JP2006265075A - セッター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このセッター10は、圧電セラミック成形体10を焼成してセラミック基板を形成する際に、圧電セラミック成形体10を戴置するためのセッターであって、酸化ニオブを主成分とした材料によって形成されている。
【選択図】 図1
Description
Claims (1)
- セラミック成形体を焼成してセラミック基板を形成する際に、前記セラミック成形体を戴置するためのセッターであって、
酸化ニオブを主成分とした材料によって形成されていることを特徴とするセッター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005089318A JP4517913B2 (ja) | 2005-03-25 | 2005-03-25 | セッター及びそれを用いた圧電セラミック基板の製造方法 |
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JP2006265075A true JP2006265075A (ja) | 2006-10-05 |
JP4517913B2 JP4517913B2 (ja) | 2010-08-04 |
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JP2005089318A Active JP4517913B2 (ja) | 2005-03-25 | 2005-03-25 | セッター及びそれを用いた圧電セラミック基板の製造方法 |
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Citations (2)
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---|---|---|---|---|
JPH0848572A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-20 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 鉛化合物含有圧電セラミックス素子の製造方法 |
JP2004338977A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Kyocera Corp | 焼成冶具 |
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2005
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JPH0848572A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-20 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 鉛化合物含有圧電セラミックス素子の製造方法 |
JP2004338977A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Kyocera Corp | 焼成冶具 |
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