JP2006302721A - マイクロ波による高圧加熱装置 - Google Patents
マイクロ波による高圧加熱装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006302721A JP2006302721A JP2005124378A JP2005124378A JP2006302721A JP 2006302721 A JP2006302721 A JP 2006302721A JP 2005124378 A JP2005124378 A JP 2005124378A JP 2005124378 A JP2005124378 A JP 2005124378A JP 2006302721 A JP2006302721 A JP 2006302721A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure chamber
- microwave
- opening
- cavity
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 25
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 54
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 25
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Constitution Of High-Frequency Heating (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】 高圧室2の開口3aを、比誘電率が大きく、マイクロ波を透過し、かつ、熱的にも機械的にも強固な誘電体製の仕切窓4で封止する。誘電体製の仕切窓4により、比較的断面積の小さい開口3aでマイクロ波を高圧室2内に導入できるようにした。この手段を用いて、高圧室2の径に応じて共振する横共振器型、この高圧室2と外部の調整空胴15とで形成され全体の長さLに応じて共振する縦共振型、高圧室2に1対の仕切窓を設け、これを伝送線に取り込んだ伝送線型の3種のマイクロ波導入法がある。
【選択図】 図3
Description
一方、マイクロ波は、電子レンジをはじめ、産業用加熱炉の熱源として広く利用されてきたが、化学反応を行わせたい物質にマイクロ波を照射すると、化学反応を大幅に促進できる現象が見出され、マイクロ波効果が注目されている。
超臨界状態にある試料にマイクロ波を照射すると、活性がさらに大きく高まると期待され、そのような状態にある試料にマイクロ波を照射したいという要求が高まっている。この要求に応えるための方法として、いくつかの試みがなされている。
圧力がそれほど高くない場合は、マイクロ波が存在する場にマイクロ波を透過する誘電体材料で形成された強固な耐圧容器を置くことで目的を達成できる。
さらに圧力と温度が高くなる場合に対して特許文献1に記載された高温高圧容器が提案されている。この高温高圧容器は、耐圧容器と反応容器で構成される。耐圧容器の内側に耐熱、耐食性の密閉式反応容器が設けられる。耐圧容器と反応容器の内圧は制御できる、好ましくは両者の内圧が等しくなるように制御される。耐圧容器に、反応促進用マイクロ波を供給するための導波管が結合される。耐圧容器に接続される導波管の開口部には仕切窓が設置される。
この方法では、マイクロ波を導入するための導波管の開口の大きさを低減する試みを含んでいないため、適用に限界がある。
例えば、水を超臨界状態にするには、およそ50Mpa、500℃の高圧、高温が必要とされる。このような高圧、高温に耐えるためには、金属でもハステロイのような特殊な材料を選択する必要がある。一般によく使われるマイクロ波の周波数は2,450MHzである。このマイクロ波の波長は122mmであり、マイクロ波を導入する開口はこの波長に応じた大きさにする必要がある。例えば、方形導波管のTE10モードを使用する場合は、長方形状開口の長辺の長さを61mm程度以上に、円形導波管のTM01 モードの場合は、開口直径を93mmよりも大きくする必要がある。開口を大きくすれば、耐圧性を確保することが困難である。開口を小さくしても圧力容器の壁が十分薄い場合は、圧力容器内にマイクロ波を導入することができるが、耐圧性を持たせるために壁厚もある程度以上にする必要があるから、結局、遮断状態になってマイクロ波の導入が困難になる。
この壁を乗り越えるには、新たな工夫が必要になる。すなわち、超臨界媒体を扱うことと、マイクロ波効果を利用すること、の2つの要求を満たすことができる新しい装置の開発が求められる。
(1)高圧室2内にマイクロ波が遮断状態にならないような仕切窓4を設けこの窓を通して効率的に高圧室2内にマイクロ波を導入する手段を提供する。すなわち、この発明のマイクロ波による高圧加熱装置は、開口3aを有する金属壁で包囲された高圧室2を具備する。高圧室2内に開口3aを介してマイクロ波が導入され、内部に収容された高圧の試料Aにマイクロ波が照射される。金属壁の開口3aの断面積は、当該開口にマイクロ波を伝送する導波管6の断面積より小さく設定される。開口3aは、比誘電率が6以上である誘電体を開口に充填する形態の仕切窓4で気密に封止される。金属壁および仕切窓4は、高圧室2内の圧力を10Mpa以上に設定可能な耐圧強度を有する。
(2)好ましくは、高圧室に仕切窓4を介して隣接するように、金属壁で包囲された共振空胴5が設けられる。この共振空胴5に導波管6が結合される。共振空胴5は、マイクロ波の共振周波数が高圧室2の共振周波数と一致するように設定される。共振空胴5と高圧室2が、仕切窓4を介して互いに結合する2つの共振器を構成する。
(3)また好ましくは、高圧室2内に、周波数調整片7が気密に出入り自在に挿入されると共に、共振空胴5に別の周波数調整片8が出入り自在に挿入され、2つの周波数調整片7,8の一方または双方の高圧室2内および/または共振空胴5への突出量の調整によって、マイクロ波の同調を取るように構成される。
(4)高圧室2に仕切窓4を介して隣接するように、金属壁で包囲された調整空胴15が設けられる。この調整空胴15は、開口3aよりも断面積が大きい主体部15aと、断面積が高圧室2に向かって漸減する縮小部15bを有する。調整空胴15に導波管6が結合され、調整空胴15から仕切窓4を介して高圧室2内にマイクロ波が伝送され、それによって、調整空胴15と高圧室2が一体となって単一の共振器となるように構成される。
(5)好ましくは、調整空胴15に、高圧室2と一体となった単一の共振器としての共振周波数を調整する手段が設けられる。
(6)この調整空胴15の共振周波数調整手段は、調整空胴15と高圧室2の並び方向の寸法を変更可能な構造とすることによって、あるいは調整空胴15内に出入り自在に設けられた周波数調整片によって構成される。
(7)あるいは、円筒形高圧室2の軸方向の両端側に仕切窓4が設けられ、それぞれ仕切窓4を介して隣接するように、高圧室2と同軸の円形導波管10,11が結合される構成をとりうる。これらの円形導波管10,11は、開口3aよりも断面積が大きく設定され、円錐管部10a、11aを介して仕切窓4に結合される。一方の円形導波管10,11は、方形導波管を介してマイクロ波発振器に結合され、他方の円形導波管11,10は、方形導波管を介して無反射終端で終結する。この場合、円形導波管10,11と高圧室2が全体としてマイクロ波の伝送線を形成する。
(8)好ましくは、仕切窓あるいはこれに隣接する誘電体が、高圧室2の開口3aから調整空胴15または導波管10,11側へ突出し、突出部4aが先細りに形成される。それによりマイクロ波が遮断状態となることなく高圧室2内へ導入される。
(9)さらに好ましくは、高圧室2を形成する金属壁の内側に、誘電体円筒が挿入される。
(1)高圧室2の小さい開口3aを通してマイクロ波を高圧室2内に効果的に導入できる。
(2)高圧室2を共振器として、高圧室2内に強く均一なマイクロ波を励起できる。
(3)周波数調整片7,8により、高圧室2内と共振空胴5の共振周波数の同調を容易に行うことができる。
(4)開口3aよりも内径の大きい調整空胴15を縮小部15b、仕切窓4を介して高圧室2に結合し、調整空胴15と高圧室を単一の共振器となるように構成する場合には、共振は大気圧状態の調整空胴15のみの調整ですみ、高圧室2における共振周波数調整は不要とすることができる。導波管6の寸法に対応する内径の大きな調整空胴15に効率的にマイクロ波を導入し、そのまま縮小部15bおよび仕切窓4を介して高圧室2に結合することができる。
(5)調整空胴15における高圧室並びの長さを変更可能な構造とするか、調整空胴15内に出入り自在に周波数調整片を設ければ、容易に共振周波数調整を行うことができる。
(6)小径の高圧室2の両側に仕切窓4、円錐筒部10a、11aを介して大径の導波管10,11を結合した場合には、高圧室2がマイクロ波の伝送線内に組み込まれることになり、共振周波数の同調をとる必要がない。
(7)仕切窓4を高圧室2の開口3aから外側へ突出させ、突出部4aを先細りに形成すれば、開口3aでマイクロ波が遮断されることを抑止できて、大径の調整空胴15または導波管10から小径の高圧室2へのマイクロ波の伝送を効率的に行うことができる。
(8)高圧室2を包囲する金属壁の内側に誘電体棒あるいは誘電体円筒9を挿入することにより高圧室2を小径に構成することができ、高圧室2の耐圧性を容易に高めることができる。
高圧室2内に、共振空胴5と開口3aを介してマイクロ波が導入され、高圧室2内に収容された試料Aにマイクロ波が照射される。開口3aの断面積は、導波管6の断面積より小さく設定される。
2 高圧室
2a 円錐部
3 金属壁
3a 開口
4 仕切窓
4a 突出部
5 共振空胴
6 導波管
7 周波数調整片
8 周波数調整片
9 誘電体円筒
10 円形導波管
10a 円錐管部
11 円形導波管
11a 円錐管部
14 仕切窓
14a 突出部
15 調整空胴
15a 円錐部
16 共振器
L 一体化して構成した共振器の長さ
Claims (10)
- 一部に開口を有する金属壁で包囲された高圧室を具備し、当該高圧室内に、前記開口を介してマイクロ波が導入され、高圧室内に収容された高圧の試料にマイクロ波を照射できるように構成された装置であって、
前記金属壁の開口が、比誘電率が6以上である誘電体からなる仕切窓で充填されることによって気密に封止され、
前記金属壁の開口の断面積が、当該開口にマイクロ波を伝送する導波管の断面積より小さく設定され、
前記金属壁および仕切窓が、前記高圧室内の圧力を10Mpa以上に設定可能な耐圧強度を有することを特徴とするマイクロ波による高圧加熱装置。 - 金属壁で包囲された共振空胴に前記導波管が結合され、
前記共振空胴の共振周波数が前記高圧室の共振周波数と一致するように設定され、
前記共振空胴と前記高圧室が、前記開口を充填する仕切窓を介して互いに結合されることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波による高圧加熱装置。 - 前記高圧室内に、周波数調整片が気密に出入り自在に挿入されると共に、前記共振空胴に別の周波数調整片が出入り自在に挿入され、2つの周波数調整片の一方または双方の高圧室内および/または共振空胴への突出量の調整によって、マイクロ波の同調を取るように構成されることを特徴とするマイクロ波による高圧加熱装置。
- 前記開口を充填する仕切窓を介して前記高圧室に結合するように、金属壁で包囲された調整空胴が設けられ、
この調整空胴は、前記開口の断面積より大きい断面積を有する主体部と、断面積が高圧室に向かって漸減する縮小部とを有し、
前記調整空胴に前記導波管が結合され、当該調整空胴から前記仕切窓を介して前記高圧室内にマイクロ波が伝送され、
それによって、前記調整空胴と前記高圧室が一体となって単一の共振器となるように構成されることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波による高圧加熱装置。 - 前記調整空胴と前記高圧室が一体となった単一の共振器としての共振周波数を調整調整するための手段が、前記調整空胴に設けられることを特徴とする請求項4に記載のマイクロ波による高圧加熱装置。
- 前記共振周波数を調整する手段が、前記調整空胴と前記高圧室の並び方向の寸法を変更可能な構造であることを特徴とする請求項5に記載のマイクロ波による高圧加熱装置。
- 前記調整空胴の共振周波数調整手段が、当該調整空胴内に出入り自在に設けられた周波数調整片であることを特徴とする請求項5に記載のマイクロ波による高圧加熱装置。
- 前記高圧室が円筒形に構成され、前記開口およびこれを充填する仕切窓がこの高圧室の軸方向の両端に設けられ、
この高圧室の軸方向両端に、それぞれ前記仕切窓を介して隣接するように、当該高圧室と同軸の円形導波管が結合され、
これらの円形導波管は、前記開口の断面積より断面積が大きく設定され、円錐管接続部を介して仕切窓に結合され、
それによって、1対の前記円形導波管、円錐管接続部、仕切窓および前記高圧室が全体としてマイクロ波の伝送線を形成していることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波による高圧加熱装置。 - 前記仕切窓またはこれと隣接する誘電体が、前記高圧室の開口から外側へ突出し、突出部が先細りに形成されていることを特徴とする請求項4または8に記載のマイクロ波による高圧加熱装置。
- 前記高圧室を包囲する前記金属壁の内側に誘電体が挿入されることを特徴とする請求項4または8に記載のマイクロ波による高圧加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005124378A JP2006302721A (ja) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | マイクロ波による高圧加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005124378A JP2006302721A (ja) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | マイクロ波による高圧加熱装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006302721A true JP2006302721A (ja) | 2006-11-02 |
Family
ID=37470766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005124378A Ceased JP2006302721A (ja) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | マイクロ波による高圧加熱装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006302721A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011163696A (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-25 | Panasonic Corp | マイクロ波加熱調理器 |
JP2014221446A (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | 東京理化器械株式会社 | 反応装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5172251U (ja) * | 1974-12-02 | 1976-06-07 | ||
JPS63250088A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-17 | 大阪瓦斯株式会社 | 液体のマイクロ波加熱装置 |
JPH0572092U (ja) * | 1992-03-02 | 1993-09-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 高圧容器への電磁波供給装置 |
JPH06243963A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Brother Ind Ltd | マイクロ波加熱装置 |
JPH10134956A (ja) * | 1996-10-31 | 1998-05-22 | Kyocera Corp | 高周波導入窓材 |
JP2004207011A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Hitachi Display Devices Ltd | マイクロ波加熱装置 |
JP2005013901A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-20 | Tokyo Denshi Kk | マイクロ波化学反応装置 |
JP2005108449A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-21 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | マイクロ波加熱装置 |
-
2005
- 2005-04-22 JP JP2005124378A patent/JP2006302721A/ja not_active Ceased
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5172251U (ja) * | 1974-12-02 | 1976-06-07 | ||
JPS63250088A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-17 | 大阪瓦斯株式会社 | 液体のマイクロ波加熱装置 |
JPH0572092U (ja) * | 1992-03-02 | 1993-09-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 高圧容器への電磁波供給装置 |
JPH06243963A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Brother Ind Ltd | マイクロ波加熱装置 |
JPH10134956A (ja) * | 1996-10-31 | 1998-05-22 | Kyocera Corp | 高周波導入窓材 |
JP2004207011A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Hitachi Display Devices Ltd | マイクロ波加熱装置 |
JP2005013901A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-20 | Tokyo Denshi Kk | マイクロ波化学反応装置 |
JP2005108449A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-21 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | マイクロ波加熱装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011163696A (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-25 | Panasonic Corp | マイクロ波加熱調理器 |
JP2014221446A (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | 東京理化器械株式会社 | 反応装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4759668B2 (ja) | マイクロ波加熱装置 | |
KR101560122B1 (ko) | 표면파 플라즈마 처리 장치 | |
US6057645A (en) | Plasma discharge device with dynamic tuning by a movable microwave trap | |
US8294071B2 (en) | Microwave irradiation apparatus | |
US5954882A (en) | Plasma reactor | |
EP1439571B1 (en) | Device and method for microwave plasma processing and microwave power supply device | |
JP5681847B2 (ja) | マイクロ波装置 | |
JP2005293955A (ja) | 同軸形マイクロ波プラズマトーチ | |
KR950010714A (ko) | 플라즈마 생성방법 및 장치와 그것을 사용한 플라즈마 처리방법 및 장치 | |
JP2009080997A (ja) | マイクロ波装置 | |
JP2006302721A (ja) | マイクロ波による高圧加熱装置 | |
KR950034579A (ko) | 플라즈마 처리방법 및 장치 | |
JPH1167492A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP2001176695A (ja) | プラズマ・インジェクター | |
WO2024053136A1 (ja) | プラズマ発生装置およびプラズマ処理装置 | |
JP2007157518A (ja) | マイクロ波装置 | |
CA2805144C (en) | Plasma light source | |
JP6151247B2 (ja) | 半透明導波路プラズマ光源、その成形体の作成方法、および半透明導波路プラズマ光源のための半透明な固体誘電物質からなる成形体 | |
TWI802840B (zh) | 電漿處理裝置 | |
KR100500360B1 (ko) | 고효율 상압 마이크로웨이브 플라즈마시스템 | |
JP2005259633A (ja) | マイクロ波プラズマ放電処理装置 | |
JP2006130385A (ja) | マイクロ波化学反応装置 | |
US20230274927A1 (en) | Electrodeless plasma device | |
JP5891481B2 (ja) | マイクロ波装置 | |
WO2010109249A1 (en) | Microwave applicator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080421 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110203 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110331 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110818 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20111222 |