KR101494216B1 - 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법에 관한 것으로서, 특히 기판에 도포되어 인쇄패턴을 형성하는 구리잉크에 레이저빔을 조사하여 소결시키는 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법에 관한 것이다.
본 발명의 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법은, 구리가 함유된 구리잉크를 기판에 도포하여 인쇄패턴을 형성하는 잉크도포단계와; 레이저장치를 이용하여 상기 구리잉크에 레이저빔을 조사하여 상기 구리잉크를 소결시키는 소결단계를 포함하여 이루어지되, 상기 레이저빔의 강도는 100W/cm2 이상이고 상기 구리잉크에 함유된 구리의 녹는점보다 낮으며, 상기 레이저장치는 단위시간당 상기 기판에 조사된 레이저빔의 크기만큼의 거리를 0.6mm/s ~ 5mm/s의 스캔속도로 이동하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법은, 구리가 함유된 구리잉크를 기판에 도포하여 인쇄패턴을 형성하는 잉크도포단계와; 레이저장치를 이용하여 상기 구리잉크에 레이저빔을 조사하여 상기 구리잉크를 소결시키는 소결단계를 포함하여 이루어지되, 상기 레이저빔의 강도는 100W/cm2 이상이고 상기 구리잉크에 함유된 구리의 녹는점보다 낮으며, 상기 레이저장치는 단위시간당 상기 기판에 조사된 레이저빔의 크기만큼의 거리를 0.6mm/s ~ 5mm/s의 스캔속도로 이동하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법에 관한 것으로서, 특히 기판에 도포되어 인쇄패턴을 형성하는 구리잉크에 레이저빔을 조사하여 소결시키는 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법에 관한 것이다.
일반적으로, PCB 공정에서 패턴을 형성하는 방식은 전면에 걸쳐 동이 입혀진 기판에서 필요한 패턴 부분만 남기고 불필요한 부분의 동은 에칭(etching)공정을 통해 없애는 방식이다.
반면에 잉크젯 분사 방식은 패턴을 형성하고자 하는 부분을 따라 전도성 물질(현재는 은(Ag) 입자를 많이 사용하고 있음)을 함유한 액체를 분사한 후 분사한 액체 중 전도성 물질만 남기고 분사를 위해서 필요했던 전도성 물질을 포함하고 있었던 액체는 없애는 즉, 비산시키는 방식(열을 가해주어 없애는 방식을 사용)을 사용한다.
산업기술의 발전으로 다양한 기능 구현과 소형화가 요구되어지는 추세에 따라 가볍고, 얇고, 강하며, 작은 크기의 PCB 기판이 요구되고 있으며, 이러한 요구사항을 확보하기 위하여 기본적으로 미세 패턴 구현이 따라야 하고, 미세하게 구현한 패턴의 신뢰성이 확보되어야 한다.
따라서 현재 PCB 공정에서 공통적으로 요구되어지는 사항은 '경박단소'이다.
미세 패턴의 신뢰성을 확보하기 위해 최근 주로 사용되는 기술은 회로기판의 미세패턴을 잉크젯 패터닝으로 형성시키는 기술을 사용한다.
잉크젯 방식은 미세패턴을 기판상에 직접 형성할 수 있기 때문에 종래의 리소그래피를 사용한 인쇄기술과 같이, 진공성막, 포토리소, 에칭, 레지스트 박리공정의 비용이 드는 공정을 생략할 수 있어 저렴한 가격으로 회로기판을 제작할 수 있는 효과가 있다.
잉크젯 패터닝 방식은 기판을 처리하지 않은 상태에서 잉크를 50㎛ 노즐에서 분사를 하면 잉크가 노즐에서 토출될 때 액적(drop)의 지름이 1.5배 정도 증가하며 무처리 기판에 액적이 떨어질 때 수배로 퍼지는 현상이 있어 미세패턴(배선)의 폭은 분사노즐의 수배가 되는 문제점이 있다.
또한, 잉크젯 패터닝 기술은 잉크젯 노즐의 분사조건만을 가지고 선폭을 조절하므로 잉크의 점성, 토출량, 잉크젯 노즐의 직경에 따라 미세 선폭 구현이 좌우되며, 기존 기판의 특성을 조절하여 선폭제어를 위한 방법으로는 분사시 기판가열 방법을 사용하는 것이 대부분이였다.
하지만, 분사 시 기판을 가열하는 방법은 잉크 토출 시 노즐의 막힘 현상을 유발할 뿐만 아니라 패턴형상의 coffee stain effect를 야기한다.
또한, 단순히 기판을 소수성 처리만 하여 잉크의 접촉각을 높여 미세패턴을 형성하는 기술을 제안되고 있으나, 잉크의 특성에 따라 분사 직 후 기판에서의 인쇄된 액적의 뭉침 현상으로 패턴의 형상이 불규칙해지는 현상이 발생한다.
또한, 다각도 기판 처리 방식은 접촉각을 작게 하는 효과가 주를 이루고 있으나 접촉각을 작게 한 상태에서 액적과 액적을 오버랩(overlap)시켜 라인을 형성하는 단계에서는 한 액적과 다음 액적의 충돌현상 회피의 어려움으로 인한 라인형성의 어려움과 균일하지 못한 라인 형상의 문제점을 내포하고 있다.
그리고 접촉각을 증가시켜 선폭을 줄이기 위한 기존 소수성 처리 기판은 액적과 액적이 오버랩 될 때 액적과 액적이 기판에 anchor 되지 못하고 액적간의 인력에 의해 더 큰 액적이 형성될 뿐 라인을 형성하지 못하는 문제점이 있었다.
특히, 분사된 액체를 비산은 오븐에 의해 이루어지고 있으나, 이 액체의 비산을 위해 필요한 온도가 기판을 변형시키는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 등록특허공보 제10-1058844호에는, 기판의면에 일정 열에 의해 상변화 되는 비정질(Amorphouse) 상태의 나노 상변화 물질을 코팅시키고, 상기 나노 상변화 코팅층에 집광된 레이저빔을 이용하여 일정온도 범위의 열을 가함에 따라 도전성 결정질(Crystalline)로 상변화 되어 형성하고자 하는 회로 패턴을 형성시키고, 상기 레이저빔에 의해 형성된 회로 패턴에 도전성 패드를 더 형성하여 상기 회로 패턴과 다른 도전성 물질과의 전기적 접속력을 향상시키며, 상기 도전성 패드는, 상기 나노 상변화 코팅층 상에 금속 나노입자 잉크를 인쇄하고, 상기 금속 나노입자 잉크에 레이저빔을 조사하여 형성시키되, 상기 레이저빔을 회로 패턴 형성시보다 크게 집광시키는 패드렌즈를 이용하여 조사됨에 따라 형성되도록 하는 레이저빔을 이용한 회로 제조방법이 나타나 있다.
위와 같이 레이저빔을 이용하여 나노 상변화 코팅층을 소결시킬 경우, 레이저빔의 강도 및 스캔속도 등의 조건에 따라 소결되는 구리가 산화되거나, 비저항이 크게 발생할 수 있어, 제품의 불량을 야기시킬 수 있다.
그러나, 종래의 레이저빔을 이용한 회로 제조방법에서는, 기판에 도포된 나노 상변화 코팅층에 조사되는 레이저빔의 강도 및 스캔속도를 구체적으로 어떻게 하여, 산화구리의 발생을 억제하고 비저항을 작게 할 것인가에 대한 구체적인 방법이 나타나 있지 않았다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 기판에 도포된 나노 상변화 코팅층(구리잉크)에 조사되는 레이저빔의 강도 및 스캔속도를 구체적으로 한정하여, 소결된 구리에서 산화가 발생되는 것을 방지하고, 비저항을 작게 할 수 있는 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법은, 구리가 함유된 구리잉크를 기판에 도포하여 인쇄패턴을 형성하는 잉크도포단계와; 레이저장치를 이용하여 상기 구리잉크에 레이저빔을 조사하여 상기 구리잉크를 소결시키는 소결단계를 포함하여 이루어지되, 상기 레이저빔의 강도는 100W/cm2 이상이고 상기 구리잉크에 함유된 구리의 녹는점보다 낮으며, 상기 레이저장치는 단위시간당 상기 기판에 조사된 레이저빔의 크기만큼의 거리를 0.6mm/s ~ 5mm/s의 스캔속도로 이동하는 것을 특징으로 한다.
상기 레이저장치는 레이저빔의 강도가 동일한 상태에서 상기 레이저빔의 크기가 커질수록 상기 레이저장치의 스캔속도를 증가시키고, 상기 레이저빔의 크기가 동일한 경우에는 상기 레이저빔의 강도 및 스캔속도를 크게 하여 소결되는 구리잉크의 비저항을 작게 한다.
상기 구리잉크는 수 십 nm 크기 이하의 직경을 가지는 구리가 용매에 분산되어 있는 잉크인 파우더(power)타입으로 이루어지고, 상기 레이저빔의 강도는 100~200W/cm2이며, 상기 레이저장치의 스캔속도는 0.6~2mm/s이다.
또는, 상기 구리잉크는 파우더타입과 전구체(precursor)타입이 혼합된 하이브리드 타입으로 이루어지고, 상기 파우더타입은 수 십 nm 크기 이하의 직경을 가지는 구리가 용매에 분산되어 있는 잉크로 이루어지며, 상기 전구체타입은 열을 가하면 화학반응이 일어나 구리로 변화하는 구리 전구체가 함유된 잉크로 이루어지되, 상기 구리잉크가 하이브리드 타입인 경우, 상기 레이저빔의 강도는 190~300W/cm2이며, 상기 레이저장치의 스캔속도는 1~4mm/s이다.
상기 레이저장치에 의해 단위시간당 상기 기판에 조사된 상기 레이저빔의 크기는 스캔방향으로 0.2mm의 크기를 갖도록 한다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
기판에 도포된 구리잉크에 조사되는 레이저빔의 강도 및 스캔속도를 구체적으로 한정함으로써, 소결된 구리에서 산화가 발생되는 것을 방지할 수 있고, 비저항 값을 작게 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예와 관련된 전구체(precursor)타입 구리잉크와 파우더타입 구리잉크와 하이브리드타입 구리잉크의 파장별 흡광도(Absorbance)와 샘플사진,
도 2는 본 발명의 본 발명의 실시예에 따른 파우더타입 구리잉크의 레이저빔 소결조건에 따른 비저항을 나타낸 그래프와, 파우더타입 구리잉크의 열소결 시간에 따른 비저항을 나타낸 그래프,
도 3은 본 발명의 본 발명의 실시예에 따른 하이브리드타입 구리잉크의 레이저빔 소결조건에 따른 비저항을 나타낸 그래프와, 하이브리드타입 구리잉크의 열소결 시간에 따른 비저항을 나타낸 그래프,
도 4는 도 3에 도시된 하이브리드타입 구리잉크의 레이저빔소결과 열소결에 따른 구리잉크의 소결된 미세조직과 비저항을 나타낸 사진,
도 5는 도 3에 도시된 하이브리드타입 구리잉크의 소결공정조건에 따른 표면 분석 결과를 나타낸 그래프.
도 2는 본 발명의 본 발명의 실시예에 따른 파우더타입 구리잉크의 레이저빔 소결조건에 따른 비저항을 나타낸 그래프와, 파우더타입 구리잉크의 열소결 시간에 따른 비저항을 나타낸 그래프,
도 3은 본 발명의 본 발명의 실시예에 따른 하이브리드타입 구리잉크의 레이저빔 소결조건에 따른 비저항을 나타낸 그래프와, 하이브리드타입 구리잉크의 열소결 시간에 따른 비저항을 나타낸 그래프,
도 4는 도 3에 도시된 하이브리드타입 구리잉크의 레이저빔소결과 열소결에 따른 구리잉크의 소결된 미세조직과 비저항을 나타낸 사진,
도 5는 도 3에 도시된 하이브리드타입 구리잉크의 소결공정조건에 따른 표면 분석 결과를 나타낸 그래프.
도 1은 본 발명의 실시예와 관련된 전구체(precursor)타입 구리잉크와 파우더타입 구리잉크와 하이브리드타입 구리잉크의 파장별 흡광도(Absorbance)와 샘플사진이고, 도 2(a)는 본 발명의 본 발명의 실시예에 따른 파우더타입 구리잉크의 레이저빔 소결조건에 따른 비저항을 나타낸 그래프이며, 도 2(b)는 파우더타입 구리잉크의 열소결 시간에 따른 비저항을 나타낸 그래프이며, 도 3(a)는 본 발명의 본 발명의 실시예에 따른 하이브리드타입 구리잉크의 레이저빔 소결조건에 따른 비저항을 나타낸 그래프이고, 도 3(b)는 하이브리드타입 구리잉크의 열소결 시간에 따른 비저항을 나타낸 그래프이며, 도 4는 도 3에 도시된 하이브리드타입 구리잉크의 레이저빔소결과 열소결에 따른 구리잉크의 소결된 미세조직과 비저항을 나타낸 사진이며, 도 5는 도 3에 도시된 하이브리드타입 구리잉크의 소결공정조건에 따른 표면 분석 결과를 나타낸 그래프이다.
본 발명의 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법은, 잉크도포단계와 소결단계로 이루어진다.
상기 잉크도포단계는 인쇄회로기판 등과 같은 기판에 구리가 함유된 구리잉크를 도포하여 인쇄패턴을 형성하는 단계이다.
이때, 상기 구리잉크는 액체상태이기 때문에 작업자의 의도에 따라 상기 기판에 다양한 인쇄패턴을 형성할 수 있게 된다.
이러한 상기 구리잉크는 도 1에 도시된 바와 같이, 전구체(precursor)타입과, 파우더(power)타입과, 하이브리드타입으로 구분된다.
상기 전구체타입의 구리잉크는, 열을 가하면 화학반응이 일어나 구리로 변화하는 구리 전구체가 함유된 잉크이다.
상기 파우더타입의 구리잉크는, 수 십 nm 크기 이하의 직경을 가지는 구리가 용매에 분산되어 있는 잉크이다.
상기 하이브리드타입의 구리잉크는, 상기 전구체타입과 파우더타입이 혼합되어 있는 용액 상태의 잉크이다.
상기 소결단계는 용액상태의 상기 구리잉크에 레이저장치를 이용하여 레이저빔을 조사함으로써 상기 구리잉크를 소결시키는 단계이다.
이때, 상기 레이저빔의 강도는 100W/cm2 이상이고 상기 구리잉크에 함유된 구리의 녹는점보다 낮으며, 상기 레이저장치는 단위시간당 상기 기판에 조사된 레이저빔의 크기만큼의 거리를 0.6mm/s ~ 5mm/s의 스캔속도로 이동하도록 한다.
이때, 상기 레이저장치에 의해 단위시간당 상기 기판에 조사된 상기 레이저빔의 크기는 스캔방향으로 0.2mm의 크기를 갖도록 한다.
그리고, 상기 레이저장치는 레이저빔의 강도가 동일한 상태에서 상기 레이저빔의 크기 즉 스캔방향으로의 크기가 커질수록 상기 레이저장치의 스캔속도를 증가시키도록 한다.
예를 들어, 레이저빔의 강도가 동일한 경우, 상기 레이저빔의 크기가 1mm이고 스캔속도가 1mm/s라고 하면, 레이저빔의 크기가 2mm일 때에는 스캔속도가 2mm/s가 된다.
이하에서는, 위와 같은 본 발명에 대한 구체적인 실험 실시예를 가지고 설명한다.
실시예1에서 사용한 구리잉크는 (주)동진쎄미컴에 제조한 파우더타입의 구리잉크이고, 상기 기판은 글라스 웨이퍼(sodalime)이며, Air 분위기에서 소결하였고, 레이저빔장비는 CW 532nm파장 레이저빔(Coherent사, verdi_V5)를 사용하였다.
이때, 상기 기판에 조사된 레이저빔의 크기는 동일한 크기를 갖는 것을 전제로 한다.
본 실시예에서는 스캔방향으로의 레이저빔의 크기를 0.2mm로 하였다.
도 2(a)는 레이저빔을 이용하여 구리잉크를 소결하였을 때의 비저항을 나타낸 그래프이고, 도 2(b)는 열을 가하여 구리잉크를 소결하였을 때의 비저항을 나타낸 그래프이다.
도 2(a)에 도시된 바와 같이, 0.4mm/s의 스캔속도의 레이저장치로 구리잉크의 소결시 106W/cm2 이상의 강도에서 비저항이 증가하는 경향을 보였다.
그리고, 레이저장치의 스캔속도를 0.6mm/s 이상으로 하여 구리잉크를 소결할 경우에는 레이저빔의 강도가 증가함에 따라 비저항의 값이 감소하였다.
특히, 레이저장치의 스캔속도를 1mm/s로 하고, 레이저장치의 강도를 183W/cm2으로 할 경우, 구리잉크의 소결에 따른 최소 비저항 17μΩ㎝이 측정되었으며, 이는 벌크구리 비저항인 1.68μΩ㎝의 10배 정도의 값이다.
한편 도 2(b)에 도시된 바와 같이, 레이저빔이 아닌 다른 방법으로 구리잉크에 열을 가하여 소결하는 방법의 경우에는, 250℃이상에서는 시간이 지남에 따라 비저항이 증가하는 경향을 보였다.
또한, 도 2(a)에 나타나 있는 레이저빔을 이용한 소결에 따른 비저항과 도 2(b)에 나타나 있는 열을 이용한 소결에 따른 비저항을 비교하여 보면, 기판에 조사되는 레이저빔의 크기가 동일한 경우에 레이저빔의 강도가 높고 스캔속도가 증가할수록 소결된 구리의 비저항이 더 작아짐을 알 수 있다.
이러한 실험예로부터 상기 레이저빔의 강도는 100~200W/cm2이며, 스캔속도는 0.6~2mm/s임이 바람직하다.
실시예2에서 사용한 구리잉크는 (주)동진쎄미컴에 제조한 하이브리드타입의 구리잉크이고, 상기 기판은 글라스 웨이퍼(sodalime)이며, Air 분위기에서 소결하였고, 레이저빔장비는 CW 532nm파장 레이저빔(Coherent사, verdi_V5)를 사용하였다.
이때, 상기 기판에 조사된 레이저빔의 크기는 동일한 크기를 갖는 것을 전제로 한다.
본 실시예에서는 스캔방향으로의 레이저빔의 크기를 0.2mm로 하였다.
도 3(a)는 레이저빔을 이용하여 구리잉크를 소결하였을 때의 비저항을 나타낸 그래프이고, 도 3(b)는 열을 가하여 구리잉크를 소결하였을 때의 비저항을 나타낸 그래프이다.
도 3(a)에 도시된 바와 같이, 0.6mm/s의 스캔속도의 레이저장치로 구리잉크의 소결시 190W/cm2 이상의 강도에서 비저항이 증가하는 경향을 보였다.
그리고, 레이저장치의 스캔속도를 1.0mm/s 이상으로 하여 구리잉크를 소결할 경우에는 레이저빔의 강도가 증가함에 따라 비저항의 값이 점점 감소하였다.
특히, 레이저장치의 스캔속도를 3mm/s로 하고, 레이저빔의 강도를 252W/cm2으로 할 경우, 구리잉크의 소결에 따른 최소 비저항 5.3μΩ㎝이 측정되었으며, 이는 벌크구리 비저항인 1.68μΩ㎝의 약 3배 정도의 값이다.
한편 도 3(b)에 도시된 바와 같이, 레이저빔이 아닌 다른 방법으로 구리잉크에 열을 가하여 소결하는 방법의 경우에는, 250℃이상에서는 시간이 지남에 따라 비저항이 증가하는 경향을 보였다.
또한, 도 2(a)에 나타나 있는 레이저빔을 이용한 소결에 따른 비저항과 도 2(b)에 나타나 있는 열을 이용한 소결에 따른 비저항을 비교하여 보면, 기판에 조사되는 레이저빔의 크기가 동일한 경우에 레이저빔의 강도가 높고 스캔속도가 증가할수록 소결된 구리의 비저항이 더 작아짐을 알 수 있다.
이러한 실험예로부터 상기 레이저빔의 강도는 190~300W/cm2이며, 스캔속도는 1~4mm/s임이 바람직하다.
그리고, 도 4에 도시된 바와 같이 레이저빔 소결의 경우에는, 강도 및 스캔속도가 증가할수록 비저항값이 점점 작아지면서 구리입자의 소결이 잘 이루어짐을 볼 수 있다.
이에 반해, 열소결의 경우에는, 가해지는 열의 온도가 증가하고 시간이 지남에 따라 구리입자의 소결이 더 진행되어 보이나, 비저항은 더 커지는 점을 볼 수 있다.
또한, 도 5는 도 3에 도시된 하이브리드타입 구리잉크의 소결공정조건에 따른 표면 분석 결과를 나타낸 그래프로써, 그래프의 가로축은 회절각도를 나타내고, 세로축은 강도를 나타낸다.
도 5에서 (a)로 표시된 레이저빔의 강도 252W/cm2, 스캔속도 4mm/s로 하이브리드 타입의 구리잉크에 레이저빔을 조사하여 소결한 경우에는, 구리(Cu) 피크만 확인되었고, 비저항은 7.07μΩ㎝로 나타났다.
그리고, 도 5에서 (b)로 표시된 레이저빔의 강도 190W/cm2, 스캔속도 1.0mm/s로 하이브리드 타입의 구리잉크에 레이저빔을 조사하여 소결한 경우에도, 구리(Cu) 피크만 확인되었고, 비저항은 7.1μΩ㎝로 나타났다.
이에 반해, 도 5에서 (c)로 표시된 레이저빔의 강도 190W/cm2, 스캔속도 0.6mm/s로 하이브리드 타입의 구리잉크에 레이저빔을 조사하여 소결한 경우와, (d)로 표시된 열소결방법으로 하이브리드 타입의 구리잉크를 소결한 경우에는, 산화구리(Cu2O)가 나타남을 확인할 수 있다.
위와 같은 도 5로부터, Air분위기에서 레이저빔을 이용하여 하이브리드 타입의 구리잉크를 소결할 경우에, 레이저빔의 강도를 190~300W/cm2로 하고 스캔속도를 1~4mm/s하면 구리가 산화되지 않고 소결됨을 알 수 있다.
이와 달리, 레이저빔의 강도 또는 스캔속도를 낮추거나, 열소결을 하게 되면 산화구리가 발생됨을 알 수 있다.
위와 같은 실험을 통해, 기판에 조사된 레이저빔의 크기가 동일한 경우에, 구리잉크에 가해지는 상기 레이저빔의 강도 및 스캔속도를 크게 하면, 소결되는 구리잉크의 비저항이 작아짐을 알 수 있었다.
본 발명인 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법은 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
Claims (5)
- 구리가 함유된 구리잉크를 기판에 도포하여 인쇄패턴을 형성하는 잉크도포단계와; 레이저장치를 이용하여 상기 구리잉크에 레이저빔을 조사하여 상기 구리잉크를 소결시키는 소결단계를 포함하여 이루어진 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법에 있어서,
상기 레이저빔의 강도는 100W/cm2 이상이고 400W/cm2 이하이며,
상기 레이저장치는 단위시간당 상기 기판에 조사된 레이저빔의 크기만큼의 거리를 0.6mm/s ~ 5mm/s의 스캔속도로 이동하며,
상기 레이저장치는,
레이저빔의 강도가 동일한 상태에서 상기 레이저빔의 크기가 커질수록 상기 레이저장치의 스캔속도를 증가시키고,
상기 레이저빔의 크기가 동일한 경우에는 상기 레이저빔의 강도 및 스캔속도를 크게 하여 소결되는 구리잉크의 비저항을 작게 하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법. - 삭제
- 청구항1에 있어서,
상기 구리잉크는 수 십 nm 크기 이하의 직경을 가지는 구리가 용매에 분산되어 있는 잉크인 파우더(power)타입으로 이루어지고,
상기 레이저빔의 강도는 100~200W/cm2이며, 상기 레이저장치의 스캔속도는 0.6~2mm/s인 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법. - 청구항1에 있어서,
상기 구리잉크는 파우더타입과 전구체(precursor)타입이 혼합된 하이브리드 타입으로 이루어지고,
상기 파우더타입은 수 십 nm 크기 이하의 직경을 가지는 구리가 용매에 분산되어 있는 잉크로 이루어지며,
상기 전구체타입은 열을 가하면 화학반응이 일어나 구리로 변화하는 구리 전구체가 함유된 잉크로 이루어지되,
상기 구리잉크가 하이브리드 타입인 경우, 상기 레이저빔의 강도는 190~300W/cm2이며, 상기 레이저장치의 스캔속도는 1~4mm/s인 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법. - 청구항1에 있어서,
상기 레이저장치에 의해 단위시간당 상기 기판에 조사된 상기 레이저빔의 크기는 스캔방향으로 0.2mm의 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 구리잉크의 소결 방법.
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