JP2006295091A - 基板の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
被処理対象の基板の洗浄面に対向して覆板を設置し、基板と覆板との間隙を2mm以下に設定し、前記間隙にオゾン水を平均流速0.1m/s以上で流すことを特徴とする基板の洗浄方法である。さらに、オゾン水は加熱オゾン水であってもよい。
【選択図】図1
Description
1.自己分解が抑制できるとはいえ、高いオゾン濃度を維持するためには、高価なオゾン水を多量に供給することが必要である。2.反応速度を上げるために、オゾン水の温度を高めるので、オゾンの気散による損失が大きい。3.水槽中ではオゾンの分解によるガスの発生、オゾンやその他の原料ガスが過飽和であるため、それらのガスが基板表面に付着して、反応を阻害する。
尚、本発明におけるオゾン水の平均流速とは、オゾン水の流量をオゾン水流路の断面積で除したものである。
洗浄処理後のオゾン水の出口は、両端の開口部や覆板上のオゾン水供給口周囲に配置した排出口や、基板支持板等の周囲に配置したスペーサー等に適宜開口部を設けるようにする。
特に前記の充填塔方式を用い、加圧下で製造した高濃度のオゾン水を本発明の基板の洗浄方法に用いる場合には、基板と覆板とで形成される間隙に流れるオゾン水の圧力が低下するとオゾンが気散し易くなるため、オゾン水の排出口の数や大きさを調整することにより、オゾン水の出口の全開口面積を小さくして基板の洗浄面に圧力を加えた状態で処理するようにしてもよい。また、オゾン水の濃度としては、オゾン濃度が高い方が反応性がよくなる傾向がある。特にレジストを剥離する場合には、オゾン水濃度として50ppm以上が好ましい。
図3は、横軸が洗浄時間(秒)、縦軸がレジストの剥離面積(mm2)であり、本発明の場合には、洗浄時間が60秒を過ぎると急激に洗浄速度が大きくなることが判る。
図4は、横軸がオゾン水の流速(m/s)、縦軸がレジストの剥離面積(mm2)であり、基板と覆板との間隙が同一の場合、流速が0.2m/s付近よりレジスト剥離面積が急速に向上することが判る。
4 間隙 5 基板 6 基板支持板
7 スペーサー 8 オゾン水供給ノズル 9 オゾン水出口
10 覆板 11 スペーサー 12 基板支持板
Claims (5)
- 被処理対象の基板の洗浄面に対向して覆板を設置し、基板と覆板との間隙を2mm以下に設定して、前記間隙にオゾン水を平均流速0.1m/s以上で流すことを特徴とする基板の洗浄方法。
- オゾン水が加熱オゾン水である請求項1記載の基板の洗浄方法。
- オゾン水のオゾン濃度が50ppm以上である請求項1または2記載の基板の洗浄方法。
- 基板と覆板との間隙が1mm以下である請求項1〜3のいずれかに記載の基板の洗浄方法。
- 被処理対象の基板と覆板を水平、傾斜または垂直のいずれかの状態に設定して、前記間隙にオゾン水を流すことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板の洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2006295091A true JP2006295091A (ja) | 2006-10-26 |
JP4606936B2 JP4606936B2 (ja) | 2011-01-05 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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