JP2006286700A - 精密洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体搬送容器を水で精密洗浄する方法において、
(1)前記半導体搬送容器と、水溶性粉粒体とを接触させる工程、
(2)付着しなかった水溶性粉粒体を、前記半導体搬送容器から除去する工程、
(3)水溶性粉粒体が付着した半導体搬送容器を検出する工程、
(4)水溶性粉粒体が付着していない半導体搬送容器と水溶性粉粒体が付着した半導体搬送容器とを分離する工程、
(5)水溶性粉粒体が付着していない半導体搬送容器を水で精密洗浄する工程、
を含むことを特徴とする精密洗浄方法。
【選択図】図1
Description
(1)前記半導体搬送容器と、水溶性粉粒体とを接触させる工程、
(2)付着しなかった水溶性粉粒体を、前記半導体搬送容器から除去する工程、
(3)水溶性粉粒体が付着した半導体搬送容器を検出する工程、
(4)水溶性粉粒体が付着していない半導体搬送容器と水溶性粉粒体が付着した半導体搬送容器とを分離する工程、
(5)水溶性粉粒体が付着していない半導体搬送容器を水で精密洗浄する工程、
を含むことを特徴とする精密洗浄方法および精密洗浄装置等を提供するものである。
黒色の半導体搬送容器20枚(そのうちの2枚には、黒色の両面テープの微小片(直径約0.5mm程度)が貼り付けられている)を、目視検査した。しかしながら、目視検査では、両面テープが付着している半導体搬送容器を見つけることはできなかった。目視検査後の半導体搬送容器20枚を、クリーンルーム(5μm以上のパーティクル数が1000個/ft3以下)内で、純水(比抵抗値:10MΩ・cm)で、精密洗浄(超音波照射下)し、温風乾燥した。温風乾燥後の半導体搬送容器20枚のうちの1枚を用いて、下記測定条件でパーティクル数を測定したところ、2μm以上のパーティクル数は、160個であった。
(a)パーティクルが付着していないポリエチレン製袋に、超純水(比抵抗値:18MΩ・cm)100mLを入れて、ゆっくりと左右に5回まわした。2時間静置した後、該袋内の超純水10mLを採取し、リオン製KR−32型パーティクル測定器で2〜100μmのパーティクル数を測定した。
(b)上記(a)で超純水10mLを採取した後のポリエチレン製袋に、測定対象の半導体搬送容器1枚を入れ、ゆっくりと左右に5回まわした。2時間静置した後、該袋内の超純水10mLを採取し、リオン製KR−32型パーティクル測定器で2〜100μmのパーティクル数を測定した。
(c)上記(b)で得られたパーティクル数から上記(a)で得られたパーティクル数を差し引いた値を、測定対象の半導体搬送容器のパーティクル数とした。
黒色の半導体搬送容器20枚(そのうちの2枚には、黒色の両面テープの微小片(直径約0.5mm程度)が貼り付けられている)を、目視検査した。しかしながら、目視検査では、両面テープが付着している半導体搬送容器を見つけることはできなかった。次に、この半導体搬送容器20枚の表面にグラニュー糖をふりかけ、次いで反転させて付着しなかったグラニュー糖を除去した。裏面についても同様の操作を行った後、グラニュー糖が付着した半導体搬送容器があるか否かを目視で確認したところ、2枚の半導体搬送容器にグラニュー糖が付着していることを見つけた。
Claims (5)
- 半導体搬送容器を水で精密洗浄する方法において、
(1)前記半導体搬送容器と、水溶性粉粒体とを接触させる工程、
(2)付着しなかった水溶性粉粒体を、前記半導体搬送容器から除去する工程、
(3)水溶性粉粒体が付着した半導体搬送容器を検出する工程、
(4)水溶性粉粒体が付着していない半導体搬送容器と水溶性粉粒体が付着した半導体搬送容器とを分離する工程、
(5)水溶性粉粒体が付着していない半導体搬送容器を水で精密洗浄する工程、
を含むことを特徴とする精密洗浄方法。 - 水溶性粉粒体が、多糖類、水溶性高分子、アルカリ金属塩またはアルカリ土類金属塩である請求項1に記載の精密洗浄方法。
- 半導体搬送容器の精密洗浄装置において、
前記半導体搬送容器と、水溶性粉粒体とを接触させる接触手段と、
付着しなかった水溶性粉粒体を、前記半導体搬送容器から除去する除去手段と、
水溶性粉粒体が付着した半導体搬送容器を検出する検出手段と、
水溶性粉粒体が付着していない半導体搬送容器と水溶性粉粒体が付着した半導体搬送容器とを分離する分離手段と、
水溶性粉粒体が付着していない半導体搬送容器を水で精密洗浄する精密洗浄手段とを備えてなる精密洗浄装置。 - 半導体搬送容器と、水溶性粉粒体とを接触させることを特徴とする半導体搬送容器に粘着物が付着しているか否かを判別する方法。
- 水溶性粉粒体が、多糖類、水溶性高分子、アルカリ金属塩またはアルカリ土類金属塩である請求項4に記載の半導体搬送容器に粘着物が付着しているか否かを判別する方法。
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KR20230106600A (ko) | 2020-11-18 | 2023-07-13 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 검사장치 및 검사방법 |
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