JP2006276121A - 機能性膜パターン成膜方法、機能性膜パターン、および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電磁波の照射エネルギー量の低減を図り、基板に与える熱のダメージを抑制することができ、必要な光源の設備の小型化を図った機能性膜パターン成膜方法、機能性膜パターン、および電子機器を提供する。
【解決手段】 薄い膜パターン40を一層だけ基板21上に形成し、この膜パターン40にレーザ光50を照射し凹凸41a,41bのある熱伝導防止膜41を形成する。この後、熱伝導防止膜41上にメインの膜パターン43を形成し、この膜パターンにレーザ光を照射して配線パターン19を形成する。熱伝導防止膜41の表面には凹凸41a,41bがあり(図1(A)の拡大部62参照)、熱伝導防止膜41と基板21の接触面積が減少するので、膜パターン43にレーザ光50を照射して配線パターン19を形成する際に、膜パターン43と基板21との間の見かけ上の熱伝導率を下げることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 薄い膜パターン40を一層だけ基板21上に形成し、この膜パターン40にレーザ光50を照射し凹凸41a,41bのある熱伝導防止膜41を形成する。この後、熱伝導防止膜41上にメインの膜パターン43を形成し、この膜パターンにレーザ光を照射して配線パターン19を形成する。熱伝導防止膜41の表面には凹凸41a,41bがあり(図1(A)の拡大部62参照)、熱伝導防止膜41と基板21の接触面積が減少するので、膜パターン43にレーザ光50を照射して配線パターン19を形成する際に、膜パターン43と基板21との間の見かけ上の熱伝導率を下げることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、各種デバイスの機能性膜パターンを形成する機能性膜パターン成膜方法、機能性膜パターン、および電子機器に関する。
従来、各種デバイスの機能性膜パターンを形成する方法としてはフォトリソグラフィー法が一般的に知られている。この方法は材料の大部分を捨てるなど無駄が大きいと言える。このフォトリソグラフィー法に代わる機能性膜パターンの形成方法として、スクリーン印刷法やマイクロディスペンス法、液滴吐出法(インクジェット法)等による直接描画が知られている(例えば、特許文献1参照)。
このような直接描画を行うためには、スパッタ法等とは異なり、機能性材料を微粒子化し溶液に分散させる、もしくは適当な溶媒に溶かし込むことでインク化したものを用いる必要がある。このため、直接描画により配線をパターニングしただけでは機能性膜パターンとしての性能を発揮することができないので、所望の性能を得るために後工程としてオーブン等を用いた乾燥と焼結を含む焼成プロセスが必要となる。
現状の焼成プロセスには30分から1時間程度以上の時間が必要であるため、この焼成プロセスはスループットを低下させる要因となっている。これを回避するため、オーブン等に代わる処理時間の速い焼成プロセスとして、直接描画によりパターニングされた膜パターンに電磁波を照射し、光熱変換で生じた熱の作用で上記焼成プロセスを行う電磁波照射による方法が考えられる。
特開2002−261048号公報
ところで、上述したように直接描画によりパターニングした膜パターンに電磁波を照射して機能性材料を焼成(乾燥と焼結を含む)する場合、機能性膜パターンを形成するのに必要な単位面積当たりの照射エネルギー量は、用いる基材、インク種、インク量、電磁波スペクトル等によっても異なるが、0.1〜100J/mm2程度である。次式、
(単位面積当たりの電磁波の照射エネルギー量)=(電磁波出力×照射時間/電磁波のスポット面積)
の関係が成り立つ範囲において、焼成に必要な照射エネルギー量を確保するように、電磁波出力、照射時間、スポット面積を調整し、上記膜パターンへ電磁波を照射する。
(単位面積当たりの電磁波の照射エネルギー量)=(電磁波出力×照射時間/電磁波のスポット面積)
の関係が成り立つ範囲において、焼成に必要な照射エネルギー量を確保するように、電磁波出力、照射時間、スポット面積を調整し、上記膜パターンへ電磁波を照射する。
この場合、照射エネルギー量一定の下で照射強度(=電磁波出力/スポット面積)を強くすること、電磁波出力を上げること及び/或いはスポット面積を小さくすることで、照射時間を短縮できる。
しかしながら、電磁波を上記膜パターンに照射して上記焼成プロセスを行う場合、乾燥・焼結を十分に進めるためには、非常に高密度のエネルギーを投入しなければならないため、例えば本技術を大面積に適用しようとすると、必要な光源の設備が大掛かりになってしまうという問題がある。
また、電磁波が直接作用するのではなく、光熱変換によって生じた熱の作用で膜パターンを乾燥・焼結させ機能性を発現させるプロセスである場合、その乾燥・焼結に必要な温度がどれだけ保持されるかが重要である。そのため、照射強度を弱めると必要な照射エネ
ルギー量は多くなる。
ルギー量は多くなる。
上記膜パターンが形成される基板の熱伝導率と膜パターン部分の熱伝導率は異なる。また、膜パターン部分の熱伝導率は焼成の前後でその値が異なる。焼成後では、膜パターン中での溶媒その他の残留量が低下し膜が緻密になるため、一般に熱伝導率は高くなる。もし膜パターン部分の熱伝導率が基板のそれと比較して十分大きい場合、電磁波照射により発生した熱の伝導による拡散は、主に焼成後の膜パターン部分を介して行われるが、基板を介した熱伝導も存在する。このため、電磁波照射により発生した熱を保持するという観点からは、特に照射時間を長くする必要がある場合に、基板側に熱が逃げるのを無視できなくなり、熱の有効利用という点で効率的ではない。さらに、基板側に熱が逃げることで、基板に熱のダメージを与えてしまうという問題がある。これに対する対策は、特に耐熱性の悪い基板を用いる場合に重要となる。
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、電磁波の照射エネルギー量の低減を図り、基板に与える熱のダメージを抑制することができ、必要な光源の設備の小型化を図った機能性膜パターン成膜方法、機能性膜パターン、および電子機器を提供すること。
本発明における機能性膜パターン成膜方法は、機能性材料を含む薄い膜パターンを一層だけ基板上に形成する第1の工程と、一層目の前記膜パターンに電磁波を照射して表面に凹凸のある熱伝導防止膜を形成する第2の工程と、前記熱伝導防止膜上に機能性材料を含む二層目の膜パターンを形成する第3の工程と、前記二層目の膜パターンに電磁波を照射して機能性膜パターンを形成する第4の工程と、を含むことを要旨とする。
これによれば、薄い膜パターンを一層だけ基板上に形成し、この膜パターンに電磁波を照射して凹凸のある熱伝導防止膜を基板上に形成する。この後、熱伝導防止膜上にメインの膜パターンである二層目の膜パターンを形成し、この膜パターンに電磁波を照射して機能性膜パターンを形成する。
一層目の熱伝導防止膜の表面には凹凸があり、この熱伝導防止膜と基板との接触面積が減少するので、メインの膜パターンである二層目の膜パターンに電磁波を照射して機能性膜パターンを形成する際に、二層目の膜パターンと基板との間の見かけ上の熱伝導率を下げることができる。このため、二層目の膜パターンに電磁波を照射して機能性膜パターンを形成する際に、電磁波が照射されて光熱変換により二層目の膜パターンに発生した熱が、基板側へ移動するのを抑制することができる。その結果、機能性膜パターンを形成する際に、二層目の膜パターンで発生した熱を効率良く保持することができ、この方法を用いない場合と比較して電磁波の照射エネルギー量を減らすことができる。
また、一層目の膜パターンに電磁波を照射して凹凸のある熱伝導防止膜のみを形成するのに必要な電磁波の照射時間と照射エネルギー量は、一度に機能性膜膜パターンを形成する場合に比べると、体積に比例して少なくて済む。このため、一層目の熱伝導防止膜を形成する際に基板に与える熱のダメージを抑えることができる。
また、一層目の膜パターンは薄い層なので、この膜パターンに電磁波を照射して熱伝導防止膜を形成するのに必要な電磁波の照射エネルギー量は少なくて済む。また、二層目の膜パターンを形成する際に、光熱変換で発生した熱を有効に利用できるので、一層目の膜パターンと二層目の膜パターンの両方を形成するのに要した電磁波の総照射エネルギー量を、一度に機能性膜膜パターンを形成する場合よりも減らすことができる。さらに、非常に高密度のエネルギーを投入する必要が無いため、光源の設備の小型化を図ることができ
る。なお、ここにいう熱伝導防止膜の「表面」は、基板側の一方の面と、これとは反対側の他方の面とを含む。
る。なお、ここにいう熱伝導防止膜の「表面」は、基板側の一方の面と、これとは反対側の他方の面とを含む。
この機能性膜パターン成膜方法において、前記第1の工程では、機能性液状材料を基板上に付着させて前記一層目の膜パターンを形成し、前記第3の工程では、機能性液状材料を前記熱伝導防止膜上に付着させて前記二層目の膜パターンを形成することを要旨とする。
これによれば、直接描画によりパターニングされた膜パターンに電磁波を照射し、光熱変換で生じた熱の作用で機能性膜パターンを形成するプロセスにおいて、電磁波の照射エネルギー量を減らすことができるとともに、基板に与える熱のダメージを抑えることができる。
この機能性膜パターン成膜方法において、前記機能性液状材料は、機能性材料を微粒子化したものを分散剤で被覆し、溶媒に分散させてインク化もしくはペースト化したものであり、前記熱伝導防止膜の表面にできる凹凸は、電磁波の照射による光熱変換で発生した熱で前記一層目の膜パターンの焼成が進み、前記機能性材料の微粒子が溶融することで粒成長してポーラス状構造になってできたものであることを要旨とする。
これによれば、薄い一層目の膜パターンに電磁波を照射することで、その膜パターンの焼成(乾燥と焼結)を進め、機能性材料の微粒子が溶融することで粒成長してポーラス状構造になってできる凹凸のある熱伝導防止膜を基板上に形成することができる。この後、熱伝導防止膜上に形成された二層目の膜パターンに電磁波を照射することで、この膜パターンの焼成を進め、機能性膜パターンを形成することができる。
このようにして機能性膜パターンを形成する際に、一層目の膜パターンに電磁波を照射して凹凸のある熱伝導防止膜のみを焼成するのに必要な電磁波の照射時間と照射エネルギー量は、一度に機能性膜膜パターンを焼成する場合に比べると、体積に比例して少なくて済む。このため、一層目の熱伝導防止膜を焼成する際に基板に与える熱のダメージを抑えることができる。
この機能性膜パターン成膜方法において、前記一層目の膜パターンの機能性材料と前記二層目の膜パターンの機能性材料とは同一であることを要旨とする。
これによれば、一層目の熱伝導防止膜に、基板側への熱伝導を抑制する機能と共に、二層目の膜パターンに電磁波を照射して形成された機能性膜パターンと同じ機能性膜パターンとしての機能も持たせることができる。
これによれば、一層目の熱伝導防止膜に、基板側への熱伝導を抑制する機能と共に、二層目の膜パターンに電磁波を照射して形成された機能性膜パターンと同じ機能性膜パターンとしての機能も持たせることができる。
この機能性膜パターン成膜方法において、前記電磁波は、レーザ光であることを要旨とする。
これによれば、一層目の膜パターンにレーザ光を照射して凹凸のある熱伝導防止膜のみを形成するのに必要なレーザ光の照射時間と投入エネルギー量は、一度に機能性膜膜パターンを形成する場合に比べると、体積に比例して少なくて済む。このため、一層目の熱伝導防止膜を形成する際に基板に与える熱のダメージを抑えることができる。
これによれば、一層目の膜パターンにレーザ光を照射して凹凸のある熱伝導防止膜のみを形成するのに必要なレーザ光の照射時間と投入エネルギー量は、一度に機能性膜膜パターンを形成する場合に比べると、体積に比例して少なくて済む。このため、一層目の熱伝導防止膜を形成する際に基板に与える熱のダメージを抑えることができる。
また、一層目の膜パターンは薄い層なので、この膜パターンに電磁波を照射して熱伝導防止膜を形成するのに必要なレーザ光の投入エネルギー量(電磁波の照射エネルギー量)は少なくて済む。また、二層目の膜パターンを形成する際に、光熱変換で発生した熱を有効に利用できるので、一層目の膜パターンと二層目の膜パターンの両方を形成するのに要したレーザ光の総投入エネルギー量を、一度に機能性膜膜パターンを形成する場合よりも減らすことができる。さらに、非常に高密度のエネルギーを投入する必要が無いため、レ
ーザ設備の小型化を図ることができる。
ーザ設備の小型化を図ることができる。
本発明における機能性膜パターンは、上記機能性膜パターン成膜方法により形成された機能性膜パターンにおいて、前記基板上に形成され、表面に凹凸のある薄い熱伝導防止膜と、前記熱伝導防止膜の上に形成されたメインの機能性膜パターンと、を含むことを要旨とする。
これによれば、少ない照射エネルギー量で形成可能で、かつ基板へ与える熱のダメージを抑制できる配線パターンを実現できる。
本発明における電子機器は、上記機能性膜パターン成膜方法により形成された機能性膜パターンを備えることを要旨とする。
本発明における電子機器は、上記機能性膜パターン成膜方法により形成された機能性膜パターンを備えることを要旨とする。
これによれば、上記機能性膜パターン成膜方法により機能性膜パターンとしての配線パターンを形成することで、機能性膜パターンの形成プロセスのスループットが向上するので、低コストの電子機器を実現することができる。
以下、本発明を具体化した実施形態を、図面に基づいて説明する。なお、以下の実施形態では、機能性膜パターンの一例として、プラズマディスプレイ等の表示装置の素子基板上に形成される走査線やデータ線等の配線パターン(金属配線パターン)もしくは回路基板の金属配線パターンを形成する場合について説明する。
(機能性膜パターン成膜装置)
まず、一実施形態に係る機能性膜パターン成膜方法の実施に用いる機能性膜パターン成膜装置20を、図1(A)に基づいて簡単に説明する。
まず、一実施形態に係る機能性膜パターン成膜方法の実施に用いる機能性膜パターン成膜装置20を、図1(A)に基づいて簡単に説明する。
この機能性膜パターン成膜装置20は、図1(A)に示すように、機能性膜パターンとしての配線パターン19(図1(C)参照)が形成される基板21が載置されるキャリッジ22と、液滴吐出ヘッド23と、レーザ光照射ヘッド24と、制御部25とを備えている。
キャリッジ22は、図示を省略したX方向駆動モータとY方向駆動モータにより駆動されて、液滴吐出ヘッド23に対してXY方向に移動可能になっている。図1(A)では、基板21は矢印で示す基板進行方向へ搬送される。
液滴吐出ヘッド23は、機能性材料を含む液滴30を基板21上に吐出する。この液滴30は、図1(A)の拡大部60,61で示すように、機能性材料としての金属を微粒子化したもの(金属微粒子31)を溶媒32に分散させてインク化したものである。また、この液滴30には、金属微粒子31はそのままではくっついて溶融するので、この金属微粒子31を分散剤33からなる保護膜で被覆して分散させてある。本例では、金属微粒子として銀の微粒子を用いている。また、液滴吐出ヘッド23は、基板21上に着弾した液滴30が凝集して所定の膜パターン40が基板21上に形成されるように液滴30を吐出するようになっている。この膜パターン40が基板21上に形成されるように、この基板21上の必要な個所には撥液処理が施されている。
レーザ光照射ヘッド24は、レーザ光50を膜パターン、例えば膜パターン40に照射するようになっている。レーザ光照射ヘッド24は、レーザ光50を出射するレーザ本体51と、レーザ本体51から出射されたレーザ光50を所望のスポット形状で膜パターン40に集光させるレンズ52とを含んでいる。レーザ本体51は、例えば、Nd:YAGレーザの第二高調波(波長:532nm)を用いている。このレーザ本体51は、レーザ
光50を連続的に出射するように、制御部25により駆動制御される。このような構成のレーザ光照射ヘッド24が、液滴吐出ヘッド23の近傍に配置されている。
光50を連続的に出射するように、制御部25により駆動制御される。このような構成のレーザ光照射ヘッド24が、液滴吐出ヘッド23の近傍に配置されている。
制御部25は、液滴吐出ヘッド23、キャリッジ22、およびレーザ光照射ヘッド24の各々に制御信号を出力し、これらを含むシステム全体を統括制御するようになっている。この制御部25は、図示を省略したCPU,タイマクロック、膜パターンの形状および位置を記憶したメモリ等を含んで構成されている。
次に、以上の構成を有する機能性膜パターン成膜装置20を用いて実施される一実施形態に係る機能性膜パターン成膜方法を、図1(A)〜(C)に基づいて説明する。
この機能性膜パターン成膜方法は、以下の工程を含む。
この機能性膜パターン成膜方法は、以下の工程を含む。
第1の工程:
機能性材料を含む薄い膜パターン40を一層だけ基板21上に形成する工程(図1(A)参照)。
機能性材料を含む薄い膜パターン40を一層だけ基板21上に形成する工程(図1(A)参照)。
第2の工程:
一層目の膜パターン40にレーザ光50を照射して表面に凹凸のある熱伝導防止膜41を形成する工程(図1(A)参照)。
一層目の膜パターン40にレーザ光50を照射して表面に凹凸のある熱伝導防止膜41を形成する工程(図1(A)参照)。
第3の工程:
熱伝導防止膜41上に機能性材料を含む二層目の膜パターン43を形成する工程(図1(B)参照)。
熱伝導防止膜41上に機能性材料を含む二層目の膜パターン43を形成する工程(図1(B)参照)。
第4の工程:
二層目の膜パターン43にレーザ光50を照射して機能性膜パターンとしての配線パターン19(図1(C)参照)を形成する工程。
二層目の膜パターン43にレーザ光50を照射して機能性膜パターンとしての配線パターン19(図1(C)参照)を形成する工程。
上記第1の工程では、機能性材料として、金属を微粒子化した金属微粒子31(銀の微粒子)を用いる。その金属微粒子(機能性材料)を分散剤33で被覆し、溶媒32に分散させてインク化した機能性液状材料を基板21上に付着させて一層目の膜パターン40を形成する。本例では、第一の工程で、機能性液状材料を基板21上に付着させて一層目の膜パターン40を形成するのは、インクジェット法により機能性液状材料を基板21上に付着させる装置(液滴吐出ヘッド23)を用いて行われる。
上記第3の工程では、機能性材料として、金属を微粒子化した金属微粒子31(銀の微粒子)を用いる。その金属微粒子を分散剤33で被覆し、溶媒32に分散させてインク化した機能性液状材料を基板21上に付着させてニ層目の膜パターン43を形成する。本例では、第3の工程で、機能性液状材料を基板21上に付着させてニ層目の膜パターン43を形成するのは、インクジェット法により機能性液状材料を基板21上に付着させる装置(液滴吐出ヘッド23)を用いて行われる。
上記第2の工程で形成される熱伝導防止膜41の表面にできる凹凸41a、41b(図1(A)の拡大部62参照)は、レーザ光50の照射による光熱変換で発生した熱で一層目の膜パターン40の焼成が進み、金属微粒子(機能性材料の微粒子)31が溶融することで粒成長してポーラス状構造になってできたものである。図1(A)の拡大部60では、焼成前の膜パターン40と、膜パターン40の焼成が進みポーラス状構造になった熱伝導防止膜41とをそれぞれ模式的に示してある。
ここで、熱伝導防止膜41の表面は、基板21側の一方の面と、これとは反対側の他方
の面とを含む。図1(A)の拡大部62で示すように、熱伝導防止膜41の基板21側の一方の面には凹凸41aが、その他方の面には凹凸41bがそれぞれできている。
の面とを含む。図1(A)の拡大部62で示すように、熱伝導防止膜41の基板21側の一方の面には凹凸41aが、その他方の面には凹凸41bがそれぞれできている。
上記第3の工程では、機能性材料として、上記第1の工程と同一の金属微粒子31(銀の微粒子)を用いる。つまり、本例では、一層目の膜パターン40の機能性材料と二層目の膜パターン43の機能性材料とは同一である。
また、上記第2の工程では、基板21上に形成された膜パターン40は、図1(A)の矢印で示す基板進行方向に移動し、レーザ光50が照射される位置に達した膜パターン40の部分に、レーザ光50が連続的に照射される。レーザ光50が膜パターン40に連続的に照射されることで、以下の焼成プロセスが進行する。
(1)膜パターン40のレーザ光50が照射された部分では、分散剤33で被覆された金属微粒子31が溶媒32に浮いている状態で、光熱変換により発生した熱により溶媒32を蒸発させる乾燥過程。
(2)光熱変換により発生した熱により、分散剤33を取り除く過程。
(3)光熱変換により発生した熱により、分散剤33が取り除かれた金属微粒子31を焼結する過程。
(3)光熱変換により発生した熱により、分散剤33が取り除かれた金属微粒子31を焼結する過程。
このような焼成プロセスにより、図1(A)の拡大部60,62で示すように、金属微粒子31同士がくっつき(金属微粒子31が溶融することで粒成長してポーラス状構造になって)、表面に凹凸41a、41bのあるでこぼこした熱伝導防止膜41ができる。
また、上記第4の工程では、熱伝導防止膜41上に形成された二層目の膜パターン43(図1(B)参照)は、同図の矢印で示す基板進行方向に移動し、レーザ光50が照射される位置に達した二層目の膜パターン43の部分に、レーザ光50が連続的に照射される。レーザ光50が二層目の膜パターン43に連続的に照射されることで、以下の焼成プロセスが進行する。
(1)二層目の膜パターン43のレーザ光50が照射された部分では、上記第2の工程で説明した膜パターン40と同様に、分散剤33で被覆された金属微粒子31が溶媒32に浮いている状態で、光熱変換により発生した熱により溶媒32を蒸発させる乾燥過程。
(2)光熱変換により発生した熱により、分散剤33を取り除く過程。
(3)光熱変換により発生した熱により、分散剤33が取り除かれた金属微粒子31を焼結する過程。
(3)光熱変換により発生した熱により、分散剤33が取り除かれた金属微粒子31を焼結する過程。
このような焼成プロセスにより、上記第2の工程で説明した膜パターン40の場合と同様に、金属微粒子31同士がくっつき(金属微粒子31が溶融することで粒成長してポーラス状構造になって)、表面に凹凸のあるでこぼこした機能性膜パターンとしての配線パターン19(図1(C)参照)ができる。
以上のように構成された一実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
○薄い膜パターン40を一層だけ基板21上に形成し、この膜パターン40にレーザ光50を照射して凹凸41a,41bのある熱伝導防止膜41を基板21上に形成する。この後、熱伝導防止膜41上にメインの膜パターンである二層目の膜パターン43を形成し、この膜パターンにレーザ光を照射して配線パターン19を形成する。
○薄い膜パターン40を一層だけ基板21上に形成し、この膜パターン40にレーザ光50を照射して凹凸41a,41bのある熱伝導防止膜41を基板21上に形成する。この後、熱伝導防止膜41上にメインの膜パターンである二層目の膜パターン43を形成し、この膜パターンにレーザ光を照射して配線パターン19を形成する。
一層目の熱伝導防止膜41の表面には凹凸41a,41bがあり、図1(A)の拡大部
62で示すように熱伝導防止膜41と基板21との接触面積が減少するので、二層目の膜パターン43にレーザ光50を照射して配線パターン19を形成する際に、膜パターン43と基板21との間の見かけ上の熱伝導率を下げることができる。このため、二層目の膜パターン43にレーザ光50を照射して配線パターン19を形成する際に、レーザ光50が照射されて光熱変換により二層目の膜パターン43に発生した熱が、基板21側へ移動するのを抑制することができる。その結果、配線パターン19を形成する際に、二層目の膜パターン43で発生した熱を効率良く保持することができ、この方法を用いない場合と比較してレーザ光50の投入エネルギー量(総投入エネルギー量)を減らすことができる(下記の表1参照)。ここで、「レーザ光50の投入エネルギー量」は、上記「電磁波の照射エネルギー量」に相当する。
62で示すように熱伝導防止膜41と基板21との接触面積が減少するので、二層目の膜パターン43にレーザ光50を照射して配線パターン19を形成する際に、膜パターン43と基板21との間の見かけ上の熱伝導率を下げることができる。このため、二層目の膜パターン43にレーザ光50を照射して配線パターン19を形成する際に、レーザ光50が照射されて光熱変換により二層目の膜パターン43に発生した熱が、基板21側へ移動するのを抑制することができる。その結果、配線パターン19を形成する際に、二層目の膜パターン43で発生した熱を効率良く保持することができ、この方法を用いない場合と比較してレーザ光50の投入エネルギー量(総投入エネルギー量)を減らすことができる(下記の表1参照)。ここで、「レーザ光50の投入エネルギー量」は、上記「電磁波の照射エネルギー量」に相当する。
例えば、実験例「1」と「6」、「4」と「8」、および「4」と「11」から、2度に分けた方が総投入エネルギー量が減少していることが分かる。
○一層目の膜パターン40にレーザ光50を照射して凹凸41a,41bのある熱伝導防止膜41のみを形成するのに必要なレーザ光の照射時間と投入エネルギー量は、一度に配線パターン19を形成する場合に比べると、体積に比例して少なくて済む。このため、一層目の熱伝導防止膜41を形成する際に基板に与える熱のダメージを抑えることができる。このことは、上の表1から理解できる。この表1では、実験例「2」〜「5」は基板(PET基板)21へのダメージ(熱のダメージ)が有り、実験例「6」〜「8」および
「10」〜「12」はそれぞれ基板21へのダメージが無いことを示している。
○一層目の膜パターン40にレーザ光50を照射して凹凸41a,41bのある熱伝導防止膜41のみを形成するのに必要なレーザ光の照射時間と投入エネルギー量は、一度に配線パターン19を形成する場合に比べると、体積に比例して少なくて済む。このため、一層目の熱伝導防止膜41を形成する際に基板に与える熱のダメージを抑えることができる。このことは、上の表1から理解できる。この表1では、実験例「2」〜「5」は基板(PET基板)21へのダメージ(熱のダメージ)が有り、実験例「6」〜「8」および
「10」〜「12」はそれぞれ基板21へのダメージが無いことを示している。
○一層目の膜パターン40は薄い層なので、この膜パターン40にレーザ光50を照射して熱伝導防止膜41を形成するのに必要なレーザ光の投入エネルギー量は少なくて済む。また、二層目の膜パターン43を形成する際に、光熱変換で発生した熱を有効に利用できるので、一層目の膜パターンと二層目の膜パターンの両方を形成するのに要したレーザ光総投入エネルギー量(電磁波の総照射エネルギー量)を、一度に配線パターン19を形成する場合よりも減らすことができる。
○上記第1の工程では、金属微粒子31を含む液滴30を基板21上に吐出して一層目の膜パターン40を形成し、上記第3の工程では、金属微粒子31を含む液滴30を熱伝導防止膜41上に吐出して二層目の膜パターン43を形成するようにしている。これにより、液滴吐出法の直接描画によりパターニングされた膜パターン43にレーザ光50を照射し、光熱変換で生じた熱の作用で配線パターン19を形成するプロセスにおいて、レーザ光50の投入エネルギー量を減らすことができるとともに、基板21に与える熱のダメージを抑えることができる。
○液滴30は、金属微粒子31を分散剤33で被覆し、溶媒32に分散させてインク化したものであり、熱伝導防止膜41の表面にできる凹凸41a、41bは、レーザ光50の照射による光熱変換で発生した熱で一層目の膜パターン40の焼成が進み、金属微粒子31が溶融することで粒成長してポーラス状構造になってできたものである。これにより、薄い一層目の膜パターン40にレーザ光50を照射することで、その膜パターン40の焼成(乾燥と焼結)を進め、金属微粒子31溶融することで粒成長してポーラス状構造になってできる凹凸41a、41bのある熱伝導防止膜41を基板21上に形成することができる。この後、熱伝導防止膜41上に形成された二層目の膜パターン43にレーザ光50を照射することで、この膜パターン43の焼成を進め、配線パターン19を形成することができる。
○配線パターン19を形成する際に、一層目の膜パターン40にレーザ光50を照射して凹凸41a、41bのある熱伝導防止膜41のみを焼成するのに必要なレーザ光の照射時間と投入エネルギー量は、一度に配線パターン19を焼成する場合に比べると、体積に比例して少なくて済む。このため、一層目の熱伝導防止膜41を焼成する際に基板21に与える熱のダメージを抑えることができる。
○上記第3の工程では、機能性材料として、上記第1の工程と同一の金属微粒子31(銀の微粒子)を用いる。つまり、一層目の膜パターン40の機能性材料(金属微粒子)と二層目の膜パターン43のそれとは同一である。これにより、一層目の熱伝導防止膜41に、基板21側への熱伝導を抑制する機能と共に、二層目の膜パターン43にレーザ光50を照射して形成された配線パターン19と同じ配線パターンとしての機能も持たせることができる。
○非常に高密度のエネルギーを投入する必要が無いため、レーザ設備の小型化を図ることができる。
○液滴吐出ヘッド23の近くにレーザ光照射ヘッド24を配置すればよいので、液滴吐出ヘッド23の後段に、膜パターン40を加熱するためのオーブン或いはホットプレートを配置する必要が無いので、機能性膜パターン成膜装置20の小型化を図ることができる。
○液滴吐出ヘッド23の近くにレーザ光照射ヘッド24を配置すればよいので、液滴吐出ヘッド23の後段に、膜パターン40を加熱するためのオーブン或いはホットプレートを配置する必要が無いので、機能性膜パターン成膜装置20の小型化を図ることができる。
○上述したようにオーブン等で乾燥・焼結をすると、例えば、乾燥に10分くらい、焼結には1時間くらいかかる。こに対して、レーザ光を照射して乾燥・焼結を行う場合、プ
ラズマディスプレイ等の大型パネル基板上の金属配線パターンに適応する場合でも、膜パターン40、43全体の焼成プロセスを数分で完了できるので、処理時間が大幅に改善され、スループットが大幅に向上する。
ラズマディスプレイ等の大型パネル基板上の金属配線パターンに適応する場合でも、膜パターン40、43全体の焼成プロセスを数分で完了できるので、処理時間が大幅に改善され、スループットが大幅に向上する。
○上記一実施形態に係る機能性膜パターン成膜方法により形成された機能性膜パターンとしての配線パターン19は、図1(C)に示すように、基板21上に形成され、表面に凹凸41a、41bのある薄い熱伝導防止膜41と、熱伝導防止膜41の上に形成されたメインの配線パターン19Aと、を含む。これにより、少ない投入エネルギー量で形成可能で、かつ基板21へ与える熱のダメージを抑制できる配線パターンを実現できる。
(電子機器)
次に、上記実施形態で説明した機能性膜パターン成膜方法により形成された配線パターンを備えた電子機器の一例として、モバイル型のパーソナルコンピュータを図2に基づいて説明する。
次に、上記実施形態で説明した機能性膜パターン成膜方法により形成された配線パターンを備えた電子機器の一例として、モバイル型のパーソナルコンピュータを図2に基づいて説明する。
図2に示すパーソナルコンピュータ70は、キーボード71を備えた本体部72と、有機ELパネルを用いた表示ユニット73とを備えている。この表示ユニット73の素子基板(図示省略)上には、複数の走査線と、複数のデータ線と、走査線とデータ線の交差に対応してマトリクス状に配置され、発光素子をそれぞれ有する複数の画素とが形成されている。走査線やデータ線等の配線パターンが上記各実施形態で説明した機能性膜パターン成膜装置或いは機能性膜パターン成膜方法により形成される。
このパーソナルコンピュータ70によれば、機能性膜パターン成膜装置或いは機能性膜パターン成膜方法により機能性膜パターンとしての配線パターンを形成することで、配線パターンの焼成プロセス(形成プロセス)のスループットが向上するので、低コストのパーソナルコンピュータ70を実現することができる。
なお、この発明は以下のように変更して具体化することもできる。
・上記実施形態では、第1の工程では、機能性材料を含む液滴30を基板21上に吐出して一層目の膜パターン40を形成し、第3の工程では、機能性材料を含む液滴30を熱伝導防止膜41上に吐出して二層目の膜パターン43を形成するようにしている。つまり、液滴吐出ヘッド23とレーザ光照射ヘッド24を備える機能性膜パターン成膜装置20を用いたインクジェット法により、第1の工程で機能性液状材料を基板21上に付着させ、第3の工程で機能性液状材料を熱伝導防止膜41上に付着させるようにしているが、本発明はこれに限定されない。本発明は、第1の工程で、液滴吐出法による直接描画以外の方法で、機能性材料を含む薄い膜パターン40を一層だけ基板21上に形成し、第3の工程で、液滴吐出法による直接描画以外の方法で、熱伝導防止膜41上に機能性材料を含む二層目の膜パターン43を形成する機能性膜パターン成膜方法にも適用可能である。例えば、上記第1の工程および第3の工程で、マイクロディスペンス法やスクリーン印刷法により、機能性液状材料を基板上21上或いは熱伝導防止膜41上に付着させる機能性膜パターン形成方法にも本発明は適用される。
・上記実施形態では、第1の工程では、機能性材料を含む液滴30を基板21上に吐出して一層目の膜パターン40を形成し、第3の工程では、機能性材料を含む液滴30を熱伝導防止膜41上に吐出して二層目の膜パターン43を形成するようにしている。つまり、液滴吐出ヘッド23とレーザ光照射ヘッド24を備える機能性膜パターン成膜装置20を用いたインクジェット法により、第1の工程で機能性液状材料を基板21上に付着させ、第3の工程で機能性液状材料を熱伝導防止膜41上に付着させるようにしているが、本発明はこれに限定されない。本発明は、第1の工程で、液滴吐出法による直接描画以外の方法で、機能性材料を含む薄い膜パターン40を一層だけ基板21上に形成し、第3の工程で、液滴吐出法による直接描画以外の方法で、熱伝導防止膜41上に機能性材料を含む二層目の膜パターン43を形成する機能性膜パターン成膜方法にも適用可能である。例えば、上記第1の工程および第3の工程で、マイクロディスペンス法やスクリーン印刷法により、機能性液状材料を基板上21上或いは熱伝導防止膜41上に付着させる機能性膜パターン形成方法にも本発明は適用される。
・上記実施形態では、機能性材料としての金属微粒子として銀の微粒子を用いているが、金属微粒子として、銀以外に、金、銅、アルミニウム等を微粒子化したものを用いても良い。
上記実施形態では、一層目の膜パターン40の機能性材料と二層目の膜パターン43の機能性材料とは同一であるが、両膜パターン40,43の機能性材料が異なるものであっても良い。
・上記実施形態では、機能性膜パターンの一例として、配線パターンを形成する場合について説明したが、本発明は、有機EL素子の有機EL層、カラーフィルタ、ICタグの配線パターン等を形成するのに適用可能である。
・つまり、本発明は、金属配線パターンのように、金属微粒子(微粒子化された機能性材料)を分散剤で被覆したものが溶媒に溶けている液滴を、焼成(乾燥、焼結)して機能性膜パターンである配線パターンを形成するのに広く適用可能である。これに限らず、本発明は、有機EL層のように、材料によっては、機能性材料が溶媒に溶けている液滴を、光熱変換で発生した熱で乾燥して溶媒を蒸発させることで(乾燥工程だけで)、機能性膜パターンが作られるものにも使える。
・このように、本発明は、形成する機能性膜パターンの機構(構造)によって、乾燥だけで形成されるものと、焼成(乾燥と焼結)で形成される機能性膜パターンの両方に適用可能である。
・上記実施形態に係る機能性膜パターン成膜方法の実施に用いられるレーザ光照射ヘッド24には、レーザ本体51から出射されたレーザ光50を所望のスポット形状で膜パターン40に集光させる光学素子としてレンズ52を用いているが、本発明はこれに限定されない。そのレンズ52に代えて、溝の切り方(溝形状)を適宜設定することで、レーザ本体51から出射されて膜パターンに照射されるレーザ光50のスポット形状と強度を任意に変えられる回折光学素子や、シリンドリカルレンズ等、他の光学素子を用いても良い。
19…機能性膜パターンとしての配線パターン、21…基板、30…液滴、31…機能性材料としての金属微粒子、32…溶媒、33…分散剤、40…一層目の膜パターン、41…熱伝導防止膜、41a、41b…凹凸、43…二層目の膜パターン、50…レーザ光。
Claims (7)
- 機能性材料を含む薄い膜パターンを一層だけ基板上に形成する第1の工程と、
一層目の前記膜パターンに電磁波を照射して表面に凹凸のある熱伝導防止膜を形成する第2の工程と、
前記熱伝導防止膜上に機能性材料を含む二層目の膜パターンを形成する第3の工程と、
前記二層目の膜パターンに電磁波を照射して機能性膜パターンを形成する第4の工程と、を含むことを特徴とする機能性膜パターン成膜方法。 - 請求項1に記載の機能性膜パターン成膜方法において、
前記第1の工程では、機能性液状材料を基板上に付着させて前記一層目の膜パターンを形成し、前記第3の工程では、機能性液状材料を前記熱伝導防止膜上に付着させて前記二層目の膜パターンを形成することを特徴とする機能性膜パターン成膜方法。 - 請求項2に記載の機能性膜パターン成膜方法において、
前記機能性液状材料は、機能性材料を微粒子化したものを分散剤で被覆し、溶媒に分散させてインク化もしくはペースト化したものであり、前記熱伝導防止膜の表面にできる凹凸は、電磁波の照射による光熱変換で発生した熱で前記一層目の膜パターンの焼成が進み、前記機能性材料の微粒子が溶融することで粒成長してポーラス状構造になってできたものであることを特徴とする機能性膜パターン成膜方法。 - 請求項1〜3のいずれか一つに記載の機能性膜パターン成膜方法において、
前記一層目の膜パターンの機能性材料と前記二層目の膜パターンの機能性材料とは同一であることを特徴とする機能性膜パターン成膜方法。 - 請求項1〜4のいずれか一つに記載の機能性膜パターン成膜方法において、
前記電磁波は、レーザ光であることを特徴とする機能性膜パターン成膜方法。 - 請求項1〜5のいずれか一つに記載の機能性膜パターン成膜方法により形成された機能性膜パターンにおいて、
前記基板上に形成され、前記表面に凹凸のある薄い熱伝導防止膜と、
前記熱伝導防止膜の上に形成されたメインの機能性膜パターンと、を含むことを特徴とする機能性膜パターン。 - 請求項1〜5のいずれか一つに記載の機能性膜パターン成膜方法により形成された機能性膜パターンを備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005090784A JP2006276121A (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | 機能性膜パターン成膜方法、機能性膜パターン、および電子機器 |
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ID=37210994
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JP2005090784A Withdrawn JP2006276121A (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | 機能性膜パターン成膜方法、機能性膜パターン、および電子機器 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009044800A1 (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-09 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 電極の製造方法、電子回路パターン、薄膜トランジスタ素子及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2014518589A (ja) * | 2011-04-12 | 2014-07-31 | ダイパワー | 金属酸化物系配合物の焼結法 |
-
2005
- 2005-03-28 JP JP2005090784A patent/JP2006276121A/ja not_active Withdrawn
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