JP2006300900A - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 長手方向の長さが可変でかつ一端に可動ミラー29を設けた真空光路筒20を有し、この真空光路筒20内にレーザ光を入射させて反射させ、その反射レーザ光を他の光路を通ったレーザ光と干渉させる干渉計10を備えた測定装置。真空光路筒20は、変位方向に直列に配列された複数のベローズ26A,26Bと、この隣接するベローズ間に介在されベローズ同士を連結する中間リング27とを含んで構成され、中間リングを外側から支持するスライド筒31と、このスライド筒31および中間リング27の対向面のいずれか一方に設けられた潤滑層32とを備える。
【選択図】 図1
Description
また、接触した状態でベローズが変位すると、他の部材との間に摩擦が生じ、スティックスリップが起こり、ベローズの運動(伸縮)精度が損なわれ、さらには、摩耗によるベローズの破損につながるなどの不具合が生じるという課題がある。
また、支持部材および中間リングの対向面のいずれか一方に潤滑層が設けられているから、ベローズのスティックスリップを防止でき、ベローズの円滑な伸縮運動を保つことができる。従って、高精度な測定を保証できる。
特に、この発明では、支持部材および中間リングの対向面間に複数の転動体が設けられているから、この転動体の転がりにより、ベローズのスティックスリップを防止でき、ベローズの円滑な伸縮運動を保つことができる。従って、高精度な測定を保証できる。
特に、この発明では、支持部材および中間リングの対向面に、マグネットが同じ磁極が向き合うように取り付けられているから、このマグネットの反発力によって、ベローズのスティックスリップを防止でき、ベローズの円滑な伸縮運動を保つことができる。従って、高精度な測定を保証できる。
特に、この発明では、支持部材および中間リングの対向面間に空気軸受機構が設けられているから、空気軸受機構によって支持部材と中間リングとの間に形成される空気層によって、ベローズのスティックスリップを防止でき、ベローズの円滑な伸縮運動を保つことができる。従って、高精度な測定を保証できる。
<第1実施形態の説明>
図1は、本発明の測定装置の第1実施形態を示す概略図で、図1(A)は全体構成、図1(B)は中間リング部分の部分拡大図である。
なお、本実施形態では、測定装置として、光学式変位測定装置を例に説明を行うが、本発明は、これに限定されるものでなく、たとえば、気体屈折率測定装置など可変長真空光路筒内蔵の干渉計を備えた全ての測定装置に適用可能である(他の実施形態でも同様)。
干渉計10は、レーザ光を出射する光源11と、この光源11からのレーザ光を透過光と反射光とに分波する偏光ビームスプリッタ12と、この偏光ビームスプリッタ12で反射された反射光を反射する固定ミラー13と、偏光ビームスプリッタ12を透過した透過光が進入されたのち反射される真空光路筒20と、この真空光路筒20で反射した光と固定ミラー13で反射したレーザ光の干渉縞を検出する検出器14とから構成されている。
偏光ビームスプリッタ12を透過した透過光P2は、透明体である固定窓23を透過し、固定光路筒25、中間に中間リング27を有するベローズ26A,26B、中間筒28を通って、可動ミラー29に達する。可動ミラー29に達したレーザ光は、その可動ミラー29で反射され、上記とは逆のルートをたどり、再び固定窓23を透過して偏光ビームスプリッタ12へ戻る。
偏光ビームスプリッタに戻ったレーザ光(P1の反射レーザ光)とレーザ光(P2の反射レーザ光)との間に光路差が生じていると、偏光ビームスプリッタ12において干渉縞が形成される。すると、検出器14において、干渉縞が検出され、これに基づいてスライド筒31の変位(駆動ローラ51の回転量)が検出される。
従って、ベローズ26A,26Bに撓みが発生することが少なく、かつ、ベローズ26A,26Bの運動精度が損なわれることがないので、高精度な測定を実現できる。
また、ベローズ26A,26Bの材質としては、一般に金属が用いられるが、伸縮可能で、内部真空状態を生成可能な材質であれば、金属でなくてもよい(以下の実施形態でも同様)。
また、固体潤滑層32を中間リング27に設けるのではなく、スライド筒31の中間リング27との接触面(中間リング27がスライド可能な範囲)にコーティングするようにしてもよい。
図2は、本発明の測定装置の第2実施形態を示す概略図で、図2(A)は全体構成、図2(B)は中間リング部分の部分拡大図である。
本実施形態の光学式変位測定装置は、中間リング27をスライド筒31の内面に対して支持する構成が、第1実施形態と異なるのみである(他の構成につては、第1実施形態と同じである)。
つまり、本実施形態では、中間リング27の外周に、中間リング27の軸方向長さより長い外筒33が設けられ、この外筒33とスライド筒31との間に複数の転動体としての鋼球34が設けられている。これらの鋼球34は、外筒33側に固定されたリティーナ35によって一定間隔に保持され、かつ、回転自在に保持されている。
図3は、本発明の測定装置の第3実施形態を示す概略図で、図3(A)は全体構成、図3(B)は中間リング部分の部分拡大図である。
本実施形態の光学式変位測定装置は、中間リング27をスライド筒31の内面に対して支持する構成が、第1実施形態と異なるのみである(他の構成につては、第1実施形態と同じである)。
つまり、本実施形態では、スライド筒31と中間リング27との対向面に、マグネット36,37が同じ磁極が向き合うようにそれぞれ取り付けられている。中間リング27の外周に設けられるマグネット37は、中間リング27の下半分外周面に、中間リング27の長さ方向全域に沿って設けられている。スライド筒31側に設けられるマグネット36は、中間リング27側のマグネット37と同様にスライド筒31の内面下半分に、かつ、中間リング27のスライド領域全域に沿って設けられている。
図4は、本発明の測定装置の第4実施形態を示す概略図で、図4(A)は全体構成、図4(B)は中間リング部分の部分拡大図である。
本実施形態の光学式変位測定装置は、中間リング27をスライド筒31の内面に対して支持する構成が、第1実施形態と異なるのみである(他の構成につては、第1実施形態と同じである)。
つまり、本実施形態では、スライド筒31と中間リング27との対向面間に空気軸受機構38が設けられている。空気軸受機構38は、中間リング27の外周面に設けられた外筒38Aと、スライド筒31の肉厚内に軸方向に沿って形成された空気供給路38Bと、この空気供給路38Bの先端部側にこれに連通形成され外筒38Aとスライド筒31との間の空間に圧縮空気を供給する給気孔38Cとから構成されている。
20…真空光路筒
26A,26B…ベローズ
27…中間リング
29…可動ミラー(反射ミラー)
31…スライド筒(支持部材)
34…鋼球(転動体)
36,37…マグネット
38…空気軸受機構。
Claims (4)
- 長手方向の長さが可変でかつ一端に反射ミラーを設けた真空光路筒を有し、この真空光路筒内にレーザ光を入射させ、前記反射ミラーで反射されたレーザ光を他の光路を通ったレーザ光と干渉させる干渉計を備え、前記真空光路筒の長さ変化に伴う光路長の変化から距離、位置、屈折率などを測定する測定装置であって、
前記真空光路筒は、変位方向に直列に配列された複数のベローズと、この隣接するベローズ間に介在されベローズ同士を連結する中間リングとから構成され、
前記中間リングを外側から支持する支持部材と、
この支持部材および前記中間リングの対向面のいずれか一方に設けられた潤滑層とを備えたことを特徴とする測定装置。 - 長手方向の長さが可変でかつ一端に反射ミラーを設けた真空光路筒を有し、この真空光路筒内にレーザ光を入射させ、前記反射ミラーで反射されたレーザ光を他の光路を通ったレーザ光と干渉させる干渉計を備え、前記真空光路筒の長さ変化に伴う光路長の変化から距離、位置、屈折率などを測定する測定装置であって、
前記真空光路筒は、変位方向に直列に配列された複数のベローズと、この隣接するベローズ間に介在されベローズ同士を連結する中間リングとから構成され、
前記中間リングを外側から支持する支持部材と、
この支持部材および前記中間リングの対向面間に設けられた複数の転動体とを備えたことを特徴とする測定装置。 - 長手方向の長さが可変でかつ一端に反射ミラーを設けた真空光路筒を有し、この真空光路筒内にレーザ光を入射させ、前記反射ミラーで反射されたレーザ光を他の光路を通ったレーザ光と干渉させる干渉計を備え、前記真空光路筒の長さ変化に伴う光路長の変化から距離、位置、屈折率などを測定する測定装置であって、
前記真空光路筒は、変位方向に直列に配列された複数のベローズと、この隣接するベローズ間に介在されベローズ同士を連結する中間リングとから構成され、
前記中間リングを外側から支持する支持部材と、
この支持部材および前記中間リングの対向面に、同じ磁極が向き合うようにそれぞれ取り付けられたマグネットとを備えたことを特徴とする測定装置。 - 長手方向の長さが可変でかつ一端に反射ミラーを設けた真空光路筒を有し、この真空光路筒内にレーザ光を入射させ、前記反射ミラーで反射されたレーザ光を他の光路を通ったレーザ光と干渉させる干渉計を備え、前記真空光路筒の長さ変化に伴う光路長の変化から距離、位置、屈折率などを測定する測定装置であって、
前記真空光路筒は、変位方向に直列に配列された複数のベローズと、この隣接するベローズ間に介在されベローズ同士を連結する中間リングとから構成され、
前記中間リングを外側から支持する支持部材と、
この支持部材および前記中間リングの対向面間に設けられた空気軸受機構とを備えたことを特徴とする測定装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005127006A JP2006300900A (ja) | 2005-04-25 | 2005-04-25 | 測定装置 |
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JP2005127006A JP2006300900A (ja) | 2005-04-25 | 2005-04-25 | 測定装置 |
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2005
- 2005-04-25 JP JP2005127006A patent/JP2006300900A/ja active Pending
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