JP2006253360A - 半導体装置の製造方法及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ボンディングワイヤを用いずに小型化された半導体装置の製造方法及びこの方法を用いて光の影響により誤動作をしない半導体装置を提供する。
【解決手段】 第1の金属板5上のウエハ−6をダイシングしてウエハーを半導体素子毎に分割する第1のダイシング工程と、第1の金属板5上の半導体素子16表面に金属バンプ7を取り付ける工程と、半導体素子及び金属バンプを樹脂封止する工程と、金属バンプ上に第2の金属板8を搭載し、熱処理して金属バンプと第2の金属板とを電気的に接続する工程と、第1及び第2の金属板及び封止した樹脂を前記第1のダイシング工程によるダイシングラインに沿って、ダイシングして半導体素子が封止された樹脂19を個々に分離する第2のダイシング工程とを有する。第1の金属板の側面にはダイシングにより形成された切り込み1が形成され、この切り込み部分には樹脂封止体に覆われている。
【選択図】 図3
【解決手段】 第1の金属板5上のウエハ−6をダイシングしてウエハーを半導体素子毎に分割する第1のダイシング工程と、第1の金属板5上の半導体素子16表面に金属バンプ7を取り付ける工程と、半導体素子及び金属バンプを樹脂封止する工程と、金属バンプ上に第2の金属板8を搭載し、熱処理して金属バンプと第2の金属板とを電気的に接続する工程と、第1及び第2の金属板及び封止した樹脂を前記第1のダイシング工程によるダイシングラインに沿って、ダイシングして半導体素子が封止された樹脂19を個々に分離する第2のダイシング工程とを有する。第1の金属板の側面にはダイシングにより形成された切り込み1が形成され、この切り込み部分には樹脂封止体に覆われている。
【選択図】 図3
Description
本発明は、半導体装置の製造方法及びこの製造方法により形成された、例えば、小信号系のボンディングワイヤを用いない半導体装置に関するものである。
従来の半導体装置は、素子搭載部とリード部を有するリードフレームの素子搭載部上に、半導体素子を接着剤などを用いて固着し、ボンディングワイヤをボンディングすることにより半導体素子の接続電極である金属バンプとリードフレームのリード部とを電気的に接続している。その後、モールド樹脂により半導体素子、ボンディングワイヤ等を封止することにより、所定形状の半導体装置が形成される。この従来の半導体装置の問題は、ボンディングワイヤの存在により半導体装置が高さ的にも面積的にも大きくなることと、ボンディングワイヤのインダクタンス成分により半導体装置の電気的特性が悪くなることである。
従来技術において(特許文献1)、ウエハストレス、樹脂ストレス等を抑制する製造方法として、メタルポストを形成後、第1ダイシングを行なって、ウエハ全体を樹脂封止し、ウエハ裏面を研磨してチップ毎に分割し、樹脂封止層を研磨してメタルポストの頭部を露出させて半田ボールを載せ、さらに第2ダイシングを行ってチップと隣接チップとを分離する。
特開2001−176899号公報
従来技術において(特許文献1)、ウエハストレス、樹脂ストレス等を抑制する製造方法として、メタルポストを形成後、第1ダイシングを行なって、ウエハ全体を樹脂封止し、ウエハ裏面を研磨してチップ毎に分割し、樹脂封止層を研磨してメタルポストの頭部を露出させて半田ボールを載せ、さらに第2ダイシングを行ってチップと隣接チップとを分離する。
本発明は、ボンディングワイヤを用いずに小型化された半導体装置の製造方法及び光の影響による誤動作のない半導体装置を提供する。
本発明の半導体装置の製造方法の一態様は、第1の金属板上にウエハーを固定する工程と、前記第1の金属板上のウエハ−をダイシングして前記ウエハーを半導体素子毎に分割する第1のダイシング工程と、前記第1の金属板上の前記半導体素子表面に金属バンプを取り付ける工程と、前記半導体素子及び前記金属バンプを樹脂封止する工程と、前記金属バンプ上に第2の金属板を搭載し、熱処理して前記金属バンプと前記第2の金属板とを電気的に接続する工程と、前記第1及び第2の金属板及び前記封止した樹脂を、前記第1のダイシング工程によるダイシングラインに沿ってダイシングして、前記半導体素子が封止された前記樹脂を個々に分離する第2のダイシング工程とを具備することを特徴としている。
本発明の半導体装置の一態様は、半導体素子と、前記半導体素子の第1の面に接合された外部端子となる第1の金属板と、前記半導体素子の第2の面に形成された1つ又は複数のバンプ電極となる金属バンプと、前記半導体素子及び前記金属バンプを樹脂封止する樹脂封止体と、前記金属バンプ毎に接合され、1つ又は複数の金属板から構成された第2の金属板とを具備し、前記第1の金属板の側面には切り欠け部分が形成され、この切り欠け部分は、前記樹脂封止体の樹脂によって覆われていることを特徴としている。
本発明は、ボンディングワイヤを用いずに小型化された半導体装置の製造方法及び光の影響による誤動作の無い半導体装置を得ることができる。
以下、実施例を参照して発明の実施の形態を説明する。
まず、図1乃至図4を参照して実施例1を説明する。
図1乃至図4は、この実施例の半導体装置であるダイオードを形成する製造工程断面図である。図4は、この実施例の完成されたダイオードの断面図である。第1の金属板5の上に複数の半導体素子が配置されたシリコンなどの半導体ウエハー6を接合する。接合材には、導電性接着剤、共晶、はんだ(AuSn)などを用いる。この実施例では銅(Cu)もしくはその合金を第1の金属板5の材料に用いる(図1(a))。金属板の材料としてはこの他に、例えば、Fe−42Ni合金などを用いることができる。次に、ウエハー6の半導体素子間をダイシングにより切断する。これによりウエハー6は、半導体素子26毎に分離される。この時、ウエハー6だけでなく、第1の金属板5の表面から所定の深さまで切り込み1を入れる(図1(b))。
図1乃至図4は、この実施例の半導体装置であるダイオードを形成する製造工程断面図である。図4は、この実施例の完成されたダイオードの断面図である。第1の金属板5の上に複数の半導体素子が配置されたシリコンなどの半導体ウエハー6を接合する。接合材には、導電性接着剤、共晶、はんだ(AuSn)などを用いる。この実施例では銅(Cu)もしくはその合金を第1の金属板5の材料に用いる(図1(a))。金属板の材料としてはこの他に、例えば、Fe−42Ni合金などを用いることができる。次に、ウエハー6の半導体素子間をダイシングにより切断する。これによりウエハー6は、半導体素子26毎に分離される。この時、ウエハー6だけでなく、第1の金属板5の表面から所定の深さまで切り込み1を入れる(図1(b))。
その後、半導体素子6の表面に形成された表面電極上に、金やはんだ等の金属バンプ7を接合する。この時、ダイシングの前にバンプ形成を行うこともできる(図2(a))。次に、半導体素子16及びその上の金属バンプ7をエポキシ樹脂などの樹脂9によりエンキャップする(図2(b))。
次に、エンキャップされた半導体素子16、金属バンプ7及び樹脂9の上から銅もしくは銅の合金などからなる第2の金属板8を搭載し、その後リフロー加熱することにより第2の金属板8を金属バンプ7に接合する。この時、第2の金属板8の金属バンプ7と接合する面には、予めAuSnなどのはんだ10を塗布形成しておくことができる(図3(a))。
次に、エンキャップされた半導体素子16、金属バンプ7及び樹脂9の上から銅もしくは銅の合金などからなる第2の金属板8を搭載し、その後リフロー加熱することにより第2の金属板8を金属バンプ7に接合する。この時、第2の金属板8の金属バンプ7と接合する面には、予めAuSnなどのはんだ10を塗布形成しておくことができる(図3(a))。
次に、ウエハー6の半導体素子間を切断した時のダイシングラインに沿って(重ねて)第1及び第2の金属板5、8及び樹脂9を重ねて切断する。この時のダイシングラインの幅は、ウエハーを切断する時のダイシングラインの幅より狭くしている。ダイシングの位置決めは、カメラを用いて下から観察しながら行う(図3(b))。次に、各半導体素子毎に切断された第1及び第2の金属板15、18を電極として用いるために、第1及び第2の金属板15、18の表面及び側面の一部にSnなどのメッキ層2、3を施して外部との接続を容易にする(図4)。このメッキ層2、3の部分は、半導体装置の外部接続端子として用いられる。
図4は、縦型に電極が形成されたこの実施例のダイオードの断面図である。半導体素子16は、ウエハー6を縦横にダイシングして形成した2つの電極を持つダイオードである。半導体素子16の裏面には第1の金属板15が形成されている。半導体素子16の主面には表面電極が形成され、その上に金やはんだ等の金属バンプ7が接合されている。半導体素子16及びその上の金属バンプ7はエポキシ樹脂などの樹脂封止体19に被覆され、樹脂封止体19の上には金属バンプ7と、例えば、AuSnはんだなどにより接合された第2の金属板18が形成されている。また、既に述べたように第1及び第2の金属板15、18を接続電極として用いるために、第1及び第2の金属板15、18の表面及びこの表面に連続的に繋がる側面の一部にSnなどのメッキ層2、3が施されている。
第1のダイシング工程の時、ウエハー6だけでなく、第1の金属板5の表面から所定の深さまで切り込み1を入れる(図1(b))が、この切り込み1には樹脂が入り込み、半導体素子16と第1の金属板15との境界より第1の金属板15側に樹脂封止体19の樹脂が入り込んでいる。したがって、この切り込みによる切り欠け部分に覆われた樹脂によって半導体素子への光の侵入が阻まれて半導体装置の誤動作を引き起こすことが著しく減少する。また、ウエハーと金属板を一括で接合するためインデックスを上げ、コストを抑えることができる。
以上のように、この実施例ではボンディングワイヤを使用せず、外部からの光の影響も少ないので半導体装置の小型化が進み、電気特性が良好になる。
以上のように、この実施例ではボンディングワイヤを使用せず、外部からの光の影響も少ないので半導体装置の小型化が進み、電気特性が良好になる。
まず、図5乃至図8を参照して実施例1を説明する。
図5乃至図8は、この実施例の半導体装置であるトランジスタを形成する製造工程断面図である。図8は、この実施例のトランジスタの完成された断面図である。第1の金属板5の上に複数の半導体素子が配置されたシリコンなどの半導体ウエハー6を接合する。接合材には、導電性接着剤、共晶、はんだ(AuSn)などを用いる。この実施例では銅(Cu)もしくはその合金を第1の金属板5の材料に用いる(図5(a))。金属板の材料としては、この他に、例えば、Fe−42Ni合金などを用いることができる。次に、ウエハー6の半導体素子間をダイシング(第1のダイシング)により切断する。これによりウエハー6は、半導体素子26毎に分離される。この時、ウエハー6だけでなく、第1の金属板5の表面から所定の深さまで切り込み21を入れる(図5(b))。その後、半導体素子6の表面に形成された表面電極上に、金やはんだ等の金属バンプ27を接合する。この実施例では、トランジスタを形成するので、金属バンプ27は、各半導体素子26の表面に2つの金属バンプ27を接合する。この時、ダイシングの前にバンプ形成を行うこともできる(図5(c))。
図5乃至図8は、この実施例の半導体装置であるトランジスタを形成する製造工程断面図である。図8は、この実施例のトランジスタの完成された断面図である。第1の金属板5の上に複数の半導体素子が配置されたシリコンなどの半導体ウエハー6を接合する。接合材には、導電性接着剤、共晶、はんだ(AuSn)などを用いる。この実施例では銅(Cu)もしくはその合金を第1の金属板5の材料に用いる(図5(a))。金属板の材料としては、この他に、例えば、Fe−42Ni合金などを用いることができる。次に、ウエハー6の半導体素子間をダイシング(第1のダイシング)により切断する。これによりウエハー6は、半導体素子26毎に分離される。この時、ウエハー6だけでなく、第1の金属板5の表面から所定の深さまで切り込み21を入れる(図5(b))。その後、半導体素子6の表面に形成された表面電極上に、金やはんだ等の金属バンプ27を接合する。この実施例では、トランジスタを形成するので、金属バンプ27は、各半導体素子26の表面に2つの金属バンプ27を接合する。この時、ダイシングの前にバンプ形成を行うこともできる(図5(c))。
次に、エンキャップされた半導体素子26及び金属バンプ27の上から銅もしくは銅の合金などからなる第2の金属板8を搭載する(図6(a))。次に、金属板8のみをダイシングし、1つの半導体素子26表面に形成された2つの金属バンプ27上の第2の金属板8を2つの金属バンプ27間でダイシング24して分離し両者を電気的に接続しないようにする(図6(b))。
次に、例えば、樹脂金型などを用いて、第1及び第2の金属板5、8間をエポキシ樹脂などの樹脂9により封止する。その後、リフロー加熱を行って、第2の金属板8を金属バンプ27に接合する。この時、第2の金属板8の金属バンプ27と接合する面には、予めAuSnなどのはんだ10を塗布形成しておくことができる。樹脂9は、第1及び第2の金属板5、8間、第1金属板5上の切り込み21の中及び第2の金属板のダイシング24された部分に充填される(図7(a))。次に、ウエハー6の半導体素子間を切断した時のダイシングラインに沿って(重ねて)第1及び第2の金属板5、8及び樹脂9を重ねてダイシングする(第2のダイシング)。この時のダイシングラインの幅は、ウエハーを切断する時のダイシングラインの幅より狭くしている。ダイシングの位置決めは、カメラを用いて下方から観察しながら行う(図7(b))。
次に、各半導体素子毎に切断された第1及び第2の金属板15、19を電極として用いるために、第1の金属板15の表面及び側面の一部にSnなどのメッキ層22を施し、第2の金属板19の表面及び側面の一部に2つの金属バンプ27が互いに電気的に接続しないようにSnなどのメッキ層23a、23bを施して外部との接続を容易にする。このメッキ層22、23a、23bの部分は、半導体装置の外部接続端子として用いられる(図8)。
図8は、縦型に電極が形成されたこの実施例のトランジスタの断面図である。半導体素子26は、ウエハー6を縦横にダイシングして形成した表面に2つの電極、裏面に1つの電極を持つトランジスタである。半導体素子26の裏面には第1の金属板25が形成されている。半導体素子26の主面には2つ表面電極が形成され、その上に金やはんだ等の金属バンプ27がそれぞれ接合されている。半導体素子26及びその上の金属バンプ27は、エポキシ樹脂などの樹脂封止体29に被覆され、樹脂封止体29の上には金属バンプ27と、例えば、AuSnはんだなどにより接合された第2の金属板28が形成されている。第2の金属板28は、金属板28a及び28bに分かれている。金属板28a、28bは、それぞれ異なる電極として用いられる。また、第1及び金属板25、金属板28a、28bを接続電極として用いるために、これら金属板の表面及びこの表面に連続的に繋がる側面の一部にSnなどのメッキ層22、23a、23bが施されている。
第1のダイシング工程のとき、ウエハー6だけでなく、第1の金属板25の表面から所定の深さまで切り込み21を入れる(図5(b))が、この切り込み21には樹脂(図7(a))が入り込み、半導体素子26と第1の金属板25との境界より第1の金属板25側に樹脂封止体29の樹脂が入り込んでいる。したがって、この切り込みによる切り欠け部分に覆われた樹脂によって半導体素子への光の侵入が阻まれて半導体装置の誤動作を引き起こすことが著しく減少される。また、ウエハーと金属板を一括で接合するためインデックスを上げ、コストを抑えることができる。
以上のように、この実施例ではボンディングワイヤを使用せず、外部からの光の影響も少ないので半導体装置の小型化が進み、電気特性が良好になる。
また、ボンディングワイヤを用いる従来の半導体装置では電極が平面に並んで形成されるが、本発明における上記実施例では、上下に電極が形成されるので面積が減少し、しかもボンディングワイヤを用いないので、高さも従来より高くなることはない。また、電極となる第1の金属板の側面上部には樹脂が覆われているので、外部からの光が半導体素子の内部に侵入することが少なくなり光による半導体装置の誤動作が従来より減少する。
また、ボンディングワイヤを用いる従来の半導体装置では電極が平面に並んで形成されるが、本発明における上記実施例では、上下に電極が形成されるので面積が減少し、しかもボンディングワイヤを用いないので、高さも従来より高くなることはない。また、電極となる第1の金属板の側面上部には樹脂が覆われているので、外部からの光が半導体素子の内部に侵入することが少なくなり光による半導体装置の誤動作が従来より減少する。
1、21・・・切り込み
2、3、22、23a、23b・・・メッキ層
5、15、25・・・第1の金属板
6・・・ウエハー
7、27・・・金属バンプ
8、18・・・第2の金属板
9・・・樹脂
10・・・はんだ
16、26・・・半導体素子
19、29・・・樹脂封止体
24・・・ダイシング
28a、28b・・・金属板
2、3、22、23a、23b・・・メッキ層
5、15、25・・・第1の金属板
6・・・ウエハー
7、27・・・金属バンプ
8、18・・・第2の金属板
9・・・樹脂
10・・・はんだ
16、26・・・半導体素子
19、29・・・樹脂封止体
24・・・ダイシング
28a、28b・・・金属板
Claims (5)
- 第1の金属板上にウエハーを固定する工程と、
前記第1の金属板上のウエハ−をダイシングして前記ウエハーを半導体素子毎に分割する第1のダイシング工程と、
前記第1の金属板上の前記半導体素子表面に金属バンプを取り付ける工程と、
前記半導体素子及び前記金属バンプを樹脂封止する工程と、
前記金属バンプ上に第2の金属板を搭載し、熱処理して前記金属バンプと前記第2の金属板とを電気的に接続する工程と、
前記第1及び第2の金属板及び前記封止した樹脂を、前記第1のダイシング工程によるダイシングラインに沿ってダイシングして、前記半導体素子が封止された前記樹脂を個々に分離する第2のダイシング工程とを具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 1つの半導体素子表面に金属バンプが複数個形成されている場合において、前記第1及び第2の金属板及び前記封止した樹脂をダイシングする第2のダイシング工程の前に、前記第2の金属板を、1つの半導体素子の一の金属バンプが他の金属バンプと電気的に接続しないように、切断し分離する工程を更に有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のダイシング工程によるダイシングライン幅は、前記第2のダイシング工程によるダイシングライン幅より広いことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のダイシング工程によるダイシングにより、前記第1の金属板表面には切り込みが形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体素子と、
前記半導体素子の第1の面に接合された外部端子となる第1の金属板と、
前記半導体素子の第2の面に形成された1つ又は複数のバンプ電極となる金属バンプと、
前記半導体素子及び前記金属バンプを樹脂封止する樹脂封止体と、
前記金属バンプ毎に接合され、1つ又は複数の金属板から構成された第2の金属板とを具備し、
前記第1の金属板の側面には切り欠け部分が形成され、この切り欠け部分には前記樹脂封止体の樹脂によって覆れていることを特徴とする半導体装置。
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Cited By (2)
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US7888180B2 (en) | 2007-05-30 | 2011-02-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor apparatus having a first and a second projection portion on opposite surfaces of a semiconductor wafer and method for manufacturing the same |
KR101088814B1 (ko) * | 2008-08-13 | 2011-12-01 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플립 칩 패키지 및 그의 제조방법 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7888180B2 (en) | 2007-05-30 | 2011-02-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor apparatus having a first and a second projection portion on opposite surfaces of a semiconductor wafer and method for manufacturing the same |
KR101088814B1 (ko) * | 2008-08-13 | 2011-12-01 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플립 칩 패키지 및 그의 제조방법 |
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