JP2006245345A - 半導体受光素子 - Google Patents
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Abstract
現在高速の光インターコネクションに使用できる波長帯域として期待されている、波長1μm付近の広い波長域を、高効率かつ高速に受光することが可能な半導体受光素子を提供する。
【解決手段】
半導体基板11上に、入射光を吸収する光吸収層13を含む半導体層より形成される半導体受光素子1であって、光吸収層13の入射光側に形成された窓層14を有し、窓層14の禁制帯エネルギーが1.4eV以上であり、窓層14の層厚が0.5μm以下である半導体受光素子。
【選択図】 図1
Description
本実施の形態に係る半導体受光素子1の構造を図1に、半導体受光素子1に関するバンドギャップ図を図2に示す。基板11上に、格子整合したn型バッファ層12、光吸収層13、p型窓層14が形成されている。n型バッファ層12は、基板11と光吸収層13との格子定数のずれを緩和するために作成されている。
第2の実施の形態に半導体受光素子2は、p型窓層と光吸収層の間に電子障壁層が挿入されている。半導体受光素子2の構造を図5に、半導体受光素子2に関するバンドギャップ図を図6に示す。構成要素や動作原理で実施の形態1と同様のものは省略する。
第3の実施の形態に半導体受光素子3は、p型窓層が電子親和力の相違する層の多層膜構造で形成されている。半導体受光素子3の構造を図7に、半導体受光素子3に関するバンドギャップ図を図8に示す。構成要素や動作原理で実施の形態1と同様のものは省略する。
本実施例における半導体受光素子の構造を、図1を参照にして説明する。InP基板11上に、格子整合したn型InPバッファ層12、i型InGaAs光吸収層13(層厚1μm)及びp型InAlAs窓層14が形成されている。
本実施例における半導体受光素子の構造を、図5を参照にして説明する。InP基板11上に、格子整合したn型InPバッファ層12、i型InGaAs光吸収層13(層厚1μm)、及びp型窓層14が形成されている。また、i型InGaAs光吸収層13とp型窓層14の間には、電子障壁層15が形成されている。
本実施例における半導体受光素子の構造を、図7を参照にして説明する。InP基板11上に、格子整合したn型InPバッファ層12、i型InGaAs光吸収層13(層厚1μm)、及びp型多重膜窓層18が形成されている。
図9に、実施例4に係る半導体受光素子4の構造を示す。本実施例は、p型窓層を1.4eV以上の物質を用いて形成し、膜厚を0.5μm以下にすることによって、より高周波の光信号を得る本発明をアバランシェ増倍型受光素子に適用したものにおいてである。
図10に、実施例5に係る半導体受光素子5の構造を示す。本実施例は、p型窓層と光吸収層の間に電子障害層を挿入することによって、波長1μm付近の広い波長帯域が受光可能で、周波数の高い光信号を高効率に受信する発明をアバランシェ増倍型受光素子に適用したものである。
図11に、実施例6に係る半導体受光素子6の構造を示す。本実施例は、p型窓層を電子親和力の相違する層の多層膜構造で形成することによって、波長1μm付近の広い波長帯域が受光可能で、周波数の高い光信号を高効率に受信する発明をアバランシェ増倍型受光素子に適用したものである。
15 電子障壁層 16 多層構造層 17 多層構造層 18 p型多重膜窓層
19 増倍層 20 p型電界緩和層
91 InP基板 92 n型InPバッファ層 93 i型InGaAs光吸収層
94 p型InP窓層
Claims (11)
- 半導体基板上に、入射光を吸収する光吸収層を含む半導体層より形成される半導体受光素子であって、
前記光吸収層の入射光側に形成された窓層を有し、
前記窓層の禁制帯エネルギーが1.4eV以上であり、
前記窓層の層厚が0.5μm以下である半導体受光素子。 - 前記光吸収層の前記半導体基板側に、アバランシェ増倍層と電界緩和層とを有する請求項1記載の半導体素子。
- さらに、前記光吸収層と前記窓層の間に、前記窓層に発生する電子の前記光吸収層への流入を妨げる電子障壁層を有する請求項1又は請求項2に記載の半導体受光素子。
- 前記電子障壁層の層厚が0.1μm以下である請求項3に記載の半導体受光素子。
- 前記光吸収層の電子親和力が前記窓層の電子親和力より大きく、
前記窓層の電子親和力が前記電子障壁層の電子親和力より大きい請求項3または請求項4に記載の半導体受光素子。 - 前記電子障壁層の伝導帯が前記窓層の伝導帯に対して50meV以上の伝導帯不連続量を有している請求項3乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体受光素子。
- 前記窓層が2種以上の電子親和力の異なる半導体多層膜で形成される請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の半導体受光素子。
- 前記窓層がInAlAs、AlAsSb、InAlGaAs、AlGaAsSb、もしくはこれらの組み合わせで形成されている請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の半導体受光素子。
- 請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の半導体受光素子を備えた光通信装置。
- 請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の半導体受光素子を備えた光計測装置。
- 請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の半導体受光素子を備えた光加工装置。
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JP2005059640A JP2006245345A (ja) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | 半導体受光素子 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9001881B2 (en) | 2011-05-09 | 2015-04-07 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Wireless power and data transmission system, power transmitting apparatus, and power receiving apparatus |
JP2018147962A (ja) * | 2017-03-02 | 2018-09-20 | 住友電気工業株式会社 | 受光素子 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0373536A (ja) * | 1989-08-14 | 1991-03-28 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPH0493088A (ja) * | 1990-08-09 | 1992-03-25 | Nec Corp | アバランシェフォトダイオード |
JPH07183494A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-21 | Nec Corp | ヘテロ接合fet |
-
2005
- 2005-03-03 JP JP2005059640A patent/JP2006245345A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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