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KR1020060030295A KR100855100B1 (ko) 2005-04-01 2006-04-03 외관 검사 장치 및 외관 검사 방법

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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008002934A (ja) * 2006-06-22 2008-01-10 Tokyo Seimitsu Co Ltd 外観検査装置及び外観検査方法
JP5071782B2 (ja) * 2007-07-02 2012-11-14 東京エレクトロン株式会社 基板の欠陥検査方法及び欠陥検査プログラム
JP5414215B2 (ja) * 2008-07-30 2014-02-12 株式会社日立ハイテクノロジーズ 回路パターン検査装置、および回路パターンの検査方法
SG175097A1 (en) * 2009-04-23 2011-12-29 Rudolph Technologies Inc Optical inspection optimization
US8908170B2 (en) * 2012-12-27 2014-12-09 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Method for detecting defect of display panel and related detecting device
KR101828536B1 (ko) * 2013-04-11 2018-02-12 한화테크윈 주식회사 패널 검사 방법 및 장치
JP6513982B2 (ja) * 2015-03-16 2019-05-15 株式会社東芝 欠陥検査装置並びに欠陥検査装置の管理方法及び管理装置
US10354375B2 (en) * 2016-06-29 2019-07-16 Ngr Inc. Method of utilizing information on shape of frequency distribution of inspection result in a pattern inspection apparatus
US10290087B2 (en) * 2017-09-11 2019-05-14 Applied Materials Israel Ltd. Method of generating an examination recipe and system thereof
JP7087221B2 (ja) * 2019-10-30 2022-06-21 Ａｌｉｔｅｃｓ株式会社 検査装置、方法、及び、プログラム
CN111220620A (zh) * 2020-03-09 2020-06-02 广东荣旭智能技术有限公司 一种机器视觉外观瑕疵检测装置及其瑕疵检测方法
US11749569B2 (en) * 2020-05-06 2023-09-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method for non-destructive inspection of cell etch redeposition
DE102020125929A1 (de) * 2020-05-06 2021-11-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Verfahren zur nicht destruktiven überprüfung parasitärer ätzabscheidungen auf zellen
KR102586394B1 (ko) * 2021-04-15 2023-10-11 (주)넥스틴 셀-대-셀 비교 방법
CN115294060A (zh) * 2022-08-05 2022-11-04 海尔数字科技(青岛)有限公司 电器设备的外观缺陷检测方法、装置、电子设备及介质

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01143938A (ja) * 1987-11-30 1989-06-06 Toshiba Corp 規則パターンの欠陥検出方法
JP2635758B2 (ja) * 1989-03-28 1997-07-30 株式会社東芝 欠陥判別装置
JPH06213821A (ja) * 1993-01-21 1994-08-05 Hitachi Ltd 半導体ウェハの異物検査装置
JPH10123064A (ja) 1996-10-24 1998-05-15 Hitachi Metals Ltd 外観検査方法
JPH1145919A (ja) 1997-07-24 1999-02-16 Hitachi Ltd 半導体基板の製造方法
JP3566589B2 (ja) * 1998-07-28 2004-09-15 株式会社日立製作所 欠陥検査装置およびその方法
JP3357001B2 (ja) * 1998-12-02 2002-12-16 株式会社東京精密 半導体集積装置のパターン検査装置及びパターン検査方法
JP3836988B2 (ja) 1999-01-06 2006-10-25 大日本スクリーン製造株式会社 パターン検査方法およびパターン検査装置
US6539106B1 (en) * 1999-01-08 2003-03-25 Applied Materials, Inc. Feature-based defect detection
JP2001304842A (ja) * 2000-04-25 2001-10-31 Hitachi Ltd パターン検査方法及びその装置並びに基板の処理方法
JP4017148B2 (ja) * 2002-09-05 2007-12-05 大日本スクリーン製造株式会社 パターン検査装置、歩留管理システム、パターン検査方法、基板製造方法およびプログラム
JP4233397B2 (ja) * 2002-10-01 2009-03-04 株式会社東京精密 画像欠陥検査方法、画像欠陥検査装置及び外観検査装置
JP2004144685A (ja) * 2002-10-28 2004-05-20 Hitachi Ltd 半導体デバイス製造ラインにおける外観検査装置の機差調整方法及びそのシステム
JP2005072048A (ja) * 2003-08-27 2005-03-17 Nikon Corp データ管理装置
JP4033084B2 (ja) * 2003-09-01 2008-01-16 山崎製パン株式会社 物体表面に形成された凹部の認知方法

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