JP2006290706A - 炭化珪素単結晶の製造方法 - Google Patents
炭化珪素単結晶の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006290706A JP2006290706A JP2005117046A JP2005117046A JP2006290706A JP 2006290706 A JP2006290706 A JP 2006290706A JP 2005117046 A JP2005117046 A JP 2005117046A JP 2005117046 A JP2005117046 A JP 2005117046A JP 2006290706 A JP2006290706 A JP 2006290706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- single crystal
- carbide single
- producing
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】 加熱された金属シリコン(Si溜7)に吹き付けた塩化水素ガスを、炭化水素ガスと同時に加熱した炭化珪素基板5上に供給し、熱分解反応させて化合物半導体結晶を成長させるHVPE法にて炭化珪素単結晶を成長する。
【選択図】 図1
Description
(2)ECSCRM2004、講演No.Th3−02(非特許文献2)
本発明に関わる炭化珪素単結晶の製造方法は、HVPE法によりSiCエピタキシャル層を成長する点に特色がある。すなわち、加熱された金属シリコンに吹き付けた塩化水素ガスを、炭化水素ガスと同時に加熱した炭化珪素基板上に供給し、熱分解反応させて化合物半導体結晶を成長させるHVPE法にて成長するものである。
図1と図2に示した、本発明におけるSiC製造用HVPE装置の詳細について説明を続ける。
SiCエピタキシャル成長時には、基板ホルダー部3aの温度は1550℃、Si溜7の温度は1500℃に設定した。圧力は約13332Pa(100Torr)で行い、[11−20]方向に8°傾斜した4H−SiC基板のSi面上に成長を行った。また成長前の基板にはRCA洗浄を施し、表面の酸化膜を除去した。
HCl流量、それに付随してC3H8流量を変化させて、SiCエピタキシャルの成長速度の変化を調べた。膜厚はSEMで測定した。このとき用いたHVPE炉は図1に示す、基板水平設置型である。
成長速度が60μm/hourの条件で、n型SiC基板上にSiC単結晶薄膜成長を行った。このときはNドーパントを流さずに成長を行っている。この成長したエピタキシャル層の表面の写真を図5に、SEMによる断面写真を図6に示す。平坦なエピタキシャル層が形成されていることがわかる。
SiC単結晶バルクの成長を、図2に示した基板垂直設置型のHVPE炉を用いて行った。
上記実施例にて定めた成長温度、圧力、基板仕様は、本発明者等において一番実績のある条件として示したものである。エピタキシャル層の品質に影響がないならば、これと異なる条件でも問題はない。
本実施例で行ったSiCエピタキシャル層は、電子デバイス用のエピタキシャルウェハである。しかし条件のさらなる最適化や装置構造のグレードアップで成長速度をより向上することも可能である。そのためSiC基板上にSiCバルクの成長を行い、それをスライスすることで新たなSiC基板を作製することも可能である。
1a 第1の原料導入口
1b 第2の原料導入口
2 断熱材
3 サセプタ
3a 基板ホルダー部
4 通路
5 SiC基板
6 高周波誘導コイル
6a 基板ホルダー加熱用コイル
7 Si溜(Si金属)
8 空洞
9 ホルダー
31 n+型SiC基板
32 n-型エピタキシャル層
33 ショットキー電極
34 オーミック電極
35 ボロン注入領域
36 SiO2パッシベート膜
Claims (14)
- 加熱された金属シリコンに吹き付けた塩化水素ガスを、炭化水素ガスと同時に加熱した炭化珪素基板上に供給し、熱分解反応させて化合物半導体結晶を成長させるHVPE法にて成長することを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。
- 請求項1記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
炭化珪素基板上に炭化珪素単結晶バルクを成長させ、当該炭化珪素単結晶をスライスして炭化珪素単結晶基板を得ることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項2記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
塩化水素ガスを金属シリコンに吹き付けた後に炭化水素ガスと混合させ、炭化珪素基板上に供給することを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項3記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
塩化水素ガスは金属シリコンに吹き付ける前にキャリアガスで希釈し、炭化水素ガスは炭化珪素基板上に供給する前にキャリアガスで希釈することを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項4記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
上記金属シリコンの加熱温度を1500℃以上にして溶融し、その溶融させたシリコン溜の上空を塩化水素ガスが流れることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項5記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
炭化珪素基板の温度を金属シリコンの加熱温度よりも高くすることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項6記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
塩化水素ガスが流れるシリコン溜上空の内壁を1500℃以上にして、ホットウォール空間内をガスが流れることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項7記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
炭化珪素基板上空または周辺の内壁を炭化珪素基板の加熱温度と同じにして、ホットウォール空間内で成長が行われることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項8記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
シリコン溜上空のホットウォール空間と、炭化珪素基板上空または周辺のホットウォール空間を一体化させ、塩化水素ガスと炭化水素ガスとキャリアガスの混合もホットウォール空間内で行うことを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項4〜9のいずれかに記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
キャリアガスに水素、ヘリウムまたはアルゴンを用いることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項1〜10のいずれかに記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
炭化水素ガスにメタン、エタン、プロパン、またはネオペンタンを用いることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項11記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
導入する炭化水素ガスの流量は、塩化水素ガスの流量の0.5〜3.0倍であることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項12記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
導入するキャリアガスの流量は、塩化水素ガスの流量の50倍以上であることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 請求項13記載の炭化珪素単結晶の製造方法において、
炉内の塩化水素濃度を2.5×10-9mol/cm3以上にして、20μm/hour以上の速度で成長することを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005117046A JP4662034B2 (ja) | 2005-04-14 | 2005-04-14 | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005117046A JP4662034B2 (ja) | 2005-04-14 | 2005-04-14 | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006290706A true JP2006290706A (ja) | 2006-10-26 |
JP4662034B2 JP4662034B2 (ja) | 2011-03-30 |
Family
ID=37411680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005117046A Expired - Fee Related JP4662034B2 (ja) | 2005-04-14 | 2005-04-14 | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4662034B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011096801A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Furukawa Co Ltd | ハイドライド気相成長装置 |
JP2014047090A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Fuji Electric Co Ltd | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2014123617A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素基板の製造方法および製造装置 |
JP2016111043A (ja) * | 2014-12-02 | 2016-06-20 | 昭和電工株式会社 | ウェハ支持台、化学気相成長装置、エピタキシャルウェハ |
JPWO2015005064A1 (ja) * | 2013-07-09 | 2017-03-02 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法および炭化珪素半導体装置 |
US10208398B2 (en) | 2014-12-02 | 2019-02-19 | Showa Denko K.K. | Wafer support, chemical vapor phase growth device, epitaxial wafer and manufacturing method thereof |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2620786A (en) * | 2022-07-22 | 2024-01-24 | Edwards Ltd | Work coil for induction heated abatement apparatus |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4937040B1 (ja) * | 1967-10-23 | 1974-10-04 | ||
JPH02157196A (ja) * | 1988-12-08 | 1990-06-15 | Nec Corp | 半導体結晶成長方法 |
JPH02267197A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-10-31 | Nec Corp | 炭化硅素の成長方法 |
JPH09268099A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP2001526163A (ja) * | 1997-12-11 | 2001-12-18 | ノースロップ グラマン コーポレーション | 高純度単結晶炭化ケイ素を成長させる方法及び装置 |
-
2005
- 2005-04-14 JP JP2005117046A patent/JP4662034B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4937040B1 (ja) * | 1967-10-23 | 1974-10-04 | ||
JPH02157196A (ja) * | 1988-12-08 | 1990-06-15 | Nec Corp | 半導体結晶成長方法 |
JPH02267197A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-10-31 | Nec Corp | 炭化硅素の成長方法 |
JPH09268099A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP2001526163A (ja) * | 1997-12-11 | 2001-12-18 | ノースロップ グラマン コーポレーション | 高純度単結晶炭化ケイ素を成長させる方法及び装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011096801A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Furukawa Co Ltd | ハイドライド気相成長装置 |
JP2014047090A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Fuji Electric Co Ltd | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2014123617A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素基板の製造方法および製造装置 |
JPWO2015005064A1 (ja) * | 2013-07-09 | 2017-03-02 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法および炭化珪素半導体装置 |
JP2016111043A (ja) * | 2014-12-02 | 2016-06-20 | 昭和電工株式会社 | ウェハ支持台、化学気相成長装置、エピタキシャルウェハ |
US10208398B2 (en) | 2014-12-02 | 2019-02-19 | Showa Denko K.K. | Wafer support, chemical vapor phase growth device, epitaxial wafer and manufacturing method thereof |
US10519566B2 (en) | 2014-12-02 | 2019-12-31 | Showa Denko K.K. | Wafer support, chemical vapor phase growth device, epitaxial wafer and manufacturing method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4662034B2 (ja) | 2011-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5152435B2 (ja) | エピタキシャル炭化珪素単結晶基板の製造方法 | |
KR100984261B1 (ko) | SiC 결정의 제조 방법 및 SiC 결정 | |
JP4662034B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
CA2312790C (en) | Growth of very uniform silicon carbide epitaxial layers | |
US9053834B2 (en) | Silicon carbide single crystal and manufacturing method of the same | |
JP4706565B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP2006321696A (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
WO2015114961A1 (ja) | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 | |
KR20130109946A (ko) | GaN 결정 자립 기판 및 그 제조 방법 | |
KR101947926B1 (ko) | 에피택셜 탄화규소 웨이퍼의 제조 방법 | |
JP2006117512A (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法とその方法によって成長した炭化珪素単結晶、単結晶インゴットおよび炭化珪素単結晶ウエーハ | |
US7901508B2 (en) | Method, system, and apparatus for the growth of SiC and related or similar material, by chemical vapor deposition, using precursors in modified cold-wall reactor | |
JPS5838399B2 (ja) | 炭化珪素結晶層の製造方法 | |
JP3508519B2 (ja) | エピタキシャル成長装置およびエピタキシャル成長法 | |
EP2784191A1 (en) | Low carbon group-III nitride crystals | |
JP5761264B2 (ja) | SiC基板の製造方法 | |
WO2018047844A1 (ja) | 窒化ガリウム積層体の製造方法 | |
JPS6120514B2 (ja) | ||
JP2004253751A (ja) | Cvdエピタキシャル成長方法 | |
JP7322594B2 (ja) | 炭化珪素基板及びその製造方法 | |
JP7367497B2 (ja) | 炭化ケイ素多結晶膜の成膜方法、および、炭化ケイ素多結晶基板の製造方法 | |
JP7023543B2 (ja) | ウエハの製造方法、エピタキシャルウエハの製造方法、これによって製造されたウエハ及びエピタキシャルウエハ | |
US20220367643A1 (en) | Method of manufacturing a silicon carbide epitaxial substrate | |
WO2017047244A1 (ja) | 炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法および炭化珪素エピタキシャル成長装置 | |
JPS5830280B2 (ja) | 炭化珪素結晶層の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20070719 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090408 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20101208 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101221 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |