電板の間に測定電極を配し、第１及び第２の圧電板の間、並びに第３及び第４の圧電板の間に共通電極を配して、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を積層方向の中心から両側に対称にし、温度変化に伴う材料の膨張率の差によって生じる応力が、積層方向の両方向について等しくなるようにする。また、共通電極を２つ配して測定面積を倍にしてより精度良く静電容量を測定し、更に、共通電極及び測定電極の距離を近づけてより精度良く静電容量を測定して、精度よく温度測定を行う。

また、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、前記基板上に第１、第２及び第３の圧電板をこの順に積層してあり、第１の圧電板及び第２の圧電板の間に前記測定電極が配設してあり、第２の圧電板及び第３の圧電板の間に前記共通電極が配設してあり、第３の圧電板の外面に複数の前記個別電極が、前記基板に形成された複数の前記インク圧力室にそれぞれ対向して配設してあることを特徴とする。

本発明においては、圧電板を３つ積層し、第１及び第２の圧電板の間に測定電極を配し、第２及び第３の圧電板の間に共通電極を配して、構造を簡単にする。また、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を積層方向の中心から両側に対称にし、温度変化に伴う材料の膨張率の差によって生じる応力を、積層方向の両方向について等しくすることで、圧電板に反りなどが発生しない。

また、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、全ての前記圧電板の厚さが略同一であることを特徴とする。

本発明においては、全ての圧電板の厚さを等しくすることで、同一の圧電板を製造するのみでよいため、製造工程が簡略化できる。

また、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、前記共通電極及び前記測定電極に挟まれた圧電板の厚さが、他の圧電板の厚さより薄いことを特徴とする。

本発明においては、共通電極及び測定電極に挟まれる圧電板の厚さを、他の圧電板より薄くして、電極面積が同じでも測定される静電容量を増し、精度良く静電容量を測定し、精度よく温度を測定する。

第１発明による場合は、静電容量値測定用の測定電極を複数のインク圧力室に対向するように配設することで、広い面積で共通電極及び測定電極間の圧電板の静電容量値を測定することができ、測定する静電容量値を増加させて、測定誤差の影響を低減することができるため、精度良く温度を測定することができ、また、プリンタヘッド全体の温度を測定することができるため、プリンタの起動直後又は継続使用後等の使用状況に応じて変化するインクの温度に適した電圧を圧電板に印加できる。また、測定電極用の配線領域が増加することを抑制できるため、プリンタヘッドが大型化することを防ぐことができる。

また、第２発明による場合は、測定電極を全ての圧力室と対向するように配設することで、より広い面積で静電容量値を測定することができるため、より精度良く温度を測定することができ、最適な電圧を圧電板に印加することができる。また、構造を簡単にすることができるため、測定電極用の配線による配線領域の増加がほとんどなく、プリンタヘッドが大型化することを防ぐことができる。

また、第３発明による場合は、インク圧力室複数からなるインク圧力室群を複数備え、複数の測定電極をインク圧力室群にそれぞれ対応させて設けることで、複数の測定領域に分けて測定を行うことができるため、例えば、インクの色別に測定領域を分けた場合には、インク毎の温度を測定することができ、インクの温度に適した電圧を印加することができる。これにより、黒色のみの印刷を連続で行った後に、カラー印刷を行う場合であっても、各色毎に温度測定を行って、インク粘度に適した電圧を印加できる。

また、第４発明による場合は、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を積層方向の中心から両側に対称にすることで、製造工程において圧電板に反りなどが発生することを防ぐことができるため、製造不良の発生率を低下させることができる。

また、第５発明による場合は、圧電板を４枚積層する場合に、第１及び第２の圧電板の間に測定電極を配し、第３及び第４の圧電板の間に共通電極を配することで、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を積層方向の中心から両側に対称にすることができるため、製造工程において圧電板に反りなどが発生することを防ぐことができ、製造不良の発生率を低下させることができる。

また、第６発明による場合は、圧電板を４枚積層する場合に、第２及び第３の圧電板の間に測定電極を配し、第１及び第２の圧電板の間、並びに第３及び第４の圧電板の間に共通電極を配することで、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を積層方向の中心から両側に対称にすることができるため、製造工程において圧電板に反りなどが発生することを防ぐことができ、製造不良の発生率を低下させることができる。また、共通電極を２
つ配することで測定面積を倍にすることができるため、より精度良く温度を測定することができ、更に、共通電極及び測定電極の距離を近づけることができるため、より精度良く温度を測定することができる。

また、第７発明による場合は、圧電板を３枚積層して、第１及び第２の圧電板の間に測定電極を配し、第２及び第３の圧電板の間に共通電極を配することで、構造を簡単にすることができ、また、圧電板と共通電極及び測定電極との積層順序を積層方向の中心から両側に対称にすることができるため、製造工程において圧電板に反りなどが発生することを防ぐことができ、製造不良の発生率を低下させることができる。

また、第８発明による場合は、全ての圧電板の厚さを等しくすることで、複数の種類の圧電板を製造する必要がなく、同一の圧電板を製造するのみでよいため、製造工程が簡略化でき、製造コストを削減できる。

また、第９発明による場合は、共通電極及び測定電極に挟まれる圧電板の厚さを、他の圧電板より薄くすることで、電極面積が同じでも測定される静電容量を増やし、精度よく静電容量を測定することができるため、より精度よく温度を測定することができる。

以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づき具体的に説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの構成を示す断面図であり、インクを吐出する複数の吐出口のうちの１つについて拡大した図である。

本実施の形態のインクジェットプリンタヘッドは、複数の圧電板を積層してなる圧電板部１が基板部２に着設してある。図１に示すように、基板部２は複数の金属製の基板を積層したものであり、それぞれの基板には複数の貫通口がそれぞれ対応させて形成してある。複数の基板を積層することで、それぞれの貫通口が積層方向につながり、圧電板部１が発生する圧力をインクに加えるための複数のインク圧力室４、インクカートリッジ(図示
せず)からのインクをそれぞれのインク圧力室４へ分配するインク流路５及び圧力を加え
られたインクが外部へ吐出するための流路であるインク吐出路７を構成する。本実施の形態では、複数のインク圧力室４は、図１の紙面垂直の方向に並んでインク圧力室の列を作り、インク流路５はこの列に沿って延在している。

基板部２の圧電板部１が着設してある面と反対側の面には、インクを印刷用紙へ吐出するための複数の吐出口６を備えたノズルプレート３が着設してある。ノズルプレート３は樹脂フィルム、例えばポリイミド製フィルムにレーザ加工を行って吐出口６を形成したものであり、数百〜数千の吐出口６が平行に並べて形成されている。

ノズルプレート３の吐出口６は、基板部２に形成されたインク圧力室４及びインク吐出路７に対応させてそれぞれ設けてある。インク流路５は、複数個の吐出口６に共通に設けてあり、図示しないインクカートリッジからのインクを、それぞれのインク圧力室４及びインク吐出路７を介して各吐出口６へ供給する。インク流路５、インク圧力室４、インク吐出路７及び吐出口６のインクは、途中で途切れることなくインクカートリッジから供給されており、吐出口６ではインクの液面にメニスカスと呼ばれる凹曲面が形成される。

吐出口６からのインクの吐出は、インク圧力室４の一壁面をなす圧電板部１を選択的に振動させてインク圧力室４内のインクに圧力を与えることで行う。インク圧力室４を狭める方向に圧電板部１を変位させることで、吐出口６からインクを吐出する。インクを吐出口６から吐出した後、圧電板部１をインク圧力室４を広げる方向に変位させ、吐出口６に
形成されるメニスカスを一旦後退させることで、吐出口６から押し出されたインクの切れを高める。また、インク流路５からは、吐出されたインクを補うように、新たなインクがインク圧力室４側へ供給される。このように、圧電板部１によるインク圧力室４の容積増減とこれに合わせたインク流路５からのインク補給を繰り返し行うことで、次のインクの吐出までの時間を短くし、印刷の高速化を行っている。

図２は、本発明の実施の形態１に係るインクジェットプリンタヘッドの圧電板部１の拡大断面図であり、３つのインク圧力室４、４…に対応する圧電板部１の断面を拡大して図示してある。圧電板部１は、第１〜第４の４枚の圧電板を積層した構造である。基板部２を構成する複数の基板の中で最外に配され、インク圧力室４、４…が形成されている基板２ａに、第１圧電板１０ａ、第２圧電板１０ｂ、第３圧電板１０ｃ及び第４圧電板１０ｄがこの順番で積層してある。また、これらの４つの圧電板は厚さ及び面積がほぼ等しい。これにより、圧電板毎あるいはこれらの積層体としての圧電板部１の厚さ（剛性）又は材質等の管理が容易となり、インクの吐出特性の設定とその均一化に寄与している。なお、圧電板としては、例えばＰｂＴｉＯ₃ −ＰｂＺｒＯ₃ 系のセラミック板などが用いられる。

基板２ａには複数のインク圧力室４、４…が列を作って形成してある。圧電板部１の最外層をなす第４圧電板１０ｄの外面には、圧電板部１を挟んでインク圧力室４、４…と対向するように、それぞれのインク圧力室４、４…に対応させて、複数の個別電極１１、１１…が配設してある。

第３圧電板１０ｃ及び第４圧電板１０ｄの間には、対応する個別電極１１に対して共通の電極として働く共通電極１２が配設してある。共通電極１２は、第４圧電板１０ｄとほぼ同じ形状と面積であり、第４圧電板１０ｄを挟んで全ての個別電極１１、１１…と対向するようにしてある。また、第１圧電板１０ａ及び第２圧電板１０ｂの間には、静電容量値測定用の測定電極１３が配設してある。測定電極１３は、共通電極１２とほぼ同じ形状と面積であり、第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃを挟んで共通電極１２と対向し、第１圧電板１０ａを挟んで全てのインク圧力室４、４…と対向するようにしてある。個別電極１１、１１…、共通電極１２及び測定電極１３は、銀又は銀を含む合金等により形成される。なお、上述のように、共通電極１２及び測定電極１３は、共に圧電板とほぼ同じ形状と面積で形成されており、複数の個別電極１１、１１…の配設形態を規制するものではない。つまり、圧電板部１の最外面に形成される個別電極１１、１１…には、その配設形態に高い自由度を有し、高密度配置にも容易に対応できる。

共通電極１２は接地電位に保たれており、また、個別電極１１、１１…にはそれぞれ図示しない駆動回路が接続され、各個別電極１１、１１…に選択的に電圧を印加できるようにしてある。個別電極１１、１１…及び共通電極１２の間に電圧が印加された場合、第４圧電板１０ｄの個別電極１１、１１…及び共通電極１２で挟まれた部分が自発的に変位する。第４圧電板１０ｄの変位に伴い、第３圧電板１０ｃ、第２圧電板１０ｂ及び第１圧電板１０ａが変位して、インク圧力室４、４…内のインクに圧力が加わる。このとき、個別電極１１、１１…に負極性の電圧を印加した場合には、インク圧力室４、４…が広がる方向に圧電板が変位し、正極性の電圧を印加した場合には、インク圧力室４、４…が狭まる方向に圧電板が変位するようにしてある。

測定電極１３は、測定電極１３及び共通電極１２に挟まれた第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの静電容量値を測定するための電極である。あらかじめ求めた圧電板の静電容量値−温度の特性と、測定電極１３により測定した静電容量値とを比較することで、第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの温度を算出する。第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの温度は、インク圧力室４、４…内のインクの温度にほぼ等しい。これにより、
算出して得られた温度に応じて個別電極１１、１１…に印加する電圧値を変化させることで、インクの粘度に適した圧力をインク圧力室４、４…内のインクに加えることができる。

図３は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの個別電極１１、１１…の平面配置を示す模式図であり、プリンタ本体から各個別電極１１、１１…への配線は図示を省略してある。第４圧電板１０ｄの表面には、複数の個別電極１１、１１…が所定の距離を隔てて、略千鳥配置で配設してある。圧電板部１を挟んで各個別電極１１、１１…に対応するように、インク圧力室４、４…（図３では波線で示す）が略千鳥配置で配設してある。測定電極１３（図３では一点鎖線で示す）は、第４圧電板１０ｄと略同一の大きさであり、全ての個別電極１１、１１…に対向するように配設してある。また、それぞれの個別電極１１、１１…及びインク圧力室４、４…に対応して吐出口６、６…が設けてあり、インクの吐出を行いたい吐出口６、６…に対応する個別電極１１、１１…に所定の電圧を印加することで、複数の吐出口６、６…から選択的にインクを吐出させ、印刷用紙に文字または画像等を形成する。

図４は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの圧電板の静電容量測定回路を示す模式図であり、図５は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの圧電板の静電容量測定方法を説明する説明図である。なお、本実施の形態では、第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの静電容量値の測定を行って、温度を算出する。第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃを挟んで対向する共通電極１２及び測定電極１３は、パルス電源５０に接続され、両電極間にパルス電圧が印加できるようにしてある。ただし、測定電極１３は抵抗Ｒを介してパルス電源に接続される。また、共通電極１２は接地電位にしてある。

パルス電源５０は略矩形状のパルス電圧を発生するものであり、パルス電源５０が発生するパルス電圧の電圧波形を図５（ａ）に示す。このパルス電圧は、抵抗Ｒを介して両電極間に印加される。そのため、抵抗Ｒの抵抗値及び第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの静電容量値から決定される時定数に応じて、パルス電圧の変化が遅れ、測定電極１３では図５（ｂ）に示すように立ち上がり及び立ち下がりが遅れた波形となる。また、このときの抵抗Ｒの両端（図４においてＡ点及びＢ点で示す）間の電圧Ｖ_ABの波形が図５（ｃ）である。なお、図５に示す波形は、実線で示すものが第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの静電容量値が小さい場合の波形であり、破線で示すものが静電容量値が大きい場合の波形である。

抵抗Ｒの両端間の電圧Ｖ_ABと、定電圧源（図示せず）から供給される一定の電圧Ｖ₀ とを比較し、Ｖ_ABがＶ₀ より大きい場合にＨｉｇｈを出力し、Ｖ_ABがＶ₀ より小さい場合にＬｏｗを出力する比較器（図示せず）により、Ｖ_ABの電圧変化を判定する。図５（ｄ）が比較器の出力結果である。比較器の出力結果は矩形波となり、第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの静電容量値が大きいほど、Ｈｉｇｈの出力時間が長くなる。このため、比較器の出力波形のＨｉｇｈ出力時間から第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの静電容量値を求めることができる。

図６は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドを搭載したプリンタの構成を示すブロック図である。図６においてプリンタ６０はインクジェットプリンタヘッド６６と、インクジェットプリンタヘッド６６の各個別電極１１、１１…へ電圧を印加する電圧印加部６４と、インクジェットプリンタヘッド６６の圧電板の静電容量を測定する容量測定部６３と、これらを制御する制御部６１と、制御部６１が制御処理を行う際に必要な情報を記憶するメモリ６２とを備えている。

電圧印加部６４は、制御部６１から印加を行う個別電極１１、１１…の位置、印加電圧
及び印加時間等の情報が与えられ、これらに従って個別電極１１、１１…に電圧印加を行う。容量測定部６３は、上述の方法によって圧電板の静電容量値を測定し、測定結果を制御部６１へ与える。また、メモリ６２は、圧電板の静電容量−温度特性及び温度から印加電圧値を決定するための印加電圧決定テーブルを記憶しており、制御部６１は、容量測定部６３の測定結果及びメモリ６２に記憶してある静電容量−温度特性及び印加電圧決定テーブルを参照して、印加電圧値を決定し、電圧印加部６４に印加電圧値を与えている。

図７は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドを搭載したプリンタの制御部が行う処理手順を示すフローチャートである。印刷が開始された場合、制御部６１は、容量測定部６３によりインクジェットプリンタヘッド６６の圧電板の静電容量値を測定する（ステップＳ１）。次いで、メモリ６２に記憶してある静電容量−温度特性を参照して得られた静電容量値から圧電板の温度を算出し（ステップＳ２）、更にメモリ６２に記憶してある印加電圧決定テーブルを参照して算出した温度から圧電板の個別電極１１、１１…に印加する電圧値を決定する（ステップＳ３）。

次いで、決定した電圧値を電圧印加部６４に与えて、圧電板の個別電極１１、１１…に電圧の印加を行う（ステップＳ４）。これにより、インクジェットプリンタヘッド６６の吐出口６、６…からインクの吐出が行われる。電圧印加後、印刷が終了したか否かを調べ（ステップＳ５）、印刷が終了していない場合は（Ｓ５：ＮＯ）、ステップＳ１へ戻り容量値の測定及び電圧の印加を繰り返す。印刷が終了した場合は（Ｓ５：ＹＥＳ）、処理を終了する。

以上の処理により、プリンタ６０はインクの温度に適した電圧をインクジェットプリンタヘッド６６の個別電極１１、１１…へ印加でき、プリンタ６０の起動直後又は継続使用後等の使用状況に応じて変化するのインクの温度に適した印刷を行うことができる。また、制御部６１は、印加電圧値の他に、印加電圧決定テーブルに基づいて電圧を印加する時間を制御している。印加電圧決定テーブルの一例を表１に示す。

表１においては、左列に温度範囲が２℃刻みで記載してあり、中央列に温度に応じた印加電圧値が記載してあり、また、右列には電圧を印加する場合の波形の種類が記載されている。測定した温度に応じて印加する電圧値が決められ、低温用（Ａ）、常温用（Ｂ）及び高温用（Ｃ）の３種類の波形の内の一の波形が選択されて、個別電極１１、１１…に電圧印加が行われる。

図８は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの個別電極に印加される電圧の略示波形図である。図８に示す波形は、１ドットを３滴のインクで形成する場合の波形であり、（Ａ）は低温用の波形であり、（Ｂ）は常温用の波形であり、（Ｃ）は高温用の波形である。図示の通り、低温時には電圧の印加時間が長くなるようにパルス幅を広くし、高温時には電圧の印加時間が短くなるようにパルス幅を狭くしてある。温度測定の結果、インクジェットプリンタヘッドの温度が１８℃未満である場合には、最大電圧が表１で決定される電圧値となるように、低温用の波形の電圧が個別電極１１、１１…に印加される。インクジェットプリンタヘッドの温度が１８℃以上且つ３４℃未満である場合には、常温
用の波形の電圧が印加され、また、温度が３４℃以上である場合には、高温用の波形の電圧が印加される。

以上の構成により、インクジェットプリンタヘッドに備えた測定電極を用い、圧電板の静電容量値を測定することで、圧電板の温度を算出することができ、算出した温度に応じて個別電極１１に印加する電圧値を変更することで、インクの粘度に適した圧力を圧電板部１にて発生させることができ、印刷品質を保つことができる。

また、圧電板層１は、積層方向の中心（第２圧電板１０ｂと第３圧電板１０ｃとが接する面）から、積層方向の両側への積層順序が、共に圧電板−電極−圧電板としてあり、中心に関して対称の配列としてある。これにより、圧電板と電極との膨張率の差により生じる応力を等しくすることができ、圧電板層１がどちらか一方に反ることがないため、製造工程での不良発生率を低減することができる。

なお、本実施の形態においては、図３に示したように複数の個別電極１１、１１…を第４圧電板１０ｄの外面に千鳥配置で配設する構成を示したが、これに限るものではなく、その他の配置であってもよい。また、表１に示した測定温度から印加電圧値を決定するテーブルの数値は一例であって、これに限るものではなく、温度条件及び印加電圧値はインクジェットプリンタヘッドに適したものを用いる。また、温度によって印加する電圧波形を変更して、電圧の印加時間を変更する構成を示したが、これに限らず、例えば電圧の印加回数を変更するなどの方法を用いてもよく、更には、これらは必ずしも行わなくてもよい。また、共通電極１２及び測定電極１３の間の圧電板の静電容量値の測定法方は一例であり、以下の方法を用いてもよい。

図９は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの他の静電容量測定方法を説明する説明図である。なお、測定回路自体は図４に示すものと同じである。

図９においては、横軸は時間軸であり、Ｖはパルス電源５０が発生する電圧の波形であり、Ｉ₁ 及びＩ₂ は抵抗Ｒを流れる電流の波形である。電圧Ｖは、ピーク値が１Ｖ程度の正弦波形をなし、測定電極１３及び共通電極１２の間に印加される。抵抗Ｒに流れる電流の量は、測定電極１３及び共通電極１２の間の第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの静電容量に応じた電流量であるので、温度の変化により第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの静電容量が増減した場合には、これに応じて電流量が増減する。Ｉ₁ は温度が高い場合に抵抗Ｒを流れる電流の波形であり、Ｉ₂ は温度が低い場合のものである。このため、抵抗Ｒを流れる電流の実効値又はピーク値を測定することで、第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板１０ｃの静電容量を算出することができる。

なお、図９に示す測定方法においては、パルス電源５０が印加する電圧の波形を正弦波としたが、これに限るものではなく、矩形波又は三角波等の他の形状であってもよい。また、印加電圧を１Ｖ程度としたが、これに限るものではない。

（実施の形態２）
図１０は、本発明の実施の形態２に係るインクジェットプリンタヘッドの圧電板部１ａの拡大断面図である。圧電板部１ａは、第１〜第４の４つの圧電板を積層した構造であり、インク圧力室４、４…が形成されている基板２ａに、第１圧電板２０ａ、第２圧電板２０ｂ、第３圧電板２０ｃ及び第４圧電板２０ｄがこの順番で積層してある。また、これらの４つの圧電板は厚さ、形状及び面積がほぼ等しい。

基板２ａには複数のインク圧力室４、４…が形成してあり、圧電板部１ａの最外層をなす第４圧電板２０ｄの外面には、圧電板部１ａを挟んでインク圧力室４、４…と対向する
ように、それぞれのインク圧力室４、４…に対応させて複数の個別電極１１、１１…が配設してある。

第１圧電板２０ａ及び第２圧電板２０ｂの間、並びに第３圧電板２０ｃ及び第４圧電板２０ｄの間には、共通電極２２、２２が配設してある。共通電極２２、２２は、各圧電板とほぼ同じ形状及び面積であり、全ての個別電極１１、１１…と対向するようにしてある。また、第２圧電板１０ｂ及び第３圧電板２０ｃの間には、静電容量値測定用の測定電極２３が配設してある。測定電極２３は、共通電極２２、２２とほぼ同じ形状及び面積であり、第２圧電板２０ｂ及び第３圧電板２０ｃを挟んで２つの共通電極２２、２２にそれぞれ対向している。また、この測定電極２３は、第１圧電板２０ａ、共通電極２２及び第２圧電板２０ｂを挟んで全てのインク圧力室４、４…と対向するようにしてある。

以上の構成の実施の形態２に係るインクジェットプリンタヘッドは、実施の形態１にかかるインクジェットプリンタヘッドと比較して、測定電極に対向する共通電極の面積が倍であり、また、測定電極及び共通電極の間の圧電板が１つであるため、両電極間の距離が半分である。このため、測定電極２３により測定する静電容量値を大きくすることができ、測定精度を高めることができる。

また、圧電板層１ａは、積層方向の中心（測定電極２３）から、積層方向の両側への積層順序が、共に圧電板−電極−圧電板としてあり、等しくしてある。これにより、圧電板と電極との膨張率の差により生じる応力を等しくすることができ、圧電板層１ａがどちらか一方に反ることがないため、製造工程での不良発生率を低減することができる。更に、インクで満たされるインク圧力室４に対して、動作中は接地電位とされる共通電極２２が一番近くに配設されている。インクジェットプリンタヘッドは、動作中に帯電による電位変化を避けるために、金属製の基板部２ａを設置することがある。こうした構成のヘッドでは、接地電位と異なる電位となる電極が隣接することで、基板部２ａ又はインクとの間に電位差が生じ、この電位差に誘起されてインクによる電極の腐食又は損傷が心配される。しかし、基板部２ａ又はインクとの間にはこのような電位差が生じないので、インクジェットプリンタヘッドの長寿命化に寄与する。

なお、実施の形態２に係るインクジェットプリンタヘッドのその他の構成は、実施の形態１に係るインクジェットプリンタヘッドの構成と同様であるため、対応する箇所には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。

（実施の形態３）
図１１は、本発明の実施の形態３に係るインクジェットプリンタヘッドの圧電板部１ｂの拡大断面図である。圧電板部１ｂは、第１〜第３の３つの圧電板を積層した構造であり、インク圧力室４、４…が形成されている基板２ａに、第１圧電板３０ａ、第２圧電板３０ｂ及び第３圧電板３０ｃがこの順番で積層してある。また、第２圧電板３０ｂの厚さは第１圧電板３０ａ及び第３圧電板３０ｃの厚さの略半分程度であり、第１圧電板３０ａ、第２圧電板３０ｂ及び第３圧電板３０ｃの形状及び面積はほぼ等しい。

基板２ａには複数のインク圧力室４、４…が形成してあり、圧電板部１ｂの最外層をなす第３圧電板３０ｃの外面には、圧電板部１ｂを挟んでインク圧力室４、４…と対向するように、それぞれのインク圧力室４、４…に対応させて複数の個別電極１１、１１…が配設してある。

第２圧電板３０ｂ及び第３圧電板３０ｃの間には、共通電極３２が配設してある。共通電極３２は、第３圧電板３０ｃとほぼ同じ形状及び面積であり、全ての個別電極１１、１１…と対向するようにしてある。また、第１圧電板３０ａ及び第２圧電板３０ｂの間には
、静電容量値測定用の測定電極３３が配設してある。測定電極３３は、共通電極３２とほぼ同じ形状及び面積であり、第２圧電板３０ｂを挟んで共通電極３２に対向している。また、第１圧電板３０ａを挟んで全てのインク圧力室４、４…とも対向するようにしてある。

以上の構成の実施の形態３に係るインクジェットプリンタヘッドは、実施の形態１に係るインクジェットプリンタヘッドと比較して、測定電極及び共通電極の間の圧電板が１つであり、更に厚さを半分にしてあるため、両電極間の距離が１／４程度である。このため、測定電極３３により測定する静電容量値を大きくすることができ、測定精度を高めることができる。

また、圧電板層１ｂは、積層方向の中心（第２圧電板３０ｂの中心）から、積層方向の両側への積層順序が、共に圧電板−電極−圧電板としてあり、中心に関して対称の配列としてある。これにより、圧電板と電極との膨張率の差により生じる応力を等しくすることができ、圧電板層１ｂがどちらか一方に反ることがないため、製造工程での不良発生率を低減することができる。

実施の形態３に係るインクジェットプリンタヘッドのその他の構成は、実施の形態１に係るインクジェットプリンタヘッドの構成と同様であるため、対応する箇所には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。

（実施の形態４）
図１２は、本発明の実施の形態４に係るインクジェットプリンタヘッドの測定電極の平面配置を示す模式図である。図１２において、複数の圧電板を積層してなる圧電板部１ｃが基板部に着設してある。基板部には複数のインク圧力室４、４…（図１２では破線で示す）の列が略千鳥配置をなすように４列配設してあり、同列に配されたインク圧力室４、４…の群はそれぞれシアン、マゼンダ、イエロー及び黒のインクに対応する。４つのインク圧力室群は、一側からシアンのインク圧力室群４Ｃ、マゼンダのインク圧力室群４Ｍ、イエローのインク圧力室群４Ｙ及び黒のインク圧力室群４Ｋの順で配設してある。

圧電板部１ｃの上面には、圧電板部１ｃを挟んでインク圧力室４、４…と対向する位置に、複数の個別電極１１、１１…が配設してあり、また、圧電板部１ｃの圧電板の間には、４つの測定電極４３、４３…（図１２では一点鎖線で示す）が４つのインク圧力室群４Ｃ、４Ｍ、４Ｙ、４Ｋにそれぞれ対応させて並設してある。測定電極４３、４３…はインク圧力室群毎に圧電板の静電容量の測定を行い、個別電極１１、１１…は対応するインク圧力室群毎に異なる電圧を印加するようにしてある。なお、これらの測定電極４３、４３…は、圧電板部１ｃ内のいずれかの同じ圧電板上に配設してある。また、個別電極１１、１１…と対向し、接地電位とされる共通電極４２は、圧電板とほぼ同じ形状及び面積であり、平面視でその外縁は４つの測定電極４３、４３…の配設領域の外縁とほぼ重なっている。

以上の構成のインクジェットプリンタにおいて、測定電極４３、４３…をインクの色毎に配設するようにしておくことで、各色のインク別に温度を測定することができる。同色のインクはインク流路内でつながっているため同じ温度である可能性が高いが、別色のインクはインク流路が別であり、また、インクの成分が異なるため、温度が異なる可能性がある。このため、インクの色毎に温度を測定し、個別電極１１、１１…に印加する電圧を変更することで、より適した圧力をインクに加えることができる。このように、インクジェットプリンタヘッドの使用状況に合わせた静電容量に測定ができることに加えて、一度に全面の測定をしなくても良くなるので、この測定に関わる電源の負荷が軽くなる。また、本実施の形態では、共通電極４２を圧電板とほぼ同じ形状及び面積とし、測定電極４３
、４３…をインクの色毎に個別に設けているが、両電極の平面形状を逆の関係となるように形成してもよい。更に、両電極がインクの色毎に分割されていてもよい。

なお、実施の形態４に係るインクジェットプリンタヘッドのその他の構成は、実施の形態１に係るインクジェットプリンタヘッドの構成と同様であるため、対応する箇所には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。

いずれの実施の形態においても、列を作る複数のインク圧力室４、４…に沿って、インク流路５が延在している。このインク流路５は、外部（インクカートリッジ）からインクが供給されるが、新鮮なインクが流入することで、インク流路５の長さによっては、インクが供給されるインク供給部からの距離に対応した温度分布が生じることがある。そこで、インク流路５のインク供給部からの距離に対応して、静電容量の測定領域を複数分割（換言すれば、インク圧力室群を形成）してもよい。これにより、インク供給に起因した温度分布にも対応して、個別電極１１、１１…に印加する電圧を変更することができる。

また、個別電極１１、１１…と対向する共通電極１２（２２、３２、４２）に関して、この個別電極１１、１１…と反対側に測定電極１３（２３、３３、４３）が配設されている。このとき、静電容量が測定される圧電板が、圧電板部１（１ａ、１ｂ、１ｃ）の積層方向のほぼ中央部に配置される。つまり、インク圧力室４の容積変化を起こし、発熱源ともなる自発的変位部と温度の測定対象であるインクとが、静電容量が測定される圧電板を挟んで配置されていることになる。そのため、圧電板部１（１ａ、１ｂ、１ｃ）も含めてインクの温度を速やかに的確に測定することができる。

なお、本発明はインクジェットプリンタヘッドのみでなく、圧電材料の静電容量値から温度を測定し、圧電材料の変位部の変位量を温度に応じて制御する圧電式のアクチュエータ又は変位装置等に同様の構成を適用できることは言うまでもない。例えば、複数の個別電極と、圧電材料を挟んで複数の個別電極と対向する共通電極とを備え、別の圧電材料を挟んで共通電極と対向し、共通電極との間の静電容量値を測定するための測定電極が配設された圧電式の変位装置に同様の構成を適用できる。この場合、上述の実施の形態と同様に、複数の個別電極で複数の個別電極群を構成し、個別電極群を複数備え、測定電極及び共通電極の何れか一方又は両方を分割して、各個別電極群にそれぞれ対向するように配設してもよい。また、全ての圧電材料の厚さが同じであってもよく、共通電極及び測定電極に挟まれた圧電材料を他の圧電材料より薄くしてもよい。

本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態１に係るインクジェットプリンタヘッドの圧電板部の拡大断面図である。 本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの個別電極の平面配置を示す模式図である。 本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの圧電板の静電容量測定回路を示す模式図である。 本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの圧電板の静電容量測定方法を説明する説明図である。 本発明に係るインクジェットプリンタヘッドを搭載したプリンタの構成を示すブロック図である。 本発明に係るインクジェットプリンタヘッドを搭載したプリンタの制御部が行う処理手順を示すフローチャートである。 図８は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの個別電極に印加される電圧の略示波形図である。 本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの他の静電容量測定方法を説明する説明図である。 本発明の実施の形態２に係るインクジェットプリンタヘッドの圧電板部の拡大断面図である。 本発明の実施の形態３に係るインクジェットプリンタヘッドの圧電板部の拡大断面図である。 本発明の実施の形態４に係るインクジェットプリンタヘッドの測定電極の平面配置を示す模式図である。

符号の説明

１、１ａ、１ｂ 圧電板部
２ 基板部
３ ノズルプレート
４ インク圧力室
６ 吐出口
１０ａ、２０ａ、３０ａ 第１圧電板
１０ｂ、２０ｂ、３０ｂ 第２圧電板
１０ｃ、２０ｃ、３０ｃ 第３圧電板
１０ｄ、２０ｄ、３０ｄ、４０ｄ 第４圧電板
１１ 個別電極
１２、２２、３２、４２ 共通電極
１３、２３、３３、４３ 測定電極

Claims (9)

1. 複数のインク圧力室が形成された基板と、該基板上に積層された複数の圧電板と、該圧電板を挟んで対向する共通電極及び複数の個別電極とを備え、
   前記共通電極は複数の前記インク圧力室に渡って配設され、各個別電極は前記インク圧力室に各対応させて配設されているインクジェットプリンタヘッドにおいて、
   前記圧電板を挟んで前記共通電極と対向し、前記共通電極との間の静電容量値を測定するための測定電極を備え、
   該測定電極は、複数の前記インク圧力室に対向して配設されていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
2. 前記測定電極は、前記インク圧力室の全てに対向して配設されている請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッド。
3. 前記測定電極を複数備えると共に、前記インク圧力室複数からなるインク圧力室群を複数備え、
   前記測定電極それぞれは前記インク圧力室群に各対応させて配設されている請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッド。
4. 前記基板上にて、前記圧電板と前記共通電極及び測定電極との積層順序が、積層方向の中心から両側に対称にしてある請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載のインクジェットプリンタヘッド。
5. 前記基板上に第１、第２、第３及び第４の圧電板をこの順に積層してあり、
   第１の圧電板及び第２の圧電板の間に前記測定電極が配設してあり、
   第３の圧電板及び第４の圧電板の間に前記共通電極が配設してあり、
   第４の圧電板の外面に複数の前記個別電極が、前記基板に形成された複数の前記インク圧力室にそれぞれ対向して配設してある請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載のインクジェットプリンタヘッド。
6. 前記基板上に第１、第２、第３及び第４の圧電板をこの順に積層してあり、
   第２の圧電板及び第３の圧電板の間に前記測定電極が配設してあり、
   第１の圧電板及び第２の圧電板の間、並びに第３の圧電板及び第４の圧電板の間に前記共通電極が配設してあり、
   第４の圧電板の外面に複数の前記個別電極が、前記基板に形成された複数の前記インク圧力室にそれぞれ対向して配設してある請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載のインクジェットプリンタヘッド。
7. 前記基板上に第１、第２及び第３の圧電板をこの順に積層してあり、
   第１の圧電板及び第２の圧電板の間に前記測定電極が配設してあり、
   第２の圧電板及び第３の圧電板の間に前記共通電極が配設してあり、
   第３の圧電板の外面に複数の前記個別電極が、前記基板に形成された複数の前記インク圧力室にそれぞれ対向して配設してある請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載のインクジェットプリンタヘッド。
8. 全ての前記圧電板の厚さが略同一である請求項１乃至請求項７のいずれか１つに記載のインクジェットプリンタヘッド。
9. 前記共通電極及び前記測定電極に挟まれた圧電板の厚さが、他の圧電板の厚さより薄い請求項１乃至請求項７のいずれか１つに記載のインクジェットプリンタヘッド。

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