JP2006248130A - 液滴吐出装置および液滴吐出装置の微振動印加制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ノズルの目詰まりの発生を起きにくくすることができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の微振動制御方法を提供する。
【解決手段】 機能液を吐出するためのノズル２７を有する吐出ヘッド２６と、機能液がリフレッシュされたときからの所定時間を計時するタイマ８９と、経過時間に対応した微振動電圧波形をノズル２７におけるメニスカスに印加するデータが記憶されたＲＯＭ７３またはＲＡＭ７４と、経過時間に対応したデータに基づいて吐出ヘッド２６に微振動電圧波形を印加するように指示するＣＰＵ７２とを備える。さらに、微振動電圧波形は、経過時間に伴って、徐々に大きくなるように設定されている。
【選択図】 図６

Description

本発明は、液滴吐出装置および液滴吐出装置の微振動印加制御方法に関する。

液滴吐出装置は、吐出ヘッドに備えられた複数のノズルと、該ノズルに連通する圧力発生室等を備え、機能液は、機能液タンクから管路を介して吐出ヘッドに供給される。そして、吐出信号に対応して圧力発生室を膨張、収縮させて液滴を発生させるように構成されている。このような液滴吐出装置を用いて、揮発性溶媒が含まれている機能液を吐出する場合において、液滴吐出装置がしばらく停滞すると、ノズル近傍の機能液が溶媒分の揮発により増粘し、目詰まり等の不具合を生じるという問題があった。このような問題を解決するために、特許文献１に記載の液滴吐出装置では、装置の使用状態に対応する規定時間を設け、規定時間を経過したときに一定パルスを吐出ヘッドに印加し、ノズル近傍の機能液に微振動を与えることにより目詰まりを起こしにくくしている。

特開平９―３００７号公報

しかしながら、上記の先行技術の液滴吐出装置は、機能液の状態に関らず、装置の使用状況に基づいて一定時間毎に一定パルスを印加して微振動を与えるものであった。このため、過度に微振動を与えると機能液の溶媒分が揮発して粘性が高くなり、ノズルの目詰まり等が発生するという問題があった。

本発明では、上記の問題を解決するためになされたものであって、機能液の状況を考慮して、ノズルの目詰まりの発生を起きにくくすることができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の微振動印加制御方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置では、機能液を吐出するノズルを有する吐出ヘッドと、機能液がリフレッシュされたときからの経過時間を計時する計時手段と、ノズルにおけるメニスカスに、経過時間に対応した微振動を印加するデータを記憶する記憶手段と、経過時間に対するデータに基づき、吐出ヘッドに微振動を印加する微振動印加手段と、を備えたことを要旨とする。

これによれば、機能液の吐出動作、フラッシングや吸引によるノズルクリーニング動作等によってノズルにおける機能液がリフレッシュされると、計時手段によって経過時間が計時される。この間は、ノズルから機能液が吐出されず、ノズルにおける機能液は大気に曝されているので、徐々に機能液は増粘していく。経過時間に対する機能液の粘度に応じた適切な強さの微振動を印加するデータが記憶手段によって記憶されており、該データに基づき微振動印加手段によって、吐出ヘッドに微振動が印加される。微振動が印加されると、吐出ヘッド内の機能液に微振動が伝わり、ノズルにおけるメニスカスが微細な振動を起こす。従って、経過時間によって微振動の強さを可変して印加するので、ノズルの目詰まりを起きにくくすることができる。

本発明の液滴吐出装置は、ノズルの近傍の環境温度を測定する温度センサを備え、ノズルにおけるメニスカスに、経過時間と環境温度に対応した微振動を印加するデータを記憶する記憶手段とを備えてもよい。

これによれば、経過時間と環境温度に対応した微振動の印加パラメータが記憶されているので、機能液の状況に応じてさらに適切な条件で微振動を印加させることができる。

本発明の液滴吐出装置の微振動印加手段は、経過時間に伴って、印加電圧を徐々に高くしてもよい。

これによれば、吐出ヘッドは、低い電圧から高い電圧へと印加電圧を可変して印加される。従って、経過時間の経過に対する機能液の増粘に対応して、所定の粘度を維持することができる。

本発明の液滴吐出装置の微振動印加手段は、経過時間に伴って、印加周波数を徐々に高くしてもよい。

これによれば、吐出ヘッドは、低い周波数から高い周波数へと印加周波数を可変して印加される。従って、経過時間の経過に対する機能液の増粘に対応して、所定の粘度を維持することができる。

本発明の液滴吐出装置は、機能液を吐出するノズルを有する吐出ヘッドと、機能液がリフレッシュされたときからの経過時間を計時する計時手段と、ノズルにおけるメニスカスの挙動を測定するメニスカス測定装置と、ノズルにおけるメニスカスに対して、所定の強さの微振動が得られるように、経過時間に対応した微振動を印加するデータを記憶する記憶手段と、データに基づいて吐出ヘッドに微振動を印加する微振動印加手段とを備えたことを要旨とする。

これによれば、メニスカス測定装置によって経過時間に伴う吐出ヘッドのノズルにおけるメニスカスの挙動の測定情報が取得される。メニスカスの所定の強さの微振動が得られるように経過時間に対応した微振動を印加するデータが記憶手段によって記憶されおり、微振動印加手段は、測定したメニスカスの情報から上記データに基づいて吐出ヘッドに微振動を印加する。従って、経過時間に対応してノズルにおけるメニスカスの挙動に応じた適切な条件で微振動を与えることによりノズルの目詰まりを起きにくくすることができる。

本発明の液滴吐出装置のメニスカス測定装置は、ノズルにおけるメニスカスの変位または速度の情報を取得してもよい。

これによれば、メニスカス測定装置は、メニスカスの変位または速度の測定値を取得する。変位または速度とも、メニスカスの挙動に対応して変化するので、的確にメニスカスの状態を表すことができる。

本発明の液滴吐出装置は、メニスカス測定装置によって測定された情報に基づいて、必要な変位または速度が得られるように微振動の印加を制御し、そのとき得られた情報をデータとしてもよい。

これによれば、メニスカスの測定によって得られた情報に基づいて、微振動の印加を制御し、その測定で得られた情報をデータとして記録することにより、その都度機能液の特性を測定し、データ化するので、より適切な微振動を付与することができる。

本発明の液滴吐出装置のメニスカス測定装置は、メニスカスに対してレーザ光を照射し、メニスカスで反射したレーザ光が戻ってくる時間を測定してメニスカスの変位または速度を測定するレーザードップラ計を用いてもよい。

これによれば、直進性が良く拡散しないレーザー光を用いたレーザードップラ計でメニスカスの挙動を測定するので、微細なメニスカスの変位または速度情報を取得することができる。

本発明の液滴吐出装置の微振動印加手段は、メニスカスの変位が減少するに連れ、または速度が遅くなるに連れて、印加電圧を徐々に高くしてもよい。

これによれば、メニスカスの変位または速度の変化状態に伴って、低い電圧から高い電圧へと印加電圧が変化して印加される。従って、メニスカスの状態に応じて適正な微振動を印加させることができる。

本発明の液滴吐出装置の微振動印加手段は、メニスカスの変位が減少するに連れ、または速度が遅くなるに連れて、印加周波数を徐々に高くしてもよい。

これによれば、メニスカスの変位または速度の変化状態に伴って、低い周波数から高い周波数へと印加周波数が変化して印加される。従って、メニスカスの状態に応じて適正な微振動を印加させることができる。

本発明では、機能液を吐出する吐出ヘッドのノズルにおけるメニスカスに微振動を印加する液滴吐出装置の微振動印加制御方法であって、機能液がリフレッシュされたときからの経過時間を計時する計時工程と、ノズルにおけるメニスカスに、経過時間に対応した微振動を印加するデータを読み出すデータ読出工程と、経過時間に対するデータに基づいて吐出ヘッドに微振動を印加する微振動印加工程とを有することを要旨とする。

これによれば、まず、機能液がリフレッシュされたときからの経過時間の計時を開始する。ノズルにおける機能液は、大気に曝されているので、経過時間に伴って粘度が増粘していく。次に、経過時間に対応した微振動を印加するデータを読み出す。データは、予め記憶手段によって記憶されたデータであり、経過時間に伴う機能液の増粘に対して、ノズルにおけるメニスカスの振動量が維持されるように規定された微振動印加データである。そして、経過時間に対するデータに基づいて吐出ヘッドに微振動を印加する。従って、所定の強さの微振動が得られるように経過時間に対して微振動を印加することにより、ノズルにおけるメニスカスの振動量が維持され、ノズルの目詰まりを起きにくくすることができる。

本発明では、機能液を吐出する吐出ヘッドのノズルにおけるメニスカスに微振動を印加する液滴吐出装置の微振動印加制御方法であって、機能液がリフレッシュされたときからの経過時間を計時する計時工程と、ノズルにおけるメニスカスの挙動を測定するメニスカス測定工程と、ノズルにおけるメニスカスに対して、所定の強さの微振動が得られるように、経過時間に対応する微振動を印加するデータを読み出すデータ読出手段と、データに基づいて吐出ヘッドに微振動を印加する微振動印加工程とを有することを要旨とする。

これによれば、まず、機能液がリフレッシュされたときからの経過時間の計時を開始する。これと同時期に、メニスカスの挙動の測定を開始する。例えば、ノズルにおけるメニスカスの変位や速度等を測定することにより、経過時間に伴う粘度の増粘していく様子を測定することができる。次に、経過時間に対応した微振動を印加するデータを読み出す。データは、予め記憶手段によって記憶されたデータであり、経過時間に伴う機能液の増粘に対して、ノズルにおけるメニスカスの振動量が維持されるように規定された微振動印加データである。そして、経過時間に対するデータに基づいて吐出ヘッドに微振動を印加する。従って、メニスカスの挙動を測定して、所定の強さの微振動が得られるように経過時間に対して微振動を印加するので、ノズルにおけるメニスカスの振動量が維持され、ノズルの目詰まりを起きにくくすることができる。

以下、本発明を具体化した第１〜第３実施形態について説明する。
[第１の実施形態]

まず、第１実施形態について説明する。

図１は、液滴吐出装置１の斜視図である。図１において、機能液を液滴として吐出するヘッド部２０を有するヘッド機構部２と、ヘッド部２０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク３０を載置するワーク機構部３と、通常、ヘッド部２０に液滴となる機能液を供給する機能液供給部４と、ヘッド部２０の保守を行うメンテナンス機構部５と、これら各機構部および供給部を統括的に制御する制御部６等を備えている。

液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚１１と、支持脚１１の上側に設置された定盤１２を備えている。定盤１２の上側には、ワーク機構部３が定盤１２の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３の上方には、定盤１２に固定された２本の支持柱２２で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤１２の一方の端部には、ヘッド機構部２のヘッド部２０から連通して機能液を供給する機能液供給部４が配置されている。そして、ヘッド機構部２の一方の支持柱２２近傍には、メンテナンス機構部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に延在するように配置されている。さらに、定盤１２の下側には、制御部６が備えられている。

ヘッド機構部２は、機能液を吐出するヘッド部２０と、ヘッド部２０を懸架したヘッドキャリッジ２１と、ヘッドキャリッジ２１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド２３と、Ｙ軸ガイド２３の側方にＹ軸ガイド２３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ２４等を備えている。

ワーク機構部３は、ヘッド機構部２の下方に位置し、ヘッド機構部２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に延在するように配置されており、ワーク３０を載置しているワーク載置台３１と、ワーク載置台３１の移動をガイドするＸ軸ガイド３３と、Ｘ軸ガイド３３の側方にＸ軸ガイド３３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ３４等を備えている。

これらの構成により、ヘッド部２０とワーク３０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。最初に、ヘッド部２０の移動について説明する。ヘッド部２０を懸架したヘッドキャリッジ２１は、Ｙ軸ガイド２３に移動可能に取り付けられている。図示しないが、ヘッドキャリッジ２１からＹ軸リニアモータ２４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ２４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ２１がＹ軸ガイドに沿って任意の位置に移動する。同様に、ワーク載置台３１に搭載されたワーク３０もＸ軸方向に自在に移動する。

このように、ヘッド部２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク３０のＸ軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動するワーク３０と、Ｙ軸方向に移動するヘッド部２０とを相対的に制御することにより、ワーク３０上に描画等を行うことができる。

次に、ヘッド部２０に機能液を供給する機能液供給部４は、機能液タンク４５と、機能液ポンプ４４と、機能液タンク４５から機能液ポンプ４４を経てヘッド部２０までを接続する流路チューブ４９とを備えている。機能液タンク４５は一個だけでなく複数個備えることも可能である。この場合、複数のタンクは、それぞれ専用の流路チューブおよび機能液ポンプによって、ヘッド部２０へ接続する。これにより、機能の異なる機能液を選択してヘッド部２０へ供給することができる。

次に、ヘッド部２０の構成について説明する。図２は、ヘッド部の構成を示し、図２（ａ）は平面図であり、同図（ｂ）はノズル部の平面図である。ヘッド部２０は、図２（ａ）に示すように、互いに同じ構造を有する１２個の吐出ヘッド２６を保持している。また、機能液を吐出するための吐出ヘッド２６は、図２（ｂ）に示すように、それぞれが吐出ヘッド２６の長手方向に延びる２つのノズル列２８を有している。１つのノズル列は、それぞれ１８０個のノズル２７が一列に並んだ列のことである。なお、複数の機能液を使用する場合には、１２個の吐出ヘッド２６に、吐出する機能液を個別に設定する。

次に、吐出ヘッド部２０の構造について説明する。図３は、吐出ヘッド２０の構造を示し、図３（ａ）は一部破断した斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。それぞれの吐出ヘッド２６は、振動板６３と、ノズルプレート６４を備えている。振動板６３とノズルプレート６４との間には、機能液タンク４５から孔６７を介して供給される機能液が常に充填される液たまり６５が位置している。また、振動板６３と、ノズルプレート６４との間には、複数の隔壁６１が位置している。そして、振動板６３と、ノズルプレート６４と、１対の隔壁６１とによって囲まれた部分がキャビティ６０である。キャビティ６０はノズル２７に対応して設けられているため、キャビティ６０の数とノズル２７の数とは同じである。キャビティ６０には、１対の隔壁６１間に位置する供給口６６を介して、液たまり６５から機能液が供給される。

振動板６３上には、それぞれのキャビティ６０に対応して振動子６２が取り付けられている。振動子６２は、ピエゾ素子６２ｃと、ピエゾ素子６２ｃを挟む１対の電極６２ａ、６２ｂを有する。この１対の電極６２ａ、６２ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズル２７から機能液が液滴６８となって吐出される。ノズル２７の周辺部には、液滴６８の飛行曲がりやノズル２７の孔詰まり等を防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥機能液層６９が設けられている。なお、材料液を吐出させるために、振動子６２の代わりに電気熱変換素子を用いてもよく、これは電気熱変換素子による材料液の熱膨張を利用して、材料液を吐出する構成である。

図１に示すように、メンテナンス機構部５は、キャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、およびフラッシングユニット５８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ５１と、メンテキャリッジ５１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド５２と、メンテキャリッジ５１と一体の螺合部５５と、螺合部５５が螺合するボールねじ５４と、ボールねじ５４を回転させるメンテモータ５３とを備えている。これにより、メンテモータ５３が正逆回転すると、ボールねじ５４が回転し、螺合部５５を介してメンテキャリッジ５１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ５１がヘッド部２０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド２３に沿ってヘッド部２０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。

メンテナンスユニットのキャッピングユニット５６は、液滴吐出装置１が稼動していない時に、ヘッド部２０の１２個の吐出ヘッド２６のそれぞれと密着してキャッピングし、機能液が乾燥してノズル２７が詰まるなどの不具合が生じないようにする。ワイピングユニット５７は、機能液の連続吐出後やキャッピング時にノズル２７に付着した機能液などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、全ノズルの清浄な状態を維持する。フラッシングユニット５８は、液滴吐出装置１の稼動開始時やワーク３０への加工前に、ノズル２７から吐出される機能液を受け、ノズル２７の吐出状態を常に良好な状態にする。

これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置１の非稼動時やワーク３０を交換載置している加工待ち時などに、吐出ヘッド２６の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。

次に、以上述べた構成を制御する制御部の構成について説明する。図４は、制御部の構成を示すブロック図である。制御部６は、指令部７０と駆動部８０とを備え、指令部７０は、ＣＰＵ７２，記憶手段としてのＲＯＭ７３，ＲＡＭ７４および入出力インターフェース７１からなり、ＣＰＵ７２が入出力インターフェース７１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ７３、ＲＡＭ７４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース７１を介して駆動部８０へ制御信号を出力する。

駆動部８０は、微振動印加手段としてのヘッドドライバ８１、モータドライバ８２、ポンプドライバ８３、およびメンテドライバ８５から構成されている。モータドライバ８２は、指令部７０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ３４、Ｙ軸リニアモータ２４を制御し、ワーク３０、ヘッド部２０の移動を制御する。さらに、メンテモータ５３を制御してメンテナンス機構部５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバ８１は、吐出ヘッド２６からの機能液の吐出を制御し、モータドライバ８２の制御と同調して、ワーク３０上に所定の描画などが行えるようにする。また、ポンプドライバ８３は、機能液の吐出状態に対応して機能液ポンプ４４を制御し、吐出ヘッド２６への機能液供給を最適に制御する。そして、メンテドライバ８５は、メンテナンス機構部５のキャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７およびフラッシングユニット５８を制御する。そして、計時手段としてのタイマ８９が入出力インターフェース７１へ接続されている。

指令部７０は、ヘッドドライバ８１を介して、複数の振動子６２のそれぞれに互いに独立な信号を与えるように構成されている。このため、ノズル２７から吐出される液滴６８の体積は、ヘッドドライバ８１からの信号に応じてノズル２７毎に制御され可変である。

次に、ヘッドドライバ８１による振動子６２の制御について説明する。図５は、ヘッドドライバ８１による振動子６２の制御ブロック図を示し、図５（ａ）は、ヘッドドライバの電圧波形生成回路の一例を示す回路図であり、同図（ｂ）は、信号のタイミングを示すタイムチャートである。駆動信号等の波形は、印加される電圧波形を表している。これら回路図およびタイムチャートにより吐出ヘッド２６における吐出制御について説明する。制御信号発生回路２２０、駆動信号発生回路２３０は、制御部６のヘッドドライバ８１に備えられている。また、フリップフロップ２２６、フリップフロップ２２７、アナログスイッチ２２９は、吐出ヘッド２６の振動子６２の各々に対応して設けられていて、制御信号発生回路２２０、駆動信号発生回路２３０と各信号線２２３，２２４，２２５，２３１で接続されている。

制御信号発生回路２２０は、データバス２２２を介して送られてくる図５（ｂ）に示すデータ信号を取り込み、吐出ヘッド２６が吐出位置に達したことを示す吐出タイミング信号が端子２２１に入力された段階で、取り込んだデータ信号を１ビットずつ信号線２２４に出力する。この信号線２２４に出力されたデータ信号は、カスケードに接続されシフトレジスタを構成するフリップフロップ２２６のデータ端子に入力される。また、信号線２２５にはシフトクロック信号が出力され、このシフトクロック信号によってシリアル転送されたデータ信号がシフトされながら、フリップフロップ２２６に転送される。

そして、すべての振動子６２に対するデータ（ノズルのＯＮ／ＯＦＦ情報）が転送された段階で、信号線２２３にラッチ信号が送られ、データがフリップフロップ２２７の出力側に現れる。そして、吐出動作を行うべき振動子６２に対応するアナログスイッチ２２９がＯＮ状態となる。一方、駆動信号発生回路２３０は、制御信号発生回路２２０、信号線２６０を介して吐出タイミング信号が入力されると、駆動信号を信号線２３１から出力し、ＯＮ状態となったアナログスイッチ２２９に対応する振動子６２を駆動する。

なお、駆動信号発生回路２３０が生成する駆動信号の形状や、データ信号のデータ、吐出タイミング信号の印加タイミング、周波数などは、指令部７０からの命令により、自由に設定することが可能である。このように、吐出ヘッド２６の任意のノズル２７から、任意のタイミングで、任意の駆動信号によって液滴６８を吐出させることが可能となる。

図５（ｂ）には、振動子６２の駆動によりノズル２７から液滴６８が吐出される吐出タイミングＴｅを示している。この吐出タイミングＴｅは、駆動信号に依存して決まるタイミングであり、図からわかるように、吐出タイミング信号の立ち上がりタイミングとも、ラッチ信号の立ち上がりタイミングであるラッチタイミングＴｌとも異なったタイミングである。しかし、吐出タイミングＴｅとラッチタイミングＴｌとは、常に一定の時間間隔Ｔｉだけずれて同期している。

次に、吐出ヘッド２６の振動子６２へ印加される電圧波形（信号）について説明する。図６は、機能液を吐出あるいは微振動させるための電圧波形を示すタイムチャートである。図６に示すように、電圧波形には、駆動電圧波形と、微振動電圧波形があり、駆動電圧波形は、ノズル２７から機能液を吐出するために振動子６２を振動させる信号であり、微振動電圧波形は、ノズル２７から機能液が吐出されない程度に振動子６２を振動させる信号である。

微振動電圧波形を印加するためのデータは、予めＲＯＭ７３やＲＡＭ７４に記憶されており、ＣＰＵ７２がタイマ８９の入力信号を受信して、データから経過時間に対応した電圧印加割合を演算処理し、入出力インターフェース７１を介してヘッドドライバ８１へ制御信号を出力する。ヘッドドライバ８１は、吐出ヘッド２６の振動子６２に駆動電圧を送信するようになっている。

図７は、データの作成方法を示す。縦軸は最大電圧Ｖｈに対する印加電圧割合Ｖ０〜Ｖｎ（％）であり、横軸は印加周波数ｆ０〜ｆｎ（ＫＨｚ）であり、各パラメータがマトリクス状に表されている。これらのデータに基づいて、経過時間に対する印加電圧割合（図８参照），経過時間に対する印加周波数（図９参照），経過時間に対する印加電圧割合と印加周波数の組み合わせ（図１０参照）により微振動が印加される。

図６において、まず、液滴吐出装置１の電源が入れられると、振動子６２には、中間電位Ｖｍが印加される。次いで、駆動電圧波形が印加されて液滴６８を吐出する前に、微振動電圧波形（印字前微振動電圧波形）が印加される。微振動電圧波形は、ノズル２７から機能液が吐出されない程度に振動子６２を振動させる信号であり、機能液のリフレッシュから経過した時間ｔとともに徐々に大きくなるように印加される。微振動は、図８に示すように、例えば、経過時間の１，２，５，１０（分）に対して、最大印加電圧Ｖｈに対する印加電圧割合を４０，４５，５２，６０（％）となるように設定して、液滴６８の吐出前に経過時間に応じた微振動電圧波形を印加すれば、ノズル２７部分の大気に接する機能液が滞留せずに流動し、経過時間による増粘に対応して印加を可変して印加することによりノズル２７の目詰まり等が起き難い状態となる。そのため、最初の液滴６８の吐出であっても、安定して吐出可能である。

その後、電圧値が、中間電位ＶｍのＰ１０の状態から最大電位ＶｈのＰ１１まで上昇し、Ｐ１１の状態を数マイクロ秒維持する。次に、最大電位Ｖｈから最低電位Ｖｌまで降下する。Ｐ１１からＰ１２への電圧降下の勾配は、Ｐ１０からＰ１１への電圧上昇よりも大きく急激な電圧降下となる。次に、Ｐ１２の状態を数マイクロ秒維持し、再び中間電位Ｖｍまで上昇する。Ｐ１１からＰ１２への電圧降下に対応して、振動子６２が、液滴６８をノズル２７から押し出し、液滴が吐出される。このメカニズムの詳細は後述する。

最初の液滴吐出後、次の吐出までの非吐出時間ＴＳ１が生じる場合、この非吐出時間ＴＳ１の間、非吐出ノズル２７の振動子６２へ微振動電圧波形を印加する。他のノズル２７は液滴を吐出しており、この微振動電圧波形を印字内微振動電圧波形と称する。印字内微振動電圧波形も、印字前微振動電圧形と同様に図８に示すデータに基づき、機能液がリフレッシュしてからの経過時間ｔに対して印加電圧が徐々に大きくなるように印加される。これにより、ノズル２７部分の大気に接する機能液が滞留せずに流動し、経過時間による機能液の増粘に対応して電圧を可変して印加することによりノズル２７の目詰まり等が起き難い状態となる。非吐出時間ＴＳ１が終了し、再び振動子６２へ駆動電圧波形が印加されるとノズル２７から液滴が吐出される。

液滴の吐出が終了し、全ノズル２７が非吐出状態になると、電圧値が待機電位Ｖｗに降下する。この状態で次の駆動電圧波形が印加されるまで微振動電圧波形が全振動子６２へ印加される。この微振動電圧波形を待機時微振動電圧波形と称する。待機時微振動電圧波形も、前記同様に図８に示すデータに基づき、機能液がリフレッシュしてからの経過時間ｔに対して印加電圧が徐々に大きくなるように印加される。これにより、ノズル２７部分の大気に接する機能液が滞留せずに流動し、経過時間による増粘に対応して電圧を可変して印加することによりノズル２７の目詰まり等が起き難い状態となる。

また、上記の微振動電圧波形は、フラッシングや吸引によるノズルクリーニング動作等によってノズルにおける機能液がリフレッシュされた後にも同様に印加される。

また、上述のデータは、経過時間と経過時間に対する印加電圧を規定する他に、例えば、図９に示すように経過時間と経過時間に対する周波数をパラメータとして、微振動電圧波形を印加することも可能である。この場合、経過時間とともに徐々に周波数を高くなるように設定する。これにより、ノズル２７部分の大気に接する機能液が滞留せずに流動し、経過時間による増粘に対応して分離力を増大させてノズル２７の目詰まり等が起き難い状態となる。周波数の設定は、０．５〜５ｋＨｚが適当であり、機能液の種類等に応じて適宜規定される。

さらに、経過時間と印加電圧と周波数とを組み合わせたデータを設定し、例えば、図１０に示すように、微振動を印加することも可能である。この場合、微振動の印加に対する最適条件を考慮すべく、経過時間ｔとともに印加電圧と周波数をそれぞれ単に増大させるのではなく、印加電圧と周波数のいずれかを経過時間ｔに対して不変として、他方の因子を増大させることもできる。これにより、より的確な微振動を印加させ、経過時間による増粘に対応して電圧または周波数を可変して印加することによりノズル２７の目詰まり等が起き難い状態となる。

また、微振動を印加する手順としては、図７に示すように、例えば、印加電圧Ｖ０を維持した状態で、印加周波数をｆ０からｆｎまで可変する（Ｓｔｅｐ１）。Ｓｔｅｐ１による微振動を印加してもノズル２７におけるメニスカスの振動量が維持されない場合は、Ｓｔｅｐ２に移行し、印加電圧をＶ０からＶ１に可変した状態で維持し、印加周波数をｆ０からｆｎまで可変する。このようにして、さらにＳｔｅｐ３〜Ｓｔｅｐｎへ可変する。このように印加電圧を維持した状態で、周波数を可変することにより、ノズル２７におけるメニスカスに最適な振動を与えることができるので、消費電力を低減することができる。

次に、駆動電圧波形の印加によるノズル２７における機能液の状態（メニスカス）の変化について説明する。図１１は、ノズルにおける駆動電圧波形に対応した機能液の状態を示す断面図である。中間電位ＶｍにあるＰ１０の状態において、メニスカスは、ノズル２７に形成された撥水膜の撥水性と機能液との表面張力等によって、ノズル２７の内側（キャビティ６０側）に引き込まれて凹形状をなしている。このときのメニスカスの状態が図１１（ａ）に示されている。中間電位ＶｍのＰ１０の状態から最大電位Ｖｈへ上昇してＰ１１に至る状態では、振動子６２がキャビティ６０を拡張する方向へ撓み、メニスカスがノズル２７の内側に引き込まれ、最大電位ＶｈのＰ１１においては、図１１（ｂ）に示すように引き込まれ量が最大となる。ここで、一旦引き込まれたメニスカスが、引き込まれる直前の位置に復帰しない程度の時間、例えば３マイクロ秒だけ最大電位Ｖｈを維持する。

次に、Ｐ１１の最大電位Ｖｈの状態から最低電位Ｖｌまで急速に電圧を降下させる。これにより、振動子６２がキャビティ６０を収縮する方向へ撓み、メニスカスがノズル２７から突出し始め、最低電位ＶｌのＰ１２において、図１１（ｃ）に示すように機能液が突出した状態となる。３マイクロ秒程度維持されるＰ１２の状態においても、慣性によりメニスカスの突出が若干続いている。そして、Ｐ１２の状態からを再び中間電位Ｖｍまで電位を上昇させる。これにより、振動子６２がキャビティ６０を拡張する方向へ撓み、中間電位Ｖｍに至った時点のＰ１３では、図１１（ｄ）に示すように、ノズル２７から外側に突出した機能液が離反する状態となり、ノズル２７から液滴６８として吐出される。

一方、微振動電圧波形は、図１２の微振動電圧波形を示すタイムチャートに示すように、駆動電圧波形と同様に、中間電位ＶｍのＰ２０の状態から微振動電位ＶｖのＰ２１まで上昇する。そして、この微振動電位Ｖｖを例えば７マイクロ秒維持した後、中間電位Ｖｍまで下降する。ここで、微振動電圧波形は、機能液の液滴を吐出しない程度の微振動を与えるものであるから、微振動電位Ｖｖは、駆動電圧波形の最大電位Ｖｈよりも小さい。具体的には、ＶｖはＶｈの４０〜６０％程度である。なお、微振動電圧波形のＰ２０からＰ２１への電圧上昇の勾配と、Ｐ２１からＰ２２への電圧降下の勾配とはほぼ等しい。

続いて、微振動電圧波形の印加によるノズル２７におけるメニスカスの変化を説明する。図１３は、ノズルにおける微振動電圧波形に対応した機能液の状態を示す断面図である。中間電位ＶｍのＰ２０では、上記のＰ１０の状態と同様に、図１３（ａ）に示すようにメニスカスは、ノズル２７から若干引き込まれた位置にある。次に、中間電位Ｖｍから微振動電位Ｖｖまで電圧が上昇すると、振動子６２がキャビティ６０を拡張する方向へ撓み、図１３（ｂ）に示すように、メニスカスがノズル２７の内側にさらに引き込まれる。もっとも、微振動電位Ｖｖは最大電位Ｖｈに比べて小さいため、メニスカスの引き込み量は僅かである。微振動電位Ｖｖを短時間保持するＰ２１の状態では、メニスカスはノズル２７の内側に少しだけ引き込まれた状態を維持している。

そして、微振動電位Ｖｖから中間電位Ｖｍまで電圧を降下させたＰ２２の状態では、キャビティ６０が収縮するため、図１３（ｃ）に示すように、メニスカスはノズル２７の外側に向けて押し出された後、図１３（ａ）の状態に戻る。このように、微振動電圧波形は、電圧変動が少なく、キャビティ６０内の圧力変化も少なく、ノズル２７から機能液を液滴として吐出させずにメニスカスの変化を起こさせることができる。微振動電圧波形を振動子６２へ印加することにより、ノズル２７部の機能液を振動させて、機能液の吐出不良の原因となる機能液の粘度増加等を抑えることができる。

従って、第１の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
（１）機能液の吐出動作、フラッシングや吸引によるノズルクリーニング動作等によってノズルにおける機能液がリフレッシュされると、タイマ８９によって経過時間が計時される。この間は、ノズル２７から機能液が吐出されず、ノズル２７における機能液は大気に曝されているので、徐々に機能液は増粘していく。経過時間に対する機能液の粘度に応じた適切な強さの微振動を印加するデータがＲＯＭ７３やＲＡＭ７４に記憶されており、該データに基づき吐出ヘッド２６に微振動を印加する。微振動が印加されると、吐出ヘッド２６内の機能液に振動が伝わり、ノズル２７におけるメニスカスに微細な振動が起こる。従って、経過時間によって微振動の強さを可変して印加することにより、ノズル２７の目詰まりを起きにくくすることができる。

（２）吐出ヘッド２７の振動子６２は、図８の例では、経過時間に伴って低い電圧から高い電圧へと印加電圧が可変して印加される。従って、経過時間に対する機能液の増粘に対応した電圧の印加により、所定のメニスカスの振動を維持することができる。

（３）吐出ヘッド２７の振動子６２は、図９の例では、経過時間に伴って低い周波数から高い周波数へと印加周波数が可変して印加される。従って、経過時間に対する機能液の増粘に対応した周波数の印加により、所定のメニスカスの振動を維持することができる。

（４）吐出ヘッド２７の振動子６２は、図９の例では、印加電圧を一定にした状態で、経過時間に伴って低い周波数から高い周波数へと印加周波数が変化して印加される。従って、周波数を可変することにより微振動を印加させるので、消費電力を低減させることができる。

（５）吐出ヘッド２７の振動子６２は、図１０の例では、経過時間に伴って電圧と周波数が可変して印加されるので、さらに機能液の状態に適した微振動を印加させることができる。

[第２の実施形態]
次に、第２実施形態について説明する。

まず、液滴吐出装置１について説明する。図１４は、液滴吐出装置の斜視図である。メンテキャリッジ５１の上にメニスカス測定ユニット５９が備えられている。メニスカス測定ユニット５９は、ノズル２７におけるメニスカスの挙動を観測して、観測して得られた情報を取得するユニットである。その他の構成は、第１の実施形態と同様なので説明を省略する。また、ヘッド部２０およびノズル２７の構成も第１の実施形態と同じなので説明を省略する。

次に、メニスカス測定ユニット５９を備えた液滴吐出装置１の制御部について説明する。図１５は、制御部の構成を示すブロック図である。指令部７０には、ＣＰＵ７２と、記憶手段としてのＲＯＭ７３，ＲＡＭ７４と、タイマ８９および入出力インターフェース７１からなり、駆動部８０には、メニスカスを測定するためのレーザドップラ計９０を制御するドップラ計ドライバ８６を備えている。また、レーザドップラ計９０によりメニスカス測定ユニット５９が構成されている。

次に、メニスカス測定装置１０について説明する。図１６は、メニスカスの測定を行うための装置構成を示すブロック図である。メニスカス測定装置１０のメニスカス測定ユニット５９は、メニスカスを測定するレーザドップラ計（メニスカス測定部）９０を有する。メニスカス測定ユニット５９は、制御部６の指令部７０および指令部７０と接続され既述した各種ドライバを有する駆動部８０とによって制御されている。レーザドップラ計９０によりメニスカスを測定されるノズル２７を備えた吐出ヘッド２６は、ヘッドドライバ８１を介して指令部７０と接続されており、メニスカス測定装置１０と連動して作動する。また、指令部７０は、機能液のリフレッシュからの経過時間を計時するためのタイマ８９を備えている。

このような構成において、レーザドップラ計９０によるノズル２７のメニスカスの測定方法について説明する。図１７は、ノズル２７におけるメニスカスの測定方法を示す説明図である。まず、吐出ヘッド２６から機能液が吐出され、機能液がノズル２７においてリフレッシュされる。リフレッシュ後、計時を開始し、直ちにノズル２７とレーザドップラ計９０を対峙させる。メニスカスの測定時には、ノズル２７を備えたヘッド部２０が、ヘッドキャリッジ２１によってＹ軸ガイド２３に沿って、メンテナンス機構部５の上方へ移動する。メンテナンス機構部５は、メニスカス測定ユニット５９をヘッド部２０の下方へ移動させる。双方の移動調整により、ヘッド部２０のメニスカスを測定するノズル２７とレーザドップラ計９０とが対峙するように位置する。

ノズル２７とレーザドップラ計９０とが対峙すると、レーザドップラ計９０からレーザ光９５がメニスカスへ照射される。レーザドップラ計９０は、メニスカスを経時的に複数回に亘って測定し、この複数回の測定結果からメニスカスの状態を求め、さらに、ノズル２７におけるメニスカスの所定の振幅が得られるように電圧または周波数を可変させるものである。メニスカスへ照射されたレーザ光は、メニスカスで反射して再びレーザドップラ計９０に戻って来る。このとき、経過時間とともに機能液は増粘していくので、ノズル２７におけるメニスカスは、吐出等で機能液がリフレッシュされた時点に比べて、徐々に振動による振幅が小さくなるとともに、大気に曝されている箇所が増粘によって固くなっていく。これらの変位によりレーザ光に時間差が生じる。この時間差からメニスカスの振動状態を測定する。メニスカスの振動状態は、メニスカスの変位の量として測定する。あるいは、変位の量ではなく、メニスカスの振動する速度として測定することも可能である。測定した時間差の換算方法により、測定値としてメニスカスの変位または速度が選択できる。

メニスカス測定ユニット５９によって測定された変位量の情報は、指令部７０に送信され、ＣＰＵ７２は、タイマ８９の入力信号と上記の変位量信号を受信し、予めＲＯＭ７３やＲＡＭ７４に記憶されている微振動印加データから経過時間に対応した電圧印加割合を演算処理し、入出力インターフェース７１を介してヘッドドライバ８１へ制御信号を出力する。ヘッドドライバ８１は、吐出ヘッド２６の振動子６２に駆動電圧を送信するようになっている。なお、機能液を吐出あるいは微振動させるための電圧波形を示すタイムチャートおよびノズルにおける機能液の状態については、第１の実施形態と同じなので説明を省略する。

従って、第２の実施形態によれば、第１の実施形態における同様の効果に加えて以下に示す効果がある。

（１）メニスカス測定装置１０によって経過時間に伴う吐出ヘッド２６のノズル２７におけるメニスカスの挙動の測定情報が取得される。メニスカスの所定の強さの微振動が得られるように経過時間に対応した微振動を印加するデータがＲＯＭ７３やＲＡＭ７４に記憶されており、測定したメニスカスの情報から上記データに基づいて吐出ヘッド２６に微振動を印加する。従って、経過時間に対応してノズルにおけるメニスカスの挙動に応じた適切な条件で微振動を与えることによりノズルの目詰まりを起きにくくすることができる。

（２）メニスカス測定ユニット５９は、メニスカスの変位または速度の測定値を取得する。変位または速度とも、メニスカスの挙動に対応して変化するので、的確にメニスカスの状態を表すことができる。

（３）メニスカスの測定は、直進性が良く拡散しないレーザー光９５を用いたレーザードップラ計９０で測定されるので、微細なメニスカスの変位または速度情報を取得することができる。

（４）メニスカス測定装置１０によって、その都度機能液のメニスカスの特性を測定するので、より適切な微振動を印加できる。

[第３の実施形態]
次に、第３の実施形態について説明する。なお、液滴吐出装置１の構成，ヘッド部２０およびノズル２７の構成は第１の実施形態と同じなので説明を省略する。

図１８は、制御部の構成を示すブロック図である。温度センサ９６が、入出力インターフェース７１に接続されている。温度センサ９６は、液滴吐出装置１の使用環境における温度を測定するものである。なお、他の制御部の構成は、第１の実施形態と同じなので説明を省略する。

温度センサ９６は、測定した温度データを入出力インターフェース７１に送信する。指令部７０のＲＯＭ７３あるいはＲＡＭ７４には、例えば、図１９に示すような使用環境温度における経過時間に対する印加電圧を規定したデータが予め用意されており、ＣＰＵ７２は、ソフトプログラムに従って入力された温度からデータの温度に対する印加電圧を演算処理して、ヘッドドライバ８１に駆動信号を送信する。ヘッドドライバ８１は、駆動信号を吐出ヘッド２６に送信することにより吐出ヘッド２６の振動子６２に微振動電圧波形が印加されるようになっている。

図１９において、データは、使用環境温度に応じて経過時間，最大印加電圧Ｖｈに対する電圧印加割合，印加周波数が規定されており、使用環境温度における経過時間に対して、印加電圧および印加周波数が徐々に大きくなるように設定されている。なお、該データは、使用する機能液の種類等により適宜設定することができる。

なお、機能液を吐出あるいは微振動させるための電圧波形を示すタイムチャートおよびノズルにおける機能液の状態については、第１の実施形態と同じなので説明を省略する。

従って、第３の実施形態によれば、第１の実施形態における同様の効果に加えて以下に示す効果がある。

（１）温度センサ９６によって、液滴吐出装置１の使用環境温度を測定し、測定温度に適した微振動電圧波形を印加することにより、ノズル２７における機能液の目詰まりを起こしにくくすることができる。

また、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。

（変形例１）図６において、微振動電圧印加波形における電圧保持時間を一定としたが、これに限定されない。例えば、経過時間に伴って保持時間を長くするように可変してもよい。このようにしても、経過時間に伴う機能液の増粘に対応した電圧の印加により、所定のメニスカスの振動を維持することができる。

（変形例２）第２の実施形態において、メニスカス測定装置１０は、液滴吐出装置１と一体としたが、単体の装置であってもよい。単体であれば、他の液滴吐出装置１にも設置でき、異なる液滴吐出装置１によるメニスカスの挙動を測定することができる。

（変形例３）第３の実施形態において、液滴吐出装置１の使用環境温度に対する印加電圧を規定したパラメータを作成したが、経過時間または印加周波数を組み合わせたパラメータを作成してもよい。これにより、さらに適した微振動を印加させることができる。

第１の実施形態における液滴吐出装置を示す斜視図。 ヘッド部の構成を示し、（ａ）はヘッド部の平面図、（ｂ）はノズル部の平面図。 ノズル部の構造を示し、（ａ）は一部破断した斜視図、（ｂ）は断面図。 第１の実施形態における制御部の構成を示すブロック図。 ヘッドドライバによる振動子の制御ブロック図を示し、（ａ）は、ヘッドドライバの電圧波形生成回路の一例を示す回路図であり、（ｂ）は、信号のタイミングを示すタイムチャート。 機能液を吐出あるいは微振動させるための電圧波形を示すタイムチャート。 経過時間に対する微振動印加データの作成方法を示す模式図。 経過時間に対する印加電圧を示すデータ。 経過時間に対する印加周波数を示すデータ。 経過時間に対する印加電圧および印加周波数のデータ。 ノズルにおける駆動電圧波形に対応した機能液の状態を示す断面図。 微振動電圧波形を示すタイムチャート。 ノズルにおける微振動電圧波形に対応した機能液の状態を示す断面図。 第２の実施形態における液滴吐出装置を示す斜視図。 第２の実施形態における制御部の構成を示すブロック図。 メニスカス測定装置の構成を示すブロック図。 ノズルにおけるメニスカスの測定方法を示す説明図。 第３の実施形態における制御部の構成を示すブロック図。 使用環境温度における経過時間に対する印加電圧および印加周波数のデータ。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、５…メンテナンス機構部、６…制御部、１０…メニスカス測定装置、２０…ヘッド部、２６…吐出ヘッド、２７…ノズル、５９…メニスカス測定ユニット、６２…振動子、６８…液滴、７０…指令部、７１…入出力インターフェース、７２…ＣＰＵ、７３…記憶手段としてのＲＯＭ、７４…記憶手段としてのＲＡＭ、８０…駆動部、８１…微振動印加手段としてのヘッドドライバ、８６…ドップラ計ドライバ、８９…計測手段としてのタイマ、９５…レーザ光、９６…温度センサ、Ｖｍ…中間電位、Ｖｈ…最大電位、Ｖｌ…最低電位、Ｖｗ…待機電位、ＴＳ１…非吐出時間。

Claims (12)

1. 機能液を吐出するノズルを有する吐出ヘッドと、
   前記機能液がリフレッシュされたときからの経過時間を計時する計時手段と、
   前記ノズルにおけるメニスカスに、前記経過時間に対応した微振動を印加するデータを記憶する記憶手段と、
   前記経過時間に対する前記データに基づき、前記吐出ヘッドに微振動を印加する微振動印加手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 請求項１に記載の液滴吐出装置において、
   前記ノズルの近傍の環境温度を測定する温度センサを備え、
   前記ノズルにおけるメニスカスに、前記経過時間と前記環境温度に対応した微振動を印加するデータを記憶する記憶手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
3. 請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
   前記微振動印加手段は、前記経過時間に伴って、印加電圧を徐々に高くすることを特徴とする液滴吐出装置。
4. 請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
   前記微振動印加手段は、前記経過時間に伴って、印加周波数を徐々に高くすることを特徴とする液滴吐出装置。
5. 機能液を吐出するノズルを有する吐出ヘッドと、
   前記機能液がリフレッシュされたときからの経過時間を計時する計時手段と、
   前記ノズルにおけるメニスカスの挙動を測定するメニスカス測定装置と、
   前記ノズルにおけるメニスカスに対して、所定の強さの微振動が得られるように、前記経過時間に対応した微振動を印加するデータを記憶する記憶手段と、
   前記データに基づいて前記吐出ヘッドに微振動を印加する微振動印加手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
6. 請求項５に記載の液滴吐出装置において、
   前記メニスカス測定装置は、前記ノズルにおけるメニスカスの変位または速度の情報を取得することを特徴とする液滴吐出装置。
7. 請求項５または６に記載の液滴吐出装置において、
   前記メニスカス測定装置によって測定された情報に基づいて、必要な前記変位または速度が得られるように前記微振動の印加を制御し、そのとき得られた情報を前記データとすることを特徴とする液滴吐出装置。
8. 請求項５〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
   前記メニスカス測定装置は、前記メニスカスに対してレーザ光を照射し、前記メニスカスで反射した前記レーザ光が戻ってくる時間を測定して前記メニスカスの変位または速度を測定するレーザードップラ計を用いることを特徴とする液滴吐出装置。
9. 請求項５〜８のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
   前記微振動印加手段は、前記メニスカスの前記変位が減少するに連れ、または前記速度が遅くなるに連れて、印加電圧を徐々に高くすることを特徴とする液滴吐出装置。
10. 請求項５〜８のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
    前記微振動印加手段は、前記メニスカスの前記変位が減少するに連れ、または前記速度が遅くなるに連れて、印加周波数を徐々に高くすることを特徴とする液滴吐出装置。
11. 機能液を吐出する吐出ヘッドのノズルにおけるメニスカスに微振動を印加する液滴吐出装置の微振動印加制御方法であって、
    前記機能液がリフレッシュされたときからの経過時間を計時する計時工程と、
    前記ノズルにおけるメニスカスに、前記経過時間に対応した微振動を印加するデータを読み出すデータ読出工程と、
    前記経過時間に対する前記データに基づいて前記吐出ヘッドに微振動を印加する微振動印加工程と、を有することを特徴とする液滴吐出装置の微振動印加制御方法。
12. 機能液を吐出する吐出ヘッドのノズルにおけるメニスカスに微振動を印加する液滴吐出装置の微振動印加制御方法であって、
    前記機能液がリフレッシュされたときからの経過時間を計時する計時工程と、
    前記ノズルにおけるメニスカスの挙動を測定するメニスカス測定工程と、
    前記ノズルにおけるメニスカスに対して、所定の強さの微振動が得られるように、前記経過時間に対応する微振動を印加するデータを読み出すデータ読出手段と、
    前記データに基づいて前記吐出ヘッドに微振動を印加する微振動印加工程と、を有することを特徴とする液滴吐出装置の微振動印加制御方法。
    
    

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